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DE891436C - Elektronenmikroskop - Google Patents

Elektronenmikroskop

Info

Publication number
DE891436C
DE891436C DES11695D DES0011695D DE891436C DE 891436 C DE891436 C DE 891436C DE S11695 D DES11695 D DE S11695D DE S0011695 D DES0011695 D DE S0011695D DE 891436 C DE891436 C DE 891436C
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
microscope
arrangement according
observer
main
box
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
DES11695D
Other languages
English (en)
Inventor
Ernst Dr-Ing Ruska
Helmut Dr Med Ruska
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Siemens Corp
Original Assignee
Siemens Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Siemens Corp filed Critical Siemens Corp
Priority to DES11695D priority Critical patent/DE891436C/de
Application granted granted Critical
Publication of DE891436C publication Critical patent/DE891436C/de
Expired legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02Details
    • H01J37/16Vessels; Containers

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Microscoopes, Condenser (AREA)

Description

  • Elektronenmikroskop Es ist ein Elektronenmikroskop bekannt, das ein Stativ mit einer waagerechten Auflagefläche für das die Linsen enthaltende Vakuumgefäß in Form eines kleinen Tisches besitzt. Dabei sind in das Stativ an geeigneten Stellen auch alle wesentlichen sonstigen zum Betrieb benötigten Einzelteile, wie Vakuumpumpe, Kühlfalle, Regel- und Meßgeräte eingebaut. Bei der bekannten Konstruktion ist das Stativ nach oben hin: verlängert und als Träger der oberen Schutzwanne ausgebildet, in welche die die Hochspannung zuführenden Leitungen und der Erdungsschalter eingebaut sind. Das Mikroskop ist fernerhin so eingerichtet, daß gleichzeitig bis zu drei Beobachter durch entsprechende ihren Beobachtungsplätzen zugeordnete Schaulöcher den Zwischenbildleuchtsdhirm bzw. den Endbildleuchtschirm beobachten können. Diese Konstruktion bringt es mit sich, daß die waagerechte Auflagefläche für das eigentliche Mikroskop verhältnismäßig klein bemessen sein muß, um jeden der Beobachter ausreichend nahe an die Schauöffnungen heranzubringen.
  • Die Erfindung betrifft ein Elektronenmikroskop mit einem Stativ, das eine waagerechte Auflagefläche für das die, Linsen enthaltende Vakuumgefäß besitzt und das auch gleichzeitig als Träger aller wesentlichen zum Mikroskop gehörigen Teile eingerichtet ist. Erfindungsgemäß ist,die waagerechte Auflagefläche des Stativs wenigstens im Bereich eines dem Mikroskop zugeordneten Beobachtungsplatzes. seitlich zu einem Schreib- und Arbeitstisch erweitert. Auf diese Weise wird das Arbeiten mit dem Mikroskop gegenüber der bekannten Konstruktion erleichtert, da nunmehr der sitzende Beobachter sehr handlich auf einer-Seite eine freie Tischplatte besitzt, so daß er die Möglichkeit hat, während-der-.Beobachtungen bequem die Beobachtungsergebnisse .sofort schriftlich niederzulegen und auchUntersuchungsgeräte, Objekte, Objektblenden, Zusatzinstrumente u. dgl., die beim Arbeiten mit dem Mikroskop benötigt werden, ablegen kann. Eine bevorzugte Ausführungsform der Erfindung besteht darin, @daß das Mikroskop für zwei Beobachtersitzplätze eingerichtet ist und als Stativ ein viereckiger Tisch dient. Dabei ist das Mikroskop auf dem Tisch von der Seite des Hauptbeobachtungsplatzes aus nach der linken- Seite hin so versetzt, daß sich rechts neben dem vor dem Gerät sitzenden Beobachter -eine-,größere Schreibtischfläche ergibt. Gleichzeitig ist das Mikroskop dabei nach einer Tischecke hin derart versetzt, daß sich außer dem Hauptbeobachtungssitzplatz noch ein zweiter Sitzplatz an der linken Seite des. Tisches mit einer auch diesem Platz zugeordneten Schreibfläche ergibt. Der Hauptbeobachter hat dabei. also.. rechts neben sich die Schreib- und Ablegefläche, während :dem zweiten Beobachtungsplatz linker Hand eine zusätzliche Tischfläche zugeordnet ist.
  • Für den Hauptbeobachter wird mnan unterhalb der Tischfläche, und zwar -vorzugsweise versetzt nach der dem Hauptbeobachtungsplatz_ zugeordneten Schreibfläche, die Regelgeräte des Mikroskops anordnen, so daß sie bequem von dem sitzenden Hauptbeobachter bedient werden können. Diese Regelgeräte kann man mit Vorteil in. .einem unter der Tischplatte angeordneten Kasten anordnen,- der an einer Drehachse oder Scharnier so befestigt ist, daß man ihn zur Kontrolle der darin eingebauten. Geräte von der Tischplatte nach unten, hin wegklappen kann. Dabei werden die in den Kasten hineinführenden, vorzugsweise von einem unmittelbar hinter dem Tisch stehenden Netzanschlußgerät kommenden elektrischen Anschlußleitungen -derart.-als bewegliche Leitungen ausgeführt,, daß_ sie .für die Kontrolle nicht gelöst werden müssen. Oben auf der Tischplatte kann ein Meßinstrumente aufnehmender Kasten befestigt sein, der den hinteren Abschluß der einen Tischfläche bildet. Diesem Kasten wird zweckmäßig eine nach vorn abgedeckte Soffittenbeleuchtung zugeordnet, so daß @die Instrumente von dem sitzenden Hauptbeobachter blendungsfrei beobachtet wenden können. Ein Kassettenvorrat kann auf oder unter dem Tisch neben oder unter dem Mikroskop untergebracht werden.. Die Pümpleitung wird man bei der Anordnung des Mikroskops auf einen viereckigen Tisch, vom Hauptbeobachter aus. gesehen auf der rechten Mikroskopseite, verlegen, so daß der links sitzende Beobachter ebenfalls eine genügend tiefe Tischflache hat.
  • Weitere für- die Erfindung wesentliche Merkmale ergeben sich aus -dem in den Figuren dargestellten Ausführungsbeispiel, "das ein Elektronenmiki,,öskop mit einem als viereckiger Tisch ausgeführten Stativ zeigt.
  • Fig. i zeigt eine Vorderansicht, Fig. 2 eine Draufsicht und Fig.3 eine teilweise im Schnitt dargestellte .Seitenansicht des Mikroskops.
  • Mit i ist die viereckige Tischplatte des Mikroskopstativs bezeichnet. Die Tischplatte ruht auf den vier mit 2 bezeichneten Beinen. Oben -auf die Tischplatte ist das Elektronenmikroskop 3 senkrecht stehend aufmontiert. Im Ausführungsbeispiel ist ein zweistufiges Mikroskop normalenStrahlengangs mit obenliegender Kathode gezeichnet. Es kann aber auch das Mikroskop mit untenliegender Kathäde auf der Tischplatte aufgebaut sein, wobei das Mikroskop zu einem Teil bis unter die Tischplatte reichen kann, um z. B. die Spannungszuführung, zur Kathode unter dieTischplatte zu verlegen. Inn oberen Teil -des beispielsweise gezeichneten Mikroskops befindet sich das Stra'hlerzeugungssystem. Mit q. und 5 sind die dem Endbildleuchtschirrn zugeordneten Schaulöcher für den vor dem Tisch sitzenden Hauptbeobachter und auf der linken Seite'* sitzenden zweiten Beobachter be-".zeidinet.. Das Mikroskop ist aus der Tischmitte heraus nach der vorderen linken Ecke 5a des Tisches hin versetzt derart angeordnet, daß der Hauptbeobachter an der mit 6 bezeichneten Seite und ein zweiter Beobachter an der mit 7 bezeichneten Seite seinen Sitzplatz ..hat, .Mit 8 ist die zur Hauptvakuumpumpe g führende Vakuumleitung bezeichnet; bei. io ist die Kühlfalle für die Vakuumleitung angedeutet. Die erforderlichen Vakuumschaltungen werden mit Hilfe eines Hahnes i.i, der durch einen. Han-dgriff_ 12 verstellt werden kann, durchgeführt. Den hinterenAbschluß auf derTischplatte bildet ein Kasten 13, in den Meßinstru-.mente,äq. leingebaut sind. Eine Soffittenlampe 15 sorgt für blendungsfreie Beleuchtung -der Instrumentenskalen. - Rechts neben - dem Hauptbeobachtungsplatz ergibt sieh vor dem Kasten rg -eine freie Tischfläche 16, so daß der Hauptbeobachter hier . Schreib- .-und Ablegemöglichkeithat; für den auf der linken .Seite 7, des Tisches sitzenden Beobachter "ergibt sieh auf der Tischplatte bei 17 ebenfalls eine entsprechende Tischfläche. Diese Tischfläche ist dadurch ausreichend groß gemacht, Üaß die Pumpleitung 8 in der aus dem Grundriß der Fig. 2 ersichtlichen Weise auf der rechten Seite des MikrosköPs 3 verlegt ist. Unterhalb der Tischplatte ist ein,. Kasten _ 18 angeordnet, der die Schalt und Regelgeräte des Mikroskops enthält. Mit i9 sind die Bedienungshandgriffe für diese Geräte bezeichnet. Der -Kasten 16 ist -an einer Drehachse 2o so befestigt, -daß er- zur Kontrolle der in ihm eingebauten Schalt- und Regelgeräte nach Lösung der vorderen in der Figur im einzelnen nicht dar- i gestellten Befestigungsmittel von der Tischplatte nach .unten hin weggeklappt werden kann. Dabei s .in i d die in der Figur im einzelnen nicht dargestellten elektrischen Zuleitungen,. die in den Kasten i8 führen, ,denärt beweglich ausgebildet; däß i män--die.se Kontrolle det_ Geräte ohne die elektrischen Zuleitungen dabei lösen zu müssen.
  • Abweichend von :den in der Figur dargestellten Ausführungsformen kann man auch andere Grundrißformen für die waagerecht liegende Auflagefläche des Mikroskops anwenden. Wichtig ist,dabei immer, daß das Stativ so ausgeführt ist, daß es einerseits in an sich bekannter Weise alle wesentlichen zur Bedienung des Gerätes benötigten Zusatzgeräte aufnimmt bzw. trägt und andererseits so ausgestaltet ist, daß sich handlich neben einem oder mehreren Beobachtungsplätzen ausreichend große Schreib- oder Arbeitstischflächen ergeben.

Claims (6)

  1. PATENTANSPRÜCHE: i,. Elektronenmikroskop mit einem Stativ, das eine waagerechte Auflagefläche für das die Linsen enthaltende Vakuumgefäß besitzt und das die übrigen zum Betrieb benötigten Einzelteile, wie Vakuumpumpe, Kühlfalle, Regel- und Meßgeräte trägt, dadurch gekennzeichnet, daß die waagerechte Auflagefläche des. Stativs wenigstens im Bereich des einen. Beobachtungsplatzes seitlich zu einem Schreib- bzw. Arbeitstisch erweitert ist.
  2. 2. Anordnung nach Anspruch ii, dadurch gekennzeichnet, daß als. Stativ des Mikroskops ein viereckiger Tisch dient und daß das Mikroskop auf diesem Tisch von der Seite des Hauptbeobac'htungsplatzes aus nach der linken Seite hin so versetzt ist, daß sieh rechts. neben dem vor dem Gerät sitzenden Beobachter eine größere Schreibtischfläche ergibt.
  3. 3. Anordnung nach Anspruch i oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Mikroskop auf der viereckigen Tischplatte von der Tischmitte aus nach einer Tischecke hin derart versetzt ist, daß sich an den diese Ecke bildenden Tischseiten je ein Beobachtungsplatz und je eine diesem Platz zugeordnete Schreibfläche ergibt. q..
  4. Anordnung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß unterhalb der einen Schreibfläche, und zwar vorzugsweise unter der dem Hauptbeobachtungsplatz zugeordneten Schreibfläche die Regelgeräte des Mikroskops angeordnet sind.
  5. Anordnung nach Anspruch i oder einem der folgenden, dadurch gekennzeichnet, daß oben auf der viereckigen Tischplatte ein vorzugsweise für den Hauptbeobachter bequem sichtbarer, die Meßinstrumente aufnehmender Kasten befestigt ist, der den hinteren Abschluß der einen Schreibtischfläche bildet.
  6. 6. Anordnung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Meßinstrumente im Kasten nebeneinander entsprechend so angeordnet sind, wie die Handgriffe der ihnen zugeordneten Regler an der Vorderseite des Gerätekastens liegen. 7. .Anordnung nach Anspruch i oder einem der folgenden, dadurch gekennzeichnet, daß die berührungssichere Zuführung der Kathodenleitungen von hinten oder von rechts, hinten an das Vakuumgefäß erfolgt.
DES11695D 1943-06-12 1943-06-13 Elektronenmikroskop Expired DE891436C (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DES11695D DE891436C (de) 1943-06-12 1943-06-13 Elektronenmikroskop

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE247857X 1943-06-12
DES11695D DE891436C (de) 1943-06-12 1943-06-13 Elektronenmikroskop
DE230643X 1943-06-23

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE891436C true DE891436C (de) 1953-09-28

Family

ID=27185033

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DES11695D Expired DE891436C (de) 1943-06-12 1943-06-13 Elektronenmikroskop

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DE (1) DE891436C (de)

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