DE4240205C2 - Verfahren zum Herstellen einer Halbleitervorrichtung, insb. eines Bipolartransistors - Google Patents

Description

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Verfah­ ren zum Herstellen einer Halbleitervorrichtung, wobei es sich bei dieser Halbleitervorrichtung insbesondere um einen Bipolartransistor handelt.

Die Fig. 11 bis 13 zeigen in schematischen Schnitt­ ansichten ein herkömmliches Verfahren zum Herstellen eines Bipolartransistors, und zwar in der Reihenfolge der Her­ stellung.

Zu Beginn wird ein Siliziumsubstrat 1 vom p-Typ mit ei­ ner geringen Verunreinigungskonzentration vorgesehen. Auf dem Siliziumsubstrat 1 werden eine hochkonzentrierte n-Typ vergrabene Kollektorschicht 2 und p-Typ vergrabene Schich­ ten 3 gebildet. Auf dem Siliziumsubstrat 1 und den vergra­ benen Schichten 2 und 3 wird eine niedrig konzentrierte n⁻- Typ Epitaxieschicht 4 aufgewachsen. Auf der Epitaxieschicht 4 werden (nicht näher dargestellte) Oxid- und Nitridfilme abgeschieden wobei der Nitridfilm lediglich in einem Be­ reich stehen gelassen wird, in dem ein Bipolartransistor gebildet wird (im folgenden als aktiver Bereich" bezeich­ net). Hochkonzentrierte p-Typ Verunreinigungsionen für den Kanalschnitt werden durch Verwendung einer (nicht näher dargestellten) Fotolackmaske implantiert. Dicke Oxidfilme 110 für die Trennung werden durch selektive Oxidation unter Verwendung des Nitridfilmes als Maske gebildet. Zur selben Zeit werden p-Typ Kanalschnittschichten 5 gebildet. Die Trennung des später gebildeten Transistors wird sowohl durch die vergrabenen p-Typ Schichten 3, als auch die p-Typ Kanalschnittschichten 5 erzielt. Die Epitaxieschicht 4 wird unter Verwendung einer (nicht näher dargestellten) Foto­ lackmaske selektiv freigelegt. Es wird eine Ionenimplanta­ tion mit hochkonzentrierten n-Typ Verunreinigungen und eine Wärmebehandlung zur Bildung einer Kollektorwandschicht 6 durchgeführt. Die Oberfläche der Epitaxieschicht 4 wird in dem aktiven Bereich selektiv freigelegt. Oberhalb der obe­ ren Oberfläche wird ein Polysiliziumfilm gebildet, und es werden hochkonzentrierte p-Typ Verunreinigungsionen in den Polysiliziumfilm implantiert. Der Polysiliziumfilm wird durch Verwendung einer (nicht näher dargestellten) Foto­ lackmaske strukturiert, so daß sich ein ionenimplantierter Polysiliziumfilm 200 ergibt. Anschließend wird ein Oxidfilm 120 über die obere Oberfläche bei niedrigen Temperaturen abgeschieden (siehe Fig. 11).

Der Oxidfilm 120 und der Polysiliziumfilm 200 werden unter Verwendung einer (nicht näher dargestellten) Foto­ lackmaske selektiv weggeätzt, um die Oberfläche der Epita­ xieschicht 4 freizulegen. Der selektiv sich ergebende Poly­ siliziumfilm 200 erhält äußere Basiselektroden 201. Die freigelegte Oberfläche der Epitaxieschicht wird zur Bildung eines dünnen Oxidfilmes 130 oxidiert. Ionen einer p-Typ Verunreinigung für die intrinsische Basis werden über den Oxidfilm 130 zur Bildung einer mit einer p-Typ Verunreini­ gung implantierten Schicht 7a implantiert (siehe Fig. 12).

Oberhalb der oberen Oberfläche wird ein Oxidfilm abge­ schieden und überall trockengeätzt, so daß ein Seitenwan­ doxidfilm 140 lediglich auf der Stirnfläche der Basiselek­ trode 201 gebildet wird und die verunreinigungs-implan­ tierte Schicht 7a freigelegt wird. Oberhalb der oberen Oberfläche wird ein Polysiliziumfilm abgeschieden. Hochkon­ zentrierte n-Typ Verunreinigungsionen werden in den Polysi­ liziumfilm implantiert, welcher wiederum zur Bildung einer Emitterelektrode 210 strukturiert wird. Die eingeführten Verunreinigungen werden durch eine Wärmebehandlung diffun­ diert, so daß eine intrinsisch leitende Basisschicht 7, äu­ ßere Basisschichten 8 und eine Emitterschicht 9 gebildet werden.

Fig. 14 zeigt in schematischer Ansicht den geschnittenen Aufbau des auf diese Weise hergestellten herkömmlichen Transistors, und Fig. 15 zeigt ein Verunreinigungsprofil (um die Emitterschicht 9 herum), wobei der Aufbau entlang der Linie XX′ aus Fig. 14 genommen ist.

Falls die Basisschicht 7 für eine hohe Leistungsfähig­ keit des Transistors dünn ausgebildet ist, wird eine hohe Verunreinigungskonzentration der Basisschicht 7 benötigt, um eine hohe Kollektor-Emitter-Durchbruchsspannung zu ge­ währleisten. In diesem Fall wächst die Verunreinigungskon­ zentration der Basisschicht 7 um den Emitter herum zu hohen Werten an, insbesondere in einem Oberflächenabschnitt 7c, so daß die Emitter-Basis-Übergangsdurchbruchsspannung nach­ teiligerweise verringert wird.

Demgemäß liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, ein Herstellungsverfahren für eine Halbleitervorrichtung zur Verfügung zu stellen, welches eine Verbesserung der Emit­ terbasis-Übergangsdurchbruchsspannung ermöglicht, ohne die Kollektor-Emitter-Durchbruchsspannung zu verringern.

Diese Aufgabe wird mit den im Anspruch 1 angegebenen Verfahrensschritten gelöst.

Da die intrinsisch leitende Basisschicht zwischen der Emitterschicht und der als Kollektorschicht dienenden Halb­ leiterschicht aufgrund dieses Herstellungsverfahrens eine relativ große Verunreinigungskonzentration aufweist, wird die Kollektor-Emitter-Durchbruchsspannung nicht vermindert. Da die Verbindungsbasisschicht zwischen der intrinsisch leitenden Basisschicht und der äußeren Basisschicht eine relativ geringe Verunreinigungskonzentration aufweist, un­ terdrückt die Verbindungsbasisschicht einen Abfall in der Emitter-Basis-Übergangsdurchbruchsspannung.

Die vorliegende Erfindung erlaubt daher eine Unterdrüc­ kung des Abfalles der Emitter-Basis-Übergangsdurchbruchs­ spannung, ohne einen Abfall in der Kollektor-Emitter-Durch­ bruchsspannung in Kauf nehmen zu müssen.

Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung ergeben sich aus den Unteransprüchen.

In der DE 38 34 223 A1 ist eine Halbleitervorrichtung beschrieben, bei der eine intrinsisch leitende Basisschicht eines zweiten Leitungstyps in einer oberen Oberfläche einer Kollektorschicht vorgesehen ist. Die Verunreinigungskonzen­ tration dieser Basisschicht ist größer als diejenige einer weiteren Basisschicht, die zwischen einer Emitterschicht und einer äußeren Basisschicht vorgesehen ist. Gegenstand des "IBM Technical Disclosure Bulletin" mit dem Titel "EPI- based bipolar transistor with oxide-defined collector win­ dow", Vol. 34, Nr. 1, Juni 1991, Seiten 422-424, ist schließlich eine Bipolarstruktur mit einem oxiddefinierten Kollektorfenster. Die Besonderheit dieses bekannten Transi­ stors liegt darin, daß die Breite des Kollektorfensters größer als die des Emitterfensters ist. Die wesentlichen Verfahrensschritte der vorliegenden Erfindung sind aus die­ sen beiden Druckschriften jedoch nicht bekannt.

Die Erfindung wird nachstehend anhand der Beschreibung von Ausführungsbeispielen unter Bezugnahme auf die Zeich­ nung näher erläutert. Es zeigen:

Fig. 1 eine schematische Schnittansicht eines Bipolartransistors entsprechend einem ersten Ausfüh­ rungsbeispiel der vorliegenden Erfindung;

Fig. 2 ein Verunreinigungskonzentrationsprofil bei dem ersten Ausführungsbeispiel;

Fig. 3 bis 7 schematische Schnittansichten eines Verfahrens zur Herstellung des Bipolartransistors des ersten Ausführungsbeispiels in der Reihenfolge der Herstellung;

Fig. 8 bis 10 schematische Schnittansichten des erfindungsgemäßen Verfahrens zur Herstellung des Bipolartransistors in der Reihenfolge der Herstellung entsprechend einem zweiten Ausführungsbeispiel der vor­ liegenden Erfindung;

Fig. 11 bis 13 schematische Schnittansichten eines herkömmlichen Verfahrens zur Herstellung eines Bipolartransistors in der Reihenfolge der Herstellung;

Fig. 14 eine schematische Schnittansicht eines herkömmlichen Bipolartransistors; und

Fig. 15 ein Verunreinigungskonzentrationsprofil des herkömmlichen Bipolartransistors der Fig. 14.

Fig. 1 zeigt in einer schematischen Schnittansicht einen Bipolartransistor entsprechend einem ersten Ausführungsbei­ spiel der vorliegenden Erfindung. Die Fig. 3 bis 7 zei­ gen in schematischen Schnittansichten Hauptschritte eines erfindungsgemäßen Verfahrens zur Herstellung des Bipolar­ transistors gemäß Fig. 1.

Auf ähnliche Art und Weise wie eingangs beschrieben wird zunächst ein p-Typ Siliziumsubstrat 1 mit niedriger Verunreinigungskonzentration vorgesehen, und es werden hochkonzentrierte vergrabene n-Typ Kollektorschichten 2 und p-Typ Schichten 3 aufeinanderfolgend auf dem Siliziumsub­ strat 1 gebildet. Über die obere Oberfläche wird eine nied­ rigkonzentrierte n⁻-Typ Epitaxieschicht 4 aufgewachsen.

Auf der Epitaxieschicht 4 werden (nicht näher darge­ stellte) Oxid- und Nitridfilme abgeschieden, wobei der Ni­ tridfilm lediglich in einem aktiven Bereich stehengelassen wird. Hochkonzentrierte p-Typ Kanalschnitt-Verunreini­ gungsionen werden unter Verwendung einer (nicht näher dar­ gestellten) Fotolackmaske implantiert. Dicke Oxidfilme 110 für die Trennung werden durch selektive Oxidation unter Verwendung des Nitridfilmes als Maske gebildet. Zur glei­ chen Zeit werden p-Typ Kanalschnittschichten 5 gebildet.

Die Trennung des Transistors wird sowohl durch die vergra­ benen p-Typ Schichten 3, als auch die p-Typ Kanalschnitt­ schichten 5 erzielt. Die Epitaxieschicht 4 wird selektiv freigelegt, wobei eine (nicht näher dargestellte) Fotolack­ maske verwendet wird. Zur Bildung einer Kollektorwand­ schicht werden eine Ionenimplantation mittels hochkonzen­ trierter n-Typ Verunreinigungen und eine Wärmebehandlung durchgeführt.

Die Oberfläche der Epitaxieschicht 4 wird selektiv freigelegt. Ein Polysiliziumfilm von etwa 150 bis 250 nm in der Dicke wird über die obere Oberfläche abgeschieden. Hochkonzentrierte p-Typ Verunreinigungsionen, wie bei­ spielsweise BF₂₊, werden in den Polysiliziumfilm bei einer Implantationsrate (bzw. Dosis) von etwa 4 × 10¹⁵ bis 6 × 10¹⁵ cm^-2 derart implantiert, daß die Ionen in dem Polysi­ liziumfilm stoppen. Der ionenimplantierte Polysiliziumfilm wird unter Verwendung einer (nicht näher dargestellten) Fo­ tolackmaske strukturiert, so daß ein Polysiliziumfilm 200 stehengelassen wird. Anschließend wird ein Oxidfilm 120 oberhalb der oberen Oberfläche bei niedrigen Temperaturen von beispielsweise 400 bis 500° Celsius abgeschieden (siehe Fig. 3), um zu verhindern, daß p-Typ Verunreinigungen in dem Polysiliziumfilm 200 in die n⁻-Typ Epitaxieschicht 4 dif­ fundieren.

Der Oxidfilm 120 und der Polysiliziumfilm 200 werden selektiv weggeätzt, um mittels eines Fotolackes 700 die Oberfläche der Epitaxieschicht 4 freizulegen. Der selektiv verbleibende Polysiliziumfilm 200 erhält äußere Basiselek­ troden 201 (Fig. 4).

Die freigelegte Oberfläche der Epitaxieschicht 4 wird dünn oxidiert (mit einer Dicke von 8 bis 15 nm), um einen Oxidfilm 130 zu bilden. Ionen einer p-Typ Verunreinigung, beispielsweise BF₂₊, werden durch den Oxidfilm 130 bei ei­ ner geringen Energie von 15 bis 20 keV und einer Dosis von 1 × 10¹³ bis 2 × 10¹³ cm^-2 implantiert, um eine verunreini­ gungsimplantierte p⁻-Typ Schicht 7b auszubilden (siehe Fig. 5).

Oberhalb der oberen Oberfläche wird ein Oxidfilm abge­ schieden und ganz flächig derart trockengeätzt, daß Seiten­ wand-Oxidfilme 140 lediglich auf der Endfläche der Basis­ elektroden 201 gebildet werden, und die verunreinigungsim­ plantierte Schicht 7b freigelegt wird. Da bei der Bildung der Oxidfilme 130 und 140 eine leichte Wärmebehandlung er­ folgt, werden p-Typ Verunreinigungen von den äußeren Basis­ elektroden 201 und der verunreinigungsimplantierten Schicht 7b diffundiert, so daß äußere Basisschichten 8 und eine p⁻- Typ Verbindungsbasisschicht 7 gebildet werden. Ionen einer p-Typ Verunreinigung für die intrinsisch leitende Basis, wie beispielsweise BF₂₊, werden in die freigelegte p⁻-Typ Verbindungsbasisschicht 7 bei einer Beschleunigungsspannung von 10 bis 15 keV und einer Dosis von 1 × 10¹⁴ bis 1,5 × 10¹⁴ cm^-2 implantiert, was eine Größenordnung größer ist als die Dosis für die verunreinigungsimplantierte Schicht 7b, um eine intrinsisch leitende Basis bzw. Basisschicht vom P-Typ als verunreinigungsimplantierte Schicht 9a aus zu­ bilden (siehe Fig. 6).

Ein Polysiliziumfilm mit 150 bis 250 nm Dicke wird oberhalb der oberen Oberfläche abgeschieden. Hochkonzen­ trierte n-Typ Verunreinigungsionen, beispielsweise As⁺, werden in den Polysiliziumfilm bei einer Beschleunigungs­ spannung von 50 keV und einer Dosis von 5 × 10¹⁵ bis 1 × 10¹⁶ cm^-2 implantiert. Der ionenimplantierte Polysilizium­ film wird zur Bildung einer Emitterelektrode 210 struktu­ riert.

Zur Diffusion der Verunreinigungen wird eine Wärmebe­ handlung bei hohen Temperaturen (850 bis 900°C) durchge­ führt. Hierdurch ergibt sich eine intrinsisch leitende p- Typ Basisschicht 9 und eine n⁺-Typ Emitterschicht 10 (siehe Fig. 7).

Oberhalb der oberen Oberfläche wird ein Schichtisolier­ film 300 abgeschieden. Durchgangsöffnungen für die Emitter-, Basis- und Kollektorbereiche werden durch den Schichtiso­ lierfilm 300 geöffnet. Emitter-, Basis- bzw. Kollektorelek­ troden 400, 401 bzw. 402 aus Aluminium stellen jeweils den Kontakt her mit der Emitterelektrode 210, bzw. der äußeren Basiselektroden 201 und der Kollektorwandschicht 6 (siehe Fig. 1).

Fig. 2 zeigt den geschnittenen Aufbau des Bipolartransi­ stors gemäß Fig. 1 und ein Verunreinigungsprofil des Aufbau­ es, genommen entlang der Linie YY′ über die Emitterschicht 10, die intrinsisch leitende Basisschicht 9, die Verbin­ dungsbasisschicht 7 und die äußere Basisschicht 8. Da bei dem wie vorstehend beschriebenen Transistor die intrinsisch leitende Basisschicht 9 zwischen der Emitterschicht 10 und der als Kollektor dienenden Epitaxieschicht 4 eine relativ große Verunreinigungskonzentration aufweist, wird die Kol­ lektor-Emitter-Durchbruchsspannung nicht verringert. Die Verbindungsbasisschicht 7 zwischen der intrinsisch leiten­ den Basisschicht 9 und der äußeren Basisschicht 8, welche eine relativ niedrige Verunreinigungskonzentration auf­ weist, unterdrückt die Reduktion der Emitter-Basis-Über­ gangsdurchbruchsspannung.

Die Fig. 8 bis 10 zeigen schematische Schnittansich­ ten der Hauptschritte des Verfahrens zur Herstellung des Bipolartransistors entsprechend einem zweiten Ausführungs­ beispiel der Erfindung. Der Schritt des Freilegens der Epi­ taxieschicht 4, wie es in Fig. 4 dargestellt ist, und dessen vorhergehende Schritte bei dem ersten Ausführungsbeispiel sind vollständig dieselben wie bei dem zweiten Ausführungs­ beispiel. Daran anschließend wird ein Oxidfilm mit p-Typ Verunreinigungen, beispielsweise ein BSG-(Bor-Silikat-Glas) Film 150, oberhalb der oberen Oberfläche abgeschieden (siehe Fig. 8).

Der Oxidfilm wird ganzflächig trockengeätzt, um den BSG-Film 150 lediglich auf der Endfläche der externen Basiselektroden 201 in der Form von Seitenwandfilmen stehenzulassen. Verunreinigungsionen für die intrinsische Basis wie beispielsweise BF₂₊ werden in die Epitaxieschicht 4 implantiert, welche durch die BSG-Filme 150 freigelegt wird, um die verunreinigungsimplantierte p-Typ Schicht 9a auszubilden (siehe Fig. 9).

Oberhalb der oberen Oberfläche wird ein Polysilizium­ film mit einer Dicke von 150 bis 250 nm abgeschieden. Hoch­ konzentrierte n-Typ Verunreinigungsionen, beispielsweise As⁺, werden in den Polysiliziumfilm bei einer Beschleuni­ gungsspannung von 50 keV und einer Dosis von etwa 5 × 10¹⁵ bis 1 × 10¹⁶ cm^-2 implantiert. Der ionenimplantierte Poly­ siliziumfilm wird zur Bildung der Emitterelektrode 210 strukturiert.

Anschließend wird eine Wärmebehandlung bei hohen Tempe­ raturen von beispielsweise 850 bis 900°C durchgeführt. Da­ durch diffundieren die Ionen von den BSG-Filmen 150, den äußeren Basiselektroden 201, der verunreinigungsimplantier­ ten p-Typ Schicht 9a und der Emitterelektrode 210 zur Bil­ dung der p⁻-Typ Verbindungsbasisschicht 7, der äußeren p⁺- Typ Basisschichten 8, der intrinsisch leitenden p-Typ Basis­ schicht 9 und der n⁺-Typ Emitterschicht 10 (siehe Fig. 10). Zur selben Zeit wird die Borkonzentration der BSG-Filme derart eingestellt, daß die Verunreinigungskonzentration der p⁻-Typ Verbindungsbasisschichten 7 in einer Größenord­ nung kleiner ist als diejenige der intrinsisch leitenden p- Typ Basisschicht 9. Nachfolgend werden die gleichen Schrit­ te wie bei dem ersten Ausführungsbeispiel zur Herstellung des Aufbaues gemäß Fig. 1 durchgeführt.

Die im Zusammenhang mit den beiden Ausführungsbeispie­ len erläuterte Halbleitervorrichtung stellt einen NPN-Bipo­ lartransistor dar. Auf ähnliche Art und Weise kann auch ein PNP-Bipolartransistor hergestellt werden.

Claims (14)

1. Verfahren zum Herstellen einer Halbleitervorrichtung, insbesondere eines Bipolartransistors, mit folgenden Schritten:

• [a] Vorsehen einer als Kollektorschicht (2, 4) dienenden Halbleiterschicht eines ersten Leitungstyps (n⁺);
• [b] selektives Bilden einer intrinsisch leitenden Ba­ sisschicht (9) eines zweiten Leitungstyps (p) in einer oberen Oberfläche der Kollektorschicht (2, 4);
• [c] Bilden einer Verbindungsbasisschicht (7) des zwei­ ten Leitungstyps (p⁻), welche die intrinsisch leitende Ba­ sisschicht (9) in der oberen Oberfläche der Kollektorschicht (2, 4) umgibt, wobei die Verunreinigungskonzentration der Verbindungsbasisschicht (7) geringer ist als diejenige der intrinsisch leitenden Basisschicht (9);
• [d] Bilden einer äußeren Basisschicht (8) des zweiten Leitungstyps (p⁺), welche die Verbindungsbasisschicht (7) in der oberen Oberfläche der Halbleiterschicht umgibt, wobei die Verunreinigungskonzentration der äußeren Basisschicht (8) größer ist als diejenige der intrinsisch leitenden Ba­ sisschicht (9); und
• [e] selektives Bilden einer Emitterschicht (10) des er­ sten Leitungstyps (n⁺) in einer oberen Oberfläche der in­ trinsisch leitenden Basisschicht (9).

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Schritt [d] folgende Schritte umfaßt:

• [d-1] selektives Bilden einer ersten polykristallinen Halbleiterschicht (200) mit einer ersten Verunreinigung des zweiten Leitungstyps auf der Halbleiterschicht;
• [d-2] Öffnen der ersten polykristallinen Halbleiter­ schicht (200), wobei der verbleibende Bereich (201) der er­ sten polykristallinen Halbleiterschicht als äußere Basis­ elektrode (201) dient; und
• [d-3] Eindiffundieren der ersten Verunreinigung von der äußeren Basiselektrode (201) her in die obere Oberfläche der Halbleiterschicht zur Bildung der äußeren Basisschicht (201).

3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeich­ net, daß der Schritt [c] folgende Schritte umfaßt:

• (c-1] Einführen einer zweiten Verunreinigung des zwei­ ten Leitungstyps in die obere Oberfläche der durch das öff­ nen freiliegenden Halbleiterschicht; und
• [c-2] Eindiffundieren der zweiten Verunreinigung zur Bildung der Verbindungsbasisschicht (7).

4. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Schritt [c-1] folgende Schritte umfaßt:

• [c-1-1] Bilden eines ersten Oxid-Filmes (130) auf der oberen Oberfläche der durch das öffnen freiliegenden Halb­ leiterschicht; und
• [c-1-2] Implantieren von Ionen der zweiten Verunreini­ gung in die Halbleiterschicht durch den ersten Oxid-Film (130).

5. Verfahren nach einem der Ansprüche 2 bis 4, dadurch ge­ kennzeichnet, daß der Schritt [b] folgende Schritte umfaßt:

• [b-1] Bilden einer Seitenwand auf einer durch das Öff­ nen freiliegenden Endfläche der äußeren Basiselektrode (201);
• [b-2] Einführen einer dritten Verunreinigung des zwei­ ten Leitungstyps in eine über die Seitenwand und die äußere Basiselektrode (201) freiliegende obere Oberfläche der Ver­ bindungsbasisschicht (7); und
• [b-3] Eindiffundieren der dritten Verunreinigung zur Bildung der intrinsisch leitenden Basisschicht (9).

6. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Bildung der Seitenwand von einer Wärmebehandlung be­ gleitet ist, wobei die Schritte [d-3] und [c-2] gleichzei­ tig durch die Wärmebehandlung durchgeführt werden.

7. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß im Schritt [b-2] Ionen der dritten Verunreinigung mit einer größeren Dosis als die zweite Verunreinigung dotiert wer­ den.

8. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß der Schritt (e] folgende Schritte umfaßt:

• [e-1] Bilden einer zweiten polykristallinen Halblei­ terschicht mit einer vierten Verunreinigung des ersten Lei­ tungstyps auf der über die Seitenwand und die äußere Basis­ elektrode (201) freiliegenden intrinsisch leitenden Basis­ schicht (9); und
• [e-2] Eindiffundieren der vierten Verunreinigung zur Bildung der Emitterschicht (10).

9. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch ge­ kennzeichnet, daß der Schritt [b] folgende Schritte umfaßt:

• [b-1] Bilden einer Seitenwand aus einer Isolierschicht mit einer zweiten Verunreinigung des zweiten Leitungstyps auf einer durch das Öffnen freiliegenden Endfläche der äu­ ßeren Basiselektrode (210);
• [b-2] Einbringen einer dritten Verunreinigung des zweiten Leitungstyps in die über die Seitenwand und die ex­ terne Basiselektrode (201) freiliegende obere Oberfläche der Halbleiterschicht; und
• [b-3] Eindiffundieren der dritten Verunreinigung zur Bildung der intrinsisch leitenden Basisschicht (9).

10. Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß im Schritt [c] die zweite Verunreinigung in die obere Ober­ fläche der Halbleiterschicht zur Bildung der Verbindungsba­ sisschicht (7) eindiffundiert wird.

11. Verfahren nach Anspruch 10- dadurch gekennzeichnet, daß der Schritt [e] folgende Schritte umfaßt:

• [e-1] Bilden einer zweiten polykristallinen Halblei­ terschicht mit einer vierten Verunreinigung des ersten Lei­ tungstyps auf der über die Seitenwand und die äußere Basis­ elektrode (210) freiliegenden Halbleiterschicht; und
• [e-2] Eindiffundieren der vierten Verunreinigung zur Bildung der Emitterschicht.

12. Verfahren nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Schritte [d-3], [b-3], [c-1] und [e-2] gleichzeitig mittels einer Wärmebehandlung durchgeführt werden.

13. Verfahren nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß im Schritt [a] die Kollektorschicht (2, 4) auf einem Halblei­ tersubstrat (1) des zweiten Leitungstyps (p⁻) gebildet wird.

14. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß auf der Kollektorschicht (2, 4) eine Epi­ taxieschicht (4) ausgebildet wird.