DE4114427C2

DE4114427C2 - Sample transfer mechanism

Info

Publication number: DE4114427C2
Application number: DE19914114427
Authority: DE
Inventors: Heiko Moritz
Original assignee: Forschungszentrum Juelich GmbH
Current assignee: Forschungszentrum Juelich GmbH
Priority date: 1991-05-03
Filing date: 1991-05-03
Publication date: 1995-01-26
Anticipated expiration: 2011-05-04
Also published as: DE4114427A1

Description

Die Erfindung bezieht sich auf einen Probentransfer mechanismus zum Einschleusen von Proben in eine Vakuumkammer, bestehend aus einem fest mit der in die Vakuumkammer von außen einbringbaren Transferstange verbundenen Transportdorn, einem mit dem Transportdorn verbindbaren, mit der Probe in die Kammer einzuschleusenden und mit elektrischen Kontakten versehenen Probenhalter sowie mit einem mit den elektrischen Gegenkontakten versehenen, zur Aufnahme des Probenhalters vorgesehenen und im Innern der Kammer fest angebrachten Support, bei dem der Transportdorn und Probenhalter einerseits sowie Probenhalter und Support andererseits über Bajonettverschlüsse mit entgegengesetztem Richtungssinn miteinander verbindbar sind.The invention relates to a sample transfer mechanism for introducing samples into a vacuum chamber, consisting of a fixed in the vacuum chamber connected transfer rod that can be inserted from the outside Transport mandrel, a connectable to the transport mandrel, with the sample to be introduced into the chamber and with electrical contacts provided sample holder and with one with the electrical counter contacts, for Inclusion of the sample holder provided and inside the Chamber fixed support where the transport mandrel and sample holder on the one hand and sample holder and Support on the other hand with bayonet locks opposite direction connectable are.

Ein derartiger, aus J. Vac. Sci. Technol. A, Band 9, 1991, Nr. 2, Seiten 345-349 bekannter Probentransfermechanismus ist überall dort einsetzbar, wo zwei Teile mit elektrischen Kontakten, hier der Probenhalter und der Support, lösbar verbunden werden sollen. So kann der Probentransfermechanismus dazu dienen, einen Wafer oder Stücke eines Wafers in eine Ultrahochvakuumkammer (UHV-Kammer) einzuschleusen, die zur Erforschung, Analyse und Produktion von Halbleiterbauelementen und deren Materialien betrieben werden. Der Transportdorn ist hierzu fest mit der Transferstange, die den Probenhalter von der Schleusenkammer in die UHV-Kammer transportiert, verbunden. Die elektrischen Kontakte des Probenhalters ermöglichen es, den Wafer zu heizen, dessen Temperatur zu messen oder andere elektrische Verbindungen aufzunehmen. Der Support befindet sich an einer Befestigung (z. B. Manipulator) im Innern der UHV-Kammer. Er nimmt den Probenhalter auf, nachdem dieser von der Transferstange gelöst wurde.Such, from J. Vac. Sci. Technol. A, volume 9, 1991, No. 2, pages 345-349 known sample transfer mechanism can be used wherever two parts with electrical contacts, here the sample holder and the Support that should be releasably connected. So he can Sample transfer mechanism to serve a wafer or Pieces of a wafer in an ultra high vacuum chamber (UHV chamber) to infiltrate, to research, analyze and Production of semiconductor components and their Materials are operated. The transport mandrel is firmly with the transfer rod holding the sample holder transported from the lock chamber to the UHV chamber, connected. The electrical contacts of the sample holder allow to heat the wafer, its temperature too measure or establish other electrical connections. The support is located on a mounting (e.g. Manipulator) inside the UHV chamber. He takes that Sample holder after this from the transfer rod was solved.

In der Praxis treten jedoch Schwierigkeiten in der Handhabung des Probentransfermechanismus auf. Diese rühren daher, daß im UHV eine exakte Positionierung der Teile nicht möglich ist und eine Fehlpositionierung aufgrund des Einsatzes einer Transferstange nicht ertastet werden kann. So kommt es beispielsweise dann, wenn der Support an einer biegsamen Stange befestigt ist und bei der Übergabe des Probenhalters von der Transferstange zum Support Längskräfte ausgeübt werden, zu Schwierigkeiten, die einzelnen Teile ineinander zu zentrieren.In practice, however, difficulties arise in the Handling of the sample transfer mechanism. These stem from the fact that the UHV has an exact positioning of the Parts are not possible and incorrect positioning not because of the use of a transfer rod can be felt. For example, if the support is attached to a flexible rod and when the sample holder is transferred from the transfer rod to support longitudinal forces are exerted, too Difficulties interlocking the individual parts center.

Es ist daher Aufgabe der Erfindung, einen Probentransfermechanismus der eingangs bezeichneten Art zu schaffen, der leicht handhabbar ist und beim Schließen der elektronischen Kontakte auftretende Schwierigkeiten vermeidet.It is therefore an object of the invention to provide a sample transfer mechanism of the kind described at the beginning, which is easy to handle and has difficulties when closing the electronic contacts avoids.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß die elektrischen Kontakte und die Gegenkontakte als am Probenhalter/Support befindlcihe Kontaktlippen und am Support/Probenhalter befindliche Gegenstücke derart ausgebildet sind, daß sie allein durch Einsatz radialer Kräfte beim Verdrehen des Probenhalters gegen den Support und Schließen des Bajonettverschlusses schließen und bei gegenläufiger Drehung beim Öffnen des Bajonettverschlusses öffnen. This object is achieved in that the electrical contacts and the counter contacts as am Sample holder / support located contact lips and on Support / sample holder counterparts like this are designed to be radial only by using Forces when rotating the sample holder against the support and close the bayonet catch and close reverse rotation when opening the bayonet catch to open.

Die Übergabe des Probenhalters auf den Support und umgekehrt das Ablösen des Probenhalters vom Support und dessen Übernahme vom Transportdorn erfolgt allein durch radiale Kräfte und somit kräftefrei in axialer Richtung, wodurch sich eine leichte Handhabung des Probentransfermechanismus auch dann ergibt, wenn der Support an langen dünnen Manipulatorstangen befestigt ist.The handover of the sample holder to the support and vice versa detaching the sample holder from support and it is taken over from the transport mandrel solely by radial forces and thus force-free in the axial direction, which makes the sample transfer mechanism easy to use even if the support is long thin manipulator rods is attached.

Die Verriegelungsrichtungen der beiden Bajonettver schlüsse sind so gewählt, das Probenhalter und Transportdorn sich verriegeln, wenn der Probenhalter vom Support gelöst wird und sich entriegeln, wenn der Probenhalter mit dem Support verbunden wird.The locking directions of the two bayonets conclusions are chosen so that the sample holder and transport mandrel lock when the sample holder is off support is released and unlock when the sample holder is connected to the support.

Der allein auf axialen Kräften beruhende Probentransfer resultiert sowohl aus der Verwendung von Bajonettverschlüssen, als auch daraus, daß vom "male-female"-Prinzip herkömmlicher, elektrischer Steckverbindungen abgewichen worden ist. Die elektrische Verbindung erfolgt beim Verdrehen des Probenhalters gegen den Support dadurch, daß die beispielsweise im Probenhalter befindlichen Kontaktlippen auf entsprechende Gegenstücke im Support rutschen. Die Kontaktkraft wird dabei zweckmäßigerweise durch Federwirkung der Kontaktlippen in radialer Richtung aufgewendet.The sample transfer based solely on axial forces results from the use of bayonet locks, as well as from the "male-female" principle Conventional electrical connectors deviated has been. The electrical connection is made at Twisting the sample holder against the support, that, for example, in the sample holder Contact lips on corresponding counterparts in support slip. The contact force is expedient by spring action of the contact lips in the radial direction spent.

Die elektrischen Kontakte und Kontaktlippen können aus dem den Anforderungen entsprechenden Material gefertigt und nachträglich ausgetauscht werden. So ist es z. B. möglich, die Kontakthalter auch mit Thermoelementkontakten zu bestücken. The electrical contacts and contact lips can be off the material that meets the requirements and be replaced later. So it is z. B. possible, the contact holder also with thermocouple contacts to equip.

Auch die Kontaktzahl kann den geometrischen Abmessungen des Probenhalters und den elektrischen Anforderungen angepaßt werden. Eine Erhöhung der Kontaktzahl beeinflußt wegen der radial wirkenden Kontaktkräfte den Verbindungsmechanismus zwischen Probenhalter und Support nicht. The number of contacts can also be the geometric dimensions the sample holder and the electrical requirements be adjusted. An increase in the number of contacts affects because of the radially acting contact forces the connection mechanism not between sample holder and support.

Bei einer vorteilhaften Ausführungsform des Proben transfermechanismus sind die auf der Längsachse des Bajonettverschlusses in einandergreifenden Teile von Transportdorn und Pro benhalter kegelförmig bzw. hohlkegelförmig ausgebil det. Durch entsprechend gewählte Abmessungen des Verschlusses ist die Verbindung schwimmend, so daß Fehljustierungen von Support und Probenhalter beim Zusammenfügen dieser Teile durch das Spiel der Ver bindung zwischen Probenhalter und Transportdorn aus geglichen werden. Es handelt sich somit bei dieser Verbindung in dem Sinne um eine offene Verbindung, als daß Probenhalter und Transportdorn sich gegen seitig nicht verklemmen können. Die Verriegelung von Probenhalter und Transportdorn durch eine rotieren de Sperrklinke ist dabei so gewählt, das sie leicht gängig bei der Rotation erfolgt, mit der der Proben halter von Support gelöst wird, und schwergängig in der umgekehrten Richtung. Dadurch ist sicherge stellt, daß sich der Probenhalter während des Trans portes nicht vom Transportdorn löst.In an advantageous embodiment of the sample transfer mechanism are those on the longitudinal axis of the bayonet catch in interlocking parts of Transportdorn and Pro holder conical or hollow conical det. By appropriately chosen dimensions of the The connection is floating, so that Misalignment of support and sample holder at Put these parts together through the game of Ver bond between sample holder and transport mandrel be compared. It is therefore this Connection in the sense of an open connection, than that the sample holder and the transport mandrel oppose each other cannot jam on one side. The locking of Rotate the sample holder and transport mandrel by one de pawl is chosen so that it is easy commonly done with the rotation with that of the samples holder is released from support, and stiff in the opposite direction. This ensures security makes sure that the sample holder during the trans portes does not detach from the transport mandrel.

Bei einer weiteren vorteilhaften Ausführungsform des Probentransfermechanismus weist der Bajonettver schluß von Probenhalter und Support federnde Bajo nettlippen auf, die radial um zur Mittelachse der art versetzte Längsachsen des Probenhalters zen triert sind, daß der äußere Radius der Bajonett lippen, an dem die Gegenstücke beim Verschließen des Bajonettverschlusses anliegen, abhängig vom Dreh winkel zunimmt. Außerdem sind die Enden der Bajonett lippen als Endanschläge ausgebildet. Durch diese Formgebung der Bajonettlippen und deren Federung sind zur Festlegung der Endposition weder separate Endanschläge noch separate Federungselemente zur Verspannung der Teile gegeneinander nötig. Dies ist im Hinblick auf die UHV-Kompaktbilität wichtig. In a further advantageous embodiment of the sample transfer mechanism has the bayonet ver end of sample holder and support resilient bajo nice lips that are radial around to the central axis of the type offset longitudinal axes of the sample holder zen trated that the outer radius of the bayonet lips on which the counterparts when closing of the bayonet lock, depending on the rotation angle increases. In addition, the ends of the bayonet lips designed as end stops. Through this Shape of the bayonet lips and their suspension are neither separate to determine the end position End stops still separate suspension elements The parts must be braced against each other. This is important with regard to the UHV compact balance.

Die Verbindung von Support und Probenhalter erfolgt durch eine Drehung der beiden Teile um 60° gegen einander. Die Zentrierung in radialer und axialer Richtung ist durch die Formgebung des Bajonetts ge währleistet. Da der Mittelpunkt M_B der Bajonettlip pen versetzt zum Mittelpunkt M_P des Probenhalters angeordnet ist, nimmt der Radius der Bajonettlippen abhängig vom Drehwinkel zu. Dadurch erfolgt die Ver bindung von Support und Probenhalter auf den ersten 40° der Rotation auch in radialer Richtung kraftlos. Die eigentliche feste Verbindung und und die Zen trierung werden durch die letzten 20° erreicht, wenn der Radius der Bajonettlippe den Nennradius des Ge genstücks am Support erreicht.The support and sample holder are connected by rotating the two parts against each other by 60 °. The centering in the radial and axial direction is ensured by the shape of the bayonet. Since the center point M _{B of} the bayonet lips is offset from the center point M _{P of} the sample holder, the radius of the bayonet lips increases depending on the angle of rotation. As a result, the connection between the support and the specimen holder is without force on the first 40 ° of rotation, even in the radial direction. The actual fixed connection and the centering are achieved by the last 20 ° when the radius of the bayonet lip reaches the nominal radius of the counterpart on the support.

Sowohl die Verbindung zwischen Transportdorn und dem Probenhalter als auch die Verbindung zwischen dem Probenhalter und dem Support sind damit selbst zentrierend. Die Zentrierung wird durch die Form der Teile, die ineinandergreifen, erzwungen. Ein Verklemmen der Teile durch ungenügende Positionie rung ist ausgeschlossen.Both the connection between the mandrel and the sample holder as well as the connection between the sample holder and support are themselves centering. The centering is through the shape of the interlocking parts. A Jamming of the parts due to insufficient positioning tion is excluded.

Der Support ist so gestaltet, daß er an jeder vor handenen Manipulatorstange befestigt werden kann. Er umfaßt keine beweglichen Teile, so daß er war tungsfrei arbeitet.The support is designed so that it is in front of everyone existing manipulator rod can be attached. It has no moving parts, so it was works without maintenance.

Der Probenhalter ist vom mechanischen Aufwand her das komplexeste Teil. Alle konstruktiven Details, die nötig sind, um die Selbstjustierung der Bajonett verschlüsse zu realisieren, sowie die Kontaktlippen der elektrischen Kontakte befinden sich zweckmäßi gerweise am Probenhalter. Da der Probenhalter das zu transferierende Bauteil ist, lassen sich Wartungs arbeiten somit problemlos durchführen. The sample holder is mechanical the most complex part. All constructive details, which are necessary to self-adjust the bayonet realizing closures, as well as the contact lips the electrical contacts are convenient on the sample holder. Because the sample holder component to be transferred, maintenance can be carried out perform work easily.

Der Support hat eine mit dem Probenhalter identi sche Anordnung elektrischer Kontakte, so daß die Kontaktierung automatisch bei der Übergabe des Pro benhalters von der Transferstange zum Support er folgt.The support has one with the sample holder cal arrangement of electrical contacts so that the Contacting automatically when handing over the Pro from the transfer rod to the support follows.

In der Zeichnung ist ein Ausführungsbeispiel des Probentransfermechanismus gemäß der Erfindung sche matisch dargestellt und wird im folgenden näher er läutert.In the drawing is an embodiment of the Sample transfer mechanism according to the invention is represented mathematically and is described in more detail below purifies.

Es zeigenShow it

Fig. 1 einen Querschnitt durch den Pro benmechanismus, bestehend aus - in der Zeichnung getrennt dar gestellten - Transportdorn, Pro benhalter und Support,A cross-section through the Pro benmechanismus consisting of Fig. 1 - is separated in the drawing provided - Transport mandrel Pro benhalter and support,

Fig. 2 eine Vorderansicht auf das Bajonetteil des Supports (aus der Sicht des Probenhalters), Fig. 2 is a front view of the bayonet part of the support (from the perspective of the sample holder),

Fig. 3 eine Vorderansicht auf das Bajonetteil am Probenhalter der Verbindung Support/Probenhalter (aus der Sicht des Supports), Fig. 3 is a front view of the bayonet part on the sample holder of the compound Support / sample holder (from the perspective of the support),

Fig. 4 die Kontakthalter von Support und Probenhalter in Zustand der Verbindung, Fig. 4 shows the contact holder of support and sample holder in state of the connection,

Fig. 5 eine Vorderansicht (aus der Sicht des Transportdorns) auf das Bajo netteil des Probenhalters der Probenhalter/Transportdorn-Verbindung (ohne Verriegelungsmechanismus) sowie Schnitt durch das Bajonett, Fig. 5 is a front view (from the perspective of the transport mandrel) to the Bajo netteil of the sample holder, the sample holder / transport mandrel connection (without locking mechanism) as well as cut through the bayonet,

Fig. 6 den Sperring mit Rasthebel in Drauf sicht auf den Probenhalter (aus der Sicht des Transportdorns) und im Schnitt. Fig. 6 shows the locking ring with locking lever in plan view of the sample holder (from the point of view of the transport mandrel) and in section.

Der Probentransfermechanismus besteht im wesentli chen aus Support 1, Probenhalter 2 und Transport dorn 3. Der Support 1 selbst ist an einer Manipula torachse 4 befestigt. Am Support 1 befindet sich - in der Zeichnung getrennt dargestellt - der Kontakt halter 5 mit den Kontakten 6, über Distanzstücke 7 am Support angebracht. Kontakthalter 8 mit den Kon taktlippen 9 ist am Probenhalter 2 befestigt.The sample transfer mechanism consists essentially of support 1 , sample holder 2 and transport mandrel 3 . The support 1 itself is attached to a manipulator gate axis 4 . On the support 1 is - shown separately in the drawing - the contact holder 5 with the contacts 6 , via spacers 7 attached to the support. Contact holder 8 with the contact lips 9 is attached to the sample holder 2 .

Das Bajonett der Verbindung Support/Probenhalter besteht aus Bajonetteil 10 am Support und Bajo netteil 11 am Probenhalter.The bayonet of the connection support / sample holder consists of bayonet part 10 on the support and bayonet part 11 on the sample holder.

Am Probenhalter 2 befindet sich - dem Transport dorn 3 zugewandt - ein Sperring 12 mit Rasthebel 13. Das Bajonett der Verbindung Probenhalter/Trans portdorn besteht aus Bajonetteil 14, einem Hohlke gel mit Aussparungen 15 und Bajonetteil 16, einem Kegel mit den Stiften 17.On the specimen holder 2 there is a locking ring 12 with a locking lever 13, facing the transport mandrel 3 . The bayonet of the connection sample holder / Trans port mandrel consists of bayonet part 14 , a Hohlke gel with recesses 15 and bayonet part 16 , a cone with the pins 17th

Transportdorn 3 ist mit einer in der Zeichnung nicht wiedergegebenen Transferstange verbunden.Transport mandrel 3 is connected to a transfer rod not shown in the drawing.

In Fig. 1 ist außerdem angegeben, aus welcher Sicht die in den Fig. 2 und 3 sowie 5 und 6 wiederge gebene Bauteile gesehen sind.In Fig. 1 it is also indicated from which view the parts shown in FIGS . 2 and 3 and 5 and 6 are given again.

Die Fig. 2 und 3 zeigen die Ansichten und (siehe Fig. 1) der Bauteile 10 und 11 der Verbin dung Support/Probenhalter. Hieraus wird deutlich, daß durch eine Drehung des Probenhalters 2 gegen den Uhrzeigersinn der Bajonettverschluß geschlossen wird. Wie aus Fig. 3 hervorgeht, sind die Bajonett lippen 11 jeweils um längs der Mittelachse M_P ver setzte Achsen M_B zentriert. Die in der Darstellung angegebene Achse M_B ist die der oberen Bajonettlip pe zugeordnete Achse. Durch diese Ausgestaltung wird erreicht, daß beim Schließen des Bajonettverschlus ses zunächst kein Kraftaufwand erforderlich ist. Erst bei weiterem Drehen ist eine geringe Kraft ge gen die Federwirkung der Bajonettlippen einzusetzten. Die Drehung des Probenhalters erfolgt beim Schließen des Bajonetts so lange, bis die Endanschläge der Bajonottlippen anschlagen. Figs. 2 and 3 show the views and (see Fig. 1) of the components 10 and 11 of the dung Verbin Support / sample holder. It is clear from this that the bayonet lock is closed by rotating the sample holder 2 counterclockwise. As is apparent from Fig. 3, the bayonet lips 11 are centered around the center axis M _P ver along axes M _B. The axis M _B indicated in the illustration is the axis assigned to the upper bayonet lip pe. This configuration ensures that no effort is initially required when the bayonet fitting is closed. Only when turning further is a slight force applied against the spring action of the bayonet lips. When the bayonet is closed, the sample holder is rotated until the end stops of the bayonet lips stop.

Fig. 4 zeigt die Kontakthalter 5 und 8 mit geschlos senen Kontakten 6 und 9. Diese sind so geformt, daß sie bei der Drehung des Probenhalters schließen oder öffnen (siehe auch Fig. 1). Fig. 4 shows the contact holder 5 and 8 with closed contacts 6 and 9 . These are shaped in such a way that they close or open when the sample holder is rotated (see also FIG. 1).

Fig. 5 zeigt das Bajonetteil am Probenhalter der Verbindung Probenhalter/Transportdorn. In Verbin dung mit der Darstellung in Fig. 1 geht die kegeli ge bzw. hohlkegelige Ausführung dieses Bajonettver schlusses hervor. Die Dimensionen sind so gewählt, daß die beiden ineinander zu fügenden Teile hin reichend Spiel haben, so daß sie nicht verklemmen. Beim Schließen dieses Bajonettverschlusses, bei dem der Transportdorn im Uhrzeigersinn gedreht wird, greifen die Stifte 17 in die Aussparungen 15. Fig. 5 shows the bayonet part on the sample holder of the compound sample holder / transport mandrel. In conjunction with the illustration in Fig. 1, the conical or hollow conical design of this bayonet lock is evident. The dimensions are chosen so that the two parts to be joined together have sufficient play so that they do not jam. When this bayonet catch is closed, in which the transport mandrel is rotated clockwise, the pins 17 engage in the cutouts 15 .

In Fig. 6 ist der Verriegelungsmechanismus für den Bajonettverschluß Probenhalter/Transportdorn darge stellt. Er besteht aus Sperring 12 und zugehörigem, unter Federwirkung stehendem Rasthebel 13. Sperring 12, der auch im Schnitt A/A wiedergegeben ist, wird über das Bajonetteil 14 unter Beachtung der in der Zeichnung wiedergegebenen flachen Aussparungen ge schoben und ist danach frei drehbar. Bei Aufnahme der Verbindung Probenhalter/Transportdorn werden die Stifte 17 in die länglichen Ausparungen im Sperring geführt und nehmen diesen bei der Drehung des Transportdorns mit, bis die Nut im Sperring in den Rasthebel, der bei der Drehung zunächst (leicht gängig) angehoben wird, einrastet. Zur Verdeutli chung dieses Teils des Sperrings ist dieser teil weise auf der rechten Seite von Fig. 6 in Rückan sicht wiedergegeben. Daraus geht auch hervor, daß das Öffnen des Bajonettverschlusses im Verhältnis zum Schließen schwergängig erfolgt.In Fig. 6 the locking mechanism for the bayonet lock sample holder / transport mandrel is Darge. It consists of a locking ring 12 and the associated locking lever 13 which is under spring action. Locking ring 12 , which is also shown in section A / A, is pushed over the bayonet part 14 in compliance with the flat recesses shown in the drawing and is then freely rotatable. When the sample holder / transport mandrel connection is made, the pins 17 are guided into the elongated recesses in the locking ring and take them along with the rotation of the transport mandrel until the groove in the locking ring engages in the latching lever, which is initially raised (easily moving) during the rotation . To illustrate this part of the locking ring, this is partially shown on the right side of FIG. 6 in rear view. This also shows that the bayonet catch is difficult to open in relation to the closing.

Claims

1.Sample transfer mechanism for introducing samples into a vacuum chamber, consisting of a transport mandrel that is firmly connected to the transfer rod that can be inserted into the vacuum chamber from the outside, a transport mandrel that can be connected to the transport mandrel, that is to be introduced into the chamber with the sample, and that is provided with electrical contacts, and with a sample holder the electrical mating contacts provided for receiving the specimen holder and fixedly attached inside the chamber, in which the transport mandrel and specimen holder on the one hand and specimen holder and support on the other can be connected to one another via bayonet locks in opposite directions, characterized in that the electrical contacts and the mating contacts as on the sample holder ( 2 ) / support ( 1 ) located contact lips ( 9 ) and on the support ( 1 ) / sample holder ( 2 ) located counterparts ( 6 ) are designed such that they are used solely by using radial forces when twisting d close the sample holder ( 2 ) against the support ( 1 ) and close the bayonet lock and open it in the opposite direction when opening the bayonet lock.

2. Sample transfer mechanism according to claim 1, characterized in that the interlocking parts on the longitudinal axis of the bayonet lock of the transport mandrel ( 3 ) and sample holder ( 2 ) are conical or hollow-conical.

3. Sample transfer mechanism according to claim 1 or 2, characterized in that the bayonet lock of the sample holder ( 2 ) and support has resilient bayonet lips ( 11 ) which are centered radially about the longitudinal axis of the sample holder ( 2 ) which is offset in such a way that the outer radius the bayonet lips ( 11 ), on which the counterparts of the bayonet catch are closed when closing, increases depending on the angle of rotation.

4. Sample transfer mechanism according to claim 3, characterized in that the ends of the bayonet lips ( 11 ) are designed as end stops.