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JP1729731S - ガス流偏向部を備えるハブ - Google Patents

ガス流偏向部を備えるハブ

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JP1729731S
JP1729731S JP2022008428F JP2022008428F JP1729731S JP 1729731 S JP1729731 S JP 1729731S JP 2022008428 F JP2022008428 F JP 2022008428F JP 2022008428 F JP2022008428 F JP 2022008428F JP 1729731 S JP1729731 S JP 1729731S
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Abstract

本願に係る物品（以下、「本物品」という。）は、例えば、半導体の製造に用いられる半導体処理装置の処理チャンバ内に供給される処理ガス流れを偏向するための偏向部を備えるハブである。より具体的には、本物品は、例えば、本物品の上方から本物品の中央部に向けて供給される処理ガスの流れの向きを偏向部によって変更し、処理チャンバ内において本物品の周囲に配置されている４つの基板処理ステーションに向けて供給する。
JP2022008428F 2021-10-18 2022-04-18 ガス流偏向部を備えるハブ Active JP1729731S (ja)

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US202129811957 2021-10-18

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TWD226380S (zh) 2023-07-11
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TWD230583S (zh) 2024-04-01
TWD230453S (zh) 2024-03-21
JP1737452S (ja) 2023-02-22
JP1737453S (ja) 2023-02-22

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