JP1746408S - サセプタ - Google Patents
サセプタInfo
- Publication number
- JP1746408S JP1746408S JP2023000287F JP2023000287F JP1746408S JP 1746408 S JP1746408 S JP 1746408S JP 2023000287 F JP2023000287 F JP 2023000287F JP 2023000287 F JP2023000287 F JP 2023000287F JP 1746408 S JP1746408 S JP 1746408S
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- JP
- Japan
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Abstract
本物品は、半導体製造装置等においてウェハを保持するために用いるサセプタユニットの基台となるサセプタ部品の外周を構成する部品である。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2023000287F JP1746408S (ja) | 2023-01-11 | 2023-01-11 | サセプタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2023000287F JP1746408S (ja) | 2023-01-11 | 2023-01-11 | サセプタ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP1746408S true JP1746408S (ja) | 2023-06-15 |
Family
ID=86720902
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2023000287F Active JP1746408S (ja) | 2023-01-11 | 2023-01-11 | サセプタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP1746408S (ja) |
-
2023
- 2023-01-11 JP JP2023000287F patent/JP1746408S/ja active Active
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