KR100876626B1 - 박형 웨이퍼 인서트 - Google Patents

Abstract

플라스틱 인서트(20)는 웨이퍼 둘레를 지지하도록 형성된 웨이퍼 캐리어(45)에서 박형 웨이퍼(49)의 지지하도록 형성된다. 본 발명은, 인서트, 웨이퍼 캐리어와 조합된 인서트, 그리고 인서트와 웨이퍼 캐리어에 의해 마련되는 것과 같은 박형 웨이퍼의 지지 방법을 포함한다. 상기 인서트(20)는 바람직한 실시예에서, 상기 인서트를 제위치에 고정시키기 위해 측벽의 오목부(53)에 끼워져, 상기 오목부에서 억지 끼워 맞춤되는 탭(80, 82)을 사용한다.

Description

박형 웨이퍼 인서트{THIN WAFER INSERT}

본 발명은 웨이퍼 캐리어에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 박형 웨이퍼를 위한 장치 및 방법에 관한 것이다.

집적회로는 결정질 웨이퍼, 통상적으로는 실리콘 웨이퍼로 제조된다. 이들 웨이퍼는 고도로 제어된 환경 조건하에서 수많은 처리 단계를 거치게 된다. 그 웨이퍼는 매우 취약하며, 손상 및 오염되기 쉽다. 웨이퍼는 통상적으로 그 형상이 둥글며, 각종 형태의 웨이퍼 캐리어에 배치되어 운반, 저장, 처리된다. 웨이퍼 캐리어는 통상 플라스틱으로 형성되며, 일반적으로 설비에 웨이퍼 캐리어를 정밀하게 배치시키게 해주는 기계 인터페이스를 구비할 것이다. 반도체 제조 설비에 사용되는 통상의 웨이퍼 캐리어는 H-바아 웨이퍼 캐리어이다. 이러한 캐리어는 그 배향에 따라 개방 전방부 또는 정상부와, 한 쌍의 측벽과, 한 쌍의 단부벽을 구비한다. 단부벽들 중 하나에는 H-바아 기계 인터페이스가 있다. 웨이퍼는 개방 전방부를 통해 캐리어의 측벽의 내측의 오목부에 의해 형성된 복수 개의 슬롯에 삽입 또는 그로부터 취출된다. 상기 오목부는 거의 대향 측벽을 향해 연장하는 돌출부에 의해 형성된다. 이 돌출부는 치형과 같이 형성될 수 있다. 통상의 웨이퍼의 경우, 캐리어는 통상적으로 웨이퍼를 그 둘레 가장자리에서 지지 및 유지한다.

통상의 웨이퍼는 그 두께가 0.03in이다. 산업이 더 작은 전자 소자를 제조하기 위해 노력함에 따라, 집적회로는 더 조밀하고 더 작으면서 더 얇게 되었다. 집적 회로는 이제 두께가 0.007in인 박형 웨이퍼로부터 제조되고 있다.

웨이퍼의 캐리어에 삽입 또는 그로부터의 취출을 비롯하여, 개별 실리콘 웨이퍼를 취급 및 처리하여 집적회로 칩으로 제조하는 데에는 로봇 수단이 일반적으로 사용된다. 중간 처리 단계에서 웨이퍼는 통상적으로 H-바아 웨이퍼 캐리어에 지지되며, 개별 웨이퍼는 로봇 아암이 있는 운반 장비에 의해 취출 및 삽입된다. 웨이퍼 운반 장비의 설정은 웨이퍼가 적절히 파지되고 어떠한 운반 중에도 손상되지 않게 하기 위해 매우 중요하다. 차후의 웨이퍼가 통상의 웨이퍼와 반대로 활용되는 경우, 경제적인 이유로 가능한 범위 내에서, 동일한 처리 장비 및 운반 장비의 동일한 설정을 사용하는 것이 바람직할 수 있다.

일반적으로 반도체 제조 설비는 현재 200 또는 300㎜ 웨이퍼용으로 설비되고 있다. 박형 웨이퍼가 실질적으로 더 취약하며 통상의 웨이퍼보다 강성을 덜 갖기 때문에, 그러한 웨이퍼가 그 둘레부에 의해 통상의 웨이퍼 캐리어에서 지지되는 경우, 웨이퍼는 중력으로 인해 그 웨이퍼의 중간에서 휘게 된다. 이는 상기 휨 현상을 수용하고 웨이퍼의 손상을 방지하기 위해 웨이퍼 운반 장비의 수정을 필요로 한다. H-바아 웨이퍼 캐리어와 같은 통상의 웨이퍼 캐리어를 사용할 수 있고, 박형 웨이퍼를 처리한 경우 운반 장비를 재구성하지 않아도 되는 것이 바람직하다.

플라스틱제 인서트는 웨이퍼의 주변을 지지하도록 구성된 웨이퍼 캐리어에 박형 웨이퍼를 지지하도록 구성된다. 본 발명은 상기 인서트와, 웨이퍼 캐리어와 조합된 인서트와, 그리고 상기 인서트와 웨이퍼 캐리어에 의해 제공되는 바와 같이 박형 웨이퍼를 지지하는 방법을 포함한다. 상기 인서트는 바람직한 실시예에서 캐리어의 측부에 형성된 오목부 안으로 끼워져, 그 인서트를 제위치에 고정시키도록 상기 오목부에 마찰 끼워 맞춤을 형성하는 탭을 사용한다. 바람직한 실시예에서, 상기 인서트는, 웨이퍼 둘레에서부터 내측에 배치되어 최소의 접촉으로 웨이퍼를 지지하는 복수 개의 웨이퍼 지지체가 있는 정상면을 구비한다. 바람직한 실시예에서, 상기 인서트에는 그 인서트에 강성을 제공하는 보강 구조체를 갖는 하부면이 있다. 상기 정상면의 리브는 바람직하게는, 웨이퍼의 삽입 및 취출 방향에 대해 평행하게 배향되는 한편, 그에 지지된 웨이퍼를 상기 탭이 배치되는 오목부에 의해 형성된 슬롯의 바로 위의 슬롯 내에 위치 설정하도록 상향으로 연장할 수 있다. 따라서, 상기 인서트는 캐리어 내에서 슬롯을 번갈아 가면서 슬롯 내에 삽입될 수 있다. 이 인서트는 바람직한 실시예에서 각 웨이퍼의 지지와 그 웨이퍼의 정밀한 위치 설정과의 최적의 조합을 제공하는 동시에, 플라스틱의 양을 최소화하여 그 만큼 인서트의 중량을 최소화하는 h형상을 갖는다.

따라서, 본 발명은 내부에서 적어도 하나의 박형 웨이퍼를 지지하는 웨이퍼 캐리어 및 인서트를 특징으로 할 수 있다. 웨이퍼 캐리어에는 적어도 정상, 바닥, 한 쌍의 대향 측부, 개방 전방부를 구비한 캐리어부가 있다. 한 쌍의 대향 측부는 복수 개의 슬롯을 형성하는 복수 개의 대향 리브를 구비한다. 상기 인서트는 상기 슬롯 중 하나의 슬롯에 끼워지도록 되어 있으며, 플레이트를 포함한다. 이 플레이트에는 복수 개의 돌출 탭 구조가 있는 한 쌍의 측면 가장자리부가 있고, 상기 복수 개의 돌출 탭 구조는 슬롯을 형성하는 오목부 내의 표면과 마찰식으로 맞물리게 되어 있다. 상기 플레이트에는 상향으로 돌출하는 복수 개의 웨이퍼 지지체가 있고, 이 지지체는 상기 인서트가 위치하는 슬롯 바로 위의 슬롯 내에 웨이퍼 둘레의 일부가 배치된 상태로 상기 인서트 위에 박형 웨이퍼를 지지하도록 되어 있다. 웨이퍼 지지체는 웨이퍼 취급용 로봇 부재가 상기 인서트와 웨이퍼 사이에 삽입될 수 있도록 구성될 수 있다. 상기 인서트는 강화용 리브가 형성된 바닥면을 구비한다. 각 탭 구조는 그 탭에 의해 맞물리는 표면에 대해 압박하는 스프링일 수 있으며, 그 압박 방향은 인접한 탭들 간에 엇갈릴 수 있다. 게다가, 웨이퍼 지지체는 웨이퍼가 유지되는 슬롯으로 그 슬롯의 높이의 적어도 절반의 거리에 걸쳐 돌출하여, 캐리어의 개방 전방부가 위로 향하게 웨이퍼 캐리어가 배향되어 있을 경우 상기 슬롯 내에서의 웨이퍼의 전후 방향 운동을 최소화시킬 수 있다.

본 발명은 또한, 내부에서 적어도 하나의 박형 웨이퍼를 지지하는 웨이퍼 캐리어 및 인서트로서, 상기 인서트는 플레이트이며, 이 플레이트에는 그 플레이트가 캐리어의 대향 측부들의 사이에서 지지되도록 캐리어의 대향 측부와 맞물리는 수단을 갖는 것을 특징으로 한다. 상기 플레이트는 그 플레이트의 정상면 위에 박형 웨이퍼를 지지하는 수단을 구비하며, 상기 웨이퍼 지지체 상에 놓여진 박형 웨이퍼와 상기 인서트 사이에 웨이퍼 취급용 로봇 부재가 개재될 수 있도록 되어 있다.

본 발명은 또한, 웨이퍼 캐리어에서 박형 웨이퍼를 지지하는 인서트를 특징으로 한다. 웨이퍼 캐리어에는 삽입 및 취출 방향을 갖는 개방 전방부, 한 쌍의 측벽, 정상 및 바닥이 있다. 상기 측벽에는 복수 개의 슬롯을 형성하는 복수 개의 오목부 쌍이 있고, 바닥에는 대응하는 리시버에 대해 캐리어의 정확한 위치 결정을 위한 억지 끼워 맞춤부가 있다. 상기 인서트는 한 쌍의 오목부와의 맞물림부를 구비하며, 이 맞물림부는 웨이퍼 캐리어의 오목부 쌍과 맞물리도록 형성된다. 또, 상기 인서트는 웨이퍼와의 접촉을 제공하는 복수 개의 상향 연장 돌출부가 있는 정상면을 구비한다.

본 발명은 또한, 웨이퍼 캐리어에서 적어도 하나의 박형 웨이퍼를 지지하는 방법을 특징으로 한다. 이 방법에는, 적어도 정상, 바닥, 한 쌍의 대향 측부, 그리고 개방 전방부가 있고, 상기 한 쌍의 대향 측부에는 복수 개의 슬롯을 형성하는 복수 개의 대향 오목부가 있는 웨이퍼 캐리어를 마련하는 단계와, 정상면이 있고, 상기 복수 개의 슬롯 중 하나의 슬롯에 끼워지도록 되어 있으며, 상기 복수 개의 슬롯 중 별도의 하나의 슬롯 내에 웨이퍼의 둘레의 일부가 배치된 상태로 상기 정상면 위에 박형 웨이퍼를 지지하는 웨이퍼 지지체가 있는 거의 평탄한 인서트를 형성하는 단계와, 상기 인서트를 상기 복수 개의 슬롯 중 하나에 배치하는 단계와, 상기 인서트의 웨이퍼 지지체 상에 박형 웨이퍼를 놓는 단계가 있다.

본 발명의 특정 실시예의 특징과 이점은, 일체형 구속 스프링으로서 탭을 사용함으로써 상기 인서트가 상기 웨이퍼 캐리어 내에 확고하게 부착될 수 있다는 점이다. 상기 탭들은, 하나의 탭이 해당 상측 돌출부에 대해 지탱되며 그 다음의 탭이 해당 하향 돌출부에 대해 지탱되도록 엇갈려 배치될 수 있다. 탭의 열은 바람직하게는 실질적으로 각 오목부의 길이에 걸쳐 연장한다. 엇갈리는 탭, 그 탭의 연장부, 해당 오목부의 각각의 길이는 캐리어에 대한 인서트의 정확한 위치 결정 수단을 제공하며, 이에 의해 지지되는 웨이퍼를 정확하게 배치시킨다.

본 발명의 특징 및 이점은, 두께가 대략 0.007in인 박형 웨이퍼를 통상의 웨이퍼 캐리어에서 지지할 수 있다는 점이다.

본 발명의 추가적인 목적, 이점 및 신규의 특징은 부분적으로는 후술되는 상세한 설명에 기재될 것이며, 부분적으로는 당업자라면 후술되는 상세한 설명을 검토한다면 명백해 지거나 본 발명을 실시함으로써 습득할 수 있다. 본 발명의 목적 및 이점은 특히 첨부된 청구의 범위에 지적된 수단 및 조합에 의해 실현 및 획득될 수 있다.

도 1은 본 발명에 따른 웨이퍼 캐리어 및 인서트의 사시도이다.

도 2는 본 발명에 따른 인서트의 현재 가장 바람직한 실시예의 상부 사시도이다.

도 3은 본 발명에 따른 인서트의 저부 사시도이다.

도 4는 본 발명에 따른 인서트의 다른 실시예의 상부 사시도이다.

도 5는 도 2 및 도 3의 인서트의 평면도이다.

도 6은 웨이퍼 캐리어에 삽입되어 있는 것을 보여주는, 도 2, 도 3 및 도 5의 인서트의 전방 단면도이다.

도 7은 도 5의 선 6-6을 따라 취한 도 2, 도 3, 도 5 및 도 6의 인서트의 일부분의 단면도이다.

도 8은 도 5의 선 6-6을 따라 취한 도 2, 도 3, 도 5 및 도 6의 인서트의 대안적인 실시예의 일부분의 단면도이다.

도 9는 웨이퍼 취급용 로봇 아암 조립체가 있는 자동 처리 장비 상에서 제위치에 배치된 본 발명의 웨이퍼 캐리어 및 인서트의 사시도이다.

첨부된 도면은 본 발명의 웨이퍼 컨테이너의 실시예 및 그 특징과 구성 요소를 보여준다. 전방 및 후방, 좌측과 우측, 정상과 바닥, 상측과 하측, 수평과 수직에 대한 기준은 설명의 편의를 위한 것이지, 본 발명 또는 그 구성 요소를 임의의 하나의 위치 또는 공간적 배향에 한정하고자 하는 것은 아니다.

이하, 도 1을 참조하면, 본 발명에 따른 H-바아 웨이퍼 캐리어(45)와 인서트(20)가 박형 웨이퍼(49)를 지지하는 것이 도시되어 있다. 웨이퍼 캐리어에는 오목부(53)의 쌍(52)을 형성하는 복수 개의 리브(50)가 있고, 상기 오목부의 쌍 중 하나는 좌측편(56)에 있고, 대응하는 다른 오목부는 우측편(58)에 있다. H-바아 웨이퍼 캐리어는 또한 한 쌍의 단부(62, 64)를 구비하여, 캐리어가 도 1에 도시한 바와 같이 배향될 때 정상(66)과 바닥(68)을 형성한다. 정상(66), 바닥(68), 좌측(56) 및 우측(58)은 이중 화살표(75)로 나타낸 방향으로 웨이퍼를 삽입 및 제거하기 위한 개방 전방부(72)를 구획한다. 각 오목부의 쌍은 웨이퍼 슬롯(76)을 형성하며, 개방 전방부로부터 웨이퍼를 수납하도록 형성되어 있다. 바닥(68)은 억지 끼워 맞춤부를 가질 수 있다.

도 2 및 도 3에서, 본 발명에 따른 인서트의 현재 가장 바람직한 실시예를 도시하고 있다. 인서트(20)는 전체적으로 평면을 이루며, 정상면(24)과, 바닥면(26)과, 오목부와의 맞물림부(30, 32)로서 형성된 한 쌍의 둘레 가장자리부를 구비하고 있다. 인서트는 거의 H 형상을 하며, 강화용 리브(40)로서 형성된 보강 구조(38)를 바닥측에 구비하고 있으며, 상기 강화용 리브는 전체적으로 인서트의 윤곽을 따르며 반경 반향 및 동심의 호형(arc)으로 연장한다. 이러한 보강 구조는 인서트에 강성을 제공한다. 정상면(24)에는 리브(44)로부터 각각 돌출한 웨이퍼 지지체(120, 122, 124, 126)가 있다. 리브(44)는 인서트(20)에 강성을 제공하면서도 웨이퍼 취급용 로봇 툴(도시 생략)을 위한 가이드로서 기능을 할 수 있다. 웨이퍼 지지체(120, 122, 124, 126)는 웨이퍼가 그 웨이퍼의 둘레의 내측에 복수 개의 지점에서 지지되도록 배치되어 있다. 웨이퍼 지지체(120, 122, 124, 126)의 웨이퍼 접촉 면적은 도시되어 있는 바와 같이 최소화하여, 웨이퍼가 캐리어에 삽입 및 그로부터 취출될 때 그 웨이퍼 표면에 대한 마찰 및 끌림을 최소화하는 것이 가장 바람직하다. 그러나, 도 4에 도시한 바와 같은 큰 접촉 면적을 갖는 다른 실시예도 사용될 수 있다. 도시한 바와 같은 인서트는 바람직하게는 폴리카보네이트와 같은 강성 및 탄성 플라스틱을 사출 성형하지만, 임의의 적절한 재료 및 호환성 있는 재료로 형성될 수 있다.

도 2 및 도 3에 도시되어 있는 실시예에서, 오목부와의 맞물림부(30, 32)는 측면 가장자리부 또는 플레이트(21)에 위치하며, 고위 탭(80)(high tab)과 저위 탭(82)(low tab)이 번갈아 배치된 탭 구조를 갖는다. 도 6 및 도 7에 가장 잘 도시되어 있는 바와 같이, 웨이퍼 캐리어에 설치될 때, 고위 탭(80)은 오목부(53)의 상부면(86)과 마찰 접촉하게 되고, 저위 탭(82)은 오목부(53)의 저부면(88)과 마찰 접촉하게 된다. 고위 탭(80)과 저위 탭(82)은 실질적으로 각 오목부(53)의 길이로 연장하도록 배치되어 있다. 단부 탭(90)은 정상과 바닥 모두에 마찰면을 구비한다. 또한, 고위 탭(80)과 저위 탭(82)은 인서트(20)가 웨이퍼 캐리어의 오목부(53)에 설치될 때, 고위 탭(80)과 저위 탭(82)이 이들이 접촉하는 오목부(53)의 표면을 향해 압박력을 가하도록 약간 압축되도록 구성된다. 이러한 스프링 압박은 고위 탭(80) 및 저위 탭(82)과, 오목부(53)의 표면 사이의 마찰의 크기를 증대시키는 기능을 하며, 웨이퍼 캐리어 내에 인서트(20)를 보다 확실하게 고정하는 것을 도와주는 동시에, 여전히 세척을 목적으로 인서트를 제거하는 것을 가능하게 한다. 인접 탭들 간에 압박력의 방향을 엇갈리게 함으로써, 오목부(53)에서 인서트(20)의 중심을 더 정확하게 맞추는 기능을 한다.

이제 도 1, 도 2, 도 6 및 도 7을 참조하면, 인서트(20)의 형상 및 특히 웨이퍼 지지체(120, 122, 124, 126)의 위치와 형상이 어떤 독특한 특징 및 이점을 제공한다는 것을 당업자들은 이해할 것이다. 웨이퍼 지지체(120, 122, 124, 126)의 높이는 도 9에 도시되어 있는 바와 같은 웨이퍼 취급용 로봇 툴(200)이 인서트(20)의 정상면(24)과 웨이퍼(49) 사이에 삽입될 수 있도록 선택할 수 있다. 웨이퍼 지지체의 높이는, 인서트(20)가 위치하는 슬롯 위에 바로 인접하여 위치한 슬롯(76) 내에, 상기 지지체 위에 놓이는 웨이퍼(49) 둘레의 일부가 배치되도록 선택하는 것이 바람직하다. 또한, 웨이퍼 지지체(120, 122, 124, 126)는 상기 바로 인접한 슬롯으로 그 슬롯의 높이의 적어도 1/2에 걸쳐 돌출하도록 선택하는 것이 바람직하며, 여기서 각 슬롯의 높이는 리브(50)의 인접한 단부(112, 114)들 간의 수직 거리로 정의된다. 그러한 돌출은, 개방 전방부(72)가 위로 향하게 웨이퍼 캐리어(45)가 배향되는 경우, 인서트에 바로 인접한 슬롯에 배치되는 박형 웨이퍼(49)가 그 슬롯 내에서 전후 방향 운동에 대한 최소의 여유를 허용한다는 점에서 바람직하다. 당업자라면, 물론 웨이퍼 지지체(120, 122, 124, 126)의 높이가 전술한 바와 같이 선택될 때, 25개의 보통 크기의 웨이퍼를 수용하도록 구성된 웨이퍼 캐리어는, 한 슬롯을 건너서 하나씩 최대 수의 인서트를 배치한 상태에서 12개의 박형 웨이퍼를 수용할 능력을 갖는다는 것을 인식할 것이다. 게다가, 당업자라면, 리브(44)를 인서트를 따라 전후로 배향한 상태에서 도시한 위치에 웨이퍼 지지체(120, 122, 124, 126)를 배치하는 것이 인서트를 다양한 형태의 웨이퍼 취급용 로봇 툴과 함께 사용할 수 있게 해준다는 것을 인식할 것이다. 예를 들면, 도 9에 도시되어 있는 바와 같은 포크형 툴(200)은 그 포크의 하나의 가지부(204)가 웨이퍼 지지체(120)와 웨이퍼 지지체(122) 사이에 끼워지고, 포크의 다른 가지부(202)는 웨이퍼 지지체(124)와 웨이퍼 지지체(126) 사이에 끼워지도록 삽입될 수 있다. 대안적으로, 단일 접촉 부재를 갖는 웨이퍼 취급용 로봇 툴은 웨이퍼 지지체(122)와 웨이퍼 지지체(126) 사이에 끼워질 수도 있다.

본 발명에 따른 인서트의 다른 실시예가 도 8에 도시되어 있다. 분기부(96)의 상면과 분기부(94)의 하면 사이에서 리브(50)와 맞물리는 반경 방향으로 돌출한 두 갈래 부재(bifurcate member)(92)로 탭을 교체한, 약간 상이한 인서트 부착 수단이 사용된다. 또, 상향으로 연장하는 웨이퍼 지지체(124)가 마련되며, 이는 점접촉 위한 혹(nub) 또는 선접촉을 위한 리브일 수 있다. 이들 인서트는 웨이퍼가 캐리어의 매 슬롯마다 지지될 수 있도록 연속하는 리브의 쌍에 부착되거나, 웨이퍼 취급용 로봇 툴을 사용하여 웨이퍼에 접근하기 위해 더 큰 여유를 허용하도록 슬롯을 번갈아 가면서 슬롯 내에 부착될 수 있다.

당업자라면, 인서트를 수용하는 것으로서 H-바아 웨이퍼 캐리어에 대해 전술하였지만, 본 명세서에 참조로 합체된 미국 특허 제5,915,562호 및 제5,944,194호에 예시된 바와 같은 운반 모듈과 같은 다른 캐리어 또한 사용될 수 있으며, 본 발명의 보호 범위 내에 포함된다는 것을 인식할 것이다.

전술한 상세한 설명이 많은 특이성을 포함하고 있지만, 이들이 본 발명의 보호 범위를 제한하는 것으로 해석하는 것이 아니라, 본 발명의 현재 바람직한 실시예의 몇 가지를 예시하는 것으로서 해석되어야 한다. 따라서, 본 발명의 보호 범위는 주어진 예에 의해서라기보다는 첨부된 청구의 범위 및 그것의 법적 등가물에 의해 한정되어야 한다.

Claims (23)

1. 적어도 하나의 박형 웨이퍼(49)를 지지하는 웨이퍼 캐리어(45)로서,

   정상(66), 바닥(68), 복수 개의 오목부 쌍(52)을 형성하는 복수 개의 대향 리브(50)가 있는 한 쌍의 대향 측부(56, 58), 개방 전방부(72), 및 상기 복수 개의 오목부 쌍 중 하나의 오목부 쌍에 삽입 및 분리 가능하게 끼워지도록 되어 있으며, 플레이트(21)를 구비하는 인서트(20)

   를 포함하고, 상기 플레이트는 한 쌍의 대향하는 오목부와의 맞물림부(30, 32)를 구비하며, 각 오목부와의 맞물림부는 상기 복수 개의 오목부 쌍 중 하나의 오목부 쌍과 마찰식으로 맞물리도록 되어 있는 복수 개의 탭(80, 82, 90)을 구비하고, 상기 플레이트는 복수 개의 상향 돌출 웨이퍼 지지체(120, 122, 124, 126)를 더 구비하며, 이 웨이퍼 지지체는, 상기 복수 개의 오목부 쌍 중 하나의 개별 오목부 쌍 내에 웨이퍼의 둘레의 일부가 배치된 상태로 상기 인서트 위에 박형 웨이퍼(49)를 지지하도록 되어 있고, 상기 웨이퍼 지지체는 웨이퍼 취급용 로봇 부재(202, 204)가 상기 인서트와 상기 웨이퍼 사이에 삽입될 수 있도록 배치되는 것인 웨이퍼 캐리어.
2. 제1항에 있어서, 상기 인서트에는 바닥면(26)이 있고, 이 바닥면에는 복수 개의 강화용 리브(40)가 형성되어 있는 것인 웨이퍼 캐리어.
3. 제1항에 있어서, 상기 복수 개의 탭은 각각 상기 복수 개의 대향 리브 중 하나의 리브의 표면(86, 88)에 대해 압박되며, 각 탭의 압박 방향은 바로 인접한 탭의 압박 방향과 반대인 것인 웨이퍼 캐리어.
4. 제1항에 있어서, 상기 박형 웨이퍼는 상기 복수 개의 오목부 쌍 중에서 상기 인서트가 맞물리는 오목부 쌍에 바로 인접한 하나의 오목부 쌍 내에 지지되며, 상기 복수 개의 상향 돌출 웨이퍼 지지체는 각각 상기 바로 인접한 오목부 쌍으로 이 바로 인접한 오목부 쌍의 높이의 적어도 절반의 거리에 걸쳐 돌출하는 것인 웨이퍼 캐리어.
5. 적어도 하나의 박형 웨이퍼(49)를 내부에서 지지하는 웨이퍼 캐리어(45)로서,

   정상(66), 바닥(68), 복수 개의 대향 오목부(53)를 구획하면서 복수 개의 오목부 쌍(52)을 형성하는 복수 개의 대향 리브(50)가 있는 한 쌍의 대향 측부(56, 58), 개방 전방부(72), 및 정상면(24)을 갖는 평탄한 인서트(20)

   를 포함하고, 상기 인서트는 한 쌍의 대향하는 오목부와의 맞물림부(30, 32)가 있는 플레이트(21)를 포함하며, 각 오목부와의 맞물림부에는 상기 플레이트가 상기 한 쌍의 대향 측부들 사이에 삽입될 때 이들 한 쌍의 대향 측부들의 사이에 지지되도록, 그리고 인서트를 제거할 수 있도록 상기 한 쌍의 대향 측부 중 하나와 마찰식으로 맞물리는 복수 개의 탭(80, 82)이 있고, 상기 플레이트에는 상기 정상면 위에 박형 웨이퍼(49)를 지지하는 수단(120, 122, 124, 126)이 더 있으며, 상기 박형 웨이퍼를 지지하는 수단은 웨이퍼 취급용 로봇 가지부(202, 204)가 상기 인서트와 상기 박형 웨이퍼 사이에 개재될 수 있도록 되어 있는 것인 웨이퍼 캐리어.
6. 제5항에 있어서, 상기 인서트는 상기 복수 개의 오목부 쌍 중 하나의 오목부 쌍에 끼워질 수 있으며, 상기 복수 개의 탭(80, 82)은 각각 상기 대향 오목부에 맞물릴 수 있는 것인 웨이퍼 캐리어.
7. 제6항에 있어서, 상기 복수 개의 탭의 각 탭은 대향 오목부 쌍 내에서 표면(86, 88)에 대해 압박되며, 각 탭의 압박 방향은 바로 인접한 탭의 압박 방향과 반대인 것인 웨이퍼 캐리어.
8. 제5항에 있어서, 상기 복수 개의 오목부와의 맞물림부는 각각 복수 개의 반경 방향으로 돌출한 두 갈래 부재(bifurcate member)(92)를 포함하며, 이 두 갈래 부재는 각각 두 갈래 부재 각각의 분기부(94, 96) 사이에서 상기 복수 개의 대향 리브 중 하나의 리브와 맞물리도록 되어 있는 것인 웨이퍼 캐리어.
9. 제5항에 있어서, 상기 인서트의 정상면 위에 박형 웨이퍼를 지지하는 수단은 상기 정상면에서부터 연장되는 복수 개의 상향 돌출 웨이퍼 지지체(120, 122, 124, 126)를 포함하는 것인 웨이퍼 캐리어.
10. 제5항에 있어서, 상기 인서트에는 바닥면(26)이 있고, 이 바닥면에는 복수 개의 강화용 리브(40)가 형성되어 있는 것인 웨이퍼 캐리어.
11. 제6항에 있어서, 상기 인서트에 의해 지지되는 박형 웨이퍼는, 상기 복수 개의 오목부 쌍 중에서 상기 인서트가 배치되는 오목부 쌍에 바로 인접한 하나의 오목부 쌍 내에 지지되며, 상기 인서트의 정상면 위에 박형 웨이퍼(49)를 지지하는 수단은 상기 정상면에서부터 연장되는 복수 개의 상향 돌출 웨이퍼 지지체(120, 122, 124, 126)를 포함하고, 각 오목부 쌍은 소정 높이를 가지며, 상기 복수 개의 상향 돌출 웨이퍼 지지체는 각각 상기 바로 인접한 오목부 쌍으로 이 바로 인접한 오목부 쌍의 높이의 적어도 절반의 거리에 걸쳐 돌출하는 것인 웨이퍼 캐리어.
12. 웨이퍼 캐리어(45) 내에 적어도 하나의 박형 웨이퍼(49)를 지지하는 방법으로서,

    적어도 정상(66), 바닥(68), 한 쌍의 대향 측부(56, 58), 및 개방 전방부(72)가 있고, 상기 한 쌍의 대향 측부에는 복수 개의 오목부 쌍(52)을 형성하는 복수 개의 대향 오목부(53)가 있는 것인 웨이퍼 캐리어를 제공하는 단계와,

    정상면(24)과 한 쌍의 대향 오목부와의 맞물림부(30, 32)가 있는 평탄한 인서트(20)를 제공하는 단계로서, 이 인서트는 상기 복수 개의 오목부 쌍 중 하나의 오목부 쌍에 끼워지도록 되어 있으며, 각 오목부와의 맞물림부에는 상기 대향 오목부 중 하나의 오목부와 마찰식으로 맞물리는 복수 개의 탭(80, 82, 90)이 있고, 상기 인서트에는 상기 복수 개의 오목부 쌍 중 하나의 개별 오목부 쌍 내에 웨이퍼의 둘레의 일부가 배치된 상태로 상기 정상면 위에 박형 웨이퍼(49)를 최소 접촉으로 지지하는 웨이퍼 지지체(120, 122, 124, 126)가 있는 것인 인서트를 제공하는 단계와,

    상기 인서트를 상기 복수 개의 오목부 쌍 중 하나의 오목부 쌍에 배치하는 단계, 그리고

    상기 인서트의 웨이퍼 지지체 상에 상기 박형 웨이퍼를 놓는 단계

    를 포함하는 박형 웨이퍼의 지지 방법.
13. 웨이퍼 캐리어(45) 내에서 박형 웨이퍼(49)를 지지하는 인서트(20)로서, 상기 웨이퍼 캐리어에는 삽입 및 취출 방향(75)을 갖는 개방 전방부(72), 한 쌍의 측벽(56, 58), 정상(66), 및 바닥(68)이 있고, 상기 측벽에는 복수 개의 오목부 쌍(52)을 형성하는 복수 개의 오목부(53)가 있고, 상기 인서트는,

    인서트가 웨이퍼 캐리어에 삽입될 때, 상기 웨이퍼 캐리어의 오목부 쌍과 마찰식으로 맞물리도록 구성된 복수 개의 탭(80, 82, 90) 또는 두 갈래 부재(92)를 각기 구비한 한 쌍의 오목부와의 맞물림부(30, 32)를 포함하며, 상기 인서트에는 웨이퍼와 접촉하는 복수 개의 상향 연장 웨이퍼 지지체(120, 122, 124, 126)를 갖는 상면(24)이 있는 것인 인서트.
14. 제13항에 있어서, 상기 인서트에는 바닥면(26)이 있고, 이 바닥면에는 복수 개의 강화용 리브(40)가 형성되어 있는 것인 인서트.
15. 제13항에 있어서, 복수 개의 상기 오목부와의 맞물림부는 복수 개의 탭(80, 82)을 포함하는 것인 인서트.
16. 제15항에 있어서, 상기 복수 개의 탭은 각각 상기 오목부 쌍 내에서 표면(86, 88)에 대해 압박되며, 각 탭의 압박 방향은 바로 인접한 탭의 압박 방향과 반대인 것인 인서트.
17. 제13항에 있어서, 복수 개의 상기 오목부와의 맞물림부는 복수 개의 반경 방향으로 돌출한 두 갈래 부재(92)를 포함하며, 각 두 갈래 부재에는 상측 분기부(94)와, 하측 분기부(96)가 있고, 각 두 갈래 부재의 상측 분기부는 상기 오목부 쌍들 중 하나의 오목부 쌍과 맞물리는 것인 인서트.
18. 적어도 하나의 박형 웨이퍼(49)를 내부에서 지지하는 웨이퍼 캐리어(45)로서,

    적어도 정상(66), 바닥(68), 복수 개의 오목부 쌍(52)을 형성하는 복수 개의 대향 오목부(53)가 있는 한 쌍의 대향 측부(56, 58), 개방 전방부(72), 및 정상면(24)이 있는 평탄한 인서트(20)

    를 포함하며, 상기 인서트는 상기 한 쌍의 대향 측부의 중간에 끼워질 수 있도록 되어 있고, 이 인서트가 상기 대향 측부에 의해 지지되도록 상기 복수 개의 오목부 쌍 중 하나의 오목부 쌍과 마찰식으로 맞물리는 복수 개의 오목부와의 맞물림부(30, 32)를 구비하며, 상기 인서트에는 상기 박형 웨이퍼를 지지하는 복수 개의 상향으로 향한 웨이퍼 지지체(120, 122, 124, 126)가 있으며, 이 웨이퍼 지지체는 웨이퍼 취급용 로봇 가지부(202, 204)가 상기 인서트와 박형 웨이퍼 사이에 개재될 수 있도록 배치되는 것인 웨이퍼 캐리어.
19. 제18항에 있어서, 상기 인서트에는 바닥면(26)이 있고, 이 바닥면에는 복수 개의 강화용 리브(40)가 형성되어 있는 것인 웨이퍼 캐리어.
20. 삭제
21. 제18항에 있어서, 상기 복수 개의 오목부와의 맞물림부는 각각 복수 개의 탭(80, 82, 90)을 포함하는 것인 웨이퍼 캐리어.
22. 제21항에 있어서, 상기 복수 개의 탭은 각각 상기 복수 개의 대향 오목부 중 하나의 오목부 내에서 표면(86, 88)에 대해 압박되며, 각 탭의 압박 방향은 바로 인접한 탭의 압박 방향과 반대인 것인 웨이퍼 캐리어.
23. 제18항에 있어서, 상기 인서트는 분리 가능한 것인 웨이퍼 캐리어.

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