DE891436C

DE891436C - electron microscope

Info

Publication number: DE891436C
Application number: DES11695D
Authority: DE
Inventors: Ernst Dr-Ing Ruska; Helmut Dr Med Ruska
Original assignee: Siemens Corp
Current assignee: Siemens Corp
Priority date: 1943-06-12
Filing date: 1943-06-13
Publication date: 1953-09-28

Description

Elektronenmikroskop Es ist ein Elektronenmikroskop bekannt, das ein Stativ mit einer waagerechten Auflagefläche für das die Linsen enthaltende Vakuumgefäß in Form eines kleinen Tisches besitzt. Dabei sind in das Stativ an geeigneten Stellen auch alle wesentlichen sonstigen zum Betrieb benötigten Einzelteile, wie Vakuumpumpe, Kühlfalle, Regel- und Meßgeräte eingebaut. Bei der bekannten Konstruktion ist das Stativ nach oben hin: verlängert und als Träger der oberen Schutzwanne ausgebildet, in welche die die Hochspannung zuführenden Leitungen und der Erdungsschalter eingebaut sind. Das Mikroskop ist fernerhin so eingerichtet, daß gleichzeitig bis zu drei Beobachter durch entsprechende ihren Beobachtungsplätzen zugeordnete Schaulöcher den Zwischenbildleuchtsdhirm bzw. den Endbildleuchtschirm beobachten können. Diese Konstruktion bringt es mit sich, daß die waagerechte Auflagefläche für das eigentliche Mikroskop verhältnismäßig klein bemessen sein muß, um jeden der Beobachter ausreichend nahe an die Schauöffnungen heranzubringen.Electron microscope It is known as an electron microscope, the one Stand with a horizontal support surface for the vacuum vessel containing the lenses in the form of a small table. Thereby are in the tripod in suitable places also all other essential individual parts required for operation, such as vacuum pump, Built-in cold trap, control and measuring devices. With the known construction this is Stand towards the top: extended and designed as a support for the upper protective trough, in which the high-voltage lines and the earthing switch are installed are. The microscope is also set up so that at the same time up to three Observers through corresponding viewing holes assigned to their observation places be able to observe the intermediate screen or the end screen. These Construction entails that the horizontal support surface for the actual Microscope must be sized relatively small to adequately accommodate each of the observers bring them close to the viewing openings.

Die Erfindung betrifft ein Elektronenmikroskop mit einem Stativ, das eine waagerechte Auflagefläche für das die, Linsen enthaltende Vakuumgefäß besitzt und das auch gleichzeitig als Träger aller wesentlichen zum Mikroskop gehörigen Teile eingerichtet ist. Erfindungsgemäß ist,die waagerechte Auflagefläche des Stativs wenigstens im Bereich eines dem Mikroskop zugeordneten Beobachtungsplatzes. seitlich zu einem Schreib- und Arbeitstisch erweitert. Auf diese Weise wird das Arbeiten mit dem Mikroskop gegenüber der bekannten Konstruktion erleichtert, da nunmehr der sitzende Beobachter sehr handlich auf einer-Seite eine freie Tischplatte besitzt, so daß er die Möglichkeit hat, während-der-.Beobachtungen bequem die Beobachtungsergebnisse .sofort schriftlich niederzulegen und auchUntersuchungsgeräte, Objekte, Objektblenden, Zusatzinstrumente u. dgl., die beim Arbeiten mit dem Mikroskop benötigt werden, ablegen kann. Eine bevorzugte Ausführungsform der Erfindung besteht darin, @daß das Mikroskop für zwei Beobachtersitzplätze eingerichtet ist und als Stativ ein viereckiger Tisch dient. Dabei ist das Mikroskop auf dem Tisch von der Seite des Hauptbeobachtungsplatzes aus nach der linken- Seite hin so versetzt, daß sich rechts neben dem vor dem Gerät sitzenden Beobachter -eine-,größere Schreibtischfläche ergibt. Gleichzeitig ist das Mikroskop dabei nach einer Tischecke hin derart versetzt, daß sich außer dem Hauptbeobachtungssitzplatz noch ein zweiter Sitzplatz an der linken Seite des. Tisches mit einer auch diesem Platz zugeordneten Schreibfläche ergibt. Der Hauptbeobachter hat dabei. also.. rechts neben sich die Schreib- und Ablegefläche, während :dem zweiten Beobachtungsplatz linker Hand eine zusätzliche Tischfläche zugeordnet ist.The invention relates to an electron microscope with a stand that has a horizontal support surface for the vacuum vessel containing the lenses and that at the same time as a carrier of all essentials belonging to the microscope Parts is set up. According to the invention, the horizontal support surface of the stand at least in the area of an observation station assigned to the microscope. laterally extended to a desk and work table. That way it will work with the microscope compared to the known construction, since now the seated observer very handy on one side has a free tabletop, so that he has the possibility of conveniently viewing the observation results during-the-observations immediately put down in writing and also examination devices, objects, object apertures, Additional instruments and the like that are required when working with the microscope, can drop. A preferred embodiment of the invention is that @ that the microscope is set up for two observer seats and as a tripod square table is used. The microscope is on the table from the side of the The main observation area is offset from the left side so that it is on the right In addition to the observer sitting in front of the device, there is a larger desk surface. At the same time, the microscope is offset towards a corner of the table in such a way that In addition to the main observation seat, there is a second seat on the left Side of the table with a writing surface that is also assigned to this space. The main observer has with him. so .. to the right of you the writing and filing surface, while: the second observation point on the left an additional table surface assigned.

Für den Hauptbeobachter wird mnan unterhalb der Tischfläche, und zwar -vorzugsweise versetzt nach der dem Hauptbeobachtungsplatz_ zugeordneten Schreibfläche, die Regelgeräte des Mikroskops anordnen, so daß sie bequem von dem sitzenden Hauptbeobachter bedient werden können. Diese Regelgeräte kann man mit Vorteil in. .einem unter der Tischplatte angeordneten Kasten anordnen,- der an einer Drehachse oder Scharnier so befestigt ist, daß man ihn zur Kontrolle der darin eingebauten. Geräte von der Tischplatte nach unten, hin wegklappen kann. Dabei werden die in den Kasten hineinführenden, vorzugsweise von einem unmittelbar hinter dem Tisch stehenden Netzanschlußgerät kommenden elektrischen Anschlußleitungen -derart.-als bewegliche Leitungen ausgeführt,, daß_ sie .für die Kontrolle nicht gelöst werden müssen. Oben auf der Tischplatte kann ein Meßinstrumente aufnehmender Kasten befestigt sein, der den hinteren Abschluß der einen Tischfläche bildet. Diesem Kasten wird zweckmäßig eine nach vorn abgedeckte Soffittenbeleuchtung zugeordnet, so daß @die Instrumente von dem sitzenden Hauptbeobachter blendungsfrei beobachtet wenden können. Ein Kassettenvorrat kann auf oder unter dem Tisch neben oder unter dem Mikroskop untergebracht werden.. Die Pümpleitung wird man bei der Anordnung des Mikroskops auf einen viereckigen Tisch, vom Hauptbeobachter aus. gesehen auf der rechten Mikroskopseite, verlegen, so daß der links sitzende Beobachter ebenfalls eine genügend tiefe Tischflache hat.For the main observer, mnan is below the table surface, namely -preferably offset after the writing area assigned to the main observation place_, Arrange the control devices of the microscope so that they can be easily accessed by the seated main observer can be operated. These control devices can advantageously be placed in ... one under the Arrange the box arranged on the table top - the one on a pivot axis or hinge is attached so that you can control the built in it. Devices from the The table top can be folded down towards the bottom. The leading into the box, preferably from a power supply unit standing directly behind the table coming electrical connection lines -derart.-designed as movable lines, that_ they do not have to be solved for the control. On top of the tabletop A measuring instrument receiving box can be attached to the rear end which forms a table surface. This box is expediently covered at the front Associated festoon lighting, so that @ the instruments from the seated main observer be able to turn observed glare-free. A supply of cassettes can be on or under next to the table or under the microscope When arranging the microscope on a square table, one becomes the main observer the end. seen on the right side of the microscope, relocated so that the one sitting on the left Observer also has a sufficiently deep table surface.

Weitere für- die Erfindung wesentliche Merkmale ergeben sich aus -dem in den Figuren dargestellten Ausführungsbeispiel, "das ein Elektronenmiki,,öskop mit einem als viereckiger Tisch ausgeführten Stativ zeigt.Other by-essential to the invention features result from - the embodiment shown in the figures, "the öskop shows a Elektronenmiki ,, with a designed as a square table stand.

Fig. i zeigt eine Vorderansicht, Fig. 2 eine Draufsicht und Fig.3 eine teilweise im Schnitt dargestellte .Seitenansicht des Mikroskops.FIG. 1 shows a front view, FIG. 2 shows a plan view and FIG a partially sectioned side view of the microscope.

Mit i ist die viereckige Tischplatte des Mikroskopstativs bezeichnet. Die Tischplatte ruht auf den vier mit 2 bezeichneten Beinen. Oben -auf die Tischplatte ist das Elektronenmikroskop 3 senkrecht stehend aufmontiert. Im Ausführungsbeispiel ist ein zweistufiges Mikroskop normalenStrahlengangs mit obenliegender Kathode gezeichnet. Es kann aber auch das Mikroskop mit untenliegender Kathäde auf der Tischplatte aufgebaut sein, wobei das Mikroskop zu einem Teil bis unter die Tischplatte reichen kann, um z. B. die Spannungszuführung, zur Kathode unter dieTischplatte zu verlegen. Inn oberen Teil -des beispielsweise gezeichneten Mikroskops befindet sich das Stra'hlerzeugungssystem. Mit q. und 5 sind die dem Endbildleuchtschirrn zugeordneten Schaulöcher für den vor dem Tisch sitzenden Hauptbeobachter und auf der linken Seite'* sitzenden zweiten Beobachter be-".zeidinet.. Das Mikroskop ist aus der Tischmitte heraus nach der vorderen linken Ecke 5a des Tisches hin versetzt derart angeordnet, daß der Hauptbeobachter an der mit 6 bezeichneten Seite und ein zweiter Beobachter an der mit 7 bezeichneten Seite seinen Sitzplatz ..hat, .Mit 8 ist die zur Hauptvakuumpumpe g führende Vakuumleitung bezeichnet; bei. io ist die Kühlfalle für die Vakuumleitung angedeutet. Die erforderlichen Vakuumschaltungen werden mit Hilfe eines Hahnes i.i, der durch einen. Han-dgriff_ 12 verstellt werden kann, durchgeführt. Den hinterenAbschluß auf derTischplatte bildet ein Kasten 13, in den Meßinstru-.mente,äq. leingebaut sind. Eine Soffittenlampe 15 sorgt für blendungsfreie Beleuchtung -der Instrumentenskalen. - Rechts neben - dem Hauptbeobachtungsplatz ergibt sieh vor dem Kasten rg -eine freie Tischfläche 16, so daß der Hauptbeobachter hier . Schreib- .-und Ablegemöglichkeithat; für den auf der linken .Seite 7, des Tisches sitzenden Beobachter "ergibt sieh auf der Tischplatte bei 17 ebenfalls eine entsprechende Tischfläche. Diese Tischfläche ist dadurch ausreichend groß gemacht, Üaß die Pumpleitung 8 in der aus dem Grundriß der Fig. 2 ersichtlichen Weise auf der rechten Seite des MikrosköPs 3 verlegt ist. Unterhalb der Tischplatte ist ein,. Kasten _ 18 angeordnet, der die Schalt und Regelgeräte des Mikroskops enthält. Mit i9 sind die Bedienungshandgriffe für diese Geräte bezeichnet. Der -Kasten 16 ist -an einer Drehachse 2o so befestigt, -daß er- zur Kontrolle der in ihm eingebauten Schalt- und Regelgeräte nach Lösung der vorderen in der Figur im einzelnen nicht dar- i gestellten Befestigungsmittel von der Tischplatte nach .unten hin weggeklappt werden kann. Dabei s .in i d die in der Figur im einzelnen nicht dargestellten elektrischen Zuleitungen,. die in den Kasten i8 führen, ,denärt beweglich ausgebildet; däß i män--die.se Kontrolle det_ Geräte ohne die elektrischen Zuleitungen dabei lösen zu müssen.The square table top of the microscope stand is denoted by i. The table top rests on the four legs marked 2. Above - on the table top the electron microscope 3 is mounted upright. In the exemplary embodiment shows a two-stage microscope normal beam path with the cathode on top. However, the microscope can also be set up on the table top with the cathode underneath where the microscope can partially reach under the table top, to z. B. to lay the voltage supply to the cathode under the table top. Inn The beam generation system is located in the upper part of the microscope shown, for example. With q. and 5 are the peepholes for the end picture lamp assigned to the Main observer seated in front of the table and second seated on the left '* Observer be - ". Zeidinet .. The microscope is from the center of the table after the front left corner 5a of the table offset so that the main observer on the side labeled 6 and a second observer on the side labeled 7 Side .. has its seat,. At 8 is the vacuum line leading to the main vacuum pump g designated; at. The cold trap for the vacuum line is indicated. The necessary Vacuum circuits are operated with the help of a tap i.i, which is operated by a. Handgrip_ 12 can be adjusted. The rear end on the tabletop forms a box 13 in which the measuring instruments, eq. are built in. A festoon lamp 15 ensures glare-free illumination of the instrument dials. - Right next to - The main observation place is in front of the box rg - there is a free table surface 16 so the main observer here. Has writing and filing options; for the on the left .Side 7, the table-seated observer "shows you on the table top at 17 also a corresponding table surface. This table surface is therefore sufficient Made large, the pump line 8 in the plan shown in FIG Way is laid on the right side of the microscope 3. Below the table top is a,. Box _ 18, which contains the switching and control devices of the microscope contains. The operating handles for these devices are designated with i9. The box 16 is attached to an axis of rotation 2o in such a way that it can be used to control the components built into it Switching and regulating devices after solving the front in the figure not in detail shown fastening means folded away from the table top downwards can be. Here s .in i d the electrical not shown in detail in the figure Supply lines ,. which lead into the box i8, which is designed to be movable; that i oman - die.se control det_ devices without the electrical leads to have to solve it.

Abweichend von :den in der Figur dargestellten Ausführungsformen kann man auch andere Grundrißformen für die waagerecht liegende Auflagefläche des Mikroskops anwenden. Wichtig ist,dabei immer, daß das Stativ so ausgeführt ist, daß es einerseits in an sich bekannter Weise alle wesentlichen zur Bedienung des Gerätes benötigten Zusatzgeräte aufnimmt bzw. trägt und andererseits so ausgestaltet ist, daß sich handlich neben einem oder mehreren Beobachtungsplätzen ausreichend große Schreib- oder Arbeitstischflächen ergeben.Notwithstanding: the embodiments shown in the figure can you can also use other plan forms for the horizontally lying support surface of the microscope use. It is always important that the tripod is designed so that it is on the one hand in a manner known per se, all the essentials needed to operate the device Additional equipment receives or carries and on the other hand is designed so that handy next to one or more observation stations, sufficiently large writing or workbench surfaces.

Claims

PATENT CLAIMS: i ,. Electron microscope with a tripod, the one has a horizontal support surface for the vacuum vessel containing the lenses and the other items required for operation, such as vacuum pump, cold trap, Control and measuring devices, characterized in that the horizontal support surface des. Tripod at least in the area of one. Observation point to the side of one The desk or work table is expanded.

2. Arrangement according to claim ii, characterized marked that as. Stand of the microscope is a square table and that the microscope on this table from the side of the main observation area the left side is offset so that see right. next to the person sitting in front of the device Observer gives a larger desk surface.

3. Arrangement according to claim i or 2, characterized in that the microscope is on the square table top is offset from the center of the table to a corner of the table in such a way that at the sides of the table that form this corner each have an observation place and one each Space allocated writing surface results. q ..

Arrangement according to claim 2, characterized in that that below one writing surface, preferably below that of the main observation area assigned writing surface, the control devices of the microscope are arranged.

arrangement according to claim i or one of the following, characterized in that on top of the square table top, preferably more easily visible to the main observer, The measuring instruments receiving box is attached to the rear end which forms a desk surface.

6. Arrangement according to claim 5, characterized in that the measuring instruments are arranged in the box next to each other in such a way as the handles of the controllers assigned to them are located on the front of the equipment box. 7. Arrangement according to claim i or one of the following, characterized in that the touch-safe feeding of the cathode lines takes place from the rear or from the right, to the rear of the vacuum vessel.