JP1746404S - サセプタカバーベース - Google Patents
サセプタカバーベースInfo
- Publication number
- JP1746404S JP1746404S JP2023000283F JP2023000283F JP1746404S JP 1746404 S JP1746404 S JP 1746404S JP 2023000283 F JP2023000283 F JP 2023000283F JP 2023000283 F JP2023000283 F JP 2023000283F JP 1746404 S JP1746404 S JP 1746404S
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cover base
- susceptor cover
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- susceptor
- wafer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
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Abstract
本物品は、半導体製造装置等においてウェハを保持するために用いるサセプタユニットを構成するカバーベース部品であり、基台となるサセプタ部品の外周に載置され、ウェハが載る土台となる部品である。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2023000283F JP1746404S (ja) | 2023-01-11 | 2023-01-11 | サセプタカバーベース |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2023000283F JP1746404S (ja) | 2023-01-11 | 2023-01-11 | サセプタカバーベース |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP1746404S true JP1746404S (ja) | 2023-06-15 |
Family
ID=86720896
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2023000283F Active JP1746404S (ja) | 2023-01-11 | 2023-01-11 | サセプタカバーベース |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP1746404S (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| USD1047884S1 (en) * | 2021-10-22 | 2024-10-22 | Nuflare Technology, Inc. | Susceptor cover |
-
2023
- 2023-01-11 JP JP2023000283F patent/JP1746404S/ja active Active
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| USD1047884S1 (en) * | 2021-10-22 | 2024-10-22 | Nuflare Technology, Inc. | Susceptor cover |
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