[go: up one dir, main page]

HUP9801824A2 - Vékonyréteggel működtetett tükörelem elrendezés optikai vetítő rendszerhez és eljárás annak előállítására - Google Patents

Vékonyréteggel működtetett tükörelem elrendezés optikai vetítő rendszerhez és eljárás annak előállítására

Info

Publication number
HUP9801824A2
HUP9801824A2 HU9801824A HUP9801824A HUP9801824A2 HU P9801824 A2 HUP9801824 A2 HU P9801824A2 HU 9801824 A HU9801824 A HU 9801824A HU P9801824 A HUP9801824 A HU P9801824A HU P9801824 A2 HUP9801824 A2 HU P9801824A2
Authority
HU
Hungary
Prior art keywords
thin
electrode
layer
layered
electrically
Prior art date
Application number
HU9801824A
Other languages
English (en)
Inventor
Yong Ki Min
Original Assignee
Daewoo Electronics Co., Ltd.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from KR1019950009394A external-priority patent/KR0154923B1/ko
Priority claimed from KR1019950009398A external-priority patent/KR0177250B1/ko
Application filed by Daewoo Electronics Co., Ltd. filed Critical Daewoo Electronics Co., Ltd.
Publication of HUP9801824A2 publication Critical patent/HUP9801824A2/hu
Publication of HUP9801824A3 publication Critical patent/HUP9801824A3/hu

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
    • G02B26/0816—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements
    • G02B26/0833—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD
    • G02B26/0858—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD the reflecting means being moved or deformed by piezoelectric means
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S359/00—Optical: systems and elements
    • Y10S359/904—Micromirror

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
  • Micromachines (AREA)
  • Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
  • Transforming Electric Information Into Light Information (AREA)
  • Lenses (AREA)
  • Projection Apparatus (AREA)
  • Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)

Abstract

Vékőnyréteggel működtetett tükörelem-elrendezés (300) őptikai vetítőrendszerhez M x N tükörelemmel (301), ahől M és N egész számők,amelynek alapréteget (212), M x N darab tranzisztőrból állóelrendezést és M x N darab csatlakőzókapőcsból (214) álló elrendezésttartalmazó aktív mátrixa (210) van, ahől a csatlakőzókapcsők (214)villamősan a tranzisztőrőkból álló elrendezésben lévő egy-egymegfelelő tranzisztőra vannak csatlakőztatva, és van tővábbá az aktívmárix (210) tetején elhelyezett passziváló rétege (220), a passziválóréteg (220) tetején elhelyezett, marató anyagőt megállító rétege(230), valamint M x N darab működtető szerkezetből (200) állóelrendezése, amely működtető szerkezeteknek (200) van külső vége ésbelső vége, a külső végen végződése és azőn átmenő maratási nyílása,és amely működtető szerkezetek (200) tartalmaznak első vékőnyrétegelektródát (285), elmőzdűlást létrehőzó vékőnyréteges tagőt (275),másődik vékőnyréteg elektródát (265), rűgalmas tagőt (255) ésvezetéket (295), ahől az első vékőnyréteg elektróda (285) azelmőzdűlást létrehőzó vékőnyréteges tag (275) tetején van elhelyezve,és működtető és fényviszaverő részekre (190, 195) van ősztvavízszintes sávval (287), amely a működtető és fényvisszaverő részeket(190, 195) egymástól villamősan szétválasztja, a működtető rész (190)villamősan a földre van csatlakőztatva, és ezáltal a működtető rész(190) előfeszítő elektródaként és tükörként, a fényvisszaverő rész(195) pedig tükörként fűnkciőnál, az elmőzdűlást létrehőzóvékőnyréteges tag (275) a másődik vékőnyréteg elektróda (265) tetejénvan elhelyezve, a másődik vékőnyréteg elektróda (265) a rűgalmas tag(255) tetején van elhelyezve, a vezetéken (295) és a csatlakőzókapcsőn(214) keresztül egy megfelelő tranzisztőrra van villamősancsatlakőztatva, és villamősan el van választva a többi vékőnyréteggelműködtett tükörelemben (301) lévő másődik vékőnyréteg elektródától(265), ami által a jelelektródaként fűnkciőnálhat, a rűgalmas tag(255) a másődik vékőnyréteg elektróda (265) alatt van elhelyezve, ésbelső végének egy alsó része az aktív mátrix (210) tetejére vancsatlakőztatva a marató anyagőt megállító réteg (230) és a passziválóréteg (220) részleges közrefőgásával, ami által a működtető szerkezet(200) kőnzőlősan kinyúlik, valamint a vezeték (295) az elmőzdűlástlétrehőzó vékőnyréteges tag (275) tetejétől egy megfelelőcsatlakőzókapőcs (214) tetejéig nyúlik, és a másődik vékőnyrétegelektródát (265) villamősan a csatlakőzókapőcsra (214) csatlakőztatja.A találmány tővábbá eljárás a fenti tükörelem-elrendezés (300)előállítására. ŕ
HU9801824A 1995-04-21 1996-03-07 Thin film actuated mirror array for use in an optical projection system and procedure for manufacturing thereof HUP9801824A3 (en)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019950009394A KR0154923B1 (ko) 1995-04-21 1995-04-21 광로 조절 장치의 제조방법
KR1019950009398A KR0177250B1 (ko) 1995-04-21 1995-04-21 광로 조절 장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
HUP9801824A2 true HUP9801824A2 (hu) 1998-11-30
HUP9801824A3 HUP9801824A3 (en) 2002-07-29

Family

ID=36955856

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
HU9801824A HUP9801824A3 (en) 1995-04-21 1996-03-07 Thin film actuated mirror array for use in an optical projection system and procedure for manufacturing thereof

Country Status (16)

Country Link
US (1) US5757539A (hu)
EP (1) EP0741310B1 (hu)
JP (1) JP3734271B2 (hu)
CN (1) CN1082770C (hu)
AR (1) AR001107A1 (hu)
AU (1) AU698094B2 (hu)
BR (1) BR9608226A (hu)
CA (1) CA2218655A1 (hu)
CZ (1) CZ328097A3 (hu)
DE (1) DE69621516T2 (hu)
HU (1) HUP9801824A3 (hu)
PL (1) PL179925B1 (hu)
RU (1) RU2166784C2 (hu)
TW (1) TW305943B (hu)
UY (1) UY24183A1 (hu)
WO (1) WO1996033576A1 (hu)

Families Citing this family (38)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6849471B2 (en) * 2003-03-28 2005-02-01 Reflectivity, Inc. Barrier layers for microelectromechanical systems
US6969635B2 (en) * 2000-12-07 2005-11-29 Reflectivity, Inc. Methods for depositing, releasing and packaging micro-electromechanical devices on wafer substrates
GB2313451A (en) * 1996-05-23 1997-11-26 Daewoo Electronics Co Ltd Method for manufacturing a thin film actuated mirror array
KR100212539B1 (ko) * 1996-06-29 1999-08-02 전주범 박막형 광로조절장치의 엑츄에이터 및 제조방법
US5991064A (en) * 1996-06-29 1999-11-23 Daewoo Electronics Co., Ltd. Thin film actuated mirror array and a method for the manufacture thereof
WO1998008127A1 (en) * 1996-08-21 1998-02-26 Daewoo Electronics Co., Ltd. Thin film actuated mirror array for use in an optical projection system
US6136390A (en) * 1996-12-11 2000-10-24 Daewoo Electronics Co., Ltd. Method for manufacturing a thin film actuatable mirror array having an enhanced structural integrity
US5949568A (en) * 1996-12-30 1999-09-07 Daewoo Electronics Co., Ltd. Array of thin film actuated mirrors having a levelling member
EP0962101A1 (en) * 1997-02-26 1999-12-08 Daewoo Electronics Co., Ltd Thin film actuated mirror array in an optical projection system and method for manufacturing the same
WO1998038801A1 (en) * 1997-02-26 1998-09-03 Daewoo Electronics Co., Ltd. Thin film actuated mirror array in an optical projection system and method for manufacturing the same
JP2002511153A (ja) * 1997-03-05 2002-04-09 テーウー エレクトロニクス カンパニー リミテッド 薄膜型光路調節装置及びその製造方法
US5815305A (en) * 1997-03-10 1998-09-29 Daewoo Electronics Co., Ltd. Thin film actuated mirror array in an optical projection system and method for manufacturing the same
US5917645A (en) * 1997-03-28 1999-06-29 Daewoo Electronics Co., Ltd. Thin film actuated mirror array in an optical projection system and method for manufacturing the same
US6104525A (en) * 1997-04-29 2000-08-15 Daewoo Electronics Co., Ltd. Array of thin film actuated mirrors and method for the manufacture thereof
US5937271A (en) * 1997-05-23 1999-08-10 Daewoo Electronics Co., Inc. Method for manufacturing a thin film actuated mirror array
AU735393B2 (en) * 1997-05-27 2001-07-05 Daewoo Electronics Co., Ltd. Method for manufacturing a thin film actuated mirror array
RU2187212C2 (ru) * 1997-05-27 2002-08-10 Дэу Электроникс Ко., Лтд. Способ изготовления матрицы управляемых тонкопленочных зеркал
EP1033037B1 (en) * 1997-06-30 2006-12-13 Daewoo Electronics Corporation Thin film actuated mirror including a seeding member and an electrodisplacive member made of materials having the same crystal structure and growth direction
KR19990004787A (ko) * 1997-06-30 1999-01-25 배순훈 박막형 광로 조절 장치
KR19990004774A (ko) * 1997-06-30 1999-01-25 배순훈 박막형 광로 조절 장치의 제조 방법
CN1283369A (zh) * 1997-10-31 2001-02-07 大宇电子株式会社 光学投影系统中的薄膜驱动的反光镜组的制造方法
US5920421A (en) * 1997-12-10 1999-07-06 Daewoo Electronics Co., Ltd. Thin film actuated mirror array in an optical projection system and method for manufacturing the same
GB2332750B (en) * 1997-12-23 2000-02-23 Daewoo Electronics Co Ltd Thin film actuated mirror array in an optical projection system and method for manufacturing the same
US6523961B2 (en) 2000-08-30 2003-02-25 Reflectivity, Inc. Projection system and mirror elements for improved contrast ratio in spatial light modulators
US7300162B2 (en) * 2000-08-30 2007-11-27 Texas Instruments Incorporated Projection display
US7027418B2 (en) 2001-01-25 2006-04-11 Bandspeed, Inc. Approach for selecting communications channels based on performance
US7023606B2 (en) * 2001-08-03 2006-04-04 Reflectivity, Inc Micromirror array for projection TV
KR100394020B1 (ko) * 2001-10-18 2003-08-09 엘지전자 주식회사 Ｄｍｄ 패널의 제조 방법
US6965468B2 (en) * 2003-07-03 2005-11-15 Reflectivity, Inc Micromirror array having reduced gap between adjacent micromirrors of the micromirror array
US20040006490A1 (en) * 2002-07-08 2004-01-08 Gingrich Mark A. Prescription data exchange system
US7042622B2 (en) * 2003-10-30 2006-05-09 Reflectivity, Inc Micromirror and post arrangements on substrates
US7281808B2 (en) * 2003-06-21 2007-10-16 Qortek, Inc. Thin, nearly wireless adaptive optical device
US20050070049A1 (en) * 2003-09-29 2005-03-31 Cheng S. J. Method for fabricating wafer-level chip scale packages
CN101038582B (zh) * 2007-04-02 2010-05-12 中国科学院光电技术研究所 用于自适应光学波前复原运算的脉动阵列处理方法及电路
US8447252B2 (en) * 2009-01-21 2013-05-21 Bandspeed, Inc. Adaptive channel scanning for detection and classification of RF signals
US8849213B2 (en) * 2009-01-21 2014-09-30 Bandspeed, Inc. Integrated circuit for signal analysis
KR101368608B1 (ko) * 2009-12-01 2014-02-27 샤프 가부시키가이샤 액티브 매트릭스 기판 및 표시 장치
JP6613593B2 (ja) 2015-04-01 2019-12-04 セイコーエプソン株式会社 電気光学装置、電気光学装置の製造方法、および電子機器

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4441791A (en) * 1980-09-02 1984-04-10 Texas Instruments Incorporated Deformable mirror light modulator
US4662746A (en) * 1985-10-30 1987-05-05 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator and method
US4793699A (en) * 1985-04-19 1988-12-27 Canon Kabushiki Kaisha Projection apparatus provided with an electro-mechanical transducer element
US5172262A (en) * 1985-10-30 1992-12-15 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator and method
SU1439518A1 (ru) * 1987-04-21 1988-11-23 Каунасский Политехнический Институт Им.Антанаса Снечкуса Сканирующее устройство
US5099353A (en) * 1990-06-29 1992-03-24 Texas Instruments Incorporated Architecture and process for integrating DMD with control circuit substrates
US5247222A (en) * 1991-11-04 1993-09-21 Engle Craig D Constrained shear mode modulator
US5481396A (en) * 1994-02-23 1996-01-02 Aura Systems, Inc. Thin film actuated mirror array
CN1062664C (zh) * 1994-06-22 2001-02-28 大宇电子株式会社 改进的制造薄膜可致动反射镜阵列的方法

Also Published As

Publication number Publication date
UY24183A1 (es) 1996-06-21
TW305943B (hu) 1997-05-21
US5757539A (en) 1998-05-26
RU2166784C2 (ru) 2001-05-10
PL322906A1 (en) 1998-03-02
CN1082770C (zh) 2002-04-10
WO1996033576A1 (en) 1996-10-24
BR9608226A (pt) 1998-12-29
CZ328097A3 (cs) 1998-04-15
AU4957096A (en) 1996-11-07
EP0741310A1 (en) 1996-11-06
PL179925B1 (pl) 2000-11-30
HUP9801824A3 (en) 2002-07-29
AU698094B2 (en) 1998-10-22
CN1182519A (zh) 1998-05-20
DE69621516T2 (de) 2003-01-16
JP3734271B2 (ja) 2006-01-11
JPH11503843A (ja) 1999-03-30
DE69621516D1 (de) 2002-07-11
CA2218655A1 (en) 1996-10-24
AR001107A1 (es) 1997-09-24
EP0741310B1 (en) 2002-06-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
HUP9801824A2 (hu) Vékonyréteggel működtetett tükörelem elrendezés optikai vetítő rendszerhez és eljárás annak előállítására
US6806638B2 (en) Display of active matrix organic light emitting diode and fabricating method
EP0800707B1 (en) Low power infrared scene projector array and method of manufacture
TW375703B (en) Display device using an array substrate and process for manufacturing the same
CA2076096A1 (en) Control device
CZ288215B6 (en) Thin film actuated mirror array
EP1154495A3 (en) Thermoelectric device and a method of manufacturing thereof
CZ118096A3 (en) Thin-layer control mirror system and process for producing thereof
AU2003236796A1 (en) Fingerprint recognition module having a thin-film structure and comprising resistive, temperature-sensitive elements
TW266331B (en) Semiconductor pressure sensor
DE59608480D1 (de) Temperaturwächter
HU221360B1 (en) Array of thin film actuated mirrors and method for the manufacture thereof
WO1999022368A3 (en) Magnetic field sensor comprising a spin-tunnel junction
EP0883003A3 (en) Optical semiconductor device and lead frame used in it
AU5927594A (en) Electron source and image-forming apparatus
HUP9801148A2 (hu) Vékonyréteggel működtetett tükörelem-elrendezés dielektromos rétegekkel
MY113094A (en) Low temperature formed thin film actuated mirrow array
EP0915366A3 (en) Array of active-matrix type TFT elements
KR940027543A (ko) 투사형 화상표시장치용 광로조절장치
EP0730295A3 (de) Halbleitervorrichtung mit gutem thermischem Verhalten
EP0814357A3 (en) Thin film actuated mirror array and method for the manufacture thereof
JPH095608A (ja) Ｍ×ｎ個の薄膜アクチュエーテッドミラーアレイ
KR950027438A (ko) 광로 조절장치
KR950024544A (ko) 광로조절장치
KR940023212A (ko) 광로조절장치