DE9015191U1

DE9015191U1 - Chemikalientransportbehälter

Info

Publication number: DE9015191U1
Application number: DE9015191U
Authority: DE
Original assignee: Riedel de Haen AG
Current assignee: Honeywell Riedel de Haen AG
Priority date: 1990-11-05
Filing date: 1990-11-05
Publication date: 1991-01-17
Anticipated expiration: 2000-11-06
Also published as: EP0484771A1; JPH04109025U

Description

Ref.90/009
My/L10824

Chemikalientransportbehälter

Der Gegenstand des Gebrauchsmusters betrifft einen Chemikalientransportbehälter für flüssige Chemikalien, insbesondere flüssige Hochreinchemikalien für die Elektronikindustrie .

In den letzten Jahren sind die Anforderungen an die Reinheit von flüssigen SpezialChemikalien, z.B. von Prozeßchemikalien für die Elektronikindustrie, stark gestiegen. Dabei wird, z.B. bedingt durch die immer kleiner werdenden Abmessungen der von der Elektronikindustrie unter
Verwendung von Prozeßchemikalien hergestellten Mikro-₁c chips, zunehmend die Forderung nach Partikelfreiheit der flüssigen Hochreinchemikalien erhoben.

Die Herstellung flüssiger, partikelfreier Hochreinchemikalien wird von den Feinchemikalienherstellern beherrscht. Zur Lagerung und zum Transport sind allerdings bekannte Behälter aus handelsüblichen Werkstoffen nicht geeignet.

Bei der Lieferung der flüssigen Hochreinchemikalien an
₂c die Elektronikindustrie kommen aus wirtschaftlichen Gründen nur Großgebinde in Betracht. Diese sollten so beschaffen sein, daß sie eine Kontamination des Behälterinhaltes ausschließen, auch bei rauher Behandlung durch
Gabelstapler und dergleichen bruchsicher sowie einfach
und preiswert herstellbar sind.

Sie sollen von Gabelstaplern und anderen üblichen Transportvorrichtungen ohne Transportrisiko bewegt werden
können, d.h. auch bei einem Fall den Behälter sicher vor Bruch schützen.

Ein Großchemikalienbehälter, der alle vorgenannten Anforderungen erfüllt, ist nicht bekannt. Durch das vorliegen-

■ Ref.90/009

My/L10824

de Gebrauchsmuster wird ein Großchemikalientransportbehälter zur Verfügung gestellt, der diese Anforderungen erfüllt.

Der Transportbehälter für flüssige Chemikalien, insbesondere flüssige Hochreinchemikalien für die Elektronikindustrie des vorliegenden Gebrauchsmusters, ist dadurch gekennzeichnet, daß er aus einer inneren Schale aus hochreinem, keine Hilfsmittel enthaltendem Polyethylen und einer äußeren Schale aus handelsüblichem, Hilfsmittel enthaltendem Polyethylen besteht.

Der Raum zwischen innerer und äußerer Schale ist vorteilte hafterweise mit einem Gas gefüllt, das über ein Ventil in der äußeren Schale dosiert werden kann. Geeignete Gase sind beispielsweise Stickstoff, Edelgase wie beispielsweise Helium, Neon oder Argon, oder auch Luft.

.-,p, Zweckmäßigerweise wird die Innenschale so hergestellt, daß sie eine möglichst glatte, fugen- und übergangslose Innenfläche bildet. Der obere und untere Teil können beispielsweise aus tiefgezogenen Klöpperböden, die ihrerseits aus Platten hergestellt sind, gebildet sein, die

-j- mit einem zylindrischen Mittelstück fugenlos verbunden sind. Diese innere Schale ist mit der äußeren Schale vollständig und nahtlos umhüllt.

Auf diese Weise wird erreicht, daß ein Austreten von ,&ldquor; Flüssigkeit an die Umwelt verhindert wird, falls die mechanisch instabile innere Schale beispielsweise aufgrund extremer Transportbelastungen zerstört wird.

Die Öffnung des erfindungsgemäßen Behälters ist mit einem Verschluß, z.B. einer Verschlußplatte, bevorzugt aber mit einem eingeschweißten Blockflansch, verschlossen. Vorteilhafterweise besteht der Flansch wie die äußere Schale aus Hilfsmittel enthaltendem Polyethylen und ist an der chemikalienberührten Innenseite mit einer Platte aus

&idiagr; : Ref.90/009

My/L10824

hochreinem, keine Hilfsmittel enthaltendem Polyethylen verschweißt. Der Blockflansch verbindet die innere und die äußere Schale durch Verschweißung.

Der Flansch besitzt mehrere Anschlüsse für die Zu- und Ableitungen, Steig- oder Tauchrohre und dergleichen, die eine Befüllung und Entleerung des Behälters gestatten. Die Anschlüsse für die Zu- und Ableitungen der flüssigen

^q Chemikalie, die Anschlüsse für die Zu- und Ableitungen der Inert- und/oder Druckgase und dgl. können als Anschlußstutzen ausgeführt werden, die ihrerseits mit geeigneten Verschlüssen, wie z.B. Schraubverschlüssen, Schnellkupplungen, Hähnen und/oder Ventilen verschließbar

.< c sind. In dem eigentlichen Behälterverschluß können auch Anschlüsse für Sensoren und die Sensoren für die Überwachung des Befüllungs- oder Entleerungsvorgangs angeordnet sein.

2Q Die in dem Verschluß angeordneten Anschlüsse dienen sowohl der Befüllung des Behälters als auch zur Entnahme der Chemikalien aus dem Behälter. Die hierfür erforderlichen Zu- und Ableitungen für die Chemikalie sowie eventuelle Zu- und Ableitungen für die genannten Inert- oder Druckgase oder die für den Befüllungs- oder Entnahmevorgang erforderlichen Sensoren oder dergleichen werden sowohl bei der Abfüllung als auch bei der Entnahme der Chemikalie an die in dem Verschluß vorhandenen Anschlüsse angeschlossen. Die Anschlüsse, z.B. Anschlußstutzen kön-

2Q nen in ihrer Ausgestaltung, z.B. in ihrem Durchmesser, untereinander alle gleich ausgestaltet sein. Von dieser gleichen Ausgestaltung können jedoch ein oder mehrere Anschlüsse oder Anschlußstutzen abweichen. Es können auch alle Anschlußstutzen unterschiedlich ausgestaltet sein.

^: Ref.90/009

My/L10824

Die Entleerung des inneren Behälters kann durch Überdruck oder Pumpen erfolgen. Mehrere Anschlüsse sind mit mehreren bis auf den Boden der inneren Schale reichenden Steigrohren aus hochreinem, keine Hilfsmittel enthaltenden Polethylen verbunden. Zweckmäßigerweise erfolgt die Belüftung über ein Membranventil oder Nadelventil. Die Belüftung über das Ventil verhindert das unkontrollierte Austreten von Chemikalien über einen der Steigrohran-

IQ Schlüsse, wenn sich ein chemikalienspezifischer Behälterüberdruck aufgebaut hat. Des weiteren kann bei Unterdruck partikelfreies gefiltertes Gas zum Druckausgleich zugeführt werden.

. c In einer besonderen Ausführungsform des erfindungsgemäßen Behälters wird dieser in einen äußeren Behälter aus PoIyethylenrohr eingestellt und durch Streben fixiert. Das Rohr ist durch einen ebenen Unterboden verschlossen und vorzugsweise auf eine Kunststoffpalette montiert. Die

2Q Oberseite ist mit einem konvexen Oberboden mit öffnungen für den Flansch durch Verschweißung verschlossen, wobei ein überhöhter Kragen die Funktion eines Schutzkragen für die auf dem Behälterflansch montierten Armaturen hat. Es ist zweckmäßig, am tiefsten Punkt des konvexen Oberbodens eine nach außen führende Dränage, z.B. ein Rohr, anzubringen. Der obere Rand des äußeren Behälters kann schließlich noch mit einer zusätzlichen Platte abgeschlossen sein.

3Q Der Raum zwischen dem äußeren und dem inneren Behälter kann leer oder aber ganz oder teilweise mit einem Material, beispielsweise einem wärmeisolierenden Material, ausgefüllt sein.

₃c Als wäremisolierendes Material können z.B. Kork, lose Wolle, Mineralfaserstoffe, insbesondere aber Schaumkunst-

·■ Ref. 90/009

My/L10824

stoffe, verwendet werden. Schaumkunststoffe können offen- oder geschlossenzellig sein und sind von thermoplastischen, elastomeren oder duromeren Polymeren bekannt. Bei-

c spielsweise kann der Schaumkunststoff aus Polystyrol, Polyvinylchlorid, Polyethylen, Harnstoff-Formaldehyd-Harz, Epoxidharz, Polyimid, insbesondere aber aus Polyurethan, beispielsweise auf Basis von Methyl-bis-phenylisocyanat, bestehen. Vorzugsweise wird der Zwischenraum

..Q zwischen äußerem und innerem Behälter mit einem sogenannten Polyurethan-Integralschaum ausgeschäumt.

Der erfindungsgemäße Chemikalientransportbehälter ermöglicht, auch bei Inhalten von 500 1 und mehr einen sicheren Transport hochreiner flüssiger, gegebenenfalls auch aggressiver Chemikalien ohne Kontaminationsgefahr und Bruchrisiko. Auch werden größere Temperaturschwankungen beim Transport und bei der Lagerung vermieden.

2Q Die Neuerung wird anhand der beiliegenden Figur weiter erläutert, in der eine bevorzugte Ausführungsform des neuerungsgemäßen Transportbehälter im Vertikalschnitt schematisch dargestellt ist.

&ldquor;,. Tn der Figur ist die innere Schale mit 1 und die äußere Schale mit 2 bezeichnet. In den Zwischenraum 3 zwischen innerer und äußerer Schale kann über das Ventil 4 ein Gas eindosiert werden. Der Blockflansch 5 verbindet innere und äußere Schale durch Verschweißung und besitzt mehrere, in der Figur nicht gezeigte Anschlüsse für die Zu- und Ableitungen, Steig- oder Tauchrohre und dergleichen. Der innere Behälter ist in einem äußeren Behälter aus Polyethylenrohr 6 eingestellt und durch Streben 7 fixiert. Das Rohr ist durch einen ebenen Unterboden 8 verschlossen und auf eine Palette 9 montiert. Die Oberseite ist mit einem konvexen Oberboden 10 mit einer Öffnung für

Ref.90/009 My/L10824

den Flansch 5 verschlossen. Eine Dränage 11 führt vom tiefsten Punkt des konvexen Oberbodens 10 nach außen. Der äußere Behälter 6 ist nach oben durch eine zusätzliche Platte 12 abgeschlossen.

Der Raum zwischen dem äußeren und dem inneren Behälter ist im unteren Teil mit einem Schaum 14 ausgeschäumt.

Claims

Ref.90/009 My/L10824 SCHUTZANSPRÜCHE

1. Transportbehälter für flüssige Chemikalien, insbesondere flüssige Hochreinchemikalien für die Elektronikindustrie, dadurch gekennzeichnet, daß der Behälter aus einer inneren Schale (1) aus hochreinem, keine Hilfsmittel enthaltendem Polyethylen und einer äußeren Schale (2) aus

IQ handelsüblichem, Hilfsmittel enthaltendem Polyethylen besteht.

2. Transportbehälter gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Raum (3) zwischen innerer und äußerer Schale mit einem Gas gefüllt ist, das über ein Ventil (4) in der äußeren Schale dosiert werden kann.

3. Transportbehälter gemäß Anspruch 1 und/oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Öffnung mit einem eingeschweißten Blockflansch (5) verschlossen ist.

4. Transportbehälter gemäß Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Blockflansch (5) aus Hilfsmittel enthaltendem Polyethylen besteht und an der chemikalienberührten Innenseite mit einer Platte aus hochreinem, keine Hilfsmittel enthaltendem Polyethylen verschweißt ist.

5. Transportbehälter gemäß einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Trans-

3Q portbehälter in einen äußeren Behälter (6) aus Polyethylenrohr eingestellt und durch Streben (7) fixiert ist.

6. Transportbehälter gemäß Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß der Raum zwischen äußerem und inneren Behalter (13) ganz oder teilweise mit einem Material (14),

Ref.90/009 My/L10824

beispielsweise einem wärmeisolierenden Material, ausgefüllt ist.

7. Transportbehälter gemäß Anspruch 5 und/oder 6, dadurch gekennzeichnet, daß der äußere Behälter (6) auf eine Kunststoffpalette (9) montiert ist.