JP2515316Y2

JP2515316Y2 - 移動テーブル

Info

Publication number: JP2515316Y2
Application number: JP1990025594U
Authority: JP
Inventors: 央松本
Original assignee: エヌティエヌ株式会社
Priority date: 1990-03-13
Filing date: 1990-03-13
Publication date: 1996-10-30
Anticipated expiration: 2005-03-13
Also published as: JPH03117537U

Description

【考案の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕この考案は、移動テーブルに関するものである。

〔従来の技術〕

スクリーン印刷機やテープ露光装置等の作業テーブル
には、直交する２方向の移動と、任意の角度で回動でき
る機能をもった移動テーブルが求められる。

ところが、従来のXYテーブルは、２つのテーブルを上
下に重ね合せた構造をもち、これに回動の機能をもたせ
るには、XYテーブルをさらに割出し機能を備えた回転テ
ーブル上に取付ける必要があるため、テーブルの高さが
著しく大きくなり、装置が大型化する欠点がある。

このような欠点に対処するため、固定盤上にスラスト
軸受を介して可動盤を移動可能に設け、その可動盤にXY
方向の移動と回動の動きを行なわせる駆動装置を連結し
た移動テーブルが考えられている。この構造では、固定
盤と可動盤の間にボールを保持する保持器を介在させる
だけなので、テーブルの高さをコンパクトに形成できる
利点がある。

〔考案が解決しようとする課題〕

しかし、上記のようにボールの転がりを利用して可動
盤を支持する構造では、ボールの支持面から離れるほど
支持剛性が低下し、可動盤が浮き上りやすくなる問題が
ある。すなわち、可動盤上で加工などの作業をした場
合、加工負荷がボールの支持面から外側へ遠く離れた位
置に加わると、その負荷位置にはボールの支持面を支点
として上下方向のモーメントが生じ、可動盤の浮き上り
が生じる場合がある。

この考案は、上記の問題に鑑みてなされたもので、ス
ラスト軸受を介して可動盤を支持する構造において、可
動盤の浮き上りを防止して支持剛性を向上させた移動テ
ーブルを提供することを目的としている。

〔課題を解決するための手段〕

上記の課題を解決するため、この考案は、固定盤にス
ラスト軸受を介して可動盤を水平面上の全方向にスライ
ド自在に支持し、上記可動盤に駆動装置を連結した移動
テーブルにおいて、上記可動盤の下面に円柱状台座部と
該円柱状台座部の下部から水平方向に張り出したフラン
ジ部を設け、上記可動盤の下面と台座部の側面とフラン
ジ部の上面とによってフランジ部外周に沿った環状の凹
部を形成し、該凹部の上下に対向する面に可動側転動面
を設け、該円柱状台座部を固定盤の円形孔に所定の移動
すき間をおいて挿通し、上記固定盤の円形孔周縁の上下
両面に、前記各可動側転動面とそれぞれ対向した固定側
転動面を形成し、これらの対向する可動側及び固定則転
動面間にそれぞれスラスト転がり軸受を介在し、上記固
定盤上に水面内で互いに平行に伸縮する２個以上の駆動
装置と、その駆動装置と直交する方向に伸縮する１個以
上の駆動装置を配置し、その各駆動装置の伸縮部と上記
可動盤の側辺を継手により連結し、該継手を上記可動盤
に固定した水平方向の案内部材と、その案内部材に取付
けられたスライダと、そのスライダと前記伸縮部とを継
手する上下方向の回動ピンとにより構成した構成とした
ものである。

〔作用〕

上記構成の移動テーブルにおいて、可動盤は円周状台
座とフランジ部によって形成された環状の凹部において
転がり軸受を介して固定盤の円形孔の周縁を上下から挟
んだ構成となる。これにより可動盤の上下方向の動きは
フランジ部により抑えられて浮き上がりが防止される。
これにより高い支持剛性が得られる。

また、上記の転がり軸受は、前記凹部内に設けられ、
かつ円柱状台座の直径は上記の転がり軸受に可能な限り
接近するよう大径に形成される。このため、可動盤の支
持剛性は一層高く、全方向の移動において可動盤の面精
度が高くなる。

更に、可動盤に連結した平行な駆動装置、又はそれと
直交する駆動装置を伸縮させると、可動盤は直交する２
方向に直線移動する。

また、全ての駆動装置を同時に伸縮させると、可動盤
を任意の点を中心に回動させたり、直交する座標上を任
意方向に移動させることができ、高精度に位置決めがで
きる。そして、全方向移動における可動盤の面精度と、
継手構造による高精度の位置決めとがあいまって、コン
パクトで高精度の移動テーブルが実現できる。

〔実施例〕

以下、この考案の実施例を添付図面に基づいて説明す
る。

第１図乃至第３図に示すように、実施例の移動テーブ
ル１は、固定盤２、可動盤６、上部スラスト転がり軸受
11、下部スラスト転がり軸受12、及び３台の駆動装置1
6、17、18を主要な構成要素とする。

固定盤２は下面周縁に足座2aを有し、中央の円形孔３
が形成される。その円形孔３の周囲において、固定盤２
の上下両面には固定側上転動面25aと固定側下転動面25b
が形成される。

可動盤６は、その上面に上記の円形孔３に径方向に移
動すき間５をおいて挿入される円柱状台座部4bを有し、
その台座部4bの下端に円形のフランジ4aが水平方向に張
り出して一体に形成される。また、上記台座部4bの上端
面中央に突起4cが設けられ、その突起4cに台座部4bと同
一径のスペーサ板９が嵌入され、更にそのスペーサ板９
の上部に可動盤６が嵌入される。

上記可動盤６とスペーサ板９及び台座部4bは、可動盤
６及びスペーサ板９を通して台座部4bのボルト孔８に螺
入したボルト10により一体化され、台座部4bのまわに環
状の凹部28が形成される。

上記凹部28を形成するフランジ4aの上面には、その外
周縁に沿って一定幅の可動側下転動面26bが形成され、
これと対向して凹部28の支持板６の下面に可動側上転動
面26aが形成される。

上記の各転がり軸受11、12は、リング状の保持器13の
面に多数のボール14を回転自在に組み込んだものであ
る。上部の転がり軸受11は、前述の可動盤６の可動側上
転動面26aと、これに対向した固定盤２の固定側上転動
面25aとの間で全方向に移動可能に介在される。

また、下部の転がり軸受12は、フランジ4aの可動側下
転動面26bと、これに対向した固定盤２の固定側下転動
面25bとの間で全方向に移動可能に介在される。

上記の両転がり軸受11、12に加えられる予圧はスペー
サ板９の厚みを適宜選定することにより設定され、この
予圧によって可動盤６に偏心荷重が加わった場合でも支
持精度を低下させない剛性が付与される。

また、可動盤６の台座部4bは、フランジ4aの外周縁か
ら凹部28の幅だけ内側へ寄った位置に形成されるので、
比較的大径となる。このため、可動盤６自体の剛性が高
くなる。

上記の固定盤２の一方の側辺に、取付板15aを介して
伸縮可能な１個の駆動装置16が取付けられ、それに直交
する側辺には、取付板15b、15cを介して互いに平行に伸
縮する２個の駆動装置17、18が取付けられており、その
各駆動装置16、17、18の伸縮ロッド19が、それぞれ継手
20を介して可動盤６の側辺6a、6bに連結されている。

上記継手20は、可動盤６の側辺6a、6bに沿って固定さ
れる水平方向の案内棒21と、その案内棒21に移動可能に
取付けられるスライダ22と、そのスライダ22と上記伸縮
ロッド19を回動可能に連結する上下方向の回動ピン23と
から成り、各駆動装置16、17、18の伸縮ロッド19を、可
動盤６の各側辺に対して回動可能かつ伸縮方向に対して
直交する方向にスライド可能に連結している。

上記駆動装置16、17、18には、例えば、特願平１−70
36号で提案したボールねじ軸装置が使用でき、他に油圧
シリンダ等の伸縮可能な駆動部材を用いることができ
る。

上記の構造で成る実施例の移動テーブル１は、可動盤
６が固定盤２の上下両面を挾んだ２個のスラスト軸受1
1、12により上下の動きが案内されるため、ボール14の
支持面から外側に遠く離れた位置に負荷が加わっても、
可動盤６の動きがフランジ4aとスラスト軸受12によって
規制され、可動盤６の浮き上りが防止される。

なお、移動テーブル１上の作業は、第２図に示すよう
に可動盤６の上に作業テーブル24を取付け、その上で行
なうようにしてもよい。

移動テーブル１の作動は、第１図において、駆動装置
17、18を作動させずに駆動装置16を作動させると、駆動
装置17、18に連結されたスライダ22が案内棒21をスライ
ドして、可動盤６を一方向に直線運動させることができ
る。

また、駆動装置16を停止した状態で、両駆動装置17、
18を同量作動させると、上記とは直角方向に可動盤６を
直線運動させることができる。

さらに、駆動装置17を停止した状態で駆動装置18を伸
縮させ、それに対応して直角方向に位置する駆動装置16
を伸縮させると、可動盤６は停止した駆動装置17の連結
点を支点として回動する。

また、各駆動装置16、17、18を同時に連動して伸縮さ
せると、可動盤６を任意の点を中心に回動させたり、直
交座標上を任意方向に移動させることができる。

なお、上記の実施例では、可動盤６の側辺に直接３個
の駆動装置16、17、18を連結したが、この駆動装置と可
動盤の連結は、第４図（ａ）〜（ｅ）に示すように種々
の構造をとることができる。この図において、25は可動
盤６に固定される連結棒であり、この連結棒25に各駆動
装置を継手20を介して回動可能かつスライド可能に連結
する。

上記の例では、直交する２方向の移動と回動の動きを
可能とした移動テーブルを示したが、駆動装置の数や配
置を変えることにより、単なる一方向の移動を行なう移
動テーブルやXYテーブルにも適用することができる。

〔考案の効果〕

以上のように、この考案は、固定盤の円形孔の周縁に
おいて、その上下両面を可動盤とフランジ部とによりそ
れぞれスラスト転がり軸受を介して挾み、支持板の上下
方向の変位をフランジ部により規制するようにしたの
で、可動盤に偏心荷重が加わっても可動盤の浮き上りを
防止でき、支持剛性の大幅な向上を図ることができる。

また、前記のスラスト転がり軸受は可動盤の外周面の
凹部内に設けられ、可動盤の円柱状台座部は、フランジ
外周縁から上記転がり軸受の転動面の幅だけ内側に寄っ
た位置に形成されるので、台座部の直径は相当大きなも
のとなる。そのような大径の台座部を中間に挟んで可動
盤とフランジが一体化されるので、可動盤の剛性も高
く、全方向の移動において、可動盤の精度が向上する。

さらに、可動盤に対し平行に伸縮する複数の駆動装置
と、それに直交する駆動装置を連結した簡単な構成によ
り、直交する２方向と回動の動きを可能とすることがで
き、また案内部材とスライダ及び回動ピンとからなる継
手を介して高精度に位置決めされ、上述の可動盤の面精
度と継手構造における高精度な位置決めとがあいまっ
て、コンパクトで高精度な移動テーブルを提供すること
ができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は実施例の移動テーブルを一部切欠いて示す平面
図、第２図は第１図のII−II線に沿った断面図、第３図
は同上の一部を切欠いて示す斜視図、第４図（ａ）〜
（ｅ）は駆動装置と可動盤の連結構造を模式的に示す図
である。１……移動テーブル、２……固定盤、2a……足座、３…
…円形孔、4a……フランジ、4b……円柱状台座部、4c…
…突起、５……すき間、６……可動盤、８……ボルト
孔、９……スペーサ板、10……ボルト、11……上部スラ
スト転がり軸受、12……下部スラスト転がり軸受、13…
…保持器、14……ボール、15a、15b、15c……取付板、1
6、17、18……駆動装置、19……伸縮ロッド、20……継
手、21……案内棒、22……スライダ、23……回動ピン、
24……作業テーブル、25a……固定側上転動面、25b……
固定側下転動面、26a……可動側上転動面、26b……可動
側下転動面、28……凹部。

Claims

(57)【実用新案登録請求の範囲】

【請求項１】固定盤にスラスト軸受を介して可動盤を水
平面上の全方向にスライド自在に支持し、上記可動盤に
駆動装置を連結した移動テーブルにおいて、上記可動盤
の下面に円柱状台座部と該円柱状台座部の下部から水平
方向に張り出したフランジ部を設け、上記可動盤の下面
と台座部の側面とフランジ部の上面とによってフランジ
部外周に沿った環状の凹部を形成し、該凹部の上下に対
向する面に可動側転動面を設け、該円柱状台座部を固定
盤の円形孔に所定の移動すき間をおいて挿通し、上記固
定盤の円形孔周縁の上下両面に、前記各可動側転動面と
それぞれ対向した固定側転動面を形成し、これらの対向
する可動側及び固定側転動面間にそれぞれスラスト転が
り軸受を介在し、上記固定盤上に水面内で互いに平行に
伸縮する２個以上の駆動装置と、その駆動装置と直交す
る方向に伸縮する１個以上の駆動装置を配置し、その各
駆動装置の伸縮部と上記可動盤の側辺を継手により連結
し、該継手を上記可動盤に固定した水平方向の案内部材
と、その案内部材に取付けられたスライダと、そのスラ
イダと前記伸縮部とを連結する上下方向の回動ピンとに
より構成したことを特徴とする移動テーブル。