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DE60044762D1 - Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung eines Halbleiterbauelements - Google Patents

Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung eines Halbleiterbauelements

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Publication number
DE60044762D1
DE60044762D1 DE60044762T DE60044762T DE60044762D1 DE 60044762 D1 DE60044762 D1 DE 60044762D1 DE 60044762 T DE60044762 T DE 60044762T DE 60044762 T DE60044762 T DE 60044762T DE 60044762 D1 DE60044762 D1 DE 60044762D1
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DE
Germany
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producing
semiconductor component
substrate
washing liquid
washing
Prior art date
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Application number
DE60044762T
Other languages
English (en)
Inventor
Masataka Kondo
Katsuhiko Hayashi
Eiji Kuribe
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kaneka Corp
Original Assignee
Kaneka Corp
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Publication date
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Priority claimed from JP11228521A external-priority patent/JP2001053309A/ja
Priority claimed from JP28026699A external-priority patent/JP2001102606A/ja
Application filed by Kaneka Corp filed Critical Kaneka Corp
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Expired - Lifetime legal-status Critical Current

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    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
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    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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DE60044762T 1999-05-20 2000-03-16 Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung eines Halbleiterbauelements Expired - Lifetime DE60044762D1 (de)

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