DE4107881C2 - Verstellbarer Tisch - Google Patents
Verstellbarer TischInfo
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- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
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- B23Q1/26—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members
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Description
Die Erfindung betrifft einen verstellbaren Tisch, der in einer Ebene in zwei zueinander
senkrechten Richtungen geradlinig bewegt und außerdem zu einer Schwenkbewegung
veranlaßt werden kann.
Siebdrucker, Vorrichtungen zum Belichten eines Bandes, IC-Montagevorrichtungen,
Vorrichtungen zur Montage von Flüssigkristallen und ähnliche Einrichtungen erfordern
als Arbeitstisch einen verstellbaren Tisch, der in zwei zueinander senkrechten Richtun
gen bewegt und um einen gewünschten Winkel verschwenkt werden kann, so daß eine
Feineinstellung der Ausrichtung erfolgen kann.
Bei einem bekannten verstellbaren Tisch sind zwei Tische übereinandergesetzt. Um da
bei eine Schwenkverstellung zu erlauben, müssen diese beiden Tische ihrerseits auf ei
nem Drehtisch montiert werden, der eine Winkeleinstellung zuläßt. Dadurch hat der
Tisch eine große Bauhöhe. Die Gesamtanordnung ist sperrig.
Zur Lösung dieses Problems wird in der JP-OS 61-120212 ein Tisch vorgeschlagen, der
eine Grundplatte und eine bewegbare Platte aufweist, die auf der Grundplatte mittels
einer Mehrzahl von Luftzylindern berührungsfrei abgestützt ist, um in zwei Richtungen
verlagert und außerdem verschwenkt werden zu können. Weil bei dieser Anordnung der
Tisch aus nur zwei übereinanderliegenden Baugruppen, nämlich der Grundplatte und
der bewegbaren Platte, besteht, läßt sich die Bauhöhe des Tisches vermindern.
Die Art, in welcher die bewegbare Platte über der Oberseite der Grundplatte berüh
rungsfrei abgestützt ist, führt jedoch dazu, daß die Abstützsteifigkeit an einem von der
Abstützfläche weiter entfernt liegenden Teil abnimmt. Dadurch hat die bewegbare
Platte die Tendenz, eine Schräglage einzunehmen. Dies ist darauf zurückzuführen, daß
dann, wenn beispielsweise während eines Bearbeitungsvorganges eine Last auf eine
Stelle einwirkt, die weit außerhalb der Abstützfläche liegt, an der Belastungsstelle ein
lotrechtes Drehmoment mit Bezug auf die Abstützfläche auftritt, wodurch die bewegbare
Platte schräggestellt werden kann.
Bei der Montage von Präzisionsteilen, beispielsweise von integrierten Schaltungen, auf
dem Tisch, muß der Tisch in eine vorbestimmte Position exakt eingebracht und in dieser
Position stabil fixiert werden. Weil aber bei dem vorstehend erläuterten Aufbau der
berührungsfrei abgestützten bewegbaren Platte keine Mittel zugeordnet sind, welche die
Platte an Taumel- oder Pendelbewegungen hindern können, ist es unmöglich, die beweg
bare Platte nach dem Verstellen präzise in eine vorbestimmte Position zu bringen und dort
stabil zu fixieren.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen verstellbaren Tisch zu schaffen, der frei
von Taumel- und Pendelbewegungen ist, der bei Belastung keine Schräglage einnimmt und
der im Gebrauch besonders stabil ist. Es soll ferner für einen bewegbaren Tisch gesorgt
werden, der sich in der jeweiligen Position verläßlich fixieren läßt und der eine verbesserte
Abstützsteifigkeit aufweist.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß bei einem verstellbaren Tisch
der eingangs genannten Art an der Unterseite der bewegbaren Platte ein Flanschteil mit
einem parallel zu der Unterseite der feststehenden Platte in Abstand von dieser verlaufen
den Flanschabschnitt angebracht ist; die feststehende Platte einen sich lotrecht erstrecken
den Fußteil und einen sich von der Oberseite des Fußteils nach innen zwischen die beweg
bare Platte und den Flanschabschnitt erstreckenden waagrechten Randteil aufweist; ein
zusätzliches Drucklager zwischen dem waagrechten Randteil der feststehenden Platte und
dem Flanschabschnitt angeordnet ist; und die Antriebseinheiten an die bewegbare Platte
über Kupplungsanordnungen angekuppelt sind.
Entsprechend eine bevorzugten weiteren Ausgestaltung der Erfindung weisen dabei die
Antriebseinheiten mindestens zwei Antriebseinheiten, die parallel zueinander in einer
Richtung in einer die bewegbare Platte enthaltenden Ebene aus- und eingefahren werden
können, sowie mindestens eine Antriebseinheit auf die in einer zu der einen Richtung senk
rechten Richtung aus- und eingefahren werden kann, wobei jede der Antriebseinheiten mit
der bewegbaren Platte über eine der Kupplungsanordnungen derart verbunden ist, daß die
bewegbare Platte in der genannten Ebene verschwenkbar und in einer Richtung verschieb
bar ist, die senkrecht zu der Richtung verläuft, in welcher die betreffende Antriebseinheit
aus- und eingefahren wird.
Bei dem erfindungsgemäßen Tisch ist die feststehende Platte über die Drucklager sand
wichartig zwischen der bewegbaren Platte und dem Flanschteil angeordnet, wodurch das
Flanschteil lotrechten Bewegungen der bewegbaren Platte entgegenwirkt. Die bewegbare
Platte wird auf diese Weise an unkontrollierten Bewegungen selbst dann gehindert, wenn
sie einer exzentrischen Belastung ausgesetzt wird; die Abstützsteifigkeit ist erheblich
verbessert.
Weil bei dem verstellbaren Tisch nach der Erfindung Drucklager zwischen der feststehen
den Platte und der bewegbaren Platte sowie zwischen der feststehenden Platte und dem
Flanschteil vorgesehen sind, läßt sich ferner die Höhe des Tisches vermindern.
Werden der bewegbaren Platte entsprechend der bevorzugten weiteren Ausgestaltung der
Erfindung eine Mehrzahl von Antriebseinheiten, die parallel zueinander aus- und eingefah
ren werden können, sowie eine weitere Antriebseinheit zugeordnet, die in rechtem Winkel
zu den zuvor genannten Antriebseinheiten steht, läßt sich der bewegbare Tisch in zwei
zueinander senkrechten Richtungen geradlinig verstellen und außerdem auch ver
schwenken.
In weiterer Ausgestaltung der Erfindung können die Drucklager mit statischem Druck
beaufschlagte Luftlager sein, wobei Einrichtungen zum Erzeugen einer Anhebekraft an der
feststehenden Platte, der bewegbaren Platte und/oder dem Flanschteil angeordnet sind und
wobei diese Einrichtungen vorteilhaft unabhängig voneinander betätigbar sind.
Erzeugt man eine Anhebekraft nur an der Oberseite oder der Unterseite der feststehenden
Platte, wird die bewegbare Platte gegen die feststehende Platte angepreßt. Die bewegbare
Platte kann daher mit Bezug auf die feststehende Platte fixiert werden. Die Abstützsteifig
keit des Tisches läßt sich auf diese Weise erheblich weiter steigern.
Bevorzugte Ausführungsbeispiele der Erfindung sind nachstehend anhand der beiliegenden
Zeichnungen näher erläutert. Es zeigen:
Fig. 1 eine teilweise aufgebrochene Draufsicht auf den verstellbaren Tisch
gemäß einer ersten Ausführungsform;
Fig. 2 einen Schnitt entlang der Linie II-II der Fig. 1;
Fig. 3 eine teilweise aufgeschnittene perspektivische Darstellung des Tisches
gemäß den Fig. 1 und 2;
Fig. 4a bis 4e schematische Darstellungen, die verschiedene Arten der Ankopplung der
Antriebseinheiten an die bewegbare Platte erkennen lassen;
Fig. 5 eine Draufsicht auf den verstellbaren Tisch entsprechend einer zweiten
Ausführungsform;
Fig. 6 einen Schnitt durch den Tisch gemäß Fig. 5; sowie
Fig. 7 einen Schnitt entsprechend Fig. 6 für eine weiter abgewandelte Ausfüh
rungsform.
Entsprechend den Fig. 1 bis 3 ist eine feststehende Platte 2 eines verstellbaren Tisches 1
mit einem Fußteil 2a versehen. In der Mitte der feststehenden Platte 2 ist eine kreisförmige
Öffnung 3 ausgebildet, in die ein gegenüber der feststehenden Platte verstellbares
Flanschteil 4 eingreift.
Das Flanschteil 4 trägt an seinem unteren Ende einen Flanschabschnitt 4a, der parallel zu
der Unterseite der feststehenden Platte 2 verläuft und der Unterseite der feststehenden Platte
gegenüberstehend angeordnet ist. Ein durch die Öffnung 3 hindurchgreifender zylindrischer
Abschnitt 4b des Flanschteils 4 hat einen Durchmesser, der kleiner als der Innen
durchmesser der kreisförmigen Öffnung 3 ist, wodurch zwischen beiden ein Zwischenraum
5 freibleibt. An der Oberseite des Flanschteils 4 befinden sich ein Vorsprung 4c und
Gewindebohrungen 8. Der Vorsprung 4c greift in eine Mittelöffnung 7 einer bewegbaren
Platte 6 ein. Die mit dem Vorsprung 4c in Eingriff stehende bewegbare Platte 6 wird
mittels Schrauben 10 über eine Zwischenplatte 9 gegen die Oberseite des Flanschteils 4
angedrückt.
Die bewegbare Platte 6 und das Flanschteil 4 werden zusammenmontiert, wobei Drucklager
11 und 12 zwischen der Unterseite der bewegbaren Platte 6 und der Oberseite der
feststehenden Platte 2 bzw. zwischen der Unterseite der feststehenden Platte 2 und dem
Flanschabschnitt 4a des Flanschteils 4 vorgesehen werden.
Die Axial- oder Drucklager 11 und 12 weisen einen ringförmigen Käfig 13 und eine Mehr
zahl von Kugeln 14 auf, die sich von dem Käfig 13 gehalten abwälzen können. Die Kugeln
14 dienen der Führung der bewegbaren Platte 6 und des Flanschteils 4, so daß diese in
jeder Richtung im Bereich des Zwischenraumes 5 verstellt werden können, der zwischen
dem zylindrischen Abschnitt 4b des Flanschteils 4 und der Innenwand der feststehenden
Platte 2 vorgesehen ist. Die Dicke der Zwischenplatte 9 ist so gewählt, daß die Drucklager
11 und 12 mit einer zweckentsprechenden Vorspannung beaufschlagt werden, wenn die
Schrauben 10 angezogen werden. Eine solche Vorspannung gibt den Drucklagern 11 und
12 eine ausreichende Steifigkeit, so daß die Genauigkeit der Abstützung selbst dann nicht
leidet, wenn die bewegbare Platte einer exzentrischen Belastung ausgesetzt wird. Weil die
bewegbare Platte 6 und das Flanschteil 4 über die Zwischenplatte 9 gegeneinander ange
preßt werden, kann die Vorspannung, mit welcher die Drucklager beaufschlagt werden,
durch Ändern der Dicke der Zwischenplatte 9 eingestellt werden. Auf diese Weise lassen
sich die Steifigkeit und Genauigkeit des Tisches wesentlich verbessern.
Eine aus- und einfahrbare Antriebseinheit 16 ist an einer Seite der feststehenden Platte 2
über eine Trägerplatte 15a montiert. Zwei weitere Antriebseinheiten 17 und 18 sind an
einer zu der erstgenannten Seite in rechtem Winkel stehenden Seite über Trägerplatten 15b
bzw. 15c so angeordnet, daß sie parallel zueinander aus- und eingefahren werden können.
Jede der Antriebseinheiten weist eine Spindel oder Stange 19 auf. Diese Stangen 19 sind
über Kupplungsanordnungen 20 mit den Seiten 6a bzw. 6b der bewegbaren Platte 6
verbunden.
Jede der Kupplungsanordnungen 20 weist eine Führungsstange 21, die an der Seite 6a oder
6b angebracht ist und sich entlang dieser Seite erstreckt, einen auf der Führungsstange 21
verstellbar gelagerten Schieber 22 und einen Gelenkstift 23 auf, welcher den Schieber 22
mit der Stange 19 gelenkig kuppelt. Über die Kupplungsanordnungen 20 sind die Stangen
19 der Antriebseinheiten 16, 17 und 18 mit den Seiten der bewegbaren Platte 6 so verbun
den, daß die Platte 6 verschwenkt und in einer Richtung verschoben werden kann, die
senkrecht zu der Richtung verläuft, in welcher die betreffende Stange 19 aus- und eingefah
ren wird.
Bei den Antriebseinheiten 16, 17 und 18 kann es sich um Spindelanordnungen, wie sie in
der DE-PS 40 21 949 vorgeschlagen werden, oder um andere aus- und einfahrbare Antriebs
anordnungen, wie Hydraulikzylinder, handeln.
Bei dem verstellbaren Tisch gemäß den Fig. 1 bis 3 erfolgt eine Führung der bewegbaren
Platte 6 in lotrechter Richtung mittels der beiden Drucklager 11 und 12, die zu beiden
Seiten der feststehenden Platte 2 sitzen. Selbst wenn dabei eine Last auf eine Stelle einwirkt,
die weit außerhalb des von den Kugeln 14 abgestützten Flächenabschnitts liegt, wird die
Bewegung der Platte 6 durch das Flanschteil 4 und das Drucklager 12 beschränkt. Dadurch
wird ein Anheben der bewegbaren Platte verhindert. Auf einem Arbeitstisch 24, der auf der
bewegbaren Platte 6 des verstellbaren Tisches 1 montiert ist (Fig. 2), lassen sich beliebige
Arbeiten ausführen.
Wenn beim Einsatz des verstellbaren Tisches 1 die Antriebseinheit 16 betätigt wird, wäh
rend die Antriebseinheiten 17 und 18 in Fig. 1 unbetätigt bleiben, gleiten die mit den
Antriebseinheiten 17 und 18 gekuppelten Schieber 22 entlang der zugehörigen Führungsstangen
21. Die bewegbare Platte 6 wird daher in der einen Richtung geradlinig verstellt.
Wenn die Antriebseinheiten 17 und 18 um den gleichen Betrag verstellt werden, während
die Antriebseinheit 16 unbetätigt bleibt, wird die bewegbare Platte 6 geradlinig in einer
Richtung verstellt, die senkrecht zu der erstgenannten Richtung steht.
Wenn die Antriebseinheit 18 aus- oder eingefahren wird, während die Antriebseinheit 17
unbetätigt bleibt, und ferner die in rechtem Winkel zu der Antriebseinheit 17 stehende
Antriebseinheit 16 aus- oder eingefahren wird, wird die bewegbare Platte 6 um die Ankop
pelstelle der Antriebseinheit 17 verschwenkt.
Wenn die Antriebseinheiten 16, 17 und 18 alle aus- oder eingefahren werden, kann die
bewegbare Platte 6 um jeden beliebigen Punkt verschwenkt oder in jeder Richtung mit
Bezug auf rechtwinklige Koordinaten verstellt werden.
Bei dem vorstehend erläuterten Ausführungsbeispiel sind die drei Antriebseinheiten 16, 17
und 18 mit benachbarten Seiten der bewegbaren Platte 6 unmittelbar gekuppelt. Die
Ankopplung der Antriebseinheiten an die bewegbare Platte kann aber auch auf verschie
denartige andere Weise erfolgen, wie dies beispielsweise in den Fig. 4a bis 4e dargestellt
ist. In diesen Figuren ist mit 25 eine Kupplungsstange bezeichnet, die an der bewegbaren
Platte 6 fest angebracht ist. Die zugehörige Antriebseinheit ist über die Kupplungs
anordnung 20 mit der Kupplungsstange 25 schwenkbar und verschiebbar gekoppelt.
An Stelle der veranschaulichten Drucklager mit Kugeln können auch mit einem statischen
Druck beaufschlagte Lager, Gleitlager oder Kombinationen solcher Lager als Druck- oder
Axiallager vorgesehen werden.
Der zuvor erläuterte verstellbare Tisch erlaubt ein Verstellen in zwei zueinander senkrech
ten Richtungen sowie ein Verschwenken. Der verstellbare Tisch kann aber, falls
erwünscht, auch so ausgelegt werden, daß er nur in einer Richtung verstellt werden kann
oder daß eine Verstellung nach Art eines XY-Tisches möglich ist. In diesen Fällen sind die
Anzahl und die Anordnung der Antriebseinheiten entsprechend anzupassen.
Bei der abgewandelten Ausführungsform gemäß den Fig. 5 und 6 weist der verstellbare
Tisch 1 gleichfalls eine feststehende Platte 2 auf, an deren Unterseite ein Fußteil 2a aus
gebildet ist und die mit einer kreisrunden Mittelöffnung 3 versehen ist, in welche das
Flanschteil 4 verstellbar eingreift. Das Flanschteil 4 trägt an seinem unteren Ende den
Flanschabschnitt 4a, der parallel zu der Unterseite der feststehenden Platte 2 verläuft und
dieser gegenüberstehend angeordnet ist. Das Flanschteil 4 weist den zylindrischen
Abschnitt 4b auf, dessen Durchmesser kleiner als der Innendurchmesser der Öffnung 3 ist,
so daß zwischen beiden der Zwischenraum 5 verbleibt.
Das Flanschteil 4 trägt oben den Vorsprung 4c und die Gewindebohrungen 8. Die beweg
bare Platte 6 wird mit dem Vorsprung 4c in Eingriff gebracht und mittels der Schrauben 10
gegen das Flanschteil 4 angepreßt.
Nach dem Zusammenbau der bewegbaren Platte 6 und des Flanschteils 4 werden Druck
lagerräume 30 und 31 zwischen der Unterseite der bewegbaren Platte 6 und der Oberseite
der feststehenden Platte 2 bzw. zwischen der Unterseite der feststehenden Platte 2 und dem
Flanschabschnitt 4a ausgebildet. Eine Mehrzahl von Luftzufuhrdüsen 32 und 33 sind zur
Bereitstellung von Anhebekräften in der Ober- bzw. der Unterseite der feststehenden Platte
2 im Bereich der Drucklagerräume 30 und 31 vorgesehen.
Die Düsen 32 und 33 stehen mit zugehörigen Ringnuten 32a und 33a in Verbindung, die in
der feststehenden Platte 2 ausgebildet sind und die ihrerseits über Luftkanäle 34 und 35 mit
(nicht dargestellten) Druckluftquellen in Verbindung stehen die unabhängig voneinander
betätigt werden können. Durch Aktivieren der Druckluftquellen wird Druckluft gesondert
über die Düsen 32 bzw. 33 in die Drucklagerräume 30 und 31 eingeblasen. Auf diese
Weise wird in den Zwischenräumen 30 und 31 ein statischer Druck erzeugt, welcher die
bewegbare Platte 6 bzw. das Flanschteil 4 außer Kontakt mit der feststehenden Platte 2
hält.
Auch bei dieser Ausführungsform sind, ebenso wie bei der ersten Ausführungsform, die
Antriebseinheiten 16, 17 und 18 mit der bewegbaren Platte 6 über die Kupplungsanord
nungen 20 verbunden.
Wenn Druckluft über die Luftzufuhrdüsen 32 und 33 ausgeblasen wird, werden die beweg
bare Platte 6 und das Flanschteil 4 berührungsfrei abgestützt. Die bewegbare Platte kann
daher in jeder Richtung im Bereich des Zwischenraums 5 verstellt werden, der zwischen
dem zylindrischen Abschnitt 4b des Flanschteils 4 und der feststehenden Platte 2 vorge
sehen ist.
Weil einer Bewegung der Platte 6 in lotrechter Richtung durch die an beiden Seiten der
feststehenden Platte 2 befindlichen, mit statischem Druck beaufschlagten Luftlager ent
gegengewirkt wird, werden Vibrations- und Pendelbewegungen der bewegbaren Platte
verhindert, während die Platte verstellt wird. Dies erlaubt es, die bewegbare Platte mit
hoher Genauigkeit in eine vorbestimmte Position zu bringen.
Selbst wenn eine Belastung auf eine Stelle einwirkt, die von den Flächenbereichen weit
entfernt ist, die mittels der Düsen 32 und 33 abgestützt werden, wird die bewegbare Platte
6 an übermäßigen Kippbewegungen durch das Flanschteil 4 und die mit statischem Druck
beaufschlagten Luftlager gehindert.
Wenn es notwendig wird, die bewegbare Platte 6 während des Einwirkens einer starken
Belastung, beispielsweise im Verlauf einer maschinellen Bearbeitung, in einer festen Posi
tion zu halten, wird die Luftzufuhr zu den Düsen 32 gestoppt, während aus den Luft
zufuhrdüsen 33 weiterhin Luft ausgeblasen wird, nachdem die bewegbare Platte 6 in die
gewünschte Position gebracht ist. Dabei wird die bewegbare Platte 6 von der aus den
Düsen 33 austretenden Druckluft nach unten gedrückt, so daß ihre Unterseite gegen die
Oberseite der stationären Platte 2 fest angepreßt wird. Auf diese Weise kann die bewegbare
Platte 6 mit hoher Steifigkeit abgestützt werden.
Die Funktionsweise des verstellbaren Tisches 1 der zweiten Ausführungsform entspricht
im übrigen derjenigen des Tisches gemäß der ersten Ausführungsform.
In Fig. 7 ist eine weiter abgewandelte Ausführungsform dargestellt, bei welcher die Luft
zuführdüsen 32 und 33 an einen einzigen Luftkanal 34 angeschlossen sind. Von dem Luft
kanal 34 gelangt Druckluft wahlweise zu den Luftzufuhrdüsen 32 und/oder 33, indem ein
an der Abzweigungsstelle sitzendes Umschaltventil 36 in eine entsprechende Lage
gebracht wird.
Bei dem verstellbaren Tisch nach den Fig. 5 bis 7 wird die bewegbare Platte mit Hilfe von
Luftlagern berührungsfrei abgestützt, die mit statischem Druck beaufschlagt sind. Eine
berührungsfreie Abstützung der bewegbaren Platte und/oder des Flanschteils kann jedoch
auch unter Anwendung von magnetischen Kräften erfolgen, die von zweckentsprechenden
Magnetkraft-Erzeugungseinrichtungen bereitgestellt werden, beispielsweise indem Elek
tromagnete an der Ober- und der Unterseite der feststehenden Platte angeordnet werden
und Dauermagnete an den gegenüberliegenden Oberflächen der bewegbaren Platte und des
Flanschteils vorgesehen werden.
Für die Anhebekraft sorgende Mittel können auch an der bewegbaren Platte und/oder dem
Flanschteil an einer der feststehenden Platte gegenüberliegenden Stelle vorgesehen werden.
Claims (4)
1. Verstellbarer Tisch mit einer bewegbaren Platte, die auf einer feststehenden Platte über
ein zwischen beiden Platten angeordnetes Drucklager verstellbar abgestützt ist und die
mit Antriebseinheiten zum Verstellen der bewegbaren Platte gegenüber der feststehen
den Platte in Antriebsverbindung steht, dadurch gekennzeichnet,
daß an der Unterseite der bewegbaren Platte (6) ein Flanschteil (4) mit einem parallel zu der Unterseite der feststehenden Platte (2) in Abstand von dieser verlaufenden Flanschabschnitt (4a) angebracht ist;
daß die feststehende Platte (2) einen sich lotrecht erstreckenden Fußteil (2a) und einen sich von der Oberseite des Fußteils nach innen zwischen die bewegbare Platte (6) und den Flanschabschnitt (4a) erstreckenden waagrechten Randteil aufweist;
daß ein zusätzliches Drucklager (12, 33) zwischen dem waagrechten Randteil der fest stehenden Platte (2) und dem Flanschabschnitt (4a) angeordnet ist; und
daß die Antriebseinheiten (16, 17, 18) an die bewegbare Platte (6) über Kupplungsan ordnungen (20) angekuppelt sind.
daß an der Unterseite der bewegbaren Platte (6) ein Flanschteil (4) mit einem parallel zu der Unterseite der feststehenden Platte (2) in Abstand von dieser verlaufenden Flanschabschnitt (4a) angebracht ist;
daß die feststehende Platte (2) einen sich lotrecht erstreckenden Fußteil (2a) und einen sich von der Oberseite des Fußteils nach innen zwischen die bewegbare Platte (6) und den Flanschabschnitt (4a) erstreckenden waagrechten Randteil aufweist;
daß ein zusätzliches Drucklager (12, 33) zwischen dem waagrechten Randteil der fest stehenden Platte (2) und dem Flanschabschnitt (4a) angeordnet ist; und
daß die Antriebseinheiten (16, 17, 18) an die bewegbare Platte (6) über Kupplungsan ordnungen (20) angekuppelt sind.
2. Verstellbarer Tisch nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die
Antriebseinheiten (16, 17, 18) mindestens zwei Antriebseinheiten (17, 18), die parallel
zueinander in einer Richtung in einer die bewegbare Platte (6) enthaltenden Ebene
aus- und eingefahren werden können, sowie mindestens eine Antriebseinheit (16)
aufweisen, die in einer zu der einen Richtung senkrechten Richtung aus- und
eingefahren werden kann, wobei jede der Antriebseinheiten mit der bewegbaren Platte
(6) über eine der Kupplungsanordnungen (20) derart verbunden ist, daß die bewegbare
Platte in der genannten Ebene verschwenkbar und in einer Richtung verschiebbar ist,
die senkrecht zu der Richtung verläuft, in welcher die betreffende Antriebseinheit aus- und
eingefahren wird.
3. Verstellbarer Tisch nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die
Drucklager (30, 31) mit statischem Druck beaufschlagte Luftlager sind und daß
Einrichtungen (32, 33) zum Erzeugen einer Anhebekraft an der feststehenden Platte
(2), der bewegbaren Platte (6) und/oder dem Flanschteil (4) angeordnet sind.
4. Verstellbarer Tisch nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Einrichtungen
(32, 33) zum Erzeugen einer Anhebekraft unabhängig voneinander betätigbar sind.
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Publications (2)
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Families Citing this family (36)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2974535B2 (ja) * | 1993-03-11 | 1999-11-10 | キヤノン株式会社 | 位置決め装置 |
DE4325450A1 (de) * | 1993-07-29 | 1995-02-02 | Bacher Graphische Geraete Gmbh | Tischverstellvorrichtung |
JP3089150B2 (ja) * | 1993-10-19 | 2000-09-18 | キヤノン株式会社 | 位置決めステージ装置 |
DE19540303C1 (de) * | 1995-10-28 | 1997-03-13 | Ief Werner Gmbh | Positioniereinrichtung |
JP2759912B2 (ja) * | 1996-02-07 | 1998-05-28 | 和也 廣瀬 | 多自由度テーブル機構用支持ユニット並びに多自由度テーブル機構 |
US5779203A (en) * | 1996-06-28 | 1998-07-14 | Edlinger; Erich | Adjustable wafer cassette stand |
US6033521A (en) * | 1997-06-04 | 2000-03-07 | Speedfam-Ipec Corporation | Tilt mechanism for wafer cassette |
US6279490B1 (en) * | 1999-10-08 | 2001-08-28 | Etec Systems, Inc. | Epicyclic stage |
DE60032568T2 (de) * | 1999-12-01 | 2007-10-04 | Asml Netherlands B.V. | Positionierungsapparat und damit versehener lithographischer Apparat |
DE10019788A1 (de) * | 2000-04-20 | 2001-10-31 | Index Werke Kg Hahn & Tessky | Werkzeugmaschine |
US6637349B1 (en) | 2000-08-23 | 2003-10-28 | Gregory A. Lafferty | Motorized picnic table |
JP4560235B2 (ja) * | 2001-05-16 | 2010-10-13 | 日本トムソン株式会社 | 角度調整テーブル装置 |
US6892652B2 (en) * | 2002-08-19 | 2005-05-17 | Branson Ultrasonics Corporation | Self-adjusting dynamic floating fixture |
US6663073B1 (en) | 2002-09-25 | 2003-12-16 | Alison B. Church | Collapsible rotating display easel for holding two visual displays |
JP4575674B2 (ja) * | 2004-01-23 | 2010-11-04 | Thk株式会社 | 回転テーブル装置 |
JP4628012B2 (ja) * | 2004-04-15 | 2011-02-09 | 津田駒工業株式会社 | 傾斜テーブル装置 |
JP4594031B2 (ja) * | 2004-10-18 | 2010-12-08 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板保持装置 |
CA2629355A1 (en) * | 2005-11-17 | 2007-06-07 | Socovar, Societe En Commandite | Planar parallel mechanism and method |
JP4376225B2 (ja) * | 2005-11-29 | 2009-12-02 | 日本ベアリング株式会社 | テーブル装置 |
US7770336B2 (en) * | 2006-08-10 | 2010-08-10 | Martinrea International Inc. | Multiple-level rotary work surface |
TWI347469B (en) * | 2007-04-27 | 2011-08-21 | Hon Hai Prec Ind Co Ltd | Fixation device and method for controlling thereof |
US20090057520A1 (en) * | 2007-09-05 | 2009-03-05 | Makoto Tada | Displacement Platform with a Precision Plane |
US20090320724A1 (en) * | 2008-06-27 | 2009-12-31 | Walburn William L | Swivel base with installation aid |
US8459622B2 (en) * | 2010-04-21 | 2013-06-11 | Seagate Technology Llc | Noncontact positioning of a workpiece |
CN102371491B (zh) * | 2010-08-12 | 2013-12-18 | 四川省自贡市海川实业有限公司 | 汽轮机叶片空间二面角斜面上开口槽加工专用夹具 |
TW201321120A (zh) * | 2011-11-22 | 2013-06-01 | Metal Ind Res & Dev Ct | 共平面三軸定位裝置 |
TWI458902B (zh) * | 2012-05-02 | 2014-11-01 | Academia Sinica | 線性致動模組 |
US9049925B1 (en) * | 2013-01-14 | 2015-06-09 | Russell L. Winchester | Tool mounting structure |
CN203343741U (zh) * | 2013-05-03 | 2013-12-18 | 高明铁企业股份有限公司 | 具有流体增压紧迫定位功能的对位平台 |
CN103434841A (zh) * | 2013-07-16 | 2013-12-11 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 玻璃基板定位装置 |
JP5788544B2 (ja) * | 2014-01-27 | 2015-09-30 | ファナック株式会社 | 流路を形成した部材を備えた回転テーブル |
JP5819998B2 (ja) * | 2014-01-29 | 2015-11-24 | ファナック株式会社 | 二つの基準面にワークを位置決めするワーク位置決め装置 |
CN105014395A (zh) * | 2014-04-29 | 2015-11-04 | 高明铁企业股份有限公司 | 具有定位功能的对位平台 |
US9561642B2 (en) * | 2015-01-09 | 2017-02-07 | Rick L. Fuqua | Screen printing machine with extendable and retractable platen |
FR3046451B1 (fr) * | 2016-01-06 | 2018-07-06 | Micro-Controle - Spectra-Physics | Systeme de generation de deplacement d'une plaque de support selon six degres de liberte. |
FR3110474B1 (fr) * | 2020-05-20 | 2022-05-06 | Stpgroup | Système de maintien d’un panneau lors de son usinage |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB439809A (en) * | 1934-06-14 | 1935-12-16 | Asprey & Company Ltd | Improvements in cabinets or tables |
FR928097A (fr) * | 1946-05-08 | 1947-11-18 | Perfectionnements à la commande des tables de machines-outils et analogues | |
GB866594A (en) * | 1956-09-28 | 1961-04-26 | Harris Lebus Ltd | Improvements in or relating to articles of furniture |
GB860960A (en) * | 1958-05-09 | 1961-02-15 | Arnost Klauber | Improvements in or relating to tables, tea trolleys and like furniture |
US3495519A (en) * | 1967-02-01 | 1970-02-17 | Microform Data Systems | Xy table |
US3479632A (en) * | 1968-01-11 | 1969-11-18 | Gilbert V Galles | Movable support means |
US3517624A (en) * | 1968-04-29 | 1970-06-30 | Texas Instruments Inc | Movable table surface and means of positioning same |
US3615068A (en) * | 1969-07-14 | 1971-10-26 | Ardel Instr Co Inc | Precision rotary table |
US3638933A (en) * | 1970-08-10 | 1972-02-01 | Yosemite Lab | Precision x-y positioning table |
JPS5397859A (en) * | 1977-02-08 | 1978-08-26 | Fujitsu Ltd | Plane positioning shifter |
JPS61120212A (ja) * | 1984-11-16 | 1986-06-07 | Seiko Epson Corp | XYθテ−ブル装置 |
US4640486A (en) * | 1985-06-14 | 1987-02-03 | International Glide Mfg. Corp. | Seat swivel apparatus |
US4715295A (en) * | 1985-07-26 | 1987-12-29 | Hill-Rom Company, Inc. | Overbed table |
DD241387A1 (de) * | 1985-09-30 | 1986-12-10 | Werkzeugmasch Okt Veb | Hydrostatisches fuehrungssystem eines werkzeugschlittens an einer zahnradwaelzschleifmaschine |
JPH01242989A (ja) * | 1988-03-24 | 1989-09-27 | Kazuya Hirose | テーブルの縦横移動旋回機構 |
US4854532A (en) * | 1988-12-19 | 1989-08-08 | Eastman Kodak Company | Devices for mounting a load and orienting the load in two orthogonal directions |
US5029791A (en) * | 1990-03-08 | 1991-07-09 | Candela Laser Corporation | Optics X-Y positioner |
-
1991
- 1991-03-12 US US07/667,893 patent/US5163651A/en not_active Expired - Lifetime
- 1991-03-12 DE DE4107881A patent/DE4107881C2/de not_active Expired - Lifetime
- 1991-03-13 FR FR9103036A patent/FR2659537A1/fr active Granted
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
GB2243075B (en) | 1993-02-03 |
FR2659537A1 (fr) | 1991-09-20 |
FR2659537B1 (de) | 1995-04-21 |
US5163651A (en) | 1992-11-17 |
GB2243075A (en) | 1991-10-23 |
DE4107881A1 (de) | 1991-09-19 |
GB9105256D0 (en) | 1991-04-24 |
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