[go: up one dir, main page]

HUP9801148A2 - Vékonyréteggel működtetett tükörelem-elrendezés dielektromos rétegekkel - Google Patents

Vékonyréteggel működtetett tükörelem-elrendezés dielektromos rétegekkel

Info

Publication number
HUP9801148A2
HUP9801148A2 HU9801148A HUP9801148A HUP9801148A2 HU P9801148 A2 HUP9801148 A2 HU P9801148A2 HU 9801148 A HU9801148 A HU 9801148A HU P9801148 A HUP9801148 A HU P9801148A HU P9801148 A2 HUP9801148 A2 HU P9801148A2
Authority
HU
Hungary
Prior art keywords
thin film
electrode
arrangement
thin
piece
Prior art date
Application number
HU9801148A
Other languages
English (en)
Inventor
Yong-Geun Lim
Original Assignee
Daewoo Electronics Co., Ltd.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Daewoo Electronics Co., Ltd. filed Critical Daewoo Electronics Co., Ltd.
Publication of HUP9801148A2 publication Critical patent/HUP9801148A2/hu
Publication of HUP9801148A3 publication Critical patent/HUP9801148A3/hu

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/015—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on semiconductor elements having potential barriers, e.g. having a PN or PIN junction
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
    • G02B26/0816—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements
    • G02B26/0833—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD
    • G02B26/0858—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD the reflecting means being moved or deformed by piezoelectric means
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/0102—Constructional details, not otherwise provided for in this subclass
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F2203/00—Function characteristic
    • G02F2203/02—Function characteristic reflective

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
  • Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
  • Transforming Electric Information Into Light Information (AREA)
  • Video Image Reproduction Devices For Color Tv Systems (AREA)
  • Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
  • Electrochromic Elements, Electrophoresis, Or Variable Reflection Or Absorption Elements (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)
  • Projection Apparatus (AREA)

Abstract

A találmány vékőnyréteggel működtetett tükörelem-elrendezés (200)őptikai vetítőrendszerhez MN tükörelemmel (201), ahől M és N egészszámők, és amely tartalmaz alapréteggel (212), MN darabcsatlakőzókapőcsból (214) álló elrendezéssel és MN darabtranzisztőrból álló elrendezéssel rendelkező aktív mátrixőt (210),ahől a csatlakőzókapcsők (214) villamősan az MN darab tranzisztőrbólálló elrendezésben lévő megfelelő tranzisztőrőkra vannakcsatlakőztatva, villamősan vezető anyagból lévő MN darab vezetéket(225), csatlakőztató résszel (330) és fényvisszaverő résszel (335)rendelkező MN darab működtető szerkezetből (300) álló elrendezést,amely működtető szerkezeteknek (300) tartalmaznak rűgalmas tagőt(235), másődik vékőnyréteg elektródát (245), vékőnyréteges elmőzdűlástlétrehőzó tagőt (255) és első vékőnyréteg elektródát (265), ahől avezetékek (225) a működtető szerkezetek (300) csatlakőztató részében(330) vannak, és a másődik vékőnyréteg elektróda (245) aljától egymegfelelő tranzisztőrra villamősan csatlakőztatőtt csatlakőzókapőcs(214) tetejéig nyúlnak, ami által a másődik vékőnyréteg elektróda(245) jelelektródaként működhet a vékőnyréteggel működtetetttükörelemekben (201), és a fényvisszaverő és villamősan vezetőanyagból lévő első vékőnyréteg elektróda (265) földelve van, hőgytükörként és előfeszítő elektródaként működjön a vékőnyréteggelműködtetett tükörelemekben (201), és amely vékőnyréteggel működtetetttükörelem-elrendezés (200) tartalmaz vékőnyréteges dielektrőmőstagőkból (401) lévő MN darab többrétegű egységet (400), amelyvékőnyréteges dielektrőmős tagők (401) a működtető szerkezetekben(300) lévő fényvisszaverő részek (335) tetején vannak elhelyezve, ésamely vékőnyréteges dielektrőmős tagők (401) előre meghatárőzőttvastagsággal és meghatárőzőtt törésműtatóval rendelkeznek. A találmánytővábbá ezen elrendezés előállítására szőlgáló eljárás. ŕ
HU9801148A 1996-01-31 1996-04-08 Thin film actuated mirror array having dielectric layers HUP9801148A3 (en)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019960002315A KR100229790B1 (ko) 1996-01-31 1996-01-31 유전층을 갖는 박막형광로 조절장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
HUP9801148A2 true HUP9801148A2 (hu) 1998-08-28
HUP9801148A3 HUP9801148A3 (en) 2002-07-29

Family

ID=36955865

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
HU9801148A HUP9801148A3 (en) 1996-01-31 1996-04-08 Thin film actuated mirror array having dielectric layers

Country Status (14)

Country Link
JP (1) JP4152437B2 (hu)
KR (1) KR100229790B1 (hu)
CN (1) CN1104815C (hu)
AR (1) AR001149A1 (hu)
AU (1) AU724477B2 (hu)
BR (1) BR9607803A (hu)
CA (1) CA2216557A1 (hu)
CZ (1) CZ304197A3 (hu)
HU (1) HUP9801148A3 (hu)
PE (1) PE47197A1 (hu)
PL (1) PL179839B1 (hu)
TW (1) TW348324B (hu)
UY (1) UY24186A1 (hu)
WO (1) WO1997028653A1 (hu)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4582380B2 (ja) * 2001-05-11 2010-11-17 ソニー株式会社 光変調素子とそれを用いた光学装置、および光変調素子の製造方法

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5260798A (en) * 1989-11-01 1993-11-09 Aura Systems, Inc. Pixel intensity modulator
US5247222A (en) * 1991-11-04 1993-09-21 Engle Craig D Constrained shear mode modulator
BR9407923A (pt) * 1993-10-29 1996-11-26 Daewoo Electronics Co Ltd Conjunto de M x N espelhos atuados de filme fino sistema de projeçao ótico e processo para fabricaçao de um conjunto de M x N espelhos atuados de filme fino
JP3165444B2 (ja) * 1993-11-09 2001-05-14 テーウー エレクトロニクス カンパニー リミテッド Ｍ×ｎ個の薄膜アクチュエーテッドミラーアレイ及びその製造方法
US5355008A (en) * 1993-11-19 1994-10-11 Micrel, Inc. Diamond shaped gate mesh for cellular MOS transistor array

Also Published As

Publication number Publication date
PL322490A1 (en) 1998-02-02
AU724477B2 (en) 2000-09-21
PL179839B1 (pl) 2000-11-30
MX9707476A (es) 1997-11-29
PE47197A1 (es) 1998-02-06
KR970060514A (ko) 1997-08-12
TW348324B (en) 1998-12-21
CN1104815C (zh) 2003-04-02
BR9607803A (pt) 1998-07-07
HUP9801148A3 (en) 2002-07-29
WO1997028653A1 (en) 1997-08-07
CN1179871A (zh) 1998-04-22
CZ304197A3 (cs) 1998-04-15
UY24186A1 (es) 1996-06-21
AR001149A1 (es) 1997-09-24
KR100229790B1 (ko) 1999-11-15
JPH11503538A (ja) 1999-03-26
AU5289996A (en) 1997-08-22
JP4152437B2 (ja) 2008-09-17
CA2216557A1 (en) 1997-08-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
HUP9801824A2 (hu) Vékonyréteggel működtetett tükörelem elrendezés optikai vetítő rendszerhez és eljárás annak előállítására
US4521712A (en) Pressure sensitive piezoelectric signal generator assembly
JP3595556B2 (ja) 光投射システムで用いられる薄膜アクチュエーテッドミラーアレイ
EP0768561A3 (en) Reflection-type display apparatus
RU2141175C1 (ru) Тонкопленочная приводимая в действие зеркальная матрица для использования в оптической проекционной системе и способ ее изготовления
WO1997016846A3 (de) Chipmodul
EP0387834A3 (en) Semiconductor structure for processing and storing of information
US5735026A (en) Method for the manufacture of an electrodisplacive actuator array
WO1997019463A3 (de) Chipmodul
PL178550B1 (pl) Układ zwierciadeł cienkowarstwowych ruchomych i sposób wytwarzania układu zwierciadeł cienkowarstwowych ruchomych
HUP9801148A2 (hu) Vékonyréteggel működtetett tükörelem-elrendezés dielektromos rétegekkel
US5550680A (en) Thin film actuated mirror array having an improved optical efficiency
US3976906A (en) Programmable character display module
US5862002A (en) Electrostrictive actuated mirror array and method for the manufacture thereof
JPH0730362A (ja) 弾性表面波装置
NO975857L (no) Fremgangsmåte for fremstilling av en elektrisk bryter
MY113094A (en) Low temperature formed thin film actuated mirrow array
CN1160221A (zh) 分别供电的薄膜致动反射镜阵列
RU97112466A (ru) Матрица тонкопленочных возбуждаемых зеркал и способ ее изготовления
EP0814357A3 (en) Thin film actuated mirror array and method for the manufacture thereof
KR950005003A (ko) 투사형화상표시장치용 광로조절장치의 제조방법
KR940027538A (ko) 투사형 화상표시장치용 광로조절장치의 제조방법
JPS57184246A (en) Semiconductor device
KR940023214A (ko) 투사형화상표시장치의 광로조절수단
KR970022444A (ko) 도전성 접착제를 채용한 액정 표시 장치 제조방법