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DE69417247T2 - Drucküberträger mit isoliermembran - Google Patents

Drucküberträger mit isoliermembran

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DE69417247T2
DE69417247T2 DE69417247T DE69417247T DE69417247T2 DE 69417247 T2 DE69417247 T2 DE 69417247T2 DE 69417247 T DE69417247 T DE 69417247T DE 69417247 T DE69417247 T DE 69417247T DE 69417247 T2 DE69417247 T2 DE 69417247T2
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DE
Germany
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spring
passageway
pressure
membrane
process fluid
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DE69417247T
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DE69417247D1 (de
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Roger L. Hackensack Mn 56452 Frick
Robert K. Andover Mn 55304 Snyder
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Rosemount Inc
Original Assignee
Rosemount Inc
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Publication date
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L19/00Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
    • G01L19/06Means for preventing overload or deleterious influence of the measured medium on the measuring device or vice versa
    • G01L19/0627Protection against aggressive medium in general
    • G01L19/0645Protection against aggressive medium in general using isolation membranes, specially adapted for protection
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L19/00Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
    • G01L19/0007Fluidic connecting means
    • G01L19/0038Fluidic connecting means being part of the housing

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  • General Physics & Mathematics (AREA)
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Description

    HINTERGRUND DER ERFINDUNG
  • Die vorliegende Erfindung betrifft einen Druckmeßwertgeber. Insbesondere betrifft sie eine Isolationsmembran in einem Druckmeßwertgeber.
  • Druckmeßwertgeber haben einen Drucksensor, der mit einer Isolationsmembran gekoppelt ist. Die Isolationsmembran isoliert den Drucksensor von korrosiven Prozeßfluiden, die erfaßt werden sollen. Der Druck wird von der Isolationsmembran auf den Sensor durch ein im wesentlichen inkompreßibles Isolationsfluid übertragen, das sich in einem Durchgangsweg befindet. Die U.S.-Patente Nr. 4,833,922 mit dem Titel MODULARER DRUCKMESSWERTGEBER und Nr. 5,094,109 mit dem Titel DRUCKMESSWERTGEBER MIT BELASTUNGSISOLIERENDER VERTIEFUNG zeigen Druckmeßwertgeber dieses Typs.
  • Da die Isolationsmembran dem Prozeßfluid ausgesetzt ist, ist sie korrosiven Materialien ausgesetzt, die ihre Struktur beschädigen können. Saphir- und Keramikmaterialien sind für Isolationsmembranen wegen ihrer Unempfindlichkeit und ihrer Korrosionswiderstandsfähigkeit gut geeignet. Belastungen bzw. Spannungen, die angelegt sind, um die Membran abzudichten, die aus diesen Materialien gefertigt ist, neigen jedoch dazu, die Steifigkeit der Membran zu ändern oder Fehler auszubilden und zu verursachen. Weiterhin sind Membranen, die aus diesem Materialien bestehen, nicht dazu in der Lage, eine ausreichende Fluidmenge zu bewegen, um genaue Druckmessungen zu erhalten. Eine praktische Abdichtung, die nicht der Korrosion unterliegt, ist nicht verfügbar.
  • ÜBERBLICK ÜBER DIE ERFINDUNG
  • Die vorliegende Erfindung ist ein Meßwertgeber zum Erzeugen eines Ausgangssignals, das den Druck des Prozeßfluids angibt, wie in dem Anspruch 1 definiert ist. Der Meßwertgeber enthält einen ersten Durchgangsweg, der mit Isolationsfluid gefüllt ist, das sich von einem ersten Anschluß oder Einlaß zu einer Erfassungseinrichtung erstreckt, und einen zweiten Durchgangskanal zum Aufnehmen von Prozeßfluid, der einen zweiten Anschluß hat. Eine Isolationsmembran trennt den ersten Anschluß von dem zweiten Anschluß und isoliert das Prozeßfluid von dem Isolationsfluid. Die Isolationsmembran besteht aus einem spröden korrosionsbeständigen Material. Eine Abdichtung, die an der Membran anliegt, koppelt die Membran mit dem Prozeßfluiddruck. Die Abdichtung wird durch eine im wesentlichen ebene Feder gehalten, die nicht der Korrosion unterliegt. Weiterhin ist eine Membrananordnung, die die Membran hält, in einer belastungsisolierenden Anbringung angebracht.
  • KURZBESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
  • Fig. 1 ist eine teilweise Querschnittsansicht eines Druckmeßwertgebers in Übereinstimmung mit der vorliegenden Erfindung.
  • Fig. 2 ist eine Querschnittsansicht einer Isolationsmembran, die in der Fig. 1 gezeigt ist.
  • Fig. 3 ist eine Querschnittsansicht einer Abdichtung.
  • DETAILLIERTE BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORMEN
  • Die Fig. 1 zeigt einen Druckmeßwertgeber 10, der einen Meßwertgeberkörper 12, einen Flansch 13 und einen Sensorkörper 14 in Übereinstimmung mit der vorliegenden Erfindung hat. Der Sensorkörper 14 enthält einen Drucksensor 16 und der Meßwertgeberkörper 12 enthält einen Meßwertgeberschaltkreis 20. Der Sensorschaltkreis 18 ist mit dem Meßwertgeberschaltkreis 20 durch einen Kommunikationsbus 22 gekoppelt. Der Meßwertgeberschaltkreis 20 sendet Informationen, die den Druck des Prozeßfluids betreffen, über eine Zweileitungs-Kommunikationsschaltung.
  • Der Sensorkörper 14 enthält Isolatorbaugruppen 24 und 26 in Übereinstimmung mit der vorliegenden Erfindung. Die Baugruppe 24 ist in größerem Detail in der Fig. 2 gezeigt. Der Drucksensor 16 mißt eine Differenz im Druck zwischen dem Druck P1 in dem Durchgangsweg 28 und dem Druck P2 im Durchgangsweg 30 des Flansches 13. Der Druck P1 ist mit dem Sensor 16 durch einen Durchgangsweg 32 über die Isolatorbaugruppe 24 gekoppelt. Der Druck P2 ist mit dem Sensor 16 durch den Durchgangsweg 34 über die Isolatorbaugruppe 26 gekoppelt. Der Durchgangsweg 32 erstreckt sich durch die Kopplung 36 und das Rohr 40. Der Durchgangsweg 34 erstreckt sich durch die Kopplung 38 und das Rohr 42. Die Durchgangswege 32 und 34 sind mit relativ inkompressiblem Fluid, z. B. Öl, gefüllt. Die Kopplungen 36 und 38 sind in den Sensorkörper 14 eingeschraubt und erzeugen einen langen eine Flamme löschenden Weg zwischen dem Inneren des Sensorkörpers, der den Sensorschaltkreis 18 trägt, und dem Prozeßfluid, das in den Durchgangswegen 28 und 30 enthalten ist.
  • Die Isolatorbaugruppe 24 enthält einen Sitz 44, der vorzugsweise mit der Isolationsmembran 46 schmelz-verbunden ist. Dies ist in der Fig. 2 im größeren Detail gezeigt. Der Sitz 44 und die Membran 46 bestehen aus Saphir in einer Ausführungsform und aus Keramik in einer weiteren Ausführungsform. Der Durchgangsweg 32 erstreckt sich durch den Sitz 44 zu der Membran 46. Eine Abdichtung 48 aus Polytetrafluoroethylen (PTFE) liegt zwischen der Membran 46 und dem Flansch 13. Keramikfedern 50 und 52 sind in der PTFE- Abdichtung 48 angeordnet und durch das Abstandsstück 54 beabstandet. Das Abstandsstück 54 enthält einen horizontalen Durchgang, um dem Fluid eine Kommunikation mit beiden Seiten der Federn 50 und 52 zu ermöglichen. Der Durchgangsweg 55 erstreckt sich zwischen dem Durchgangsweg 28 und der Keramik-Membran 46. Der Sitz 44 ist von dem Sensorkörper 14 durch eine Beilagscheibe 56 und einen Silikongummi 58 getrennt.
  • Die Isolatorbaugruppe 26 enthält einen Sitz 60, der vorzugsweise an der Isolationsmembran 62 schmelz-verbunden ist. Die PTFE-Abdichtung 64 trennt die Membran 62 vom Flansch 13. Keramikfedern 66 und 68 sind innerhalb der PTFE-Abdichtung 64 enthalten und durch ein Abstandsstück 70 getrennt, das typischerweise aus Keramik besteht. Ein Durchgangsweg 71 erstreckt sich durch das Abstandsstück 70 und die Keramikfedern 66 und 68, wodurch eine Fluidkommunikation zwischen der Membran 62 und dem Durchgangsweg 30 bereitgestellt wird. Eine Beilagscheibe 72 und eine Silikongummi 74 trennen den Sitz 60 vom Sensorkörper 14.
  • Es ist erwünscht, eine Keramik- oder Saphir-Membran zu verwenden, da sie nicht mit Prozeßfluid reagiert. Weiterhin neigen spröde Materialien wie diese zu einer verminderten Hysterese, was eine verbesserte Genauigkeit bereitstellt. Ein Hauptproblem bei dieser Konstruktion besteht jedoch darin, eine angemessene Belastungsisolation derart bereitzustellen, daß Verbindungs- und Abdichtbelastungen die Steifigkeit oder Form der Membran nicht ändern und keine Fehler verursachen. Die Erfindung löst diese Probleme durch Minimieren der Abdichtbelastungen unter Verwendung einer federbelasteten PTFE-Abdichtung, die Berührungsabdichtungskräfte an der Isolationsmembran minimiert, und durch Vorsehen einer Belastungsisolation gegenüber den Verbindungskräften bzw. Verschraubungskräften, die notwendig sind, um Leitungsdrücke von bis zu 6000 psi einzuschließen. Für eine optimale Korrosionswiderstandsfähigkeit verwendet die Erfindung eine korrosionswiderstandsfähige Feder.
  • Ein spröder Isolator hat ein größeres Dicke-zu-Durchmesser- Verhältnis und einen höheren Modul als eine typische Metallmembran des Stands der Technik. Dies verursacht, daß die spröde Membran steifer als eine Metallmembran ist. Eine Lösung besteht darin, eine gewellte Membran zu verwenden. Dies ist jedoch nicht für eine spröde Membran unter Verwendung der gegenwärtigen Technologie möglich. Ein spröder Isolator erfordert eine Belastungsisolation oder Spannungsisolation, die nicht im Stand der Technik gelehrt wird.
  • Die Isolatorbaugruppen 24 und 26 sind gegenüber einem Sensormodul 14 durch Silikongummidichtungen 58 und 74 isoliert. Dies reduziert die Belastung auf die Baugruppen 24 und 26, da die feste Verbindung mit dem Modul 14 nur um die Kopplungen 36 und 38 und die Beilagscheiben 56 und 72 herum besteht. Weiterhin sind die Baugruppen 24 und 26 gegenüber dem Flansch 13 durch Dichtungen 48 und 64 isoliert. In einer Ausführungsform bestehen diese Dichtungen aus PFTE wegen dessen Abdichteigenschaften und dessen Korrosionswiderstandsfähigkeit.
  • PTFE ist zu "kaltem Fluß" fähig. Mit der Zeit tendiert PTFE dazu, seine Form in Reaktion auf den angelegten Druck zu ändern. Eine Lösung besteht darin, eine schraubenförmige Metallfeder in den PTFE-Abdichtungen 48 und 64 aus korrosionsbeständigem Metall vorzusehen. Die Fig. 3 ist eine Querschnittsansicht der Abdichtung 48 unter Verwendung einer Schraubenfeder 80. In Alternative kann die Feder aus einem Keramikmaterial mit besserer Korrosionsbeständigkeit bestehen. Die Feder sollte eine ausreichende Auslenkung be reitstellen, um Toleranzen in den Teilen einhalten zu können, und sollte eine Verformung des PTFEs ausgleichen, die mit der Zeit auftritt.
  • Die vorliegende Erfindung stellt eine Technik zum Bereitstellen einer Feder in einer Abdichtung bereit, die aus einem Material hergestellt ist, das elastisch und korrosionsbeständig ist, wie z. B. PTFE. Keramikfedern 50 und 52 zwingen die PTFE-Abdichtung 48 dazu, ihre Form beizubehalten. (Obwohl die Membranbaugruppe 24 hier erläutert wird, gilt die gleiche Erläuterung auch für die Membranbaugruppe 26.) Der Durchgangsweg 55 durch die Federn 52 und 50 und das Abstandsstück 54 ermöglicht Prozeßfluid, di e Membran 46 auszulenken und Druck P1 vom Durchgangsweg 28 zum Durchgangsweg 32 zur Messung durch den Drucksensor 16 und den Sensorschaltkreis 18 zu übertragen. Die Keramikfedern 50 und 52 ermöglichen eine ausreichende Auslenkung, um Toleranzen in den Teilen, die abgedichtet werden sollen, aufzunehmen und um eine Verformung des PTFEs, die mit der Zeit auftritt, auszugleichen. Die Federn legen auch eine ausreichende Kraft an, um das PTFE zu veranlassen, in Unebenheiten in den abzudichtenden Oberflächen einzufließen.
  • Die Energiemenge, die durch die Feder gespeichert werden kann, ist gegeben durch die Formel:
  • wobei EFeder die Energie ist, die in der Feder gespeichert ist, σmax die maximale Arbeitsspannung des Materials ist, E der Elastizitätsmodul und V das Volumen des Materials ist. Keramik und andere spröde Materialien neigen dazu, ein niedrigeres σmax und einen höheren E als Metalle aufzuweisen. Dies verursacht, daß σmax/E zwischen 10 bis 50 mal niedriger für spröde Materialien als für Metallmaterialien ist. Um dies auszugleichen, verwendet die vorliegende Erfindung eine Feder mit einem Volumen, das zwischen dem 10 und 50 fachen größer als eine entsprechende Metallfeder ist. Die Erfindung erreicht dies, indem die Feder über die Kanten der PTFE-Abdichtung hinaus erstreckt werden. Zusätzlich zu Problemen bezüglich ihrer Energiespeicherkapazität ist es auch schwierig, Miniaturspulen aus Keramik und anderen spröden Materialien auszubilden. Eine Vielzahl von Keramikfedern kann in einem Stapel angeordnet werden, um jede gewünschte Federkonstante zu erhalten. Löcher in der Feder ermöglichen, daß Prozeßfluid zu der Isolationsmembran gelangt. Wenn ein Keramikmaterial für die Ausformung der Membranen 46 und 62 verwendet wird, berührt Prozeßfluid keine korrodierbaren Materialien in den Isolatorbaugruppen 24 und 26.
  • Eine spröde Isolatorbaugruppe neigt zu Steifigkeit. Jede Änderung der Steifigkeit verursacht einen Fehler in der Druckmessung. Um Änderungen der Steifigkeit zu minimieren, umgibt die Erfindung die Isolatorbaugruppe mit einem Prozeßfluid-Druck. Dies wird ausgeführt unter Verwendung einer Elastomer-Lagerung (Silikongummi), die eine hydrostatische Kraft ungefähr gleich zu dem Druck des Prozeßfluids entwickelt. Die Elastomer-Lagerung sollte dünn genug sein, so daß sie nicht zu stark herausgedrückt wird oder sich mit Temperaturänderungen ausdehnt. Dies könnte die Kapazität der Feder überschreiten.
  • Die Erfindung verwendet auch ein Schmelzbonden und kein Hartlötmaterial, um die Membran zu verbinden. Die Schmelzbondung unterliegt keiner Korrosion und keiner Verformung.
  • Die Membranen der vorliegenden Erfindung werden vorzugsweise in Drucksensoren verwendet, die einen geringen Versatz des Isolationsfluids erfordern und ein niedriges Volumen haben, um die Gesamtausdehnung des Fluids zu minimieren, um eine Druckmessung zu erhalten. Ein Sensor, der einen reduzierten Versatz des Isolationsfluids bereitstellt, ist in der Patentanmeldung beschrieben, die den Titel DRUCKSENSOR MIT AUFGEHÄNGTER MEMBRAN hat, Seriennummer 08/123,729, eingereicht am 20. September 1993 von Roger L. Frick, veröffentlicht als US-A-5,483,834 am 16. Januar 1996.
  • Obwohl die vorliegende Erfindung mit Bezug auf die bevorzugten Ausführungsformen beschrieben worden ist, ist für Fachleute ersichtlich, daß Änderungen in der Form und im Detail durchgeführt werden können, ohne daß vom Bereich der Erfindung, wie sie beansprucht wird, abgewichen wird. Zum Beispiel können andere Materialien für die Federn, z. B. Saphir, verwendet werden.

Claims (12)

1. Meßwertgeber (10) zum Erzeugen eines Ausgangssignals, das einen Druck eines Prozeßfluids angibt, der aufweist:
einen Körper (12, 14), der einen ersten Durchgangsweg (32), der mit einem Isolationsfluid gefüllt ist, das sich von einem ersten Anschluß zu einer Erfassungseinrichtung (16) zum Erzeugen eines den Druck betreffenden Ausgangssignals erstreckt, und einen zweiten Durchgangsweg (28) hat, der das Prozeßfluid leitet;
eine Isolatorbaugruppe (24), die den ersten Durchgangsweg (32) gegenüber dem zweiten Durchgangsweg (28) trennt und verhindert, daß Prozeßfluid in den ersten Durchgangsweg eintritt, wobei die Isolatorbaugruppe eine Isolationsmembran (46) aufweist, die aus einem spröden, korrosionswiderstandsfähigen Material ausgebildet ist;
eine Abdichteinrichtung (48) zum Abdichten der Membran (46) und zum Koppeln des Prozeßfluid- Drucks mit der Membran; und
eine belastungsisolierende Anbringung (58), die die Isolatorbaugruppe (24) mit dem Körper (12, 14) koppelt.
2. Meßwertgeber nach Anspruch 1 oder Anspruch 2, worin die Abdichteinrichtung (48) PTFE aufweist.
3. Meßwertgeber nach Anspruch 1 oder Anspruch 2, der eine erste langgestreckte, an die Abdichteinrichtung anstoßende Feder (50) zum Drängen der Abdichteinrichtung (48) gegen die Membran (46) enthält.
4. Meßwertgeber nach Anspruch 3, worin die erste Feder (50) eine Keramik aufweist.
5. Meßwertgeber nach Anspruch 3, worin die erste Feder (50) Saphir aufweist.
6. Meßwertgeber nach einem der Ansprüche 3 bis 5, der eine zweite langgestreckte Feder (52) enthält, die an der ersten Feder (50) anstößt und in Zusammenwirken mit der ersten Feder (50) arbeitet.
7. Meßwertgeber nach Anspruch 6, der ein Abstandsstück (54) zwischen der ersten Feder (50) und der zweiten Feder (52) enthält.
8. Meßwertgeber nach Anspruch 1 oder Anspruch 2, der eine Schraubenfeder (80) enthält, die an die Abdichteinrichtung (48) anstößt.
9. Meßwertgeber nach einem der vorhergehenden Ansprüche, worin die belastungsisolierende bzw. spannungsisolierende Anbringung eine Elastomerschicht (58) zwischen der Membranbaugruppe (24) und dem Körper (12, 14) enthält.
10. Meßwertgeber nach einem der vorhergehenden Ansprüche, worin die Isolationsmembran (46) in der Isolatorbaugruppe (24) im wesentlichen bei einem Druck des Prozeßfluids getragen wird.
11. Meßwertgeber nach einem der vorhergehenden Ansprüche, worin die Isolationsmembran (46) Keramik aufweist.
12. Meßwertgeber nach einem der vorhergehenden Ansprüche, worin die Isolationsmembran (46) Saphir aufweist.
DE69417247T 1993-09-24 1994-08-12 Drucküberträger mit isoliermembran Expired - Lifetime DE69417247T2 (de)

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Families Citing this family (82)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5637802A (en) * 1995-02-28 1997-06-10 Rosemount Inc. Capacitive pressure sensor for a pressure transmitted where electric field emanates substantially from back sides of plates
US6484585B1 (en) 1995-02-28 2002-11-26 Rosemount Inc. Pressure sensor for a pressure transmitter
US5731522A (en) * 1997-03-14 1998-03-24 Rosemount Inc. Transmitter with isolation assembly for pressure sensor
US5668322A (en) * 1996-06-13 1997-09-16 Rosemount Inc. Apparatus for coupling a transmitter to process fluid having a sensor extension selectively positionable at a plurality of angles
US5955675A (en) * 1996-09-30 1999-09-21 Rosemount Inc. Self energizing process seal for process control transmitter
US6038961A (en) * 1998-03-02 2000-03-21 Rosemount Inc. Flush mount remote seal
US5922965A (en) * 1998-04-28 1999-07-13 Rosemount Inc. Pressure sensor and transmitter having a weld ring with a rolling hinge point
US5948988A (en) * 1998-05-27 1999-09-07 Honeywell Inc Pressure transducer with flame arrester
US6120033A (en) * 1998-06-17 2000-09-19 Rosemount Inc. Process diaphragm seal
DE29823005U1 (de) * 1998-12-23 1999-04-15 Sheng, Chih-Sheng, Kweishan Hsiang, Taoyuan Druckregler
US6571132B1 (en) 1999-09-28 2003-05-27 Rosemount Inc. Component type adaptation in a transducer assembly
US6484107B1 (en) * 1999-09-28 2002-11-19 Rosemount Inc. Selectable on-off logic modes for a sensor module
US6510740B1 (en) 1999-09-28 2003-01-28 Rosemount Inc. Thermal management in a pressure transmitter
US6765968B1 (en) 1999-09-28 2004-07-20 Rosemount Inc. Process transmitter with local databus
US7134354B2 (en) * 1999-09-28 2006-11-14 Rosemount Inc. Display for process transmitter
US6487912B1 (en) 1999-09-28 2002-12-03 Rosemount Inc. Preinstallation of a pressure sensor module
US6511337B1 (en) 1999-09-28 2003-01-28 Rosemount Inc. Environmentally sealed instrument loop adapter
US6578435B2 (en) 1999-11-23 2003-06-17 Nt International, Inc. Chemically inert flow control with non-contaminating body
US6546805B2 (en) 2000-03-07 2003-04-15 Rosemount Inc. Process fluid transmitter with an environmentally sealed service block
US6662662B1 (en) * 2000-05-04 2003-12-16 Rosemount, Inc. Pressure transmitter with improved isolator system
US6504489B1 (en) 2000-05-15 2003-01-07 Rosemount Inc. Process control transmitter having an externally accessible DC circuit common
JP3410711B2 (ja) * 2000-07-10 2003-05-26 株式会社テムテック研究所 耐腐食性のダイヤフラム圧力センサ
US6480131B1 (en) 2000-08-10 2002-11-12 Rosemount Inc. Multiple die industrial process control transmitter
DE10052079A1 (de) * 2000-10-19 2002-05-02 Endress Hauser Gmbh Co Druckmeßanordnung
US6516672B2 (en) 2001-05-21 2003-02-11 Rosemount Inc. Sigma-delta analog to digital converter for capacitive pressure sensor and process transmitter
DE10131405A1 (de) * 2001-06-28 2003-03-13 Endress & Hauser Gmbh & Co Kg Vorrichtung mit vorausschauender Korrosionsüberwachung
US6684711B2 (en) 2001-08-23 2004-02-03 Rosemount Inc. Three-phase excitation circuit for compensated capacitor industrial process control transmitters
US6675655B2 (en) 2002-03-21 2004-01-13 Rosemount Inc. Pressure transmitter with process coupling
US7109883B2 (en) * 2002-09-06 2006-09-19 Rosemount Inc. Low power physical layer for a bus in an industrial transmitter
US7773715B2 (en) * 2002-09-06 2010-08-10 Rosemount Inc. Two wire transmitter with isolated can output
US6715360B1 (en) * 2003-02-19 2004-04-06 Fisher Controls International, Llc Gauge pressure sensor for hazardous applications
US6901803B2 (en) * 2003-10-02 2005-06-07 Rosemount Inc. Pressure module
US7080558B2 (en) 2003-10-06 2006-07-25 Rosemount Inc. Process seal for process control transmitter
US7117745B2 (en) * 2004-02-09 2006-10-10 Rosemount Inc. Process seal for process control transmitter
US7258021B2 (en) * 2004-06-25 2007-08-21 Rosemount Inc. Process transmitter isolation assembly
US7036381B2 (en) 2004-06-25 2006-05-02 Rosemount Inc. High temperature pressure transmitter assembly
US7373831B2 (en) * 2004-06-25 2008-05-20 Rosemount Inc. High temperature pressure transmitter assembly
US7295131B2 (en) * 2005-01-07 2007-11-13 Rosemount Inc. Diagnostic system for detecting rupture or thinning of diaphragms
US7334484B2 (en) * 2005-05-27 2008-02-26 Rosemount Inc. Line pressure measurement using differential pressure sensor
US7379792B2 (en) * 2005-09-29 2008-05-27 Rosemount Inc. Pressure transmitter with acoustic pressure sensor
US7415886B2 (en) 2005-12-20 2008-08-26 Rosemount Inc. Pressure sensor with deflectable diaphragm
US7525419B2 (en) * 2006-01-30 2009-04-28 Rosemount Inc. Transmitter with removable local operator interface
ITMI20060152A1 (it) * 2006-01-30 2007-07-31 Abb Service Srl Trasmettitore per il controllo di processi industriali
US7373830B2 (en) * 2006-04-25 2008-05-20 Honeywell International Inc. Metal/thermo plastic port design for media isolated pressure transducers
US7448275B1 (en) 2007-09-12 2008-11-11 Rosemount Inc. Bi-planar process fluid pressure measurement system
US7497123B1 (en) 2007-12-18 2009-03-03 Rosemount Inc. Direct mount for pressure transmitter with thermal management
US7578194B1 (en) * 2008-02-11 2009-08-25 Sensata Technologies, Inc. Differential fluid pressure measurement apparatus
US7954383B2 (en) * 2008-12-03 2011-06-07 Rosemount Inc. Method and apparatus for pressure measurement using fill tube
US8327713B2 (en) 2008-12-03 2012-12-11 Rosemount Inc. Method and apparatus for pressure measurement using magnetic property
US7870791B2 (en) 2008-12-03 2011-01-18 Rosemount Inc. Method and apparatus for pressure measurement using quartz crystal
US8015882B2 (en) * 2009-06-04 2011-09-13 Rosemount Inc. Industrial process control pressure transmitter and flange coupling
EP2449355B1 (de) * 2009-07-01 2018-01-24 ABB Schweiz AG Drucksender
US8334788B2 (en) * 2010-03-04 2012-12-18 Rosemount Inc. Process variable transmitter with display
CN102822652B (zh) * 2010-03-16 2014-12-03 普雷森斯公司 可收回的压力传感器
US8429978B2 (en) 2010-03-30 2013-04-30 Rosemount Inc. Resonant frequency based pressure sensor
US9281088B2 (en) * 2010-06-07 2016-03-08 Rosemount Inc. Instrument for nuclear power facility
US8234927B2 (en) 2010-06-08 2012-08-07 Rosemount Inc. Differential pressure sensor with line pressure measurement
US8132464B2 (en) 2010-07-12 2012-03-13 Rosemount Inc. Differential pressure transmitter with complimentary dual absolute pressure sensors
NO20111218A1 (no) 2011-09-08 2013-02-25 Presens As Trekkbar trykksensor
US8776608B2 (en) * 2011-10-31 2014-07-15 Rosemount Inc. Coplanar process fluid pressure sensor module
RU2499238C2 (ru) * 2011-11-03 2013-11-20 Закрытое акционерное общество Промышленная группа "Метран" Узел защиты разделительной мембраны датчика давления от перегрузки давлением
US9010191B2 (en) * 2011-12-22 2015-04-21 Rosemount Inc. Pressure sensor module for sub-sea applications
CN104114989B (zh) 2012-03-06 2016-02-17 罗斯蒙特公司 海底应用的远程密封件压力测量系统
DE102012207861A1 (de) * 2012-05-11 2013-11-14 Robert Bosch Gmbh Membranbaugruppe für eine Druckmesseinrichtung
US8752433B2 (en) * 2012-06-19 2014-06-17 Rosemount Inc. Differential pressure transmitter with pressure sensor
US9442031B2 (en) 2013-06-28 2016-09-13 Rosemount Inc. High integrity process fluid pressure probe
US9335188B2 (en) 2013-06-28 2016-05-10 General Electric Company Pressure management system for sensors
US9689769B2 (en) * 2013-07-19 2017-06-27 Rosemount Inc. Pressure transmitter having an isolation assembly with a two-piece isolator plug
US9588003B2 (en) 2013-09-26 2017-03-07 Rosemount Inc. Isolator system for a pressure transmitter
US9459170B2 (en) 2013-09-26 2016-10-04 Rosemount Inc. Process fluid pressure sensing assembly for pressure transmitters subjected to high working pressure
US9234776B2 (en) 2013-09-26 2016-01-12 Rosemount Inc. Multivariable process fluid transmitter for high pressure applications
US10260980B2 (en) 2013-09-27 2019-04-16 Rosemount Inc. Pressure sensor with mineral insulated cable
US9103739B2 (en) 2013-09-27 2015-08-11 Rosemount Inc. Seal for pressure transmitter for use in industrial process
US9423315B2 (en) * 2013-10-15 2016-08-23 Rosemount Aerospace Inc. Duplex pressure transducers
US9638600B2 (en) 2014-09-30 2017-05-02 Rosemount Inc. Electrical interconnect for pressure sensor in a process variable transmitter
CN104260746B (zh) * 2014-10-09 2016-05-04 无锡市拓发自控设备有限公司 列车总风管、列车管、制动缸或副风缸用压力传感器盒
US9797237B2 (en) 2014-11-17 2017-10-24 General Electric Company Constant volume temperature to pressure transducer for use with retrievable pressure sensor assemblies
CN107655618A (zh) * 2017-09-23 2018-02-02 南京律智诚专利技术开发有限公司 一种耐腐蚀压力变送器的生产方法
CA3099745A1 (en) 2018-05-17 2019-11-21 Rosemount Inc. Measuring element and measuring device comprising the same
CN109060226A (zh) * 2018-07-05 2018-12-21 新疆石油管理局有限公司数据公司 一种压力敏感元件的封装结构及封装方法
US11480488B2 (en) * 2018-09-28 2022-10-25 Rosemount Inc. Industrial process transmitter with radiation shield
CN115235515B (zh) * 2022-09-20 2023-04-14 冰零智能科技(常州)有限公司 一种传感器及其制备方法

Family Cites Families (35)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB705124A (en) * 1952-02-05 1954-03-10 Alltools Ltd Improvements in pipe couplings
US3405559A (en) * 1966-11-07 1968-10-15 United Aircraft Corp Pressure transducer
US4208782A (en) * 1977-12-12 1980-06-24 Kulite Semiconductor Products, Inc. Methods of fabricating transducers employing flat bondable surfaces with buried contact areas
US4196632A (en) * 1978-08-14 1980-04-08 The Boeing Company Dual capacitance type bonded pressure transducer
JPS5817421B2 (ja) * 1979-02-02 1983-04-07 日産自動車株式会社 半導体圧力センサ
US4236137A (en) * 1979-03-19 1980-11-25 Kulite Semiconductor Products, Inc. Semiconductor transducers employing flexure frames
US4301492A (en) * 1980-01-28 1981-11-17 Paquin Maurice J Pressure-sensing transducer
US4443293A (en) * 1981-04-20 1984-04-17 Kulite Semiconductor Products, Inc. Method of fabricating transducer structure employing vertically walled diaphragms with quasi rectangular active areas
DE3222620A1 (de) * 1982-02-15 1983-08-25 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Druck- oder druckdifferenzmessgeraet mit einer vor ueberlastung geschuetzten drucksonsor-einrichtung
US4479070A (en) * 1983-06-10 1984-10-23 Sperry Corporation Vibrating quartz diaphragm pressure sensor
GB8401848D0 (en) * 1984-01-24 1984-02-29 Carter R E Pressure transducer
US4603371A (en) * 1984-10-12 1986-07-29 Rosemount Inc. Capacitive sensing cell made of brittle material
US4586108A (en) * 1984-10-12 1986-04-29 Rosemount Inc. Circuit for capacitive sensor made of brittle material
US4800758A (en) * 1986-06-23 1989-01-31 Rosemount Inc. Pressure transducer with stress isolation for hard mounting
US4798089A (en) * 1987-03-12 1989-01-17 Rosemount Inc. Isolator apparatus
US4833922A (en) * 1987-06-01 1989-05-30 Rosemount Inc. Modular transmitter
US4790192A (en) * 1987-09-24 1988-12-13 Rosemount Inc. Silicon side by side coplanar pressure sensors
JPH0812123B2 (ja) * 1987-11-27 1996-02-07 日本碍子株式会社 圧力センサ
DE3901492A1 (de) * 1988-07-22 1990-01-25 Endress Hauser Gmbh Co Drucksensor und verfahren zu seiner herstellung
US5081867A (en) * 1988-09-30 1992-01-21 Nec Corporation Semiconductor sensor
FR2638524B1 (fr) * 1988-10-27 1994-10-28 Schlumberger Prospection Capteur de pression utilisable dans les puits de petrole
US5022270A (en) * 1989-06-15 1991-06-11 Rosemount Inc. Extended measurement capability transmitter having shared overpressure protection means
US4993754A (en) * 1989-09-29 1991-02-19 Rosemount Inc. Liquid level coplanar transmitter adapter
JP2718563B2 (ja) * 1990-08-28 1998-02-25 日本特殊陶業株式会社 圧力検出器
JP2724419B2 (ja) * 1990-08-28 1998-03-09 日本特殊陶業株式会社 圧力センサ
US5095755A (en) * 1990-11-01 1992-03-17 Rosemount Inc. Isolator for pressure transmitter
US5094109A (en) * 1990-12-06 1992-03-10 Rosemount Inc. Pressure transmitter with stress isolation depression
US5157972A (en) * 1991-03-29 1992-10-27 Rosemount Inc. Pressure sensor with high modules support
KR0163443B1 (ko) * 1991-07-04 1999-03-30 나까오 다께시 압력측정장치
US5178015A (en) * 1991-07-22 1993-01-12 Monolithic Sensors Inc. Silicon-on-silicon differential input sensors
US5227068A (en) * 1991-10-25 1993-07-13 Eco-Soil Systems, Inc. Closed apparatus system for improving irrigation and method for its use
US5293919A (en) * 1991-11-18 1994-03-15 Hughes Aircraft Company Self-regulating tire pressure system and method
JP2896725B2 (ja) * 1991-12-26 1999-05-31 株式会社山武 静電容量式圧力センサ
FR2687777B1 (fr) * 1992-02-20 1994-05-20 Sextant Avionique Micro-capteur capacitif a faible capacite parasite et procede de fabrication.
US5424650A (en) * 1993-09-24 1995-06-13 Rosemont Inc. Capacitive pressure sensor having circuitry for eliminating stray capacitance

Also Published As

Publication number Publication date
CN1058569C (zh) 2000-11-15
DE69417247D1 (de) 1999-04-22
EP0720733A1 (de) 1996-07-10
EP0720733B1 (de) 1999-03-17
CN1131462A (zh) 1996-09-18
WO1995008759A1 (en) 1995-03-30
CA2169824A1 (en) 1995-03-30
JPH09503057A (ja) 1997-03-25
US5524492A (en) 1996-06-11
JP3415846B2 (ja) 2003-06-09
SG41962A1 (en) 1997-08-15

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