DE893567C

DE893567C - Stand arrangement for electron microscope

Info

Publication number: DE893567C
Application number: DER7679A
Authority: DE
Inventors: Bodo V Dr-Ing Habil Borries; Josef Huppertz
Original assignee: RHEINISCH WESTFAELISCHES INST
Current assignee: RHEINISCH WESTFAELISCHES INST
Priority date: 1951-11-17
Filing date: 1951-11-17
Publication date: 1953-10-15

Description

Stativanordnung für Elektronenmikroskop Für den äußeren Aufbau, von Elektronenmikroskopen sind schon die verschiedensten Wege bekannt. Man geht meistens so vor, daß man die, eigentliche Mikroskopröhre auf einem Stativ montiert, das gleichzeitig eine in geeigneter Weise ausgestaltete Tischfläche besitzt. Das Strahlrohr selbst hat man tbei solchen Anordnungen _ auch schon in verschiedenen Lagen angeordnet. Es sind Mikroskopkonstruktionen .bekannt, (bei denen das ,Strahlrohr waagerecht oder schräg zur Tischfläche liegt. In sehr vielen Fällen wird eine Anordnung gewählt, die ein senkrecht sich über einer Tischfläche erhebendes Strahlrohr zeigt. Bei Anordnungen der zuletzt erwähnten Art hat man bisher meistens das Strahlrohr so angeordnet, daß es vor einer senkrecht stehenden Stativwand steht und sich über einer Tischfläche erhebt, die es mehreren, Vorzugsweise ,drei Beobachtern ermöglicht, das Endbild zu betrachten..Stand arrangement for electron microscope For the external setup of A wide variety of ways are already known to electron microscopes. You mostly go in such a way that the actual microscope tube is mounted on a tripod, which at the same time has a suitably designed table surface. The nozzle itself Such arrangements have already been arranged in different positions. Microscope constructions are known (where the beam pipe is horizontal or at an angle to the table surface. In very many cases an arrangement is chosen which shows a jet pipe rising vertically above a table surface. With orders of the last mentioned type, the jet pipe has so far mostly been arranged in such a way that that it stands in front of a vertical stand wall and is above a table surface which allows several, preferably three, observers to view the final image consider..

Die Erfindung betrifft ein Elektronenmikroskop mit einem. ,Stativ, das eine Tischfläche, über- der sich das Strahlrohr erhebt, besitzt, und zielt daraurf ab, die Anordnung so auszugestalten, daß drei Beobachtern des Mil:rosk ops in besonders günstiger Weise das gemeinsame .Arbeiten möglich ist. Das wird erfindungsgemäß .durch eine solche Gestaltung des Tisches erreicht, daß sich .die drei Beobachter heransetzen können, so, daß jeder praktisch etwa die gleiche Entfernung vom Rohr und auch die gleiche Entfernung von den beiden anderen Belobachtern hat. Um das praktisch durchzuführen, wird man die Tischfläche abweichend von der an sich zunächst naheliegenden rechteckigen Form in ,besonderer Weise den Erfordernissen dieser Aufgabenstellung anpassen. Das kann gemäß der weiteren Erfindung so geschehen, daß der Tisch für den Hauptbeobachter zunächst einen tiefen Einschnitt bekommt, .durch. welchen diie Mikroskopteile in ihrer ganzen Länge zugänglich sind. :Der tiefe Einschnitt erlaubt, den Hauptbeobachter nahe an, die Mikroskopröhre heranzusetzen, so daß er alle wesentlichen handbedienten .Schalt- und Regelapparate gut in seinem Griffbereich hat. Um auch, .den Nebenbeobachtern ein dichtes Heranrücken an die zugeordnetenBeobachtungsöffnungen des Mikroskops .zu ermöglichen, kann man fernerhin auch an der Stelle dieser Nebenbeobachter im Tisch kleinere Einbuchtungen vorsehen, die einbequemes Heranrücken dieser Beobachter an die für sie geeignete Stelle ermöglichen.The invention relates to an electron microscope with a. ,Tripod, which has a table surface above which the jet pipe rises, and aims at it from arranging the arrangement in such a way that three observers of the Mil: rosk ops in particular working together is possible in a favorable way. According to the invention, this is .by The table is designed in such a way that the three observers sit down can so that everyone is practically about the same distance from the pipe and also the equidistant from the other two observers. To do this in practice, If the table surface is different from the rectangular one that is initially obvious Form in a special way to meet the requirements of this task adjust. This can be done according to the further invention so that the table for the main observer first gets a deep incision, .by. which the microscope parts are in accessible over their entire length. : The deep incision allows the main observer close to using the microscope tube so that he could manually operate all the essentials . Has switchgear and control equipment within easy reach. To, too, the secondary observers moving closer to the associated observation openings of the microscope .to enable, one can furthermore also at the place of this secondary observer in the Provide smaller indentations on the table to allow these observers to move comfortably to the point that is suitable for them.

Die Arbeit des Hauptbeobachters am. Mikroskop wird beim, Gegenstand der Erfindung dann in ganz besonderer Weise erleichtert, wenn ihm durch. die Ausgestaltung des Tisches Armstützen gegeben werden, die bis unter :die Ellenbogen reichen. Er hat dann bei seiner Beobachtung eine sehr :bequeme. Lage für :die Arme, und wenn man durch geeignete konstruktive Ausbildung des Gesamtmikroslizops dafür sorgt, daß die wesentlichen während der Beobachtung zu ;bedienenden Handgriffe sich in unmittelbarer Nähe der Hände des Hauptbeobachters befinden, so kommt man zu einer Anordnung, bei der alle erforderlichen Eingriffe (Objekttischbetätigung; Objektwechsel, Kathodenwechsel, Fotomaterialwechs:e1, Schalt- und Regelvorgänge, Vakuumschaltungen u. dgl.) durchgeführt werden können, ohne daß der Hauptbedbachter seinen Sitzplatz zu wechseln hat, ja, ohne daß er überhaupt wesentlich große Armbewegungen .dabei durchzuführen hat.The work of the main observer on the microscope becomes the object the invention is then facilitated in a very special way when it is through. the design of the table armrests are given that reach below: the elbows. He then has a very: comfortable observation when observing it. Location for: the arms, and if a suitable constructional design of the overall microslizope ensures that that the essential steps to be used during the observation are in are in close proximity to the main observer's hands, one arrives at one Arrangement in which all necessary interventions (object table operation; object change, Change of cathode, change of photo material: e1, switching and control processes, vacuum switching and the like) can be carried out without the Hauptbedbachter his seat has to change, yes, without his arm movements at all has to perform.

Die Ausgestaltung des Mikroskoptisches für :die drei Beobachter würde bei ganz symmetrischer Anordnung der Mi'krosko:pteiledahin führen können, daß sich jedem Beobachter nur verhältnismäßig kleine Tischflächen darbieten. Es stellt .daher ein. besonderes Merkmal der Erfindung dar, daß man eine unsymmetrische Anordnung von Mikroskopteilen, die sich oberhalb der Ti-schfläe!he befinden, bevorzugt, um einen der beiden Ne#bedbeobachter eine ,besonders große Tischfläche darzubieten. Das kann bei einem Mikroskop, das die Hoehvak.uurnlei,tung oberhalb der Tischfläche ;besitzt,- in der Weise geschehen, daß diese Vakuumleitung schräg zur Hauptachse des Tisches angeordnet wird.The design of the microscope stage for: the three observers would with a very symmetrical arrangement of the microscopes: pteils can lead to the fact that offer only relatively small table surfaces to each observer. It represents .therefore a. A special feature of the invention is that one has an asymmetrical arrangement of microscope parts that are above the Ti surface, preferably to To present one of the two Ne # bed observers with a particularly large table surface. This can be done with a microscope that has the high vacuum line above the table surface ; has, - done in such a way that this vacuum line is inclined to the main axis of the table is arranged.

Während man :bei den bisher -praktisch ausgafü'hrten Mikroskopkonstruktionen mevst so vorgeht, daß eich die senkrechte M:ikroskopröh.reaui (die Fotokamera abstützt, -kommt man- beim Gegenstand der Erfindung zu einer grundliegend anderen, die Bedienung des Gerätes sehr :erleichternden Konstruktion, wenn man statt dessen die Abstützung der Mikroskopröhre gegenüber dem Stativ an einer anderen Stelle, nämlich .mit Hilfe eines seitlichen Lagers neben der Mikroskopröhre, :durchführt. Bei einer solchen Konstruktion wird man die Lagerstelle beispielsweise mit der obenerwähnten Hochvakuumleitung kombinieren, so daß diese dann vorzugsweise auch schräg zur Hauptachse des Tisches liegt. Um die durch die unsymmetrische Anordnung dieser Mikroskopteile sich ergebende verhältnismäßig große, Tischfläche des Mikroskops und den auf der Tischfläche stehenden Instrumentenaufsatz während .des Arbeitens am Mikroskop zu beleuchten, wird man mit Vorteil eine hierfür notwendige Lampe auch im Bereich der erwähnten Lagerstelle anordnen, und zwar vorzugsweise so, daß der Hauptbeobachter von den .Strahlen dieser Lampe nicht direkt getroffen wind und auch von dem Licht nicht erreicht wimd; welches von den durch die Lampe etwa -beleuchteten Papieren ausgeht.While one: with the microscope constructions that have been practically implemented up to now mevst proceeds in such a way that the vertical M: ikoskopröh.reaui (supports the photo camera, If you come to a fundamentally different subject of the invention, the operation of the device: it makes the construction easier if you use the support instead the microscope tube compared to the stand at a different point, namely .with the help a side bearing next to the microscope tube,: performs. With such a Construction will be the bearing point, for example, with the above-mentioned high vacuum line combine, so that these then preferably also at an angle to the main axis of the table lies. To the resulting from the asymmetrical arrangement of these microscope parts relatively large table surface of the microscope and those standing on the table surface Illuminating the instrument attachment while working on the microscope is what you will do with advantage a lamp necessary for this also in the area of the bearing point mentioned arrange, preferably so that the main observer of the .Strahlen this Lamp not directly hit by the wind and also not reached by the light wimd; which emanates from the papers illuminated by the lamp.

Bei einer 'bevorzugten Ausführungsform der Erfindung wird eine Mikroskopröhre in senkrecht stehender Anordnung verwendet, bei der der Strahlengang von unten nach oben gerichtet ist. Dieser Anordnung kommt 'hinsichtlich der guten Bedienbarkeit des Strahlerzeugerkopfes die obenerwähnte besondere Ausgestaltung des Tisches mit dem tiefen Einschnitt für den Hauptbeobachter in starkem Maße entgegen. Man wird nämlich nunmehr dem Strahlerzeuger eine schwenkbare Tragstütze zuordnen, mit deren Hilfe der Str.ahl!kopf nach seinerLösung von iderMikros:kopröhre in Richtung auf Aden Hauptbeobachter hin nach vorn gezogen werden kann. Beim gelegentlich erforderlichen Kathodenwechsel hat..der Hauptbeobachter auf diese Weise den.Strahlkopf unmittelbar bequem vor sich.In a preferred embodiment of the invention, a microscope tube used in a vertical arrangement, in which the beam path from below to is directed upwards. This arrangement comes' in terms of ease of use of the jet generator head with the above-mentioned special design of the table against the deep incision for the main observer to a large extent. You will namely now assign a pivotable support bracket to the jet generator, with the Help the Str.ahl! Head for his solution from iderMikros: head tube towards The main observer can be pulled forward. When occasionally required In this way, the main observer has the cathode change immediately comfortably in front of you.

Auch ,die elektrischen Zubehörteile des Mikroskops lassen sich ,bei der neuartigen Ausgestaltung des Mikroskoptisches in besonders günstiger Weise unterbringen. So wird man beipielsweise zur Anlage gehörige Niederspannungsschalter unterhalb der die eine Armstütze bildenden Tisch-platte im Griffbereich des Hauptbeob-a@chters anordnen. Das gilt auch für den in einer solchen Anlage befindlichen, die Hochspannungsstromkreise des Strahlerzeugers steuernden handbedienten Schalter, der vorteilhaft im Griffbereich des Hauptbeobachters auf der rechten Seite der Mikres!kopröhre so angeordnet ist, daß er mit seinem Handgriff aus der Tischplatte herausragt und so bequem bedient werden kann. I,ndiem man fernerhin Teile der Tischplatte aufklappbar macht, lassen sich auch die unterhalb der Tischfläche-befi.ndlichen -,Stativteil'e beim Gegenstand der Erfindung in geschickter Weise für Fächer zur Aufnahme. von Werkzeugen,. Instrumenten od. -dgl.:einrichten.Also, the microscope's electrical accessories can be attached accommodate the new design of the microscope table in a particularly favorable manner. For example, the low-voltage switches belonging to the system are located below the table top forming an armrest in the grip area of the main observer arrange. This also applies to the high-voltage circuits in such a system of the jet generator controlling the hand-operated switch, which is advantageously in the grip area of the main observer is arranged on the right side of the microscope tube in such a way that that it protrudes with its handle from the table top and is so easy to use can be. I, by also making parts of the table top hinged, leave it The 'stand parts' below the table surface are also next to the object of the invention in a clever way for subjects to receive. of tools ,. Instruments or the like: set up.

Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung ist in den Figuren in einer Seitenansicht (Fig. i) und einer Draufsicht (Fig. z) dargestellt. Es handelt sich in diesem Fall um ein Elektronenmikros'lcop, das senkrecht stehend mit von unten nach oben gerichtetem Strahlengang arbeitet. Mit i ist der,Strahlerzeuggerkopf, ausgeschwenkt gezeichnet, mit 2 der die Abbi.l-d.ungslinsen enthalteade Teil, mit 3 der Tubus, .mit 4 die Kamera .bezeichnet. ,Das Endbild kann in diesem Fall durch ein Rundblickfenster 6 über den ,Spiegel 5 beobachtet werden.An embodiment of the invention is shown in the figures in a Side view (Fig. I) and a top view (Fig. Z). It is about in this case an electron micros'lcop, which is standing vertically with from below upward beam path works. With i the, jet generator head, drawn swiveled out, with 2 the part containing the Abbi.l-d.ungslinsen, with 3 denotes the tube, 4 denotes the camera. In this case, the final image can come through a panoramic window 6 through the mirror 5 can be observed.

Der Tisch ist in der aus dem Grundriß ersichtlichen Weise für drei Beobachter eingerichtet. Vor der Mikroskopröhre sitzt .auf dem Schemel 7 der Hauptbeobachter, seitlich die Ne@benbedbachter auf 9 und B. Arbeiten an dem Gerät nur zwei Personen, so bleibt der Platz 8 leer. Wie dieser, Grundriß erkennen läßt, sind die Beobachtungsplätze so angeordnet und ist die Gestalt Beis Mikroskoptisches so gewählt, daßdiese Beobachter praktisch etwa diie gleiche Entfernung von der Mikroskopröhre und auch die gleiche Entfernung voneinander haben, Der Mikroskoptisch besitzt auf der Seite ödes Hauptbeobachters einen tiefen Einschnitt io, der diie Mikroskopröhre in ihrer ganzen Länge .bequem zugänglich macht. Den Nebenbeobachtern sind kleinere Einbuchtungen i i und 12 am Tisch zugeord-net. Durch diese Formgehung 'des Tisches ergeben sich für den Haupt!beobachterbequeme Armstützen 13 ,und 1d., die: so angeordnet sind, daß .der Hauptbeobachter, beinm Sitzen vor dem Mikroskop seine Arme bis zu den Ellenbogen gut auflegen kann. Die Mikroskopröhre selbst stützt sich auf ein seitlich daneben befindliches Lager 15 ab, durch. das die Pumpleitung hindurchgeführt ist. Mit 16 ist der Vakuumhahn 'bezeichnet, der die verschiedenen beim Betrieb des Mikroskops erforderlichen Schaltungen durchzuführen gestattet. Auch .der Griff 17 dieses Vakuwmihahnes liegt im bequemen Griffbereich aller Beobachter. Die Überwachung des Vakuums erfolgt mit Hilfe von Vakuumprüfröhrchen 18 und i9., die 'mit Hilfe eines Um'schafters 2o wahlweise wirksam gemacht werden können. Auf diese Weise lassen sich das Vakuum in der Mikroskopröhre und das notwendige Vorvakuu.m getrennt überwachen. Dadurch, @daß 'die Vakuumleitung mit dem, Lager 15 schräg zur Hauptachse des Tisches liegt, ergibt sich für den am Platz 9 befindlichen ersten Nebenbeobachter eine große Tischfläche 2i, die durch eine dem Lager zugeordnete Lampe 22 beleuchtet werden kann. Die Anordnung ist dabei mittels einer Abschirmung so ausgebildet, daß dieser Nebenbeobachter dlie Lampe nicht direkt sieht und daher bei seiner Betrachtung des Endbitdes nicht gestört wird, ohwohl er Protokollnotizen machen kann. Die Lampe beleuchtet auch die auf der Hinterseite der. Tischplatte anfge@baute:n Instrumente 23. Bequem im Griffbereich der rechten Hand des Hauptbeobachters liegt der Steuerknüppel 2d., mit dem er die Hochspannungsstrojxiizreise schalten und regeln kann. An beiden Armstützen 13 und 'q. sin'd im Stativ Niederspannungsschalter 2,5 für Beleuchtung, Vorv 'kuumprüfung usw. angeordnet, die, wie ohne a e weiteres ersichtlich ist, für den Hauptbeobachter sehr handlich liegen.The table is for three as shown in the plan Observer set up. before the microscope tube sits on the stool 7 the main observer, to the side the Ne @ benbedbachter on 9 and B. Working on the If there are only two people, space 8 remains empty. Like this one, recognize the floor plan lets, the observation stations are arranged and is the shape of the microscope table chosen so that these observers are practically about the same distance from the microscope tube and also have the same distance from each other, the microscope stage possesses on the side of the dreary main observer made a deep incision, which formed the microscope tube makes it easily accessible in its entire length. The secondary observers are smaller Indentations i i and 12 on the table assigned. Through this shaping of the table result for the main observer comfortable armrests 13 and 1d., which: so arranged are that .the main observer, while sitting in front of the microscope, put his arms up to can rest your elbows well. The microscope tube itself is based on a laterally located bearing 15 from, through. that passed through the pump line is. With 16 of the vacuum cock 'is referred to, the different when operating the Microscope is allowed to carry out the necessary circuits. Also. The handle 17 this vacuum tap is within easy reach of all observers. The supervision the vacuum takes place with the help of vacuum test tubes 18 and 19., the 'with the help a Um'schafters 2o can optionally be made effective. Leave that way monitor the vacuum in the microscope tube and the necessary pre-vacuum separately. As a result, @ that 'the vacuum line with the, bearing 15 at an angle to the main axis of the table is, there is a large one for the first secondary observer at position 9 Table surface 2i, which are illuminated by a lamp 22 assigned to the warehouse can. The arrangement is designed by means of a shield so that this Secondary observer dlie lamp does not see directly and therefore when looking at the Endbitdes is not disturbed, although he can make log notes. The lamp also illuminates the one on the back of the. Tabletop started @ built: n instruments 23. The control stick lies comfortably within the reach of the main observer's right hand 2d., With which he can switch and regulate the high-voltage current circuit. At both Armrests 13 and 'q. sin'd in the stand low-voltage switch 2.5 for lighting, Vorv 'kuumprüfung, etc. arranged, which, as is readily apparent, for the main observer are very handy.

Bei dem dargestelItenMikrosl-,op wird der Strahlerzeu;ger zu Kontrollzwecken vom Linsenkörper t2 abgeschraubt. Um für diesen Fall -die Bedienung .zu erleichtern, ist dem.Strahlerzeuger eine schwenkbare Tragstütze 26 zugeordnet, mit 'deren Hilfe er nach seinerLösung von der Mikroskopröhre i@nRichtung auf den. Hauptbeobachter hin nach. vorn in die dargestellte Lage geschwenkt werden 'kann. Dabei wird ein Sicherheitskontakt gelöst, so daß die Hochspannung nicht eingeschaltet werden kann. Die Einzelteile der Tischplatte,beispielsweise die der Armstütze 13 zugeordneten, 'und die Platte 21 ,kann man beim Gegenstand der Erfindung aufklappbar machen, um -darunter befindlithe Tischfächer bequem zugänglich zu machen. Im Stativ unterhalb .der Tischplatte 21 #werden bei dem dargestellten Mikroskop die Vakuumpumpen und gegebenenfalls auch Hochspannungserzeuger angeordnet. Diese Teile sind durch eine oder gegebenenfalls mehrere seitliche Türen 27 (bequem zugänglich.In the illustrated microscope, the source generator is used for control purposes unscrewed from the lens body t2. In order to facilitate the operation in this case, a pivotable support bracket 26 is assigned to the jet generator, with the aid of which after his solution he moves from the microscope tube in the direction of the. Main observer towards. can be pivoted forward into the position shown '. This is a Safety contact released so that the high voltage cannot be switched on. The individual parts of the table top, for example those assigned to the armrest 13, 'and the plate 21, you can make hinged to the subject of the invention -to make table compartments conveniently accessible underneath. In the tripod below . of the table top 21 #, the vacuum pumps and if necessary, high-voltage generators are also arranged. These parts are through a or if necessary several side doors 27 (easily accessible.

Claims

PATENT CLAIMS: i. Electron micr: os'lcop with one, Stativo one Has a table surface above which the spray lance rises, characterized by that the table is designed in such a way that three Beohach.te.r can sit down, that practically everyone is about the same distance from the pipe and also the same Distance from the other two observers.

2. Arrangement according to claim i, characterized by the fact that the table has a deep incision for the main observer through which the microscope tube is accessible in its entire length. is. 3 ,.

Arrangement according to claim i or 2, characterized in that for the two Secondary observer smaller indentations in the table are provided. q ..

Arrangement according to Claim i or one of the following, characterized in that for the seated main observer through the table design armrests that go up reach under the elbows.

5. Arrangement according to claim i or one of the following, characterized in that the whole microscope is on a side next to the Supports microscope tube located bearing.

6. Arrangement according to claim i or one the following, due to the fact that the pump line and the storage point is inclined to the main axis of the table.

7. Arrangement according to claim i or one of the following, characterized in that a lighting device, -the, from the main observation place is not directly visible, in the area of the storage area is located, which serves to the rear writing surface of the table and the standing on it To illuminate the instrument attachment. B. Arrangement according to claim i or one of the following for an electron microscope with a beam path directed from bottom to top, .this, characterized in that the jet generator is assigned a pivotable support bracket, he mixes the help of them after his removal from the microscope tube in the direction of dien Main elevator can be swiveled forward. 9.. Arrangement according to claim i or one of the following, characterized in that to the System associated low voltage, switch below the table top in the handle area of the main observer. ok Arrangement according to claim i or one of the following, characterized in that the high-voltage circuits of the beam generator Controlling manually operated switch (joystick) in the grip area of the main observer on the right is the electron microscope. i i. Arrangement .according to claim i or one of the following, characterized in that parts of the table top can be opened and serve as a cover for table compartments.