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DE69629473T2 - Verfahren und vorrichtung zur entfernung von organischen verunreinigungen - Google Patents

Verfahren und vorrichtung zur entfernung von organischen verunreinigungen Download PDF

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Description

  • Technisches Gebiet
  • Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf das Entfernen von organischen Schadstoffen aus einer geschlossenen Umgebung und im Besonderen aus der Luft innerhalb einer geschlossenen Umgebung, wie z. B. einem Zimmer, einem Fahrzeug, einem Flugzeug, einem Raumfahrzeug, einem Unterseeboot, etc.
  • Hintergrund der Erfindung
  • Volatile organische Substanzen, einschließlich Gase mit geringem Molekulargewicht, kondensierbare Dämpfe, umgebungsbedingter Tabakrauch, Bio-Aerosole, u. a. einschließend, aber nicht begrenzt auf 1,3-Butadien, Formaldehyd, Acetaldehyd, Benzol, Toluol, Aceton, Methyl-Ethylketon, Schwefelwasserstoff, Triethylamin, Phthalate, Mineralöle, volatile Brandhemmer, etc. und Reizstoffe wie z. B. Pollen oder Pilzsporen, welche im Allgemeinen als organische Schadstoffe bezeichnet werden, stellen häufig in einer geschlossenen Umgebung einen Einfluss auf das Wohlbefinden und auch eine Gesundheitsbedrohung dar. Konventionelle aktive Reinigungssysteme, wie z. B. Filter, thermische Katalysatorbetten u. a., entfernen diese organischen Schadstoffe aus der Umgebung. Diese Systeme sind jedoch weder energie- noch kosteneffizient auf Grund des Druckabfalls durch das System oder der benötigten Energie für thermische Oxidation, nachträglicher Klimatisierung der Luft auf akzeptable Temperaturen und der begrenzten Lebensdauer des Systems.
  • Die Behandlung von organischen Schadstoffen ist besonders problematisch in relativ kleinen oder eingeengten Räumen. In einem Automobil tragen organische Schadstoffe beispielsweise zum Unbehagen der Passagiere, zum Beschlagen der Windschutzscheibe und zu dem "Blauen-Dunst-Belag", der sich auf den Innenscheiben und der Windschutzscheibe absetzt, bei. Auf Grund der Größe und Geometrie des Autos ist der Gebrauch eines aktiven Reinigungssystems jedoch weder praktisch noch kosteneffizient für die Mehrzahl der Automobile im "normalen" Preisbereich, d. h. unter etwa 15.000 $.
  • DE 4 023 995 A1 beschreibt ein Verfahren zur Reinigung der Luft in Fahrzeugen durch ein fotokatalytisches Halbleitermaterial, welches sich in einem Festbett befindet und im Betrieb von einer UV-Lampe beleuchtet wird. Dieses Dokument unterstreicht außerdem den Vorteil einer relativen Bewegung von Fotokatalysator und UV-Lampe zueinander und lehrt ferner, das Festbett elastisch innerhalb des Fahrzeugs zu positionieren. DE 4 410 476 A1 lehrt eine Lampe, z. B. eine UV-Lampe mit einem Glaskörper, der auf seiner Außenfläche mit einer fotokatalytischen Halbleiterbeschichtung beschichtet ist, zur Zersetzung organischer Schadstoffe innerhalb einer geschlossenen Umgebung, z. B. Tabakrauchpartikel in Zimmern.
  • Was im Stand der Technik fehlt, ist ein System zum effizienten und effektiven Entfernen organischer Schadstoffe aus einer geschlossenen Umgebung.
  • Beschreibung der Erfindung
  • Die vorliegende Erfindung beschreibt ein Belüftungssystem gemäß Anspruch 1. Die folgende Beschreibung bezieht sich auch auf das Entfernen organischer Schadstoffe aus einer geschlossenen Umgebung, ein System dafür, und ein Verfahren zum Aufbringen einer fotokatalytischen Halbleiterbeschichtung auf ein Substrat. Das Beschichtungsverfahren weist auf: Bilden einer Mischung aus einem fotokatalytischen Halbleiter, Wasser, einem Agens zur Vermeidung von Agglomeration, und einem Agens zur Homogenisierung; ausreichendes Entfernen von Wasser von der genannten Mischung, um ein Gel zu bilden; Beschichten des gereinigten Substrats mit dem Gel, Reinigen des Substrats, um Verunreinigungen zu entfernen; und Erwärmen des beschichteten Substrats auf eine Temperatur, die ausreicht, um den fotokatalytischen Halbleiter in seine aktive Form umzuwandeln.
  • Ein System zum Entfernen organischer Schadstoffe aus einer geschlossenen Umgebung, welches nicht unter den Umfang von Anspruch 1 fällt, weist auf: ein Fenster oder eine Windschutzscheibe mit einer TiO2-Beschichtung; eine UV-Quelle, die so orientiert ist, dass die UV-Quelle während des Betriebs die TiO2-Beschichtung beleuchtet; und eine Einrichtung zur Versorgung der TiO2-Beschichtung mit Wasser. Im Wesentlichen beleuchtet die UV-Quelle die TiO2-Beschichtung, aktiviert die Beschichtung und bringt das TiO2 dazu, Wasser an seiner Oberfläche zu dissoziieren, um Hydroxylradikale zu bilden. Die Hydroxylradikale oxidieren dann organische Schadstoffe, welche auf der TiO2-Beschichtung absorbiert sind.
  • Die oben genannten und weitere Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung werden deutlich an Hand der folgenden Beschreibung und Zeichnungen.
  • Kurze Beschreibung der Zeichnungen
  • 1 ist eine abgeschnittene Seitenansicht einer Ausführungsform, welche nicht Teil der vorliegenden Erfindung bildet, bei der eine TiO2-Beschichtung und eine UV-Lampe verwendet werden bei der Entfernung von organischen Schadstoffen aus dem Inneren eines Automobils.
  • 2 ist eine weitere Ausführungsform, welche nicht Teil der vorliegenden Erfindung ist, bei welcher organische Schadstoffe in einem Zimmer oxidiert werden durch eine UV-beleuchtete TiO2-Beschichtung auf einem Fenster in dem Zimmer.
  • Beste Art der Ausführungsform der Erfindung
  • Die vorliegende Erfindung weist ein Verfahren und System zum Entfernen organischer Schadstoffe aus einer geschlossenen Umgebung auf, wie z. B. ein Zimmer oder das Innere eines Fahrzeugs, einschließlich eines Automobils, Flugzeugs, Raumfahrzeugs, Zugs, Busses, Nahrungstransportsystems, etc. Im Wesentlichen kommen die organischen Schadstoffe mit einem beleuchteten fotokatalytischen Halbleiter in Kontakt. Wassermoleküle auf der fotokatalytischen Halbleiteroberfläche dissoziieren, um Hydroxylradikale zu bilden, welche die organischen Schadstoffe oxidieren.
  • Der fotokatalytische Halbleiter ist ein innerhalb seiner Bandbreite durch Licht aktivierbarer Stoff und ist in der Lage, Wassermoleküle zu dissoziieren, um Hydroxylradikale zu bilden, welche die organischen Schadstoffe oxidieren. Einige solcher fotokatalytischen Halbleiter schließen Metalloxide ein wie z. B.: Zinndioxid (SnO2), Titaniumdioxid (TiO2), Zinkoxid (ZnO), Wolframtrioxid (WO3), Bleioxid (PbO), Eisentitantrioxid (FeTiO3), Vanadiumpentoxid (V2O5), Eisenoxid (Fe2O3), und andere wie z. B. Cadmiumsulfid (CdS). Vorzugsweise hat der fotokatalytische Halbleiter ein optisches Absorptionsband in der Nähe des sichtbaren Lichts, wird nicht leicht vergiftet durch Stoffe in der Luft wie z. B. organische Schadstoffe, und verdampft oder oxidiert selber nicht leicht. Ein solcher fotokatalytischer Halbleiter ist TiO2, welches preiswert, stabil, ökologisch unbedenklich, beständig gegen Vergiftung, und leicht aktivierbar und regenerierbar durch UV mit Wellenlängen von weniger als ca. 400 nm ist.
  • Eine Herstellung des Systems zur Entfernung organischer Schadstoffe weist das Bilden einer fotokatalytischen Halbleiter-Suspension auf und das Beschichten eines gereinigten Substrats damit. Die Suspension kann von dem Typ sein, der in einem Sol-Gel-Verfahren verwendet wird, oder jede andere Suspension, die geeignet ist, ein Substrat zu beschichten, um eine fotokatalytische Halbleiterbeschichtung mit ausreichender Dicke zur Oxidierung organischer Schadstoffe und mit Widerstandsfähigkeit gegen Abreibung zu erhalten.
  • Das Sol-Gel-Verfahren weist das Aufbringen eines kolloidalen Sols auf das Substrat, wie z. B. Kieselglas, auf, die Beschichtung wird anschließend teilweise entwässert, um ein Gel zu bilden, welches in einem kontrollierten Erwärmungsprozess gesintert wird, um die Beschichtung in ein haltbares keramisches Material umzuwandeln.
  • Die Herstellung eines kolloidalen Sols kann beispielsweise das Herstellen einer Mischung aus Titantetraiso-Propoxid (TTIP), Salpetersäure oder anderem Agens zur Verhinderung von Agglomeration, Isopropylalkohol oder anderem Agens zur Homogenisierung und Verringerung der Reaktionsrate, und Wasser durch Hinzufügen von TTIP zu destilliertem Wasser bei einem molaren Verhältnis von Wasser zu Alkoxid von über dem stöchiometrischen Wert von 4, vorzugsweise annähernd 100, aufweisen. Ausreichend Säure, um vorzugsweise ein pH von weniger als etwa 4 zu erreichen, wobei ein pH von etwa 3 oder weniger und ein molares Verhältnis von Säure/TTIP von etwa 0,1 bis 0,6 besonders bevorzugt wind, wird dann zu dem Sol hinzugefügt, um zu verhindern, dass die Titantetrahydroxid-Partikel agglomerieren und dadurch aus der Lösung ausfallen. Kleine Mengen an Isopropylalkohol von mindestens 2 Volumen-% (in Bezug auf das Gesamtvolumen der Lösung) vorzugsweise bis zu 10%, können dann als Agens zur Homogenisierung und zur Verringerung der Reaktionsrate von TTIP und Wasser hinzugefügt werden, was den Verlauf der Agglomeration verlangsamt. Anschließend wird die Lösung unter ständigem Rühren, damit die Partikel verteilt werden und die Titantetrahydroxid-Partikel protoniert werden, erwärmt, unterhalb des Siedens, und üblicherweise bei ca. 60°C bis ca. 90°C, für bis zu ca. 72 h oder mehr, wobei bis zu ca. 12 h üblicherweise ausreichen, um ein gut dispergiertes Gel zu bilden. Das Substrat wird, nachdem es gereinigt ist, dann mit dem Gel beschichtet durch Eintauchen, Rotationsbeschichten, Streichen, Sprühen, Strömungsbeschichten, oder eine ähnliche Beschichtungsmethode.
  • Das Reinigen des Substrats erfordert das Entfernen im Wesentlichen aller darauf befindlichen Verunreinigungen, d. h. Entfernen von über ca. 95%. Das Entfernen von Verunreinigungen weist das Waschen des Substrats mit Wasser und Detergens auf, wie z. B. ALCONOX®, ein Phosphat-basiertes Detergens, produziert von Alconox, Inc., New York, New York, oder anderes verbreitetes Detergens, welches geeignet ist, Öle, Schmiermittel, Fette und Erden zu entfernen. Das Substrat wird dann in eine starke Säurelösung eingetaucht, wie z. B. CHROMERGETM, eine Chrom-Schwefelsäurelösung, hergestellt von Monostat Corporation, New York, New York, oder eine andere Lösung, welche geeignet ist, feste Ablagerungen zu entfernen. Üblicherweise wird das Substrat in die Säurelösung eingetaucht, welche erwärmt werden kann, um das Reinigungsverfahren zu erleichtern, über eine Zeitspanne, welche ausreicht, feste Ablagerungen zu lösen, üblicherweise weniger als ca. 2 h. Das Substrat wird dann mit bidestilliertem Wasser, gefolgt von Aceton, gespült und getrocknet, vorzugsweise in einem Vakuumofen, um neue Verunreinigungen zu verhindern.
  • Die fotokatalytische Halbleiterbeschichtung kann auf eine große Vielzahl von Substraten aufgetragen werden, wie z. B. Glas, wie Quarz, Kunststoff, Keramik und Metalle, u. a.. Zur Verwendung in einem Fahrzeug oder Zimmer ist es jedoch vorzuziehen, ein Substrat zu beschichten, welches transparent für sowohl sichtbares als auch besonders bevorzugt UV-Licht ist. Substrate, die für sowohl sichtbares als auch UV-Licht transparent sind, können eine duale Funktion erfüllen, als Substrat für den fotokatalytischen Halbleiter und als Fenster, Windschutzscheibe etc. für Fahrzeuge. Solch eine duale Verwendung minimiert sowohl die Größe der Einrichtung zur Entfernung organischer Schadstoffe und ermöglicht auch die Verwendung von natürlichem, atmosphärischem UV.
  • Nachdem es beschichtet ist, wird das Substrat erhitzt, um das Sol zu entwässern, um die Beschichtung chemisch und physikalisch an das Substrat zu binden und eine adhärente Keramik, im Wesentlichen Anatas, zu bilden, d. h. vorzugsweise mehr als ca. 90% Anatas, wobei eine Beschichtung, die so wenig bis hinunter zu 60% Anatas aufweist, durchführbar, aber viel uneffizienter ist. Das beschichtete Substrat wird auf eine Temperatur erwärmt, die ausreichend ist, die Beschichtung in Anatas zu verwandeln, bei einer ausreichend niedrigen Rate, um Risse und/oder Abblättern der Beschichtung auf Grund des Ausgasens von Wasserdampf, Alkohol oder anderen volatilen Stoffen zu vermeiden. Üblicherweise kann das TiO2 in Anatas umgewandelt werden bei einer Temperatur von ca. 300°C bis ca. 600°C, wobei ca. 300°C bis ca. 500°C und ca. 375°C bis ca. 425°C besonders bevorzugt sind.
  • Im Allgemeinen ist die Erwärmung des Sols bei einer Rate von weniger als ca. 10°C/min ausreichend, wobei eine Rate von weniger als 5°C/min bevorzugt und eine Rate von bis zu 3°C/min besonders bevorzugt ist.
  • Die gewünschte Dicke der Beschichtung, welche während des Beschichtungsverfahrens angepasst werden kann, ist abhängig von dem Ort der Beschichtung. Beim Auftragen auf eine Windschutzscheibe beispielsweise muss die Beschichtung im Wesentlichen klar sein, so dass die Sicht des Fahrzeugführers nicht durch die Beschichtung beeinträchtigt wird. Üblicherweise wird eine Dicke von bis zu ca. 1 μm auf einem Fenster oder einer Windschutzscheibe verwendet, wobei ca. 0,25 μm bis ca. 3,0 μm akzeptabel sind. Beschichtungen auf Substraten, deren Transparenz für sichtbares Licht nicht relevant ist, z. B. Systeme zum Entfernen organischer Schadstoffe in Heizungs- oder Lüftungskanälen, können bis zu oder größer als ca. 10 μm sein, wobei ca. 2,0 μm bis ca. 5,0 μm bevorzugt sind. In solchen Fällen ist die Beschichtungsdicke ein Faktor der Oxidationsrate und möglicher Gewichtseinschränkungen.
  • Verwendung des beschichteten Substrats bei der Oxidation organischer Schadstoffe weist auf das Aktivieren des fotokatalytischen Halbleiters durch Beleuchtung mit Licht mit einer Wellenlänge in derselben Bandlücke wie der fotokatalytische Halbleiter. Beleuchtung des fotokatalytischen Halbleiters kann beispielsweise durch atmosphärisches UV oder die Verwendung einer UV-Quelle wie z. B. einer Lampe, Laser oder ähnlichen Vorrichtung mit einer Wellenlänge innerhalb der Bandlücke des fotokatalytischen Halbleiters erreicht werden. Da UV unterhalb ca. 200 nm die Bildung von Ozon begünstigt, ist für TiO2 die UV-Wellenlänge von ca. 200 nm bis ca. 400 nm bevorzugt, wobei ca. 220 nm bis ca. 360 nm bevorzugt und ca. 300 nm bis ca. 360 nm besonders bevorzugt ist (siehe 1). Die Effizienz der Verwendung der UV-Quelle kann durch die Verwendung einer reflektiven Einrichtung verbessert werden, welche gestreutes UV zurück auf die Beschichtung reflektiert. Mögliche reflektive Einrichtungen schließen polierte Aluminiumflächen und jegliche verspiegelte Flächen, u. a., ein.
  • Nach Kontakt zwischen der beleuchteten fotokatalytischen Halbleiterbeschichtung und den organischen Schadstoffen. oxidieren Hydroxylradikale, welche durch Dissoziation von Wasser, das aus dem Strom organischer Schadstoffe oder aus anderer Quelle auf dem fotokatalytischen Halbleiter adsorbiert wurde, gebildet werden, die organischen Schadstoffe bis zu Kohlendioxid, Wasser und geringen Mengen anderer Nebenprodukte.
  • Im Zeitablauf können organische Schadstoffe und Produkte davon sich auf der Oberfläche des fotokatalytischen Halbleiters ablagern und dadurch dessen Effizienz verringern. Dessen Regeneration wird jedoch leicht erreicht durch Vermindern oder Beenden des Kontakts mit dem organischen Schadstoff bei weiterer Beleuchtung des fotokatalytischen Halbleiters für eine ausreichende Zeitspanne, um jegliche restliche organische Schadstoffe darauf zu oxidieren. Regeneration kann auch erreicht werden durch Erwärmen des fotokatalytischen Halbleiters, d. h. auf zwischen ca. 100 bis 500°C für eine Zeitspanne von ca. 1,5 h und/oder Spülen des fotokatalytischen Halbleiters mit einer schwach sauren Lösung; d. h. eine Essig- und Wasserlösung.
  • 1 und 2, welche exemplarisch gemeint sind, nicht einschränkend, zeigen zwei mögliche Ausführungsformen, welche nicht Teil der Erfindung bilden. 1 illustriert die Verwendung der vorliegenden Erfindung in einem Auto 9, wo UV-Licht von natürlichen Quellen 11 und von einer UV-Lampe 1 sowohl direkt als auch indirekt durch Verwendung einer reflektiven Oberfläche 3, eine TiO2-Beschichtung 7 beleuchten, welche sich auf der inneren Fläche der Windschutzscheibe 5 befindet. Die beleuchtete TiO2-Beschichtung 7 oxidiert organische Schadstoffe, welche auf der Windschutzscheibe 5 kondensiert sind, wie z. B. Phthalate, Brandhemmer und Öle aus den Polsterungen und dem Armaturenbrett, und Schwefelwasserstoff, Methyl-Ethylketon, 1,3-Butadien, Toluol und Aceton, welche von von externen Quellen in das Auto durch das Belüftungssystem und/oder die Fenster gesogen werden.
  • In 2 werden organische Schadstoffe in einem Zimmer 21, die auf der inneren Fläche eines Fensters 23 kondensiert sind, durch eine darauf befindliche TiO2-Beschichtung 25 oxidiert. UV von natürlichen Quellen 31 und von einer UV-Lampe 27 beleuchten und aktivieren damit die TiO2-Beschichtung 25 mit Hilfe einer reflektiven Oberfläche 29, so dass das TiO2 die organischen Schadstoffe darauf oxidiert.
  • Gemäß der Erfindung werden organische Schadstoffe von geschlossenen Umgebungen entfernt, wie z. B. innerhalb von Fahrzeugen, Luftfahrzeugen, Raumfahrzeugen und Unterseebooten, durch Verwenden von deren Belüftungssystem. Zum Beispiel können Substrate, wie z. B. Laufschaufeln in Käfiggebläsen, innerhalb des Belüftungssystems mit dem fotokatalytischen Halbleiter beschichtet werden. Die Beschichtung kann dann durch eine UV-Quelle beleuchtet werden, die innerhalb des Systems ähnlich lokalisiert ist. In einer solchen Ausführungsform würden die Schaufeln Luft durch das Gebläse bewegen, die Beschichtung auf den Schaufeln würde Wasser und organische Schadstoffe in der Luft adsorbieren und die organischen Schadstoffe mit Hydroxylradikalen oxidieren, welche durch die Dissoziation von Wassermolekülen auf der beleuchteten fotokatalytischen Halbleiterbeschichtung gebildet werden.
  • Das folgende Beispiel verdeutlicht die vorliegende Endung, ohne ihren weiten Umfang einzuschränken.
  • Beispiel
  • Das folgende Beispiel wurde verwendet, um Glass mit einer 1 μm-Beschichtung von TiO2 zu beschichten.
  • In einem Drei-Hals-Destillationskolben wurden 275 cm3 Wasser mit 4 cm3 Salpetersäure gemischt. Unter starkem Rühren wurde eine Mischung von 50 cm3 TTIP und 8 cm3 Isopropylalkohol langsam durch Verwendung eines Tropftrichters hinzu gefügt. Mit Hilfe eine Rückflusskühlers, welcher jeglichen erzeugten Wasserdampf zurückhält und zurückführt, wurde die resultierende Lösung dann für ca. 12 h auf 80° unter kontinuierlichem Rühren erwärmt, um ein Gel zu bilden. Das abgekühlte Gel wurde anschließend eine Stunde lang mit Ultraschall behandelt.
  • Währenddessen wurde das Substrat mit Wasser und ALCONOX® gewaschen und anschließend in CHROMERGETM, Chromschwefelsäurelösung, für 2 h bei 60°C eingetaucht. Das gereinigte Substrat wurde dann mit bidestilliertem Wasser, gefolgt von Aceton, gespült und in einem Vakuumofen für eine Stunde getrocknet.
  • Das gereinigte Substrat wurde anschließend dem Gel durch Rotationsbeschichtung beschichtet und mit einer Rate von 2 bis 3°C/min erwärmt auf eine Temperatur von 400°C für 1 h, um das Gel zu einer dünnen, durchsichtigen, adhärenten Anataskeramik zu entwässern.
  • Die Beschichtung, die unter Verwendung des o. g. Verfahrens hergestellt wurde, wurde getestet unter Verwendung von Tests ähnlich der Standard-Militärspezifikation MIL-C-675C, um ihre Beständigkeit festzustellen. Die Beschichtung bestand sowohl den Adhäsionstest als auch den Test des moderaten Abreibens.
  • Die Vorteile der vorliegenden Endung schließen ein: die Fähigkeit, UV zu verwenden, um den fotokatalytischen Halbleiter beim Entfernen organischer Schadstoffe aus Gebäuden und dem Inneren von Fahrzeugen zu aktivieren, der verringerte Energieverbrauch gegenüber Filtersystemen aus dem Stand der Technik, wie z. B. Kohlenstoffbett-Vorrichtungen, und die Größe und Einfachheit des Systems. Die Beschichtung der vorliegenden Erfindung ist ausreichend adhärent, um allem Kontakt (d. h. menschlichem Kontakt) standzuhalten, und ausreichend optisch klar, so dass eine Beschichtung einer Windschutzscheibe z. B. keine Verringerung der optischen Sicht durch die Windschutzscheibe zur Folge hat; die Beschichtung ist klar.

Claims (5)

  1. Ventilationssystem zum Entfernen organischer Schadstoffe aus einer Umschließung, welche eine geschlossene Umgebung definiert, wobei das Ventilationssystem zum Zirkulieren von Luft durch die geschlossene Umgebung ein Schaufelgebläse, eine fotokatalytische Halbleiterbeschichtung, die auf den Schaufeln des Gebläses abgeschieden ist, und eine UV-Lampe aufweist, die im Ventilationssystem in betriebsmäßiger Zuordnung mit dem Gebläse angeordnet ist, wobei während des Betriebs die UV-Lampe die fotokatalytische Halbleiterbeschichtung auf den Schaufeln des Gebläses beleuchtet.
  2. Ventilationssystem nach Anspruch 1, wobei die fotokatalytische Halbleiterbeschichtung Zinndioxid, Titandioxid, Zinkdioxid, Cadmiumsulfid, Wolframtrioxid, Bleioxid, Eisentitantrioxid, Vanadiumpentoxid, oder Eisenoxid ist.
  3. Ventilationssystem nach Anspruch 1 oder 2, wobei die fotokatalytische Halbleiterbeschichtung eine Dicke von ca. 0,25 bis 10 μm hat.
  4. Ventilationssystem nach Anspruch 1 oder 2, wobei die fotokatalytische Halbleiterbeschichtung eine Dicke von ca. 0,25 bis 3 μm hat.
  5. Ventilationssystem nach Anspruch 1 oder 2, wobei die fotokatalytische Halbleiterbeschichtung eine Dicke von bis zu ca. 1 μm hat.
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