DE8913756U1 - Kapazitiver Beschleunigungswandler - Google Patents
Kapazitiver BeschleunigungswandlerInfo
- Publication number
- DE8913756U1 DE8913756U1 DE8913756U DE8913756U DE8913756U1 DE 8913756 U1 DE8913756 U1 DE 8913756U1 DE 8913756 U DE8913756 U DE 8913756U DE 8913756 U DE8913756 U DE 8913756U DE 8913756 U1 DE8913756 U1 DE 8913756U1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- converter according
- sheet
- plate part
- capacitor
- acceleration
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 title claims description 19
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 20
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 20
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims description 10
- 239000012777 electrically insulating material Substances 0.000 claims description 3
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 claims 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 2
- 229910001369 Brass Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010951 brass Substances 0.000 description 1
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 1
- JUWSSMXCCAMYGX-UHFFFAOYSA-N gold platinum Chemical compound [Pt].[Au] JUWSSMXCCAMYGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SWELZOZIOHGSPA-UHFFFAOYSA-N palladium silver Chemical compound [Pd].[Ag] SWELZOZIOHGSPA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 1
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
- G01P15/125—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by capacitive pick-up
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
- G01P2015/0805—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration
- G01P2015/0822—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining out-of-plane movement of the mass
- G01P2015/0825—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining out-of-plane movement of the mass for one single degree of freedom of movement of the mass
- G01P2015/0828—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining out-of-plane movement of the mass for one single degree of freedom of movement of the mass the mass being of the paddle type being suspended at one of its longitudinal ends
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Pressure Sensors (AREA)
Description
► t ·
MARELLI AUTRONICA S.p.A..:.. .&iacgr;. .:. .1. Mön/herf, 21. November I989
I-2OI23 Mailand, Italien JST-si l6
Kapazitiver Beschleunigungswandler
Die vorliegende Erfindung betrifft einen kapazitiven Beschleunigungswandler, der durch eine Kombination der folgenden
Teile gekennzeichnet ist:
- eine Stützstruktur zur Befestigung an dem Körper, dessen Beschleunigung ermittelt werden soll,
- ein von der Stützstruktur getragenes Metallplattenteil,
- ein biegsames Metallblatt, dessen erstes Ende einseitig an der Stützstruktur befestigt ist und dessen zweites Ende in einem
Abstand dem Plattenteil in der Richtung zugekehrt ist, in der die Beschleunigung ermittelt werden soll, um auf diese Weise
einen Kondensator zu bilden, dessen Kapazität in Ruhe einen vorbestimmten Wert hat und in Abhängigkeit von der
Beschleunigung des Körpers in die genannte Richtung veränderlich ist, und
- eine Detektorvorrichtung zur Abgabe eines elektrischen Signals als Anzeige der Kapazität des Kondensators.
Aufgrund seiner voranstehenden Eigenschaften ist der Wandler einfach, genau und zuverlässig.
Weitere Einzelheiten, Merkmale und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der folgenden Beschreibung der Zeichnung, die lediglich
ein nicht-einschränkendes Beispiel darstellt.
et
teEs zeigen
teEs zeigen
.. Figur 1 eine perspektivische Darstellung des
Beschleunigungswandlers gemäß der vorliegenden Erfindung
Figur 2 eine Draufsicht in Richtung des Pfeiles II in Figur 1,
% Fig. 3,
I= 4 und 5 perspektivische Darstellungen dreier abgewandelter
H Ausführungsformen des Wandlers gemäß der vorliegenden
fj? Erfindung,
Figur 6 eine Draufsicht in Richtung des Pfeiles VI in Figur 4>
|t Figur 7 eine Schnitt entlang der Linie VII-VII in der Figur 5>
p; und
Figur 8 ein Blockschaltbild, welches den Betrieb eines mit dem erfindungsgemäßen Wandler verbundenen elektronischen
Schaltkreises zeigt.
■i.. In der Zeichnung ist ein kapazitiver Beschleunxgungswandler mit
"$. der Bezugsziffer 1 gekennzeichnet. Unter Bezugnahme auf die
pi- Figuren 1 und 2 besteht der Wandler aus einer Stützplatte 2 aus
elektrisch isolierendem Material, die an der Oberfläche des (nicht dargestellten) Körpers, dessen Beschleunigung ermittelt
werden soll, befestigbar ist. Ein aus einem Metallblock
■ bestehendes Plattenteil 3, und eine Unterlage 4, die geringfügig
|o dicker als das Plattenteil 3 ist, sind auf der Stützplatte 2
' angeordnet. Der Wandler 1 besteht weiterhin aus einem biegsamen
Metallblatt 5> beispielsweise aus Bandstahl, mit einem ersten Abschnitt 6, der von der Unterlage 4 frei wegragt und einem
&igr; zweiten Abschnitt 7, welcher im Abstand zu der oberen Fläche des
I Plattenteiles 3 angeordnet und diesem zugekehrt ist. Der
Abschnitt 7 des Metallblattes 5 und das Plattenteil 3 bilden auf |
diese Weise einen Kondensator, der in Ruhe einen vorbestimmten
Wert aufweist. Ein Massestück 8 ist auf dem Abschnitt 7 des
Metallblattes vorgesehen und auf der dem Plattenteil 3
abgewandten Oberfläche des Metallblattes angeordnet. |
Wenn der Wandler 1 einer Beschleunigung in einer senkrecht zu dem
Plattenteil 3 und dem Metallblatt 5 verlaufenden Richtung, das
heißt, parallel zu der durch den Doppelpfeil A in der Zeichnung &ngr;
dargestellten Linie, ausgesetzt ist, wird das Massestück 8 einer ,:
Kraft ausgesetzt, welche den freien Abschnitt 7 des Metallblattes %
in Schwingung versetzt. Diese Schwingung bewirkt eine Veränderung "}
der Kapazität des durch den Plattenteil 3 und das Metallblatt 5
gebildeten Kondensators. Diese Kapazitätsveränderung wird von
einem nachstehend beschriebenen elektronischen Schaltkreis
ermittelt, der an das Plattenteil 3 und das Metallblatt 5 über
zwei elektrische Leiter 9 angeschlossen ist.
In der in Figur 3 dargestellten Variante wurde das feste
Plattenteil 3 durch ein zweites biegsames Blatt 10 ersetzt,
Plattenteil 3 durch ein zweites biegsames Blatt 10 ersetzt,
welches an der Unterlage 45 auf der das erste Blatt 5 befestigt ä
ist, einseitig befestigt ist. Die beiden Blätter 5 und 10 werden U,
durch eine Schicht 11 elektrisch isolierenden Materials getrennt. &iacgr;
Eine Massestück 12, welches wie das Massestück 8 an dem ersten V
Blatt 5 auf Beschleunigung in der durch den Doppelpfeil A |
angezeigten Richtung reagiert, ist gleichfalls am freien Ende des |'
zweiten Blattes 10 angeordnet. |
In der in den Figuren 4 und 6 dargestellten Ausführungsform
besteht die Stützplatte 2 aus keramischem Material. Das feste
Plattenteil 3 wird durch eine dünne Metallschicht gebildet, ;
besteht die Stützplatte 2 aus keramischem Material. Das feste
Plattenteil 3 wird durch eine dünne Metallschicht gebildet, ;
welche auf der Oberfläche der Keramikplatte 2 durch Schablonen- |
bzw. Siebdruck, Trocknen und Brennen aufgebracht wurde. Das die r'
Metallschicht bildende Material besteht aus beispielsweise
Platin-Gold oder Palladium-Silber. Das biegsame Blatt 5 kann aus &iacgr;.
Messing sein, wobei ^ >» dann mit Zinn auf eine auf der |
Keramikplatte 2 aufgebrachten Metallschicht 15 aufgelötet wird.
In diesem Fall dient die Dicke des durch Löten beigefügten Materials ebenfalls dazu, das Plattenteil 3 und das biegsame
Blatt 5 auseinanderzuhalten. Alternativ läßt sich das Blatt 5 auf die Stützplatte 2 aufkleben und in diesem Fall ist es
erforderlich, eine elektrische Verbindung zwischen dem Blatt 5 und der Metallschicht 15 herzustellen, wie es in den Figuren 4
bis 6 durch gestrichelte Linien 16 dargestellt ist.
Gemäß einer weiteren, in den Figuren 5 bis 7 dargestellten Variante wird eine gedruckte Schaltung 18 als Stützplatte
verwendet und in diesem Fall wird das feste Plattenteil von einer Metallschicht 19 der Schaltung gebildet. Das biegsame Blatt 5 ist
über Schrauben 20 und ein zwischengefügtes, metallisches Abstandsstück 21 an der Schaltung 18 befestigt. Das Abstandsstück
l8 stellt eine elektrische Verbindung zwischen dem Blatt 5 und
einer Metallschicht 22 der gedruckten Schaltung her. Die Schichten 18 und 22 sind elektrisch mit den Teilen einer
elektronischen Schaltung auf der gedruckten Schaltung 18 verbunden.
Figur 8 zeigt ein Blockschaltbild eines mit dem Wandler 1 verbundenen elektronischen Detektorschaltkreises. Gemäß einer
ersten Ausführungsform wird der von dem Wandler 1 gebildete
Kondensator mit einem Oszillator 25 verbunden, dessen Frequenz von der Kapazität des Kondensators abhängt. Das von dem
Oszillator ausgegebene Signal wird dann an eine monostabile Schaltung 26 übermittelt und von dort an einen Tiefpaßfilter 27-Auf
diese Weise wird eine Frequenz-Spannungs-Umwandlung ermöglicht. Das vom Filter 27 ausgegebene Spannungssignal V gibt
somit den Wert der Kapazität des Wandlers 1 an und zeigt daher die Beschleunigung an, der letzterer ausgesetzt ist. Alternativ
kann der Oszillator 25 mit gegebener Frequenz betrieben werden, während der Wandler 1 mit der monostabilen Schaltung 26 verbunden
ist, wie es durch gestrichelte Linien in der Figur 8 dargestellt ist. Die Dauer des Signales der monostabilen Schaltung 26 wird
somit moduliert und wie im vorhergehenden Fall ist das erhaltene Ausgangssignal V proportional zu dem Wert der Beschleunigung, der
der Wandler 1 ausgesetzt ist.
Claims (6)
1. Kapazitiver Beschleunigungswandler, dadurch gekennzeichnet, daß er sich aus einer Kombination folgender Teile
zusammensetzt:
1 - eine Stützstruktur (2) zur Befestigung an dem Körper, dessen
I Beschleunigung ermittelt werden soll,
H - ein von der Stützstruktur (2) getragenes Metallplattenteil
I (3, 10, 19),
1 - ein biegsames Metallblatt (5) mit einem an der Stützstruktur
;'■' einseitig befestigten ersten Abschnitt (6) und einem in
% einem Abstand dem Plattenteil (33 10, 19) zugekehrten
zweiten freien Abschnitt (7)3 wodurch ein Kondensator
gebildet wird, dessen Kapazität in Ruhe einen vorbestimmten Wert hat und in Abhängigkeit von der Beschleunigung des
Körpers in die Richtung (A) variiert, und
H - eine Detektorvorrichtung (25, 26, 27) zur Abgabe eines
&Egr; elektrischen Signals als Anzeige der Kapazität des
Ss Kondensators.
2. Wandler nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß das Plattenteil (3, 19) an der Stützstruktur (2) befestigt
ist und von ihr getragen ist.
3· Wandler nach Anspruch 1, Is
W dadurch gekennzeichnet, S
daß das Plattenteil aus einem zweiten biegsamen Metallblatt f
(10) besteht, welches gleichfalls einen ersten Abschnitt
aufweist, der einseitig an der Stützstruktur (2) befestigt ist '&iacgr;
und dessen freier Abschnitt dem ersten Blatt (5) im Abstand zu
diesem zugekehrt ist. '
4· Wandler nach einem oder mehreren der voranstehenden Ansprüche, ||
dadurch gekennzeichnet,
daß ein Massestück (8) auf dem ersten Blatt (5) angeordnet ist
und der Wirkung der im Betrieb zu ermittelnden Beschleunigung
ausgesetzt ist.
und der Wirkung der im Betrieb zu ermittelnden Beschleunigung
ausgesetzt ist.
5· Wandler nach den Ansprüchen 3 und 4> %
dadurch gekennzeichnet, '■£
daß auch auf dem zweiten Blatt (10) ein Massestück (12) $
angeordnet ist und gleichfalls der Wirkung der im Betrieb zu
ermittelnden Beschleunigung ausgesetzt ist.
ermittelnden Beschleunigung ausgesetzt ist.
6. Wandler nach Anspruch 55
dadurch gekennzeichnet, j
daß die mit dem ersten (5) bzw. dem zweiten Blatt (10) '.'■■'.
verbundenen Massestücke (8, 12) auf denjenigen Oberflächen der
Blätter angeordnet sind, die einander nicht zugewandt sind. &
Blätter angeordnet sind, die einander nicht zugewandt sind. &
fts 7· Wandler nach Anspruch 2, Hi
dadurch gekennzeichnet, ';
daß das Plattenteil (3, 19) aus einer Schicht leitfähigem
Material besteht, das auf einer Unterlage aus elektrisch
isolierendem Material aufgebracht wurde.
Material besteht, das auf einer Unterlage aus elektrisch
isolierendem Material aufgebracht wurde.
Wandler nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet,
daß die Detektorvorrichtungen aus einem elektronischen Schaltkreis mit einem Oszillator (25) bestehen, dessen
Frequenz von der Kapazität des Kondensators (5» 3) abhängt, und mit einem Frequenz-Spannungs-Umwandler (26), der an den
Ausgang des Oszillators (25) angeschlossen ist.
Wandler nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet,
daß eine elektronische Schaltung mit dem Kondensator (5> 3) verbunden ist, die aus einem Oszillator (25) mit fester
Frequenz und einer monostabilen Schaltung (26) besteht, deren Eingang an dem Ausgang des Oszillators (25) angeschlossen ist,
wobei die monostabile Schaltung (26) einen Impuls ausgibt, dessen Dauer von der Kapazität des Kondensators (5, 3)
abhängt.
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| IT68046/88A IT1223933B (it) | 1988-11-23 | 1988-11-23 | Trasduttore di accelerazione ad effetto capacitivo |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE8913756U1 true DE8913756U1 (de) | 1990-01-11 |
Family
ID=11307438
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE8913756U Expired - Lifetime DE8913756U1 (de) | 1988-11-23 | 1989-11-21 | Kapazitiver Beschleunigungswandler |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| DE (1) | DE8913756U1 (de) |
| ES (1) | ES1012120Y (de) |
| FR (1) | FR2639435B3 (de) |
| GB (1) | GB2225433B (de) |
| IT (1) | IT1223933B (de) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0491506A1 (de) * | 1990-12-17 | 1992-06-24 | Texas Instruments Incorporated | Beschleunigungsmesser und Verfahren zu seiner Herstellung |
| FR2700013A1 (fr) * | 1992-12-30 | 1994-07-01 | Akebono Brake Ind | Procédé et appareil de détection d'accélération suivant trois dimensions. |
| EP0652440A1 (de) * | 1993-11-04 | 1995-05-10 | Texas Instruments Incorporated | Verbesserter Beschleunigungsmessaufnehmer sowie Verfahren zu dessen Herstellung |
| DE10053309A1 (de) * | 2000-10-27 | 2002-05-16 | Eads Deutschland Gmbh | Mikromechanischer Beschleunigungssensor |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CA2015812A1 (en) * | 1989-05-02 | 1990-11-02 | Shiro Nakayama | Piezoelectric acceleration sensor and piezoelectric acceleration sensor device |
| DE69211269T2 (de) * | 1991-09-24 | 1997-01-23 | Murata Manufacturing Co | Beschleunigungsmessaufnehmer |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3789672A (en) * | 1970-11-12 | 1974-02-05 | Singer General Precision | Accelerometer |
| US4736629A (en) * | 1985-12-20 | 1988-04-12 | Silicon Designs, Inc. | Micro-miniature accelerometer |
| FR2599833B1 (fr) * | 1986-06-10 | 1992-02-14 | Metravib Sa | Capteur de grandeurs mecaniques integre sur silicium et procede de fabrication |
| US4951510A (en) * | 1988-07-14 | 1990-08-28 | University Of Hawaii | Multidimensional force sensor |
-
1988
- 1988-11-23 IT IT68046/88A patent/IT1223933B/it active
-
1989
- 1989-11-21 DE DE8913756U patent/DE8913756U1/de not_active Expired - Lifetime
- 1989-11-22 GB GB8926379A patent/GB2225433B/en not_active Expired - Fee Related
- 1989-11-22 FR FR898915324A patent/FR2639435B3/fr not_active Expired - Lifetime
- 1989-11-22 ES ES19898903507U patent/ES1012120Y/es not_active Expired - Lifetime
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0491506A1 (de) * | 1990-12-17 | 1992-06-24 | Texas Instruments Incorporated | Beschleunigungsmesser und Verfahren zu seiner Herstellung |
| FR2700013A1 (fr) * | 1992-12-30 | 1994-07-01 | Akebono Brake Ind | Procédé et appareil de détection d'accélération suivant trois dimensions. |
| EP0652440A1 (de) * | 1993-11-04 | 1995-05-10 | Texas Instruments Incorporated | Verbesserter Beschleunigungsmessaufnehmer sowie Verfahren zu dessen Herstellung |
| US5628100A (en) * | 1993-11-04 | 1997-05-13 | Texas Instruments Incorporated | Method of making an acceleration sensor |
| DE10053309A1 (de) * | 2000-10-27 | 2002-05-16 | Eads Deutschland Gmbh | Mikromechanischer Beschleunigungssensor |
| DE10053309B4 (de) * | 2000-10-27 | 2005-02-24 | Eads Deutschland Gmbh | Mikromechanischer Beschleunigungssensor |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| GB2225433A (en) | 1990-05-30 |
| ES1012120Y (es) | 1991-01-01 |
| IT8868046A0 (it) | 1988-11-23 |
| ES1012120U (es) | 1990-07-01 |
| FR2639435A3 (fr) | 1990-05-25 |
| GB2225433B (en) | 1993-01-27 |
| FR2639435B3 (fr) | 1990-10-12 |
| GB8926379D0 (en) | 1990-01-10 |
| IT1223933B (it) | 1990-09-29 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| DE69414739T2 (de) | Beschleunigungsmessaufnehmer | |
| DE2362204C3 (de) | Mechanisch-elektrischer Signalgeber | |
| DE69006798T2 (de) | Elektrischer Doppelschichtkondensator. | |
| DE2732529A1 (de) | Schaltungsplatine, insbesondere traeger fuer ein elektrisches bauteil | |
| DE3031796C2 (de) | Piezoelektrischer Geber zum Erzeugen eines von der Fadenzugkraft eines Textilfadens abhängigen Signals | |
| DE3245521A1 (de) | Mehrpolige randverbinderleiste | |
| DE2424326C2 (de) | Flüssigkeitspegeldetektor | |
| EP0133555A2 (de) | Hochfrequenzdichte Abschirmung von Flächenteilen | |
| DE8913756U1 (de) | Kapazitiver Beschleunigungswandler | |
| DE69832571T2 (de) | Piezoelektrischer Resonator und elektronisches Bauelement damit | |
| CH646563A5 (de) | Elektroakustischer wandler mit kondensator-elektretelement. | |
| DE2929547C2 (de) | Mikrowellen-Dämpfungsglied | |
| DE1816808A1 (de) | Gedruckte Schaltung | |
| DE4008470A1 (de) | Piezoelektrische keramische wandlerscheibe und verfahren zu ihrer herstellung | |
| DE3038660A1 (de) | Beschleunigungsaufnehmer mit piezoelektrischem wandlerelement | |
| DE2835107C3 (de) | Wandlerelektrodenanordnung für einen elektromechanischen Wandler nach dem Oberflächenwellenprinzip | |
| DE2165143C3 (de) | Elektrodenanordnung für einen stabförmigen, piezoelektrischen Biegungsschwinger | |
| DE10235011A1 (de) | Elektrisches Vielschichtbauelement | |
| DE10003501C2 (de) | Elektronische Bauteilvorrichtung | |
| DE2445805C3 (de) | Verfahren zur Herstellung einer mit bestimmungsgemäß gerichteter, vom Finger ausgeübter Druckkraft zu betätigenden Taste | |
| DE2626708C3 (de) | Stabförmiger Schwingkristall | |
| DE2433208C3 (de) | Verbesserung einer piezoelektrischen Taste | |
| DE10128359B4 (de) | Piezoelektrisches resonantes Bauelement | |
| DE1273638B (de) | Schichtenweise aufgebaute saeulenfoermige Modulbaugruppe | |
| DE19840515A1 (de) | Piezoelektrisches Element und ein dieses Element verwendendes piezoelektrisches Bauteil |