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DE60000338T2 - Verfahren zum Herstellen einer Vorform für optische Fasern durch Aussenabscheidung von gegebenfalls dotiertem Siliciumoxid - Google Patents

Verfahren zum Herstellen einer Vorform für optische Fasern durch Aussenabscheidung von gegebenfalls dotiertem Siliciumoxid

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DE60000338T2
DE60000338T2 DE60000338T DE60000338T DE60000338T2 DE 60000338 T2 DE60000338 T2 DE 60000338T2 DE 60000338 T DE60000338 T DE 60000338T DE 60000338 T DE60000338 T DE 60000338T DE 60000338 T2 DE60000338 T2 DE 60000338T2
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DE
Germany
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preform
injection
deposition
heating means
silicon dioxide
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DE60000338T
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Alain Drouart
Benoit Gouez
Pierre Ripoche
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Alcatel Lucent SAS
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Alcatel SA
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Publication date
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Publication of DE60000338T2 publication Critical patent/DE60000338T2/de
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    • C03B37/01Manufacture of glass fibres or filaments
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    • CCHEMISTRY; METALLURGY
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    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
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Description

  • Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung einer Vorform einer optischen Faser mit einem Schritt zur Außenabscheidung von gegebenenfalls mit wenigstens einer Dotierverbindung dotiertem Siliciumdioxid durch Injektion mithilfe wenigstens eines, vorzugsweise eines Injektionsmittels wenigstens einer Verbindung, welche Siliciumdioxid oder ein Vorläufer von Siliciumdioxid ist, nahe einer durch ein Heizmittel geschaffenen Heizzone, wobei der Schritt wenigstens einen Durchlauf in der Längsachse der Vorform des Injektionsmittels und des Heizmittels aufweist. Sie betrifft gleichermaßen die durch dieses Verfahren gewonnene Vorform und die durch Faserziehen aus dieser Vorform hergestellte optische Faser.
  • Die Herstellung der Vorform, welche zur Fertigung einer optischen Faser durch Faserziehen bestimmt ist, aus einer weiteren sogenannten primären Vorform, welche den optisch führenden Teil der von der genannten Faser abstammenden optischen Faser umfasst, durch eine Technik zur lateralen Außenabscheidung, wie beispielsweise die Plasmanachfüll- Technik, ist bekannt, und beispielsweise in der Patentanmeldung EP A1 0 450 465 beschrieben.
  • Die opto-geometrischen Eigenschaften einer optischen Faser bestimmen deren Übertragungseigenschaften. Sie umfassen die Geometrie der Faser, insbesondere die Oberflächen der verschiedenen konzentrischen Abschnitte der quergeschnittenen Faser und die optischen Eigenschaften dieser unterschiedlichen Abschnitte. Die opto-geometrischen Eigenschaften ergeben sich aus jenen der Vorform, aus welcher die optische Faser hergestellt worden ist.
  • Die Patentanmeldung EP-A1-0 719 738 beschreibt ein Verfahren zum Fertigen einer Vorform einer optischen Faser, welche das Plasmanachfüllen einsetzt, d. h. ein Verfahren mit Außenabscheidung, welches als Heizmittel einen Plasmabrenner verwendet, wobei in den Plasmabrenner gegebenenfalls dotiertes Siliciumdioxid, welches im allgemeinen in Form von Siliciumdioxidkörnchen vorliegt, injiziert wird, wodurch sich eine Vorform mit verbesserten opto-geometrischen Eigenschaften ergibt, und wobei wenigstens ein Plasmanachfülldurchlauf für eine Verbesserung der opto-geometrischen Eigenschaften der Vorform moduliert wird. Der modulierte Nachfülldurchlauf ist einer der letzten Nachfülldurchläufe; während der nichtmodulierten Durchläufe ist die Dicke der abgeschiedenen Nachfüllschicht entlang des verwendbaren Teils der Vorform im wesentlichen konstant. Die Vorgehensweise beim modulierten Nachfüllen besteht hauptsächlich in einer kontrollierten axialen Modifizierung von wenigstens einem Parameter der Plasmanachfüllung, insbesondere und vorzugsweise der Durchsatz an Nachfüllkörnern. Die genannte axiale Modifizierung umfasst eine Auswertung der axialen Abweichungen des Durchmessers der Vorform und eine axiale Modifizierung des Parameters in dem Sinn, dass der modulierte Durchlauf zum Nachfüllen die genannten axialen Abweichungen des Durchmessers vermindert. Mit anderen Worten, der Nachfülldurchlauf wird als Funktion der zuvor bestimmten axialen Abweichungen des Durchmessers moduliert, und der Durchmesser der Vorform in der Weise vergrößert - oder vermindert -, dass die genannten Abweichungen nach dem Nachfülldurchlauf geringer - oder sogar ausgeglichen - werden.
  • Jedoch ist in der Patentanmeldung EP-A1-0 719 738 die Ausbeute der Außenabscheidung nicht optimiert: tatsächlich ist das Injektionsmittel, Körner in diesem Fall, in Bezug auf den Plasmabrenner über die gesamte Dauer der Außenabscheidung in einer bestimmten Weise positioniert. Nun ist es aber so, dass das Heizmittel, nämlich der Plasmabrenner, hauptsächlich wegen einer Wirbelströmung der Plasmagase im Innern und am Ausgang des Brenners nicht in symmetrischer Weise in Bezug auf dessen Achse auf die aus dem Injektionsmittel austretenden Partikel oder reaktiven Gase wirkt. Deshalb ist im Falle eines Außenabscheidungsverfahrens mit in zwei Richtungen sich ändernden Abscheidungsdurchläufen gemäß dem Stand der Stand der Technik die Position des Injektionsmittels typischerweise ein Kompromiss. Man platziert es in einer Zwischenposition zwischen der optimierten Position einer Translationsrichtung der Vorform und der optimierten Position der anderen Translationsrichtung der Vorform. Infolgedessen ist die Außenabscheidung nicht optimiert, insbesondere auf Höhe des Ausstoßes der Abscheidung; tatsächlich werden die aus dem Injektionsmittel austretenden Körner oder reaktiven Gase, die nicht in der Heizzone des Heizmittels reagiert haben, einfach beseitigt ohne, dass diese vorher hätten reagieren können.
  • Andererseits ist es schwierig, bei einem solchen Verfahren die Abscheidung von Dotiermittel(n), wie Fluor, mit bestimmten Einbringungsgraden in der Vorform zu bewirken. Tatsächlich kann es vorkommen, dass die Position des Injektionsmittels nicht ermöglicht, eine richtige Kinetik der Abscheidungsreaktionen der dotierten Reagenzien zu erhalten, und zwar hauptsächlich wegen der Temperatur und des für die aus dem Injektionsmittel austretenden Reagenzien zurückzulegenden Abstands, wenn die genannten Reagenzien gasförmig sind. Beispielsweise ist Fluor zu reaktiv, wobei sich, anstelle der Abscheidung von Siliciumdioxid und der Fluorverbindung auf der Vorform, eine unerwünschte Verbindung aus SiF&sub4; bildet, welche nicht in die Vorform eingebracht wird. Schlimmstenfalls wird das Dotiermittel Fluor nicht nur nicht in die Vorform eingebracht, sondern stört und verhindert sogar die Abscheidung von Siliciumdioxid auf die Vorform.
  • Im Rahmen der Technologie des OVD-Abscheidens (Akronym für "Outside Vapor Deposit"), bei welcher eine Außenabscheidung von gegebenenfalls dotiertem Siliziumdioxid in einer Folge von Durchläufen der Außenabscheidung von Ruß in Gegenwart des Heizmittels erfolgt, welches im allgemeinen ein Knallgasgebläse ist, stellt sich bei der Verglasung, die nach einer solchen Abscheidung im allgemeinen mittels eines Ofens stattfindet, auch das Problem der Optimierung der Außenabscheidung und das Problem der Abscheidung bestimmter Dotiermittel bei bestimmten Bedingungen. Man kann auch in Betracht ziehen eine OVD-Abscheidung zu realisieren, indem als Heizmittel ein Plasmabrenner anstelle des Knallgasgebläses verwendet wird.
  • Das erfindungsgemäße Verfahren zielt hauptsächlich darauf ab, die Abscheiderate des Verfahrens mit Außenabscheidung zu erhöhen, indem die Position des (oder der) Injektionsmittel(s) in Bezug auf das Heizmittel optimiert wird. Sie zielt auch darauf ab, die Abscheidung des(r) Dotiermittel(s) gleichzeitig mit der Abscheidung Von Siliziumdioxid bei guten Bedingungen zu ermöglichen.
  • Zu diesem Zweck ist das erfindungsgemäße Verfahren dadurch gekennzeichnet, dass während wenigstens einer Abscheidung, vorzugsweise während praktisch der gesamten Abscheidung, die relativen Positionen des (oder der) Injektionsmittel(s) und des Heizmittels derart eingestellt werden, dass das gegebenenfalls dotierte Siliciumdioxid auf Höhe der Heizzone abgeschieden wird, unabhängig davon, welche Position das Heizmittel einnimmt.
  • In dem Fall einer direkten Verglasung, bei dem eine Abscheidung von gegebenenfalls dotiertem Siliziumdioxidruß und gleichzeitig eine Verglasung des Rußes erfolgt, ist es sehr wichtig eine gute Qualität der Vorform zu haben, und insbesondere keine Blasen in die Vorform einzubringen. Bei einer merklichen Verbesserung der Abscheiderate von Siliciumdioxid von im allgemeinen 20 bis 30% in Bezug auf eine Kompromissposition für die Lokalisierung des Injektionsmittels, weist das erfindungsgemäße Verfahren den Vorteil auf, eine Abscheidung zu erhalten, welche im wesentlichen frei von Blasen ist.
  • Das erfindungsgemäße Verfahren weist auch den Vorteil auf, dass, hauptsächlich bei der Injektion von gasförmigen Reagenzien, bestimmte Gehalte an Dotiermitteln in dem durch Nachfüllen abgeschiedenen Siliziumdioxid erzielt werden können, was bei einer gewöhnlichen Positionierung des Injektionsmittels nur schlecht oder überhaupt nicht möglich ist.
  • Vorteilhaft erfolgt die Einstellung bei jedem Wechsel des Durchlaufs.
  • Somit weist das erfindungsgemäße Verfahren den Vorteil auf, dass in Bezug auf das Verfahren, bei dem das Injektionsmittel während der gesamten Dauer des Nachfüllens in einer vorbestimmten Position fixiert ist, hauptsächlich bei der Abscheidung von Körnern, in den beiden Richtungen des Nachfülldurchgangs, bei einer konstanten Abscheidequalität, eine Erhöhung der Abscheidegeschwindigkeit der Partikel, welche auf der Vorform in einer lateralen Nachfüllschicht abgeschieden werden, ermöglicht ist.
  • Gemäß einer Ausführungsform der Erfindung, bei welcher die Hauptachse des Heizmittels in einer Ebene liegt, die im wesentlichen senkrecht zur Längsachse der Vorform ist, nimmt die Hauptachse des Injektionsmittels einen gegebenen und festen Winkel zur Achse des Heizmittels ein, und befindet sich in einer Ebene, die im wesentlichen senkrecht zur Längsachse der Vorform ist, wobei die relative Versetzung des Injektionsmittels und des Heizmittels zueinander in einer Richtung erfolgt, die parallel zur Längsachse der Vorform ist.
  • Bei dieser Konfiguration sind, hauptsächlich für den Fall des Plasmanachfüllens, die Orientierungen der Hauptachsen des Injektionsmittels und des Heizmittels typisch für die Außenabscheidung von gegebenenfalls dotiertem Siliziumdioxid, und das erfindungsgemäße Verfahren kann leicht auf bestehende Vorrichtungen angepasst werden. Die relative Versetzung des Injektionsmittels und des Heizmittels erfolgt unter Beibehaltung der Achsen der genannten Mittel in einer Ebene senkrecht zur Längsachse der Vorform, und mit einem konstanten Winkel zwischen den genannten Achsen. Somit ist es leicht, die Automatisierung der relativen Position des Injektionsmittels und des Heizmittels bestehenden Vorrichtungen hinzuzufügen.
  • Das erfindungsgemäße Heizmittel ist, hauptsächlich in dem Fall der Plasmatechnologie, jedoch auch in dem Fall der sogenannten OVD-Technologie, im allgemeinen ein Plasmabrenner.
  • Wenn wenigstens zwei Injektionsmitteln vorliegen, ist das Vorstehende auf jedes der Injektionsmittel anzuwenden. In einem solchen Fall befinden sich die Injektionsmittel im allgemeinen in derselben Ebene senkrecht zur Längsachse der Vorform.
  • In dem Fall einer Abscheidung von nichtdotiertem Siliciumdioxid, beispielsweise durch Injektion von Körnern oder durch Injektion von reaktiven Gasen, wird die Positionierung des Injektionsmittels, welche in einem solchen Fall hauptsächlich eine Funktion der Verschiebungsrichtung der Vorform in Bezug auf das Heizmittel ist, im allgemeinen entsprechend der Fertigung der Vorform kontinuierlich eingestellt. Dies kann durch eine kontinuierliche Messung des Durchmessers erfolgen, wobei eine solche Messung in der Patentanmeldung EP-A1-0 719 738 für den Fall beschrieben ist, bei dem das Heizmittel ein Plasmabrenner ist. Die Auswertung der Position des Injektionsmittels gemäß der Erfindung kann auch durch eine Eichung mithilfe von als Versuchsvorformen dienenden Vorformen eingestellt werden.
  • In dem Fall eines Abscheidens von dotiertem Siliciumdioxid, was zumeist durch Injektion von reaktivem Gas erfolgt, findet die Positionierung des Injektionsmittels im allgemeinen durch eine Eichung mithilfe von als Versuchsvorformen dienenden Vorformen statt. Tatsächlich ist eine solche Positionierung in einem solchen Fall hauptsächlich eine Funktion der Verschiebungsrichtung der Vorform in Bezug auf das Heizmittel, sowie der zu erhaltenden Dotierung bei gegebenem Durchmesser der Vorform entsprechend dem gewünschten Brechungsindexprofil. Für eine Eichung muss man also anhand von einer oder zwei Versuchsvorformen verschiedene Positionen des Injektionsmittels in Bezug auf das Heizmittel als Funktion der Geschwindigkeit der Verschiebung bei gegebenem Brechungsindexprofil auswerten.
  • Durch das Lesen der folgenden Beschreibung, die nicht beschränkend ist, wird die Erfindung besser verstanden und es ergeben sich weitere Merkmale und Vorteile, wobei Bezug auf die Fig. 1 bis 5 genommen wird.
  • Die Fig. 1 stellt in sehr schematischer Weise eine Vorrichtung zum Plasmanachfüllen dar, durch welche das Verfahren der Erfindung ausgeführt werden kann.
  • Die Fig. 2 stellt eine schematische Ansicht, gemäß der Linie I-I (siehe Fig. 1), der Position verschiedener Elemente der Vorrichtung von Fig. 1 in einer Kompromissposition entsprechend dem Stand der Technik dar, und zwar für den Fall einer Linksverschiebung der Vorform 3 in Bezug auf die Düse 5 und den Brenner 4.
  • Die Fig. 3 stellt eine schematische Ansicht, gemäß der Linie I-I (siehe Fig. 1), der Position verschiedener Elemente der Vorrichtung von Fig. 1 in einer Kompromissposition entsprechend dem Stand der Technik dar, und zwar für den Fall einer Rechtsverschiebung der Vorform 3 in Bezug auf die Düse 5 und den Brenner 4. Der Unterschied zur Fig. 2 liegt in der Richtung der genannten Verschiebung.
  • Die Fig. 4 stellt eine schematische Ansicht, gemäß der Linie I-I (siehe Fig. 1), der Position verschiedener Elemente der Vorrichtung von Fig. 1 in einer erfindungsgemäß optimierten Position dar, und zwar für den Fall einer Linksverschiebung der Vorform 3 in Bezug auf die Düse 5 und den Brenner 4.
  • Die Fig. 5 stellt eine schematische Ansicht, gemäß der Linie I-I (siehe Fig. 1), der Position verschiedener Elemente der Vorrichtung von Fig. 1 in einer erfindungsgemäß optimierten Position dar, und zwar für den Fall einer Rechtsverschiebung der Vorform 3 in Bezug auf die Düse 5 und den Brenner 4. Der Unterschied zur Fig. 4 liegt in der Richtung der genannten Verschiebung.
  • Die Fig. 1 stellt in sehr schematischer Weise eine Vorrichtung zum Plasmanachfüllen mit einem Raum 1 dar, welcher ein durchsichtiges Fenster 2, eine vom Ende her gesehene Vorform 3, auf welche ein Plasmabrenner 4, welcher das erfindungsgemäße Heizmittel darstellt, und eine Versorgungsdüse für Nachfüllkörner 5, mit der Mündung 5a, welche das erfindungsgemäße Injektionsmittel darstellt, gerichtet sind, umfasst. Außerhalb des Raums 1 ist eine hinter dem Fenster 2 angeordnete CCD-Kamera 6 auf die Vorform 3 mit der Längsachse X gerichtet. Sie liefert eine Messung des Durchmessers der Vorform an der Stelle, auf welche sie gerichtet ist, in Form eines über die Leitung 7 an eine Steuervorrichtung 8 für den Nachfüllprozess übertragenen Werts. Die Vorrichtung 8 empfängt über eine Mehrfachleitung 9 weitere Kenngrößen in Bezug auf den Zustand des Nachfüllprozesses. Unter dem Einfluss eines internen Steuerprogramms für den Nachfüllprozess mit konstantem Körnerdurchsatz, gibt die Vorrichtung 8 an eine Ausgangsleitung 10, welche zur Steuervorrichtung 11 führt, einen Steuerwert für die Positionierung der Düse 5 in Bezug auf den Brenner 4 und der Vorform 3 aus, wobei in der Folge durch Versetzen der Düse 5 entlang einer Achse, die parallel zur Längsachse X der Vorform 3 ist, die Düse 5 positioniert wird. Als Referenzwert wird derjenige genommen, bei dem sich die Düse 5 und der Brenner 4 in derselben Ebene befinden, welche im wesentlichen senkrecht zur Achse der Vorform ist. Die Vorrichtung 8 gibt über eine Mehrfach-Ausgangsleitung 12 noch weitere Steuerdaten aus, welche weitere Merkmale des Steuerprozesses bestimmen.
  • Alle Elemente der in Fig. 1 gezeigten Vorrichtung sind dem Fachmann bekannt. Weitere Elemente, die nicht dargestellt sind, sind gleichermaßen bekannt. So sind die Stützmittel der Vorform 3 mit Rotations- und Translationsbewegung, ein Stützschlitten des Plasmabrenners 4 und der Düse mit Translationsbewegung parallel zur Längsachse der Vorform 3, Mittel zum Auswerten der Winkelposition der Vorform 3 und der Längsposition des Schlittens beispielsweise in der europäischen Patentanmeldung EP-A1-0 440 130 beschrieben. Erfindungsgemäß umfasst der Stützschlitten der Düse 5 und der Brenner 4 auch ein internes Mittel zum Stützen der Düse 5 mit einer Translationsbewegung, um die Düse 5 in Bezug auf den Brenner 4 zu positionieren. Alle diese Mittel erlauben in bekannter Weise die Vorform 3 vom Brenner 4 entsprechend dem Wachstum der Vorform 3 zu entfernen. Mittel, die es ermöglichen die Kamera 6 auf aufeinanderfolgende Stellen der Vorform 3 innerhalb eines Messdurchlaufs zu richten, welche in Form eines zweiten Schlittens für eine mit der Versetzung des ersten Schlittens gekoppelten Versetzung vorliegen können, gehören ebenso zum Stand der Technik.
  • Das Plasmanachfüllen erfolgt mit Durchläufen von rechts nach links, und anschließend von links nach rechts, in deren Verlauf der Plasmabrenner 4 und die Düse 5 die Länge der Vorform 3 überstreichen. Vorzugsweise erfolgt erfindungsgemäß die Änderung der Position der Düse 5 in Bezug auf den Brenner 4 bei jeder Änderung der Translationsrichtung des Brenners 4 in Bezug auf die Vorform 3 am Ende eines Durchgangs. Typischerweise ist in Fig. 2 und 3, die im weiteren beschrieben werden, entsprechend dem Stand der Technik die Positionierung der Düse 5 in Bezug auf den Brenner 4 fest und folglich identisch, was auch immer die Translationsrichtung der Vorform 3 in Bezug auf den Brenner 4 bei jedem Durchlauf ist. In den Fig. 4 und 5, die nachfolgend beschrieben werden, ist erfindungsgemäß die Positionierung der Düse 5 für jede Translationsrichtung der Vorform 3 in Bezug auf den Brenner 4 verschieden, wobei diese Positionierung bei jeder Richtungsänderung am Ende eines Durchgangs modifiziert wird. Vorzugsweise ist diese Positionierung für eine gegebene Translationsrichtung gleich, jedoch kann diese Positionierung auch im Verlauf des Prozesses variieren, indem sie mit dem Durchmesser der Vorform gekoppelt ist.
  • Alle Steuervorgänge sind optimiert, um eine große Ausbeute der abgeschiedenen Menge von Siliziumdioxid, bei einer gegebenen Translationsgeschwindigkeit und bei einem gegebenen Brechungsindexprofil der Nachfüllung, zu erhalten. Gleichzeitig macht die Kamera 6 einen Messdurchlauf, bei welchem aufeinanderfolgende Werte des Durchmessers der Vorform 3 über die gesamte Länge geliefert werden.
  • Die Fig. 2 stellt eine schematische Ansicht der Position von verschiedenen Elementen der Vorrichtung von Fig. 1 in einer Kompromissposition entsprechend dem Stand der Technik dar, und zwar für den Fall einer Linksverschiebung (Pfeil F) der Vorform 3 in Bezug auf die Düse 5 und den Brenner 4. Die Translationsrichtung der Vorform 3 ist durch den Pfeil F angegeben. Die Düse 5 ist in schematischer Weise einfach durch ihre Mündung 5a dargestellt. Man sieht einen Abscheidungskegel 14 der Partikel oder der reaktiven Gase, welche aus der Düse 5 austreten, sowie ein von dem Plasmabrenner 4 kommendes Plasma 15. Durch die Zone ABCD ist eine warme Zone der Vorform 3 angegeben. Man sieht auch, dass der Kegel 14 über die warme. Zone ABCD hinausgeht, und dass es eine kalte Zone BCE, in der Fig. 2 gestrichelt dargestellt, des Kegels 14 gibt. Wie zuvor erklärt wurde, weist ein solches Abscheiden auf eine kalte Zone den Nachteil auf, dass die Ausbeute der Abscheidung dann, wenn man bestimmte Dotiermittel injizieren will, verringert oder sogar verhindert ist.
  • Die Fig. 3 stellt eine schematische Ansicht der Position von verschiedenen Elementen der Vorrichtung von Fig. 1 in einer Kompromissposition entsprechend dem Stand der Technik dar, und zwar für den Fall einer Rechtsverschiebung (Pfeil F) der Vorform 3 in Bezug auf die Düse 5 und den Brenner 4. Der Unterschied zur Fig. 2 liegt in der Richtung der genannten Verschiebung. Die Translationsrichtung des Brenners ist durch den Pfeil F' angegeben. Man erkennt, wie in der Fig. 2, den Kegel 14 zum Abscheiden der Partikel oder der reaktiven Gase, welche aus der Düse 5 durch die Mündung 5a austreten, sowie das Plasma 15 und die Zone ABCD, die warme Zone der Vorform 3. Der Kegel 14 ragt über die warme Zone ABCD hinaus, und es gibt eine kalte Zone BCE.
  • Die Fig. 4 stellt eine schematische Ansicht der Position verschiedener Elemente der Vorrichtung von Fig. 1 in einer erfindungsgemäß optimierten Position dar, und zwar für den Fall einer Linksverschiebung der Vorform 3 in Bezug auf die Düse 5 und den Brenner 4. Als stromabwärts des Brenners wird der Teil der Vorform bezeichnet, der während des dargestellten Durchlaufs bereits einer Abscheidung unterworfen war. Die Düse 5 hat stromabwärts in Bezug auf die Translationsrichtung der Vorform 3 in Bezug auf den Brenner 4 eine Achse mit einem Abstand d von der Achse des Brenners. Als Folge liegt der Kegel 14 der Abscheidung der Partikel oder der Gase, die aus der Düse 5 durch die Mündung 5a austreten, auf Höhe der Vorform 3, gänzlich in der warmen Zone ABCD der Vorform 3. Es gibt keine kalte Zone.
  • Die Fig. 5 stellt eine schematische Ansicht der Position verschiedener Elemente der Vorrichtung von Fig. 1 in einer erfindungsgemäß optimierten Position dar, und zwar für den Fall einer Rechtsverschiebung der Vorform 3 in Bezug auf die Düse 5 und den Brenner 4. Die Achse der Düse 5 hat stromabwärts in Bezug auf die Translationsrichtung der Vorform 3 hinsichtlich des Brenners 4 einen Abstand d von der Achse des Brenners 4, der zu dem in der Fig. 4 dargestellten Abstand d gleich ist. Als Folge liegt der Kegel 14 der Abscheidung der Partikel oder der Gase, die aus der Düse 5 durch die Mündung 5a austreten, auf Höhe der Vorform 3, gänzlich in der warmen Zone ABCD der Vorform 3. Im allgemeinen hat das Heizmittel keine zylindrische Symmetrie. So weist die Achse der Düse 5 stromabwärts in Bezug auf die Translationsrichtung der Vorform 3 in Bezug auf den Brenner 4 einen Abstand d', welcher von dem in der Fig. 4 dargestellten Abstand d verschieden ist, von der Achse des Brenners 4 auf.
  • Die vorstehende Beschreibung wurde für den Fall angegeben, bei dem die relative Verschiebung des Heizmittels, nämlich der Brenner 4, und des Injektionsmittels, nämlich die Düse 5, durch Verschiebung des Injektionsmittels relativ zum Heizmittel erfolgt. Selbstverständlich ist es im Rahmen der Erfindung auch möglich, dass die Verschiebung des Heizmittels relativ zum Injektionsmittel in umgekehrter Weise erfolgt, wobei ein im wesentlichen identisches Ergebnis erzielt wird.
  • Selbstverständlich ist die Erfindung nicht auf die oben beschriebenen Darstellungen beschränkt. Insbesondere ist sie für die Plasma-Nachfüllverfahren, jedoch auch für andere Nachfüllverfahren, wie das OVD-Verfahren, geeignet.

Claims (3)

1. Verfahren zur Herstellung einer Vorform (3) einer optischen Faser mit einem Schritt zur Außenabscheidung von gegebenenfalls mit wenigstens einer Dotierverbindung dotiertem Siliciumdioxid durch Injektion mithilfe wenigstens eines Injektionsmittels (5) wenigstens einer Verbindung, welche das Siliciumdioxid oder ein Vorläufer des Siliciumdioxids ist, nahe einer durch ein Heizmittel (4) geschaffenen Heizzone, wobei der Schritt wenigstens einen Durchlauf in der Längsachse (X) der Vorform (3) des Injektionsmittels (5) und des Heizmittels (4) aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass während des wenigstens einen Durchlaufs die relativen Positionen des Injektionsmittels (5) und des Heizmittels (4) so eingestellt werden, dass das gegebenenfalls dotierte Siliciumdioxid auf Höhe der Heizzone abgeschieden wird, unabhängig davon welche Position das Heizmittel (4) hat.
2. Verfahren nach Anspruch 1, bei welchem die Einstellung bei jedem Wechsel des Durchlaufs erfolgt.
3. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 oder 2, bei welchem das Heizmittel (4) seine Hauptachse in einer Ebene hat, die im wesentlichen senkrecht zur Längsachse (X) der Vorform (3) ist, während das Injektionsmittel (5) eine Hauptachse hat, die einen gegebenen und festen Winkel zur Achse des Heizmittels einnimmt und sich in einer Ebene befindet, die im wesentlichen senkrecht zur Längsachse (X) der Vorform (3) ist, und die relative Versetzung des Injektionsmittels (5) und des Heizmittels (4) zueinander in einer Richtung erfolgt, die parallel zur Längsachse (X) der Vorform (3) ist.
DE60000338T 1999-03-08 2000-03-02 Verfahren zum Herstellen einer Vorform für optische Fasern durch Aussenabscheidung von gegebenfalls dotiertem Siliciumoxid Expired - Lifetime DE60000338T2 (de)

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