DE900854C

DE900854C - Schleuse fuer Korpuskularstrahlapparate, insbesondere Elektronenmikroskope

Info

Publication number: DE900854C
Application number: DES10275D
Authority: DE
Inventors: Rudolf Hackbarth
Original assignee: Siemens Corp
Current assignee: Siemens Corp
Priority date: 1942-04-29
Filing date: 1942-04-29
Publication date: 1954-01-04
Also published as: FR897305A

Description

Bei Korpuskularstrahlapparaten, beispielsweise Elektronenmikroskopen, sind Einrichtungen bekannt, mit dienen das zu untersuchend© Objekt von außen her in den¹ Vakuumraum des Geräteis ohne Unterbrechung· des Vakuums eingeschleust werden kann. Das Objekt wird dabei an einem Träger, beispielsweise einer Objektpatrone, befestigt, die mit Hilfe einer von außen bedienbaren, mechanischen Transportvorrichtung in die Betriebslage übergeführt wird. Bei den bekannten Anordnungen dieser Art wird der Objektträger, die Patrone, in der Betriebslage von den Teilen der Transportvorrichtung gehalten¹. Das hat den Nachteil, daß Erschütterungen, welche während der Beobachtung¹ des Objektes in dem Elektronenmikroskop auftreten, sich von dien Teilen der Transportvorrichtung auf das Objekt selbst übertragen können·, so daß dieses gegenüber den Objaktivlinsenteilen; nicht absolut festliegt. Nun ist aber eine wichtige Voraussetzung für Photoaufnahimen mit Elektronenmikroskopen die, daß das Objekt bei der Belichtung der Platte sich in einer erschütterungsfreien Lage befindet. Entsprechend den hohen Vergrößerungen, bis 40 ooofach, 'machen sich schon sehr kleine, durch Erschütterungen hervorgerufene Relativbewegungen des Objektes gegenüber dem Objektiv in einem Verwackeln des Endbildes bemerkbalr.

Die Erfindung betrifft eine Schleuse für Korpuskularstrahlapparate, insbesondere Elektronenmikroskope, bei der ein Objekthalter, z. B. Objektpatrone, mit Hilfe einer durch äußere Antriebe verstellbaren Transportvorrichtung einzuschleusen und in die Betriebslage, zu bringen ist. Erfindungsgemäß ist der Objekthalter von dem zum Einschleusen und Verstellen dienenden Antriebe nach Erreichen der Betriebslage lösbar. Auf diese Weise

ίο wird also nunmehr erreicht, daß bei der Photoaufnahme die Teile der Transportvorrichtung keinerlei Erschütterungen mehr auf den Objekthalter übertragen können. Man wird den Objekthalter in der Betriebslage in einem Träger festhalten, der durch geeignete Mittel fest mit einem Teil der Ofojektivlinse verbunden ist. Der Träger kann beispielsweise am Objektivpolscbuh befestigt sein. Man kann den Objekthialter in der Betriebslage auch in einem relativ zum Strahl durch äußeren Antrieb verstellbaren Träger lagern, der federnd gegen einen Teil des Objektivs gedrückt wird:. Der äußere Antrieb wird dabei vorzugsweise so durchgebildet, daß mit seiner Hilfe nur eine Querbewegung des Objektes gegenüber dem Strahl möglich ist, die dazu dient, einen bestimmtem Bildäuisschnitt des· Objektes auszusuchen. Bei Anwendung einer Objektpatrone wird man den die Objektblende aufnehmenden Teil der Patronenhülse durch eine Kupplung verbinden, die bei Verstellung der Hülse in Richtung auf das Objektiv hin mit Hilfe geeigneter Anschläge gelöst wird. Besonders geeignet! für diesen Zweck ist eine in der Längsrichtung mehrfach geschlitzte, nach innen oder außen federnde Patronenhülse, die den Objektträger in der Arbeitsstellung freigibt.

Weitere für die Erfindung wesentliche Merkmale werden in den folgernden Ausführungsbeispielen behandelt.

Fig. ι zeigt als Ausführungsbeispiel der Erfindung einen Längsschnitit durch einen Teil des Objektivs eines Elektronenmikroskops. Mit 1 ist der obere Palschuh, mit 2 der untere Polschuh der Linsie bezeichnet. Zum Einschleusen des Objektesist in diesem Fälle eine an sich bekannte Schlauseinrichtung vorausgesetzt, diie ein drehbares Hahnküken 3 hat, das mit einer Bohrung 4 zur Aufnahme der Objektpatrone beim Schleusvorgang versehen ist. Mit 5 ist die am unteren Ende vielfach geschlitzte Hülse der Objektpatrone bezeichnet. Sie ist soi ausgebildet, daß die einzelnen durch die Schlitze gebildeten Federn nach außen, federn. Am oberen Teil der Patrone greift die in dieser Figur nicht näher dargestellte Transportvorrichtung an, welche beispialsweisei durch einen Stempel gebildet wird, der die Patrone nach oben in die Bohrung 4 hineinzuziehen¹ bzw. aus ihr in die dargestellte Betriebslage herauszudrücken gestattet. Die federnden Teile der Patronenhülse sind am unteren Ende mit Nocken 6 versehen, welche den Objekthalter 7 auf dem Transportweg durch Zusammenarbeiten mit entsprechend bemessenen Führungsteilen festklemmen. Diese Führungsteile werden beim Ausführungsbeispiel gebildet durch die Bohrung 4 das Hahnkükens· und die entsprechende Bohrung 8 einer Führungsbuchse 9. Am Ende des· Transportweges ist die Bohrung 8 der Führungsbuchse derart erweitert, daß der Objektträger 7 von der federnden Hülse 5 zwangsläufig freigegeben wird. Der Objektträger 7 ist in der Arbeitsstellung gegen eine obere Anlageflächa 10 des Polschuhes 1 gedrückt und wird durch einen Ring 11 festgehalten, an welchem in der Figur nicht dargestellte¹ Versteillvoirrichtungen angreifen, die dazu dienen, das Objekt quer zur Strahlachse zu verschieben. Zum Ausschleusen des Objektträgers wird die Patronenhülse durch die nicht dargestellte Transportvorrichtung nach oben gezogen, und dabei werden ihre unteren federnden Enden durch die Nocken 6 wieder zusammengedrückt, so daß sie den Objektträger greifen und mitnehmen·.

Fig. 2 zeigt eine andere Ausführungsmögliichkeit der Erfindung. In diesem Falle ist dem Objektträger 21 eine Patronenhülse 22 zugeordnet, deren unteres Ende ebenfalls, vielfach geschlitzt ist. Die Hülsei 1st in diesem Falle so ausgebildet, daß sie mit ihrem unteren Ende nach innen federt. Der Hülse 22 ist ein Spreizsitempel 23 zugeordnet, der mit Hilfe einer eingebauten Spiralfeder 24 normalerweise in der dargestellten Lage gehalten wird. Mit 25 ist eine Führungsbuchse bezeichneit, die oberhalb des Poilschuhsystems 26 der Objektivlinse angeordnet ist. Der obere Polschuh weist hierbei eine Auflagefläche 27 für den Objektträger 21 auf. Als Transportvorrichtung für die Patrone dient ein Stempel 28, der bei Überführen des Objektträgers in die Betriebslage in der Pfeilrichtung nach unten gedrückt wird. Dabei legt sich der Objektträger 21 gegen seine Auflagefläche, und bei der weiteren Bewegung wind das untere konische Ende 29 des Spreizstempels 23 gegen die Anschläge 30 der federnden Hülsenteile gedrückt, so daß diese nach außen gespreizt werden und den Objektträger freigeben¹. Soll der Objektträger herausgenommen werden, so bewirkt die Feder 24, daß zunächst der Spreizstempel 23 zurückgeht, wodurch die Patronenhülse 22 den Objektträger 21 wieder festklemmt Auch in diesem Falle kann die- Halterung und Verstellung des in der Arbeitsstellung von der Transportvorrichtung freigegebenen Objektträgers in einem relativ zum Objekt quer beweglichen Tisch erfolgen'.

Claims

Patentansprüche:

1. Schleuse für Korpuskuilarstrahlapparate, insbesondere Elektronenmikroskope, bei der ein Objekthalter, z. B. Objektpatrone, mit Hilfe einer durch äußere Antriebe verstellbaren Transportvorrichtung einzuschleusen und in die Betriebslage! zu bringen ist, dadurch gekennzeichnet, daß der Objekthalter von dem zum Einschleusein und Verstellen dienenden Antriebs nach Erreichen der Betriebslage lösbar ist.

2. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß 'der Objekthalter in der Betriebsilage in einem relativ zum Strahl, Vorzugs-

weise nur quer zur Strahlachse durch äußeren Antrieb verstellbaren Träger gelagert ist, der Federn gegen einen Teil des Objektivs drückt.

3. Anordnung nach Anspruch 1 oder 2 mit einer Objektpatrone zum Einschleusen, dadurch gekennzeichnet, daß der die Objektblende aufnehmende Teil der Patrone mit der Patronenhülse durch eine Kupplung verbunden ist, die bei der Venstellung der Hülse in Richtung auf das Objektiv hin mit Hülfe geeigneter Anschläge zu lösen ist.

4. Anordnung nach Anspruch 3, gekennzeichnet durch die Verwendung einer in der Längsrichtung mehrfach geschlitzten nach innen oder außen federnden Objektpatronenhülse, die den Objektträger in der Arbeitsstellung freigibt.

5. Anordnung nach Anspruch 4, gekennzeichnet durch eine Patronenhülse, die am unteren Ende mit nach außen gerichteten Nocken versehen ist, welche den Objektträger auf dem Transportweg durch Zusammenarbeiten mit entsprechend bemessenen Führungsteilen, z. B. Hahnkükenbohrung und Führungsbuchsenbohrung, festklemmen, die sich am Ende des Transportweges so erweitern, daß die federnde Hülse den Objektträger zwangsläufig freigibt.

6. Anordnung nach Anspruch 4, gekennzeichnet durch die Verwendung einer nach innen federnden geschlitzten Patronenhülse, die durch einen inneren Spreizstempel, der vorzugsweise konisch zugespitzt ist, auseinanderzudrücken ist.

7. Anordnung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß eine eingebaute Feder die geschlitzte Patronenhülse und den Spreizstempel normalerweise so zueinander einstellt, daß die geschlitzte Patronenhülse den Objektträger festklemmt.

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

5660 12.