ITTO980584A1 - Modulo di trasporto con porta con chiavistello di chiusura - Google Patents

Description

DESCRIZIONE

del brevetto per invenzione industriale

SFONDO DELL'INVENZIONE

La presente domanda è una continuazione parziale della domanda n. 08/678.885 depositata il 12 luglio 1996.

La presente invenzione si riferisce a sistemi di trasporto per fette di silicio. Più particolarmente essa si riferisce a contenitori per fette di silicio che hanno un coperchio o porta per chiudere le fette di silicio nel contenitore.

Per chiudere le fette nei contenitori per la conservazione o la spedizione, sono stati utilizzati vari sistemi. Alcuni contenitori hanno utilizzato scanalature verticali per le fette di silicio e elementi a scatto sui coperchi o chiusure superiori in plastica elasticamente flessibile. Tipicamente, in tali contenitori, supporti passivi collegati al coperchio superiore vengono flessi quando impegnano le fette di silicio nel momento in cui si applica il coperchio superiore.

L'industria dei semiconduttori si è evoluta nella lavorazione di fette più grandi, fino a 300 mm di diametro, e si sta orientando verso supporti e contenitori di trasporto che posizionano le fette di silicio esclusivamente in posizione orizzontale. I contenitori più grandi necessari per contenere le fette più grandi rendono difficile la fabbricazione e l'impiego dei supporti passivi elasticamente flessibili.

Le porte più grande necessarie per i supporti per fette di silicio più grandi richiedono meccanismi di bloccaggio sicuri nelle porte. Idealmente, tali meccanismi saranno meccanicamente semplici con poche parti in movimento e nessuna parte metallica. La presenza di qualsiasi parte metallica offre la possibilità di formare particolati metallici che possono provocare seri problemi nella lavorazione dei semiconduttori .

SOMMARIO DELL'INVENZIONE

Un contenitore per fette di silicio ha una apertura frontale definita da un telaio di montaggio della porta ed una porta di dimensioni adatte all'inserimento nel telaio. Il telaio della porta è dotato di scanalature su lati opposti e la porta utilizza collegamenti di bloccaggio che fanno avanzare, sollevano, abbassano e retraggono le rispettive parti di bloccaggio dalla parte di bordo della porta entro e fuori le sedi di bloccaggio del telaio della porta. La porta può anche avere supporti passivi per le fette o bracci attivi di impegno delle fette che si estendono all'interno verso le fette per trattenere dette fette quando la porta è in posizione. I collegamenti di bloccaggio, collegamenti di sollevamento, e, quando desiderato, i bracci di ritegno, sono collegati ad elementi ruotatili a camma all'interno della porta. L'elemento a camma utilizza superfici di camma configurate in modo dapprima da fare avanzare le parti di bloccaggio in una prima direzione nelle sedi di bloccaggio e quindi spostare le parti di bloccaggio in una seconda direzione normale alla prima direzione per tirare la porta verso l'interno e chiudere la porta sulla parte di contenitore. Quando lo si desidera, si può anche fare avanzare un braccio di contenimento delle fette.

Un vantaggio ed una caratteristica dell'invenzione è che il meccanismo di bloccaggio usato è costituito da un numero minimo di parti componenti che sono meccanicamente semplici e tuttavia assicurano una azione di bloccaggio efficace ed affidabile.

Un vantaggio ed una caratteristica dell'invenzione è che la porta provvede pure la ritenzione delle fette oltre al bloccaggio della porta. Detto bloccaggio e ritenzione sono assicurati da un singolo movimento di rotazione di una maniglia della porta.

Un'altra caratteristica e vantaggio dell'invenzione è che il meccanismo è posizionato all'interno della porta, così da minimizzare la formazione e la dispersione di particelle da parte del meccanismo della porta.

Un'altra caratteristica e vantaggio dell'invenzione è che il meccanismo della porta assicura il bloccaggio e il contenimento delle fette di silicio in una sequenza appropriata.

Un'altra caratteristica e vantaggio dell'invenzione è che le superfici a camma dell'elemento ruotabile a camma possono comprendere un arpione per assicurare in modo facile e semplice la porta nella posizione bloccata ed assicurare il braccio di contenimento delle fette nella posizione di impegno.

BREVE DESCRIZIONE DEI DISEGNI

La Figura 1 è una vista prospettica di un contenitore per fette di silicio con la relativa porta.

La Figura 2 è una vista prospettica della porta del contenitore per fette di silicio con una parte della copertura anteriore rimossa per evidenziare il meccanismo .

La Figura 3 è una vista prospettica dell'elemento a camma ruotabile.

La Figura 4 è una vista prospettica di un braccio di bloccaggio.

La Figura 5 è una vista prospettica di un braccio di impegno di una fette di silicio.

La Figura 6 è una vista prospettica di un collegamento di azionamento del braccio di impegno della fetta di silicio.

La Figura 7 è una sezione trasversale di un sistema a manovella impegnato con il pannello posteriore.

La Figura 8 è una vista prospettica di una parte di impegno di una fetta di silicio.

La Figura 9 è una proiezione frontale dell'interno del pannello posteriore della porta.

La Figura 10A è una vista schematica della porta in posizione chiusa.

La Figura-10B è una vista schematica che illustra la posizione dei bracci di impegno delle fette di silicio.

La Figura 11A è una vista schematica del meccanismo della porta con i bracci di bloccaggio allungati.

La Figura 11B è una vista schematica dei bracci di impegno delle fette di silicio in una posizione prossimale che non impegna le fette, corrispondente alla posizione del meccanismo di Figura HA.

La Figura 12A è una vista schematica del meccanismo in una posizione completamente bloccata con i bracci di bloccaggio allungati.

La Figura 12B è una vista schematica corrispondente alla posizione del meccanismo di Figura 12A con i bracci di impegno delle fette disposti distalmente ed impegnanti le fette.

La Figura 13A è una vista schematica della porta durante una procedura di apertura con i bracci di bloccaggio completamente allungati.

La Figura 13B corrisponde alla posizione del meccanismo della Figura 13A con i bracci di impegno della fetta disimpegnati dalle fette nella loro posizione prossimale.

La Figura 14A è una vista schematica della porta con il meccanismo delle fette riportato alla posizione completamente sbloccata per l'apertura di detta porta.

La Figura 14B corrisponde alla posizione del meccanismo della Figura 14A e mostra i bracci di impegno delle fette che rimangono disimpegnati dalle fette.

La Figura 14C è una vista in pianta di una realizzazione alternativa.

La Figura 15 è una vista di un modulo di trasporto alternativo.

La Figura 16 è una vista prospettica di una realizzazione alternativa della porta di Figura 15 utilizzando maniglie manuali.

La Figura 17 è una vista prospettica esplosa della porta di Figura.15 che evidenzia i meccanismi di bloccaggio.

La Figura 18A è una proiezione dal lato destro della porta della Figura 17 con la copertura rimossa.

La Figura 18B è una sezione trasversale presa sulla linea 18B della Figura 18A.

La Figura 19A è una proiezione dal lato destro della porta di Figura 17 con il pannello superiore rimosso.

La Figura 19B è una sezione trasversale presa sulla linea 19B·della Figura 19A.

La Figura 20 è una vista prospettica di una serie di collegamenti di bloccaggio.

La Figura 21 è una sezione trasversale che illustra in generale la stessa vista delle Figure 18B e 19B con la parte di bloccaggio in una posizione differente.

La Figura 22 è una vista prospettica dell'interno della porta che mostra i dispositivi di contenimento delle fette.

La Figura 23 è una vista prospettica del lato frontale della porta con i pannelli porta rimossi per visualizzare il meccanismo di bloccaggio ed una ulteriore realizzazione del meccanismo di contenimento attivo delle fette di silicio.

La Figura 24 è una vista prospettica dettagliata della barra scorrevole in impegno con il pistone.

La Figura 25 è una vista prospettica dettagliata del pistone inserito in una boccola nella parete di chiusura.

La Figura 26 è una vista prospettica dettagliata di una parte della barra scorrevole.

DESCRIZIONE DETTAGLIATA

Con riferimento alla Figura 1, un contenitore 20 per fette di silicio comprende generalmente una parte di contenitore-22 ed una porta cooperante 24. La parte di contenitore ha una pluralità di scanalature 28 per le fette di silicio, per 1'inserimento e la rimozione delle fette W in piani sostanzialmente orizzontali. Le scanalature sono definite dalle guide 32 della fetta e dai ripiani di supporto 36 della fetta. La parte di contenitore ha generalmente una apertura frontale 40, una parte superiore chiusa 42, un lato sinistro chiuso 44, un lato posteriore chiuso 46 ed un lato destro chiuso 48 ed un fondo chiuso 50. Il contenitore è mostrato posizionato su una interfaccia di supporto 52.

La porta 24 si adatta entro e si impegna con un telaio 60 di alloggiamento della porta. Il telaio 60 della porta è dotato di due coppie di elementi di telaio opposti, una coppia verticale 64 ed una coppia orizzontale 68. Gli elementi di telaio verticali hanno una coppia di aperture o scanalature 72, 74 che vengono utilizzate per impegnare e bloccare la porta sulla parte di contenitore 22. La porta ha un mezzo attivo di ritenzione della fetta, come pure un mezzo di bloccaggio con la porta. La porta ha un elemento ruotabile 80 montato centralmente con una maniglia manuale o robotizzata 81 disposta in una cavità 84 nella copertura frontale 86. La copertura frontale 86 costituisce parte della chiusura della porta 90 che comprende pure la parte di bordo 94 della porta ed un pannello posteriore 96 non illustrato in questa vista. Il coperchio frontale 86 è -fissato con opportuni mezzi di fissaggio 98.

La Figura 2 è una vista prospettica della porta 20 con una parte della copertura frontale 86 rimossa per evidenziare il meccanismo 100 della porta che comprende il meccanismo di bloccaggio 101 come pure il meccanismo 102 di contenimento delle fette, che condividono alcuni componenti. I singoli componenti del meccanismo della porta sono rappresentati nelle Figure 3, 4, 5 e 6 e comprendono un elemento ruotabile a camma 110, un braccio 112 di impegno della fetta, in cui è attaccata una manovella 113 ed un braccio di bloccaggio 118 ed un collegamento 120 di attuazione del braccio di impegno della fetta.

Con riferimento alle Figure 2 e 3, l'elemento ruotabile a camma 110 è dotato di una coppia di aperture 114 a camma del braccio di bloccaggio che formano superficì di camma 116. Le aperture di camma 114 hanno estremità opposte 123 con un arpione 122 formato ad una estremità per mezzo di una sporgenza nella plastica. L'arpione 122 viene reso flessibilmente elastico dall'aggiunta di una apertura 124 dell'arpione. L'elemento ruotabile a camma 110 ha pure una coppia di aperture di camma opposte 130 per l'impegno della fetta, che formano superfici di camma 132 di impegno della fetta. Inoltre, un arpione 134 di camma di impegno della fetta è costituito da una sporgenza in una delle superfici di camma 132 e viene reso elasticamente flessibile per mezzo di una apertura dell'arpione 136 presso una estremità 138 dell'apertura di camma 130 di impegno della fetta. L'elemento di camma ruotabile ha un foro centrale 150 usato per posizionare e fissare l'elemento di camma ruotabile 110 sul pannello posteriore 96 della porta per mezzo dell'albero 152.

Con riferimento alle Figure 2 e 4, ciascun braccio di bloccaggio 118 comprende una parte di collegamento 160 ed una coppia di parti allungabili 162 che comprendono una parte di bloccaggio 164 che è configurata in modo da impegnarsi nelle cavità o aperture 72, 74 nel telaio 60 di alloggiamento della porta. Ciascun braccio di bloccaggio ha pure un seguicamma 166 formato come un albero o sporgenza dalla parte generalmente planare 168 del braccio 118.

Con riferimento alle Figure 5,"7 e 8, ciascun braccio 112 di impegno della fetta è costituito da una parte 170 di impegno del bordo della fetta, dalla manovella 113 con una scanalatura di collegamento 174 ed una superficie di perno 176. La parte 170 di impegno del bordo della fetta è opportunamente fabbricata in Hytrel.

Con riferimento alla Figura 6, il collegamento 120 di azionamento del braccio di impegno della fetta, ha un seguicamma 196 e cerniere 195.

I bracci 118 di bloccaggio sono posizionati tra gli elementi ruotabili a camma 110 e il collegamento di comando 120. Le parti di bloccaggio sono dimensionate in modo da allungarsi e ritirarsi a scorrimento attraverso le scanalature 216 nella parte 94 di bordo della porta. I seguicamma 166 si-estendono nell'apertura 118 del seguicamma ed inoltre nella scanalatura 200 del pannello posteriore. Il coperchio superiore è montato sulla parte 94 di bordo della porta per formare la chiusura 90 della porta. Lo spazio relativamente limitato tra il pannello frontale ed il pannello posteriore ha lo scopo di stabilizzare e trattenere il meccanismo 100.

I componenti sono montati come segue. Con riferimento alle Figure 2 e 9, il pannello posteriore 96 della porta è dotato di quattro aperture 186 allineate agli angoli di un rettangolo. Il pannello posteriore ha quattro perni cilindrici 190 disposti in ciascuna delle.aperture ed integrali con il pannello posteriore 96. Gli elementi a perno 190 sono di dimensione opportuna per l'inserimento a scatto entro la manovella 113 onde consentire la rotazione della manovella 113 sull'elemento a perno 190. La scanalatura 174 della manovella 113 si impegna con il giunto 120 di comando del braccio di impegno attraverso un perno 194 nella cerniera 195. Ciascun giunto di azionamento 120 ha il seguicamma 196 che si impegna con le superfici di camma 132 del braccio di impegno del disco, e si impegna pure con le cavità o scanalature 200 ricavate nel pannello posteriore 96. Dette scanalature sono formate in sporgenze 202 dirette verso l'alto dal pannello posteriore verso il pannello frontale. Pure estendentesi verso l'alto dal pannello posteriore 96 vi è una pluralità di barre di supporto 210 dell'elemento ruotabile a camma sulle quali scorrono gli elementi ruotabili di camma 80. Dette barre possono avere dentini 212 per facilitare il mantenimento in posizione dell'elemento di tavola a camma 110. La realizzazione della Figura 7 utilizza scanalature 186 anziché le aperture generalmente squadrate, come illustrato nella Figura 2. Inoltre, i perni 190 sono posizionati centralmente nella scanalature 186, opposti al lato dell'apertura illustrato nella Figura 2.

Il dispositivo funziona come segue. Con riferimento alla Figura 2 ed alla serie di figure dalle Figure 10A e 10B alle Figure 14A e 14B, la porta viene dapprima inserita entro il telaio 60 di alloggiamento della porta della parte di contenitore 22 con un mezzo manuale o meccanizzato. L'elemento ruotabile a camma viene ruotato in senso antiorario per la realizzazione della Figura 2. L'impegno del seguicamma 166 del braccio di bloccaggio con le superfici di camma 116 dell'elemento ruotabile a camma fa sporgere a scorrimento verso l'esterno il braccio di bloccaggio per effetto della particolare forma di detta apertura di camma 114. Poiché il braccio di bloccaggio 118 si estende verso l'esterno le parti di bloccaggio 164 passano attraverso le aperture 216 ed entro le scanalature 72 e 74 sugli elementi di telaio verticali del telaio 60 di alloggiamento della porta. I bracci di impegno delle fette non sono, a questo punto, allungati. Una ulteriore rotazione della parte a camma della fetta, come illustrato nella Figura 12A non sposta significativamente di più il braccio di bloccaggio 118, ma spinge il seguicamma 196 del collegamento 120 di azionamento del braccio di impegno della fetta verso l'esterno, così da far ruotare la manovella 113 .per trasformare il movimento laterale del giunto di azionamento 120 in un movimento verso l'esterno del braccio 112 di impegno della fetta verso le fette. La Figura 12B mostra così i bracci di impegno della fetta in una posizione distale rispetto alla chiusura della porta ed in una posizione di impegno della fetta. Con l'elemento di camma ruotato di 90° in senso antiorario, i seguicamma 196 e 166 vengono spostati oltre gli arpioni 134 e 122, bloccando così l'elemento di camma in detta posizione delle Figure 12A e 12B. Per sbloccare e rimuovere detta porta, l'elemento di camma viene ruotato in senso orario, dapprima alla posizione illustrata nelle Figure 13A e 13B in cui i bracci 112 di impegno della fetta vengono retratti allontanandoli dalle fette e quindi alla posizione prossimale illustrata nelle Figure 13A e 13B in cui i bracci di bloccaggio 118 sono pure retratti fuori dalle scanalature nel telaio di alloggiamento della porta.

La Figura 14C mostra una realizzazione alternativa dell'invenzione in cui il mezzo per far avanzare e retrarre le parti di bloccaggio ed il mezzo per spostare l'elemento di impegno della fetta tra una posizione prossimale ed una posizione distale, comprende i collegamenti 211 e 212 ed i giunti 213 anziché le superfici di camma ed i seguicamma. In tale configurazione, l'elemento ruotabile 110 può venire bloccato nella posizione di bloccaggio per mezzo di una posizione sovracentro del collegamento 212, come illustrato dalle linee tratteggiate indicate con il numero 216. Nella particolare configurazione mostrata in questa figura, il pieno azionamento del braccio di bloccaggio e del braccio di impegno della fetta vengono ottenuti con circa 1/8 di giro dell'elemento ruotabile 110. La freccia 219 indica la direzione di rotazione per estendere completamente i bracci di bloccaggio 118 ed il braccio 112 di impegno della fetta, non illustrato in questa vista.

Le singoli parti del meccanismo 100 della porta possono essere opportunamente formate con policarbonato e fibra di carbonio per ottenere caratteristiche dissipative statiche. Il pannello frontale ed il pannello posteriore della porta possono essere fabbricati in policarbonato.

Con riferimento alle Figure 15, 16, 17, 18A, 18B, 19A, 19B e 20, è illustrato un modulo di trasporto con un meccanismo alternativo di bloccaggio e di ritenzione delle fette, indicato generalmente con il numero 220, che è principalmente costituito da una parte di contenitore 222 ed una porta cooperante 224. La parte di contenitore ha generalmente una apertura frontale 240, una parte superiore chiusa 242, un lato sinistro chiuso 244, un lato posteriore chiuso 246, un lato destro chiuso 248 ed una parte di fondo chiusa 250. La parte di fondo 250 comprende pure una interfaccia 252 con la macchina. La parte di contenitore 222 comprende una pluralità di fette W allineate assialmente con i piani delle fette sostanzialmente orizzontali. La parte di contenitore 222 ha un telaio 26Q per la porta generalmente rettangolare, con due coppie di elementi di telaio opposte, comprendenti una coppia di elementi verticali 264 ed una coppia di elementi orizzontali 268. Gli elementi orizzontali 268 hanno ciascuno due cavità di bloccaggio 272 e 274, ciascuna delle quali comprende la scanalatura 275. Le cavità di bloccaggio vengono utilizzate per impegnare, bloccare e chiudere a tenuta la porta sulla parte del contenitore 222. La porta ha una coppia di fori di chiave 278 utilizzati per accedere al meccanismo di bloccaggio interno, non illustrato in questa figura. La porta 224 comprende una coppia di pannelli rivolti verso l'esterno, che comprendono un pannello sinistro 285 ed un pannello destro 286. La porta ha una parte di bordo 294 che comprende una periferia esterna che costituisce una parte di sede della porta 295 impegnabile con il telaio 260 della porta. I pannelli rivolti verso l'esterno 285 e 286 hanno pure aperture 296 che costituiscono parte di un indicatore 297 di bloccaggio. La parte di bordo della porta comprende quattro aperture configurate come scanalature 299 disposte sulla parte di bordo della porta 294.

Con riferimento alle Figure 16, 17 e 20, la porta 224 con i meccanismi di bloccaggio è illustrata in dettaglio. La Figura 16 mostra una configurazione alternativa in cui i fori di chiave 278 sono completati da manìglie azionabili manualmente 302. Si fa notare che il lato sinistro 304 della porta ha una parte di bloccaggio 306 che si estende dalla scanalatura 299. Il lato destro 307 ha la maniglia in una posizione orizzontale corrispondente alla parte di bloccaggio retratta. La Figura 17 è una vista esplosa della porta 224 e evidenzia i meccanismi interni 300 di bloccaggio. Ciascun meccanismo 300 di bloccaggio è costituito da un elemento ruotabile a camma 310 e due sedi 311 di collegamenti di bloccaggio. L'elemento ruotabile a camma 310 è dotato di una coppia di prime guidecamma 314 che hanno la conformazione di scanalature 314 ed una coppia di seconde guidecamma 315 pure configurate come aperture o scanalature nella ruota a camma . I gruppi 311 dei collegamenti di bloccaggio 311 sono ciascuno costituito da'un braccio di bloccaggio o collegamento 318 ed un braccio di sollevamento o collegamento 319. Quando in questa sede si impiega l'espressione "collegamento" si comprende un elemento segmentato oppure due o più pezzi separati collegati tra di loro.

Ciascun collegamento di bloccaggio 318 ha generalmente una parte piana rettangolare 359, due estremità 361 e 362 con l'estremità disposta distalmente 362 che comprende la parte di bloccaggio 306. L'estremità prossimale 361 dell'elemento ruotabile a camma 210 a seguicamma 366 ed una prima parte di sollevamento 368 intermedie alle due estremità. Il collegamento di bloccaggio ha delle guide laterali inferiori 370 per impegnare il rispettivo collegamento di bloccaggio 318.

Ciascun collegamento di sollevamento 319 ha una coppia di guide laterali superiori 374 che si impegnano con le guide laterali inferiori 370 del collegamento di bloccaggio 318 per limitare generalmente i movimenti laterali dei collegamenti 318 e 319. Il collegamento di sollevamento 319 ha una estremità prossimale 380 con un seguicamma 382 ed una estremità opposta 390 che comprende un'altra superficie a camma configurata come piano inclinato 394.

Nelle Figure 18A, 18B, 19A, 19B e 21, sono illustrati i dettagli di funzionamento dei meccanismi di bloccaggio 300. Quando la porta viene spostata dalla parte di contenitore 222 come illustrato nella Figura 1, la parte di bloccaggio 306 verrà tipicamente retratta all'interno della chiusura 404 della porta come si vede specificamente nelle Figure 18A e 18B. Si noti che la Figura 18A e la Figura 19A corrispondono ad una vista frontale del lato destro 307 della porta con il pannello destro 286 rimosso. Le Figure 18A e 18B mostrano i mezzi di bloccaggio nella posizione completamente retratta. La rotazione dell'elemento a camma 310 per mezzo di una chiave inserita nel foro della chiave o per mezzo delle maniglie manuali 302, provoca una rotazione in senso orario dell'elemento a camma 310. Il primo guidacamma 314 ed il secondo guidacamma 315 sono distanziati radialmente nello stesso modo l'uno dall'altro per i primi 22,5° di rotazione circa. Durante la prima rotazione parziale, ciascun gruppo 311 di collegamenti si sposta insieme dalla posizione illustrata nella Figura 18B a quella illustrata nella Figura 21. Durante i successivi 22,5° di rotazione della ruota a camma, il collegamento di bloccaggio 318 rimane relativamente fisso con il primo guidacamma 314 che ha una distanza radiale relativamente costante dal centro della ruota a camma attraverso questo secondo arco di 22,5°. Attraverso il primo arco di 22,5° 411, il collegamento di bloccaggio 318 viene allungato verso l'esterno rispetto alla porta in una prima direzione indicata dalla freccia con il numero 414, che corrisponde all'asse "y" sul sistema di coordinate 425. Durante il secondo arco 412 di 22,5°, il collegamento 319 di sollevamento si sposta dalla posizione illustrata nella Figura 21 a quella illustrata nella Figura 19B e sposta la parte di bloccaggio 306 del collegamento di bloccaggio 318 in una seconda direzione, come indicato dalla freccia con il numero 415. La seconda direzione 415 corrisponde all'asse "z". Quando questo accadde, la porta viene spinta verso l'interno rispetto alla parte di contenitore, creando una chiusura efficace tra il telaio 260 della porta e la parte 294 di bordo della porta, specificamente l'anello elastomerico 420.

Con riferimento alla Figura 19A si nota che l'apertura dell'indicatore 430 che costituisce parte dell'indicatore di bloccaggio 297 si trova immediatamente a sinistra dell'asse 434 della ruota a camma. Questo corrisponde alla posizione dell'apertura 296 nel pannello frontale destro 286, come illustrato nella Figura 1-7. Quindi, quando la ruota a camma si trova nella posizione ruotata completamente in senso orario e le porzioni di bloccaggio 306 sono in una posizione completamente avanzata e tirata verso l'interno come illustrato nella Figura 21, l'apertura 430 è allineata con l'apertura 296, consentendo una indicazione visiva del fatto che la porta si trova in detta posizione di bloccaggio completo.

Si noti che la ruota a camma illustrata nelle Figure 18A, 18B, 19A, 19B e 17 presenta una ulteriore quinta guidacamma 440 su ciascuna scanalatura. Questo corrisponde all'opzione di aggiungere un dispositivo attivo di contenimento della fetta come precedentemente descritto e illustrato nelle Figure 2-15. Inoltre, verrà descritta una realizzazione alternativa di un sistema di contenimento attivo della fetta.

Nella Figura 22 è illustrato il lato rivolto verso l'interno 460 della porta 224. Dalla superficie 462 della porta si estende una coppia di elementi di contenimento della fetta 470. Gli elementi di contenimento illustrati possono venire usati in modo semplicemente passivo fissati alla porta oppure, alternativamente, usati in modo attivo rendendoli spostabili verso l'interno dall'interno della porta e retraibili verso l'esterno in direzione della porta. Un meccanismo per-·effettuare tale spostamento è illustrato nelle Figure 22-26. Con riferimento alla Figura 23, il quinto guidacamma 440 impegna un seguicamma 474 che costituisce parte di una barra scorrevole 476. La barra 476 è impegnata con guide 479 che sono integrali con la chiusura della porta 404. Le guide 482 sulla superficie posteriore della barra 476 si impegnano con le guide 479 sulla chiusura.

La barra scorrevole 476 comprende guidacamma 486 che si impegnano con un seguicamma 490 che è attaccato ad un pistone 494 che passa attraverso una apertura 500 nella chiusura della porta 404 e si impegna specificamente ih una bussola 504 e viene ulteriormente chiuso a tenuta con un o-ring 506. Le barre scorrevoli 476 sono ulteriormente delimitate dal pannello sinistro 285 rivolto verso l'esterno della porta 224.

Quando l'elemento a camma 310 viene ruotato in senso orario dalla posizione illustrata nella Figura 23, la barra scorrevole viene tirata a sinistra in direzione opposta alla direzione "x", per cui il seguicamma 490 scorre lungo il guidacamma 486 nella direzione indicata dalla freccia 509. Questo corrisponde ad un movimento del pistone verso l'interno della parte del contenitore e quindi dei mezzi di contenimento della fetta che sono impegnati con i pistoni i quali si spostano in direzione delle fette e le impegnano quando la porta viene chiusa sulla parte di contenitore. Le barre scorrevoli 476 ed il guidacamma 486 ed il seguicamma 490 sono parti di un meccanismo di trasformazione del moto 514.

Alternativamente, la disposizione della manovella descritta nelle prime realizzazioni potrebbe anche essere adatta per l'utilizzazione.

La presente invenzione può essere realizzata in altre forme specifiche senza allontanarsi dallo spirito o dalle sue caratteristiche essenziali, e si desidera quindi che la presente realizzazione sia considerata sotto tutti gli aspetti come illustrativa e non limitativa, facendo riferimento alle rivendicazioni allegate anziché alla descrizione precedente per indicare lo scopo dell'invenzione.

Claims (19)

1. RIVENDICAZIONI 1. Modulo di trasporto di fette di silicio comprendente: a) una parte di contenitore per contenere le fette, la parte di contenitore avendo una parte interna aperta ed un telaio generalmente rettangolare per la porta che definisce una apertura della porta, il telaio della porta avendo una sede di bloccaggio; b) una porta inseribile nel telaio della porta per coprire l'apertura della porta, la porta avendo un interno aperto e comprendendo: i) una parte di battuta esterna dimensionata per impegnarsi con il telaio generalmente rettangolare della porta, la parte di battuta esterna avendo una apertura corrispondente ad una sede di bloccaggio quando la porta viene inserita nel telaio della porta; ii) un elemento a camma nell'interno aperto almeno parzialmente ruotabile, l'elemento a camma essendo parzialmente ruotabile dall'esterno della porta ed avendo un primo guidacamma ed un secondo guidacamma; iii) un collegamento di bloccaggio con due estremità, una estremità avente un seguicamma impegnato con il primo guidacamma e l'altra estremità avente una parte di bloccaggio che si estende nell'apertura nella parte di battuta esterna, il collegamento di sollevamento avendo una prima parte di sollevamento intermedia tra le due estremità, il primo guidacamma configurato in modo da estendere la parte di bloccaggio verso l'esterno rispetto alla porta in una prima direzione nella sede di bloccaggio; e iv) un collegamento di sollevamento con una estremità a camma, avente un seguicamma impegnato nel secondo guidacamma, il collegamento di sollevamento avendo una seconda parte di sollevamento cooperante impegnabile con detta prima parte di sollevamento, la prima parte di sollevamento e la seconda parte di sollevamento essendo disposte in relazione di sovrapposizione, una di dette prima parte di sollevamento e seconda parte di sollevamento avendo un piano inclinato e l'altra di dette prima parte di sollevamento e seconda parte di sollevamento avendo una superficie di impegno del piano inclinato, il secondo guidacamma configurato in modo da spostare il collegamento di sollevamento rispetto al collegamento di bloccaggio per cui la parte di impegno del piano inclinato corre sul piano inclinato per spostare il collegamento di bloccaggio in una seconda direzione sostanzialmente normale alla prima direzione quando la parte di bloccaggio si trova nella sede di bloccaggio.
2. 2. Modulo di trasporto secondo la rivendicazione 1, in cui la porta comprende inoltre un elemento di ritegno per la fetta montato sulla porta per impegnare e trattenere le fette.
3. 3. Modulo di trasporto secondo la rivendicazione 2, in cui l'elemento a camma comprende inoltre un guidacamma di impegno della fetta, ed in cui l'elemento di ritegno della fetta è montato mobile sulla porta e spostabile in allontanamento ed avvicinamento verso l'interno aperto, ed un collegamento di trasferimento del movimento disposto tra l'elemento di ritegno della fetta ed il guidacamma di impegno della fetta, il collegamento di trasferimento del movimento configurato in modo tale che la rotazione dell'elemento a camma fa avanzare verso l'esterno l'elemento di ritegno della fetta.
4. 4. Modulo.,di trasporto secondo la rivendicazione 1, comprendente inoltre un meccanismo di impegno della fetta che comprende un braccio di impegno della fetta spostabile verso l'interno e verso l'esterno ed un braccio di azionamento che collega il braccio di impegno della fetta, il braccio di azionamento avente un seguicamma impegnato con il guidacamma di impegno della fetta, per cui, quando l'elemento a camma viene ruotato, il braccio di azionamento fa avanzare verso l'esterno il braccio di impegno della fetta per impegnare le parti di bordo delle fette così da trattenerle.
5. 5. Modulo di trasporto secondo la rivendicazione 1, comprendente inoltre un meccanismo attivo di contenimento della fetta con la porta.
6. 6. Modulo di trasporto secondo la rivendicazione 1, comprendente inoltre un mezzo attivo di ritegno della fetta con la porta, detto mezzo di ritegno essendo impegnato con l'elemento a camma.
7. 7. Modulo di trasporto per fette di silicio, comprendente una parte di contenitore con una apertura della porta ed una porta dimensionata per chiudere detta apertura della porta ed essere ricevuta all'interno di questa, la parte di contenitore avendo una scanalatura di bloccaggio adiacente l'apertura della porta, la porta·essendo costituita da: a) una chiusura della porta con una periferia, un interno aperto, ed una scanalatura alla periferia, la scanalatura essendo posizionata presso la scanalatura ricevente quando la porta è posta nel telaio della porta; b) un elemento parzialmente ruotabile per controllare dall'esterno la chiusura e montato ruotabile entro la chiusura; c) un collegamento di bloccaggio disposto all'interno della chiusura con una prima estremità che si collega all'elemento ruotabile ed una seconda estremità allungabile verso l'esterno in una prima direzione attraverso detta scanalatura quando l'elemento ruotabile ruota parzialmente, il collegamento di bloccaggio avendo una parte di sollevamento in posizione intermedia tra la prima estremità e la seconda estremità; e d) un collegamento di sollevamento con una prima estremità che si collega all'elemento ruotabile ed una seconda parte di sollevamento cooperativa disposta presso la prima parte di sollevamento, la seconda parte di sollevamento essendo mobile in una direzione parallela alla prima direzione, una tra la prima parte di sollevamento e la seconda parte di sollevamento avendo un piano inclinato e l'altra avendo una parte di impegno del piano inclinato per cui, quando la seconda parte di sollevamento si sposta rispetto la prima parte di sollevamento, la parte di impegno del piano inclinato scorre sul piano inclinato ed il collegamento di sollevamento viene spostato in una seconda direzione sostanzialmente normale alla prima direzione.
8. 8. Modulo di trasporto secondo la rivendicazione 7, in cui la porta comprende inoltre un elemento di contenimento della fetta montato sulla porta per impegnare e trattenere le fette.
9. 9. Modulo di trasporto secondo la rivendicazione 8, in cui l'elemento a camma comprende inoltre un guidacamma di impegno della fetta, ed in cui l'elemento di contenimento della fetta è montato mobile sulla porta e mobile in allontanamento ed avvicinamento dall'interno aperto, ed un collegamento di trasferimento del moto che si estende tra l'elemento di contenimento della fetta e il guidacamma di impegno della fetta, il collegamento di trasferimento del moto avendo una configurazione tale che la rotazione dell'elemento a camma estende verso l'esterno l'elemento di contenimento della fetta.
10. 10. Modulo di trasporto secondo la rivendicazione 7, comprendente inoltre un meccanismo di impegno della fetta comprendente un braccio di impegno della fetta mobile verso l'interno e verso l'esterno ed un braccio di azionamento collegato al braccio di impegno della fetta, il braccio di azionamento avendo un seguicamma impegnato con il guidacamma di impegno della fetta, per cui, quando l'elemento di camma viene ruotato, il braccio di azionamento allunga il braccio di impegno della fetta verso l'esterno per impegnare le parti di bordo delle fette così da trattenere dette fette.
11. 11. Modulo di trasporto secondo la rivendicazione 9, comprendente inoltre un meccanismo di ritegno attivo della fetta con la porta.
12. 12. Modulo di trasporto secondo la rivendicazione 9, comprendente inoltre un mezzo di contenimento attivo della fetta con la porta, detto mezzo di contenimento essendo impegnato con l'elemento a camma.
13. 13. Modulo di trasporto comprendente una porta ed una parte di contenitore, la parte di contenitore avendo un lato frontale, un lato sinistro chiuso, un lato destro chiuso, una parte superiore chiusa, una parte di fondo chiusa con una interfaccia per una attrezzatura, un lato posteriore chiuso, un interno aperto, una pluralità di colonne dì supporto delle fette nell'interno per trattenere le fette di silicio impilate in una posizione allineata assialmente, ed un telaio della porta su un lato frontale che si raccorda con 1'interno aperto, il telaio della porta avendo quattro sedi di bloccaggio, la porta avendo una periferia dimensionata per detto telaio della porta, un lato sinistro con un interno aperto ed un lato destro con un interno aperto, il lato sinistro avendo una coppia di scanalature di bloccaggio allineatili con le rispettive sedi di bloccaggio sul telaio della porta, il lato destro avendo un'altra coppia di scanalature di bloccaggio allineatili con le rispettive sedi di bloccaggio del telaio della porta, la porta comprendendo inoltre su ciascuno dei lati sinistro e destro un elemento a camma ruotabile e due serie di collegamenti di bloccaggio in ciascuno dei rispettivi interni aperti, ciascun elemento ruotabile avendo due serie di guidacamma con una serie di collegamenti di bloccaggio corrispondenti a ed impegnati con ciascuna serie di guidacamma, ciascuna serie di collegamenti di bloccaggio comprendendo un primo collegamento di bloccaggio impegnato con il primo guidacamma ed estendentesi ad una delle scanalature di bloccaggio, ed un collegamento di sollevamento cooperante disposto parallelo a detto primo collegamento di bloccaggio,-il collegamento di sollevamento avendo una parte a piano inclinato ed il collegamento di bloccaggio avendo una parte di impegno del piano inclinato, i guidacamma essendo configurati in modo tale che, quando la porta si trova nel telaio della porta e quando la parte ruotabile viene ruotata attraverso un primo arco, il collegamento di sollevamento si sposta verso l'esterno in una prima direzione attraverso la scanalatura di bloccaggio nella corrispondente sede di bloccaggio ed il collegamento di sollevamento si sposta sostanzialmente lungo questo, per cui quando la parte ruotabile viene spostata attraverso un secondo arco adiacente, il collegamento di bloccaggio rimane relativamente fermo rispetto a detta prima direzione ed il collegamento di sollevamento si sposta rispetto a detto collegamento di bloccaggio, per cui il piano inclinato si incunea sotto la parte di impegno del piano inclinato ed il braccio di bloccaggio viene spinto in una seconda direzione sostanzialmente normale rispetto alla prima direzione .
14. 14. Modulo di trasporto per fette di silicio, comprendente : a) una parte di contenitore per contenere le fette di silicio, la parte di contenitore avendo un telaio di porta-generalmente rettangolare che definisce una apertura per la porta, il telaio di porta avendo una sede di bloccaggio; b) una porta inseribile nel telaio di porta per coprire l'apertura della porta, la porta avendo un interno aperto e comprendendo: i) uno spazio chiuso avente un pannello rivolto verso l'interno ed un pannello rivolto verso l'esterno, una parte di battuta esterna dimensionata per impegnare il telaio generalmente rettangolare della porta, la parte di battuta esterna avendo una apertura adiacente la sede di bloccaggio quando la porta è inserita nel telaio della porta; ii) un elemento a camma nell'interno aperto almeno parzialmente ruotabile dall'esterno della porta, avente un primo guidacamma ed un secondo guidacamma; iii) un collegamento di bloccaggio con due estremità, una estremità avente un seguicamma impegnato con il primo guidacamma e l'altra estremità avente una parte di bloccaggio che si estende nell'apertura nella parte di battuta esterna, il collegamento di sollevamento avendo una prima parte di sollevamento intermedia tra le due estremità, il primo guidacamma configurato in modo da allungare la parte di bloccaggio verso l'esterno rispetto alla porta in una prima direzione nella sede di bloccaggio; e iv) un collegamento di sollevamento con una estremità a camma avente un seguicamma impegnato nel secondo guidacamma, il collegamento di sollevamento avendo una seconda parte di sollevamento cooperante impegnabile con detta prima parte di sollevamento, la prima parte di sollevamento e la seconda parte di sollevamento disposte in relazione di sovrapposizione, una di detta prima parte di sollevamento e detta seconda parte di sollevamento avendo un piano inclinato e l'altra di detta prima parte di sollevamento e detta seconda parte di sollevamento avendo una superficie di impegno del piano inclinato, il secondo guidacamma configurato in modo da spostare il collegamento di sollevamento rispetto al collegamento di bloccaggio per cui la parte di impegno del piano inclinato scorre sul piano inclinato spostando il collegamento di bloccaggio in una seconda direzione sostanzialmente normale alla prima direzione quando la parte di bloccaggio si trova nella sede di bloccaggio.
15. 15. Modulo di trasporto secondo la rivendicazione 14, in cui la porta comprende inoltre un elemento di contenimento della fetta di silicio montato sulla porta per impegnare e trattenere le fette.
16. 16. Modulo di trasporto secondo la rivendicazione 15, in cui l'elemento a camma comprende inoltre un guidacamma di impegno con la fetta, ed in cui l'elemento di contenimento della fetta è montato mobile sulla porta con possibilità di avvicinamento ed allontanamento dall'intèrno aperto, ed un collegamento di trasferimento del moto disposto tra l'elemento di contenimento della fetta ed il guidacamma di impegno della fetta, il collegamento di trasferimento del moto configurato in modo tale che la rotazione dell'elemento a camma estende verso l'esterno il dispositivo dii contenimento della fetta.
17. 17. Modulo di trasporto secondo la rivendicazione 14, comprendente inoltre un meccanismo di impegno della fetta che comprende un braccio di impegno della fetta mobile verso l'interno e verso l'esterno ed un braccio di azionamento collegato al braccio di impegno della fetta, il braccio di azionamento avendo un seguicamma impegnato con il guidacamma di impegno della fetta, per cui, quando l'elemento a camma viene ruotato, il braccio di azionamento estende il braccio di impegno della fetta verso l'esterno per impegnare le parti di bordo delle fette di silicio trattenendo in tal modo dette fette.
18. 18. Modulo di trasporto secondo la rivendicazione 14, comprendente inoltre un meccanismo di ritegno attivo della fetta con la porta;
19. 19. Modulo di trasporto secondo la rivendicazione 14, comprendente inoltre un mezzo attivo di contenimento della fetta con la porta, detto mezzo di contenimento essendo impegnato con l'elemento a camma.