DE3905838C2 - Mit gemitteltem Beugungsmuster arbeitender Stellungsgeber - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft einen mit gemitteltem Beugungsmuster arbeitenden Stellungsgeber nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1.

Moderne Längenmeßverfahren arbeiten mit einem Paar von Beugungsgittern zum Erzeugen von Moir´mustern. Solche Moir´muster reagieren rasch auf geringfügige Versetzungen oder Verschiebungen der beiden Beugungsgitter gegeneinander. In Verbindung mit einer Werkzeugmaschine wird ein erstes Beugungsgitter auf beispielsweise einem feststehenden Teil der Maschine und ein zweites Beugungsgitter auf einem relativ dazu beweglichen Teil angebracht.

Bei der Anbringung der Beugungsgitter muß darauf geachtet werden, daß die Lücke zwischen den sich gegenüberliegenden Beugungsgittern stets konstant gehalten wird. Durch Wahl einer relativ kleinen Gitterkonstanten für die beiden Beugungsgitter läßt sich eine hohe Auflösung des Stellungsgebers erzielen. Der Einfluß des Lichtbeugungseffekts wird sehr groß. Ein auf das zweite Beugungsgitter reflektierter Schatten des ersten Beugungsgitters wird entsprechend schwach, so daß es unter Umständen nicht mehr möglich ist, Beugungsmuster mit guter Sichtbarkeit bzw. Detektierbarkeit zu erhalten.

Um derartige Nachteile auszu­ schließen, wurde ein Fourierbild dazu verwendet, Beugungs-Moir´muster zu erhalten. Ein Fourierbild bedeutet eine Verteilung von dunklen und hellen Ab­ schnitten aufgrund einer Lichtabschattung. Wenn das erste Gitter von parallelen Lichtstrahlen gleicher Phase oder mit Kohärenz bestrahlt wird, erhält man eine Lichtabschattung oder Lichtverteilung mit der­ gleichen Gitterkonstanten, wie der des ersten Beugungs­ gitters, und zwar an Stellen, die sich dadurch be­ stimmen, daß man mit einer ganzen Zahl den fest­ stehenden Abstand multipliziert, indem man das zwei­ fache der zum Quadrat erhobenen Gitterkonstanten P durch die Wellenlänge teilt (an den Mittelpositionen der genannten Stellen, d.h. an Stellen, die sich durch Multiplizieren des erwähnten Abstands mit einer halbierten ganzen Zahl ergeben, erhält man eine Licht­ abschattung mit der umgekehrten Beziehung von dunklen und hellen Abschnitten).

Wenn das zweite Gitter an der Stelle plaziert wird, an der das Fourierbild erzeugt wird, und die zwei Gitter seitlich und relativ zueinander bewegt werden, zeigt das durch das zweite Gitter gelangende Beugungs­ licht einen deutlichen Kontrast mit einer Periode P. Diesen Kontrast nennt man ein Beugungsmoir´ (oder im folgenden Beugungsmuster). In jüngster Zeit wurden Untersuchungen vorgenommen, die darauf abzielten, dieses Prinzip bei der Kurzwegmessung zu verwenden, so z.B. bei dem Maskenausrichtschritt im Zuge der Halbleiter­ fertigung (vergleiche J.Vac.Sci.Technol. 15 (1987), S. 984 und J.V.Vac. Sci. Technol. B1 (1983), S. 1276).

Wenn der zu messende Abstand groß und die Gitter­ konstante P kleingemacht wird, um die Genauigkeit der Abstandsmessung zu vergrößern, so ist es schwierig, zwei Beugungsgitter an in Längsrichtung getrennten Stellen auf einer Distanz von 2P²/ λ zu halten, um ein Fourierbild zu erzeugen, da der Abstand sich im Verhältnis zu der quadrierten Gitterkonstanten P abrupt verkürzt. Wenn der Abstand oder der Spalt zwischen den Beugungsgittern sich gegenüber dem Zustand, in welchem ein Fourierbild erzeugt wird, ändert oder verschiebt, ändert sich die Intensität des Beugungs­ lichts stark, was eine Positionierung der Werkzeug­ maschinenteile unmöglich macht. Nimmt man z.B. eine Beugungsgitterkonstante P von 1 µm an, während der Lichtstrahl eine Welle von λ=0,633 µm aufweist, so muß eine Änderung des Abstands oder der Lücke G des Beugungsgitters beschränkt werden auf einen ausreichend kleinen Bereich in bezug auf 1,6 µm, was eine Fresnel-Zahl (λ×G)/P²=2 ergibt, dieses Ergebnis erhält man, indem man das Produkt aus Lücken­ größe G zwischen den Beugungsgittern und der Licht­ wellenlänge λ dividiert durch die quadrierte Gitterkontante P. Dies ist der Grund dafür, daß Beugungsmuster nicht dazu verwendet werden können, jeden Abstand zwischen zwei Teilen, wie sie üblicher­ weise in Werkzeugmaschinen verwendet werden, genau zu messen.

Im Hinblick auf die oben gezeigten Umstände wurde von der Anmelderin (JP-OS 61-17 016) in Übereinstimmung mit dem Oberbegriff des Anspruchs 1 ein Stellungsdetektor zum genauen Bestimmen irgendwelcher Stellungen vorgeschlagen.

Bei diesem Stellungsdetektor wird ein Beugungsmustersignal erhalten, welches nicht beein­ flußt ist durch eine Änderung der Lücke zwischen dem ersten und dem zweiten Beugungsgitter, und die Anordnung ist empfindlich gegenüber seitlicher Versetzung der Beugungsgitter. Bei diesem Gerät wird an sämtlichen Abschnitten der effektiven gegenüberliegenden Fläche zwischen dem ersten und dem zweiten Gitter der Licht­ weg oder der Durchgangsweg der Lücke zwischen den Gittern geändert, so daß ein Signal erhalten wird, welches dem Mittelwert der Beugungsmustersignale ent­ spricht. Die richtige Stellung wird erfaßt unter Ver­ wendung der Änderung der Signale derjenigen Periode, die der Periode der halben Gitterkonstante P der Beugungsgitter entspricht, wobei die Änderung in dem Mittelwert zum Ausdruck kommt.

Fig. 1 bis 3 zeigen jeweils ein Beispiel für einen mit gemitteltem Beugungsmuster arbeitenden Stellungs­ geber der oben beschriebenen Art. Die Arbeitsweise des Stellungsgebers soll im folgenden für den Fall beschrieben werden, daß ein Beugungslaserstrahl nullter Ordnung verwendet wird.

Bei der Anordnung nach Fig. 1 wird das erste Gitter 1 von einem Laserstrahl LB auf der linken Bildseite be­ strahlt. Man beachte, daß das zweite Gitter 2 an der Rückseite des ersten Gitters 1 eine abgestufte transparente Platte 3 aufweist, die an dem zweiten Gitter 2 befestigt ist. Die abgestufte transparente Platte 3 besteht aus einem Material mit hohem Brechungsindex, welches so ausgewählt ist, daß der optische Bereich der Lücke G in einen der Werte von

G_o bis G_o + 2P ²/λ

fällt. Die abgestufte transparente Platte 3 erzeugt Lichtweg-Längenunterschiede in jedem Teil des Laser­ strahls LB. Die abgestufte transparente Platte 3 nach Fig. 1 besitzt fünf Stufen, die den Bereich des optischen Abstands 2P ²/λ in fünf Teile unterteilt. An einer Stelle hinter dem zweiten Gitter 2 befindet sich eine seriell angeordnete Linsengruppe 4, die die durch die unterschiedliche optische Abstände aufweisenden fünf Zonen des zweiten Gitters 2 gelangenden Laserstrahlen konvergiert.

Von den einzelnen Linsen der Linsengruppe 4 jeweils konvergierte Laserstrahlen werden mit Hilfe eines Satzes von Fotodioden erfaßt. Ein Addierer 7, der durch einen Operationsverstärker und zugehörige Schaltungselmente gebildet wird, addiert die von den Fotodioden 5 kommenden Signale, um Versetzungssignale zu erhalten.

Im Fall nach Fig. 2 sind das erste Gitter 1 und das zweite Gitter 2 parallel angeordnet, wobei an dem letztgenannten Gitter 2 eine Zufallslichtwegdifferenz- Platte 9 einstückig angeformt ist. Diese Zufallslicht­ wegdifferenz-Platte besteht aus einem transparenten Stoff und hat eine konkav-konvexe Oberfläche. Diese konkav-konvexe Oberfläche bestimmt auf Zufallsbasis die verschiedenen Lichtwegabstände jedes Teils des Laserstrahls LB innerhalb des Bereichs von 2P ²/λ. Einzelne Teile des Laserstrahls LB konvergieren durch die Linsengruppe 4 in Richtung der Streuplatte 10. Die Brennpunkte des durch jede Linse der Linsengruppe 4 gelangenden Laserstrahls befinden sich in einer vertikalen Lichtlinie auf der Streuplatte 10. Das heißt: Jeder Teil des fokussierten oder konvergierten Laserstrahls wird aufgrund der Streuplatte 10 zu einem inkohärenten Strahl. Ein von der Streuplatte 10 ge­ streuter Laserstrahl gelangt durch eine konvexe Linse 11, und ein Photosensor 12, z.B. eine Fotodiode oder der­ gleichen, stellt den Laserstrahl in der in Fig. 2 angedeuteten Weise fest. Aufgrund der Verwendung der Streuplatte sowie der Tatsache, daß einzelne Laser­ strahlen durch unterschiedliche Lücken-Distanzen oder unterschiedliche Lichtwegabstände laufen, werden diese Laserstrahlen ohne gegenseitige Beeinflussung gemittelt.

Fig. 3 zeigt ein weiteres Beispiel für eine her­ kömmliche Anordnung. Ein erstes Gitter 1 ist vertikal bezüglich dem auftreffenden Laserstrahl LB angeordnet, während das zweite Gitter 2 schräg zu dem ersten Gitter 1 angeordnet ist. Der Lückenabstand der sich effektiv gegenüberliegenden Flächenbereiche zwischen den beiden Gittern 1 und 2 wird so gesteuert, daß er im Bereich von 2P ²/λ liegt. Also kann nur das Beugungslichtmaximum nullter Ordnung des durch die Gitter 1 und 2 gelangenden Laserstrahls auf einen Photodetektor 13 gelangen und erfaßt werden.

Fig. 4 ist eine perspektivische Ansicht, die der Ansicht nach Fig. 3 ähnelt und einen mit gemitteltem Beugungsmuster arbeitenden Stellungsgeber zeigt, bei dem sekundäres Beugungslicht verwendet wird. Bei dem Stellungsgeber wird die Lücke zwischen den beiden Gittern 1 und 2 so gesteuert, daß Abstände erhalten werden die man durch den Faktor P ²/4 λ erhält. Im Fall der Verwendung des zweiten Beugungsmaximums (Beugungsmaximum oder -streifen zweiter Ordnung) er­ folgt die im Fall des Beugungslichts nullter Ordnung entstehende Abschattung an der Stelle, die durch den Faktor P ²/4 λ bestimmt wird. Diese Stelle unter­ scheidet sich von der Stelle, die man bei der Ver­ wendung des Beugungsmaximus nullter Ordnung erhält. Es empfiehlt sich, die Lücken-Lichtwegentfernungen zu mitteln, die man erhält, indem man den Lücken- Lichtwegabstand von 2P ²/λ, der bei Verwendung des Beugungsmaximus nullter Ordnung zu mitteln ist, in acht Teile unterteilt. Nebenbei bemerkt: Bei Ver­ wendung des zweiten Beugungsmaximus ist selbst dann, wenn der Bereich 2P ²/λ enthalten ist, der identisch ist mit dem Bereich bei Verwendung des Beugungsmaximums nullter Ordnung, die Bedingung der gemittelten Lücken- Lichtwegentfernung für die Verwendung des Sekundär- Beugungsmaximums erfüllt, da die Breite der Lücke dem Wert P ²/4 λ, multipliziert mit einer ganzen Zahl, entspricht. Es versteht sich, daß, wenn in einem ähnlichen optischen System ein Sekundär-Beugungs­ maximum (einschließlich Beugungsmaxima anderer Ordnung) verwendet wird, die Möglichkeit besteht, exakt die Stellung zu erfassen, ohne daß eine Änderung der Spaltbreite zwischen erstem und zweitem Gitter irgend­ einen Einfluß auf das Meßergebnis hat, ähnlich wie bei der Verwendung des Beugungsmaximums nullter Ordnung.

Bei den verschiedenen herkömmlichen Stellungsgebern, die mit gemittelten Beugungsmustern arbeiten, ändert sich die Lichtintensität I in Abhängigkeit der relativen Versetzung X der Beugungsgitter in der in Fig. 5 dargestellten Weise. Es ist möglich, ein Ver­ setzungs- oder Verschiebungssignal zu erhalten, dessen Periodendauer der Hälfte der Gitterkonstanten P der Beugungsgitter entspricht, ohne daß das Meßergebnis irgendwie beeinflußt ist von einer Änderung der Spaltgröße zwischen erstem und zweitem Gitter. Das Versetzungssignal läßt sich angenähert durch folgende Gleichung beschreiben:

I(x) = A cos (2π 2 x/P) + B (1)

worin
A: Amplitude
B: Versetzungskomponente
bedeutet.

Wenn allerdings irgendeine Differenz zustandekommt zwischen den zu mittelnden Spalt-Lichtwegabständen während eines Montagevorganges und während des Betriebs einerseits und einem weiteren, gerade gemittelten Lichtwegabstand andererseits, oder wenn die Installation fehlerhaft ist, kann das erhaltene Versetzungssignal eine Fehlerkomponente enthalten, die eine Periode der Gitterkonstanten P des Gitters enthält, und/oder Fehler­ komponenten ungeradzahliger Ordnung. Wenn das Ver­ setzungssignal eine solche Fehlerkomponente enthält, ist es leider unmöglich, eine präzise Stellungsmessung durchzuführen, da die Wiederholbarkeit oder Repro­ duzierbarkeit des Versetzungssignals einer Periode P/2 nicht erhalten werden kann.

Aus J. Vac. Sci. Technol., October/December 83, S. 1276-1279 ist es zum Ausrichten zweier relativ bewegter Teile bekannt, auf jedem der Telle ein Beugungsgitter anzuordnen und aus dem Beugungsspektrum jeweils den positiven und den negativen Anteil gleicher Ordnung auf einen Addierer zu geben, dessen Ausgangssignal als Ausrichtungssignal verwendet wird.

Aus der DE-OS 19 13 139 ist ein mit Gittern arbeitender Stellungsgeber bekannt, bei dem zwei relativ gegeneinander bewegte Gitter einen Phasenabstand von einer halben Gitter-Strichperiode aufweisen. Die speziellen Effekte von Beugungsgittern werden hier nicht ausgenutzt. Die Ausgangssignale, die von den beiden Gittern gewonnen werden, werden durch einen Subtrahierer subtrahiert, um die Signalamplitude zu verdoppeln. Eine ähnliche Anordnung ist aus der DE-AS 1 282 988 bekannt. Auch hier gibt es eine bestimmte Versetzung der Beugungsgitterabschnitte um eine halbe Gitterteilung. Allerdings werden durch diese Maßnahmen nicht die oben angesprochenen Probleme periodischer Fehler beseitigt.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen mit gemittelten Beugungsmuster arbeitenden Stellungsgeber anzugeben, der gegenüber Fehlern, die z. B. durch eine ungenaue Montage hervorgerufen werden, unempfindlich ist und exakte Stellungsmessungen gestattet.

Gelöst wird diese Aufgabe durch die im Anspruch 1 angegebene Erfindung. Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen angegeben.

Im folgenden werden Ausführungsbeispiele der Erfindung anhand der Zeichnung näher erläutert.

Es zeigen:

Fig. 1 bis 4 perspektivische, schematische An­ sichten von bereits konzipierten Beugungsmusterdetektoren, die mit gemitteltem Beugungsmuster ar­ beiten,

Fig. 5 den Verlauf einer Ausgangswelle eines herkömmlichen, mit gemittel­ tem Beugungsmuster arbeitenden Stellungsgebers,

Fig. 6 eine perspektivische Ansicht einer ersten Ausführungsform eines er­ findungsgemäßen Stellungsgebers,

Fig. 7 ein Beispiel für ein in dem Stellungsgeber nach Fig. 6 ver­ wendetes Beugungsgitter,

Fig. 8 eine perspektivische Ansicht einer zweiten Ausführungsform eines er­ findungsgemäßen Stellungsgebers,

Fig. 9 ein Beispiel für ein in dem Stellungsgeber nach Fig. 8 ver­ wendetes Beugungsmuster,

Fig. 10A-10C Kennliniendiagramme, die die Aus­ gangswellenformen für das erste und das zweite Ausführungsbeispiel der Erfindung veranschaulichen.

Fig. 6 zeigt in perspektivischer Ansicht schematisch eine erste Ausführungsform eines erfindungsgemäßen, mit gemitteltem Beugungsmoir´ arbeitenden Stellungs­ gebers. Ähnliche Teile wie in Fig. 1 sind mit ent­ sprechenden Bezugszeichen versehen. Auf einer Seite des zweiten Gitters 2 des Stellungsgebers sind gemäß Fig. 7 zwei Gitterabschnitte 2A und 2B ausgebildet, die jeweils aus durchlässigen Bereichen (schraffierte Bereiche) und nicht-durchlässigen Bereichen bestehen. Die durch­ lässigen und die nicht-durchlässigen Bereiche sind wiederholt und abwechselnd mit einer Gitterkonstanten P von einigen Mikrometern bis einigen hundert Mikrometern angeordnet. Diese Gitterabschnitte 2A und 2B sind in Versetzungsrichtung des zweiten Gitters 2 benachbart und parallel zueinander angeordnet. Die Gitterabschnitte 2A und 2B sind in ihrer Phase um P/2 versetzt, so daß, wenn der durchlässige Teil des Gitterabschnitts 2A dem durchlässigen Teil des ersten Gitters 1 gegenüberliegt, der durchlässige Teil des Gitterabschnitts 2B dem nicht-durchlässigen Teil des ersten Gitters 1 gegenüber­ steht.

Mit einem solchen Aufbau ändert sich, wenn das Ver­ setzungs- oder Verschiebungssignal eine Fehlerkomponente enthält, die Lichtintensität des beispielsweise durch den Gitterabschnitt 2A gelangenden Laserstrahls, so daß die Form der Welle eines Versetzungssignals I_A(X) sich in der in Fig. 10A dargestellten Weise ändert, was durch die nachstehende Gleichung (2) ausgedrückt wird.

I_A (x) = a cos (2 π x/P) + A cos (2 π · 2 x/P) + B (2)

worin a eine Amplitude der Fehlerkomponente mit der Periode P ist.

Da der Gitterabschnitt 2B von dem anderen Gitterab­ schnitt 2A lediglich um P/2 in der Phase verschoben ist, erhält man als Wellenform für das Versetzungs­ signal I_B(X) eine Änderung der Lichtintensität des durch den Gitterabschnitt 2B gelangten Laserstrahls gemäß Fig. 10(B) folgende Beziehung:

I_B (x) = a cos {2 π (x/P - 1/2)} + A cos {2 π (2 x/P -1/2)} + B
     = -a cos (2 π x/P) + A cos (2 π · 2 x/P) + B (3)

Deshalb ist es zu bevorzugen, den Gitterabschnitt 2A identisch mit dem Gitterabschnitt 2B hinsichtlich der Gitterabschnittsflächen auszugestalten und die Gitter­ abschnitte so anzuordnen, daß die durch die Gitter­ abschnitte gelangenden Laserstrahlen gleiche Intensität haben. Die durch die Gitterabschnitte 2A und 2B ge­ langenden Laserstrahlen werden gleichzeitig photo­ elektrisch umgesetzt. Die einzelnen Lichtintensitäten werden addiert, mit der Folge, daß die Fehlerkomponenten mit einer Periode P einander auslöschen und man dem­ zufolge ein präzises und korrektes Versetzungssignal mit einer Periode P/2 erhält, wie es in Fig. 10(C) dar­ gestellt ist.

Fig. 8 ist eine perspektivische Ansicht einer zweiten Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Stellungs­ gebers, der mit gemittelten Beugungsmustern arbeitet. Der Stellungsgeber hat Ähnlichkeiten mit dem in Fig. 2 dargestellten Stellungsgeber. In den Fig. 2 und 8 sind für gleiche Teile gleiche Bezugszeichen verwendet. Nach Fig. 8 sind zwei Gitterabschnitte 2C und 2D an einer Seite des zweiten Gitters 2 des Stellungsgebers ausgebildet. Die Gitterabschnitte 2C und 2D bestehen jeweils aus mehreren durchlässigen Abschnitten (schraffiert gezeichnet), die mit einer Gitterkonstanten P von einigen Mikrometern bis einigen hundert Mikro­ metern angeordnet sind, und mehreren nicht-durch­ lässigen Abschnitten bestehen, welche die durchlässigen Abschnitte umgeben und abwechselnd mit der Gitter­ konstanten P angeordnet sind. Diese Gitterabschnitte 2C und 2D sind entlang der Richtungen der durchlässigen Abschnitten in der in Fig. 9 dargestellten Weise be­ nachbart angeordnet. Die Richtungen der durchlässigen Abschnitte stehen senkrecht auf der Versetzungsrichtung des zweiten Gitters 2. Die beiden Gitterabschnitte sind mit einer Verschiebung von P/2 angeordnet. Der Effekt dieser Ausgestaltung des zweiten Ausführungsbeispiels ist dem nach dem ersten Ausführungsbeispiel identisch. Der Grund für die Wirkung dieser Anordnung wurde oben in Verbindung mit dem ersten Ausführungsbeispiel er­ läutert.

Bei diesen mit gemittelten Beugungsmustern arbeitenden Stellungsgebern nach dem ersten und dem zweiten Aus­ führungsbeispiel der Erfindung ist es möglich, jegliche Fehlerkomponente mit einer Periode P sowie andere Fehlerkomponenten mit den Perioden P/3, P/5, P/7 usw. aus den Meßergebnissen fernzuhalten.

Man kann den Aufbau dieser Stellungsgeber dadurch ändern, daß man ein einziges photoelektrische Wandler­ element zum Empfang mehrerer durch einzelne Gitter­ abschnitte gelaufener Laserstrahlen vorsieht, so daß man durch Addition einen verstärkten Effekt erzielt. Man kann auch eine elektrische Schaltung zum Addieren der Ausgangssignale diskreter photoelektrischer Wandler­ elemente vorsehen. Im letztgenannten Fall ist es effektiver, eine elektrische Einrichtung zum Steuern des Verhältnisses der zu addierenden Lichtintensitäten zu verwenden (z.B. eine Additionsverhältnis-Steuer­ einrichtung, die der Addiereinrichtung vorgeschaltet ist). Man kann auch dazu einen optischen Mechanismus verwenden (z.B. bewegliche Abschirmungen, wie sie in Fig. 7 zwischen den einzelnen Gitterabschnitten und der Linsengruppe gezeigt sind). Obschon bei den oben beschriebenen Ausführungsbeispielen das Beugungs­ licht, d.h. das Beugungsmaximum nullter Ordnung ver­ wendet wird, kann man auch andere Beugungsmaxima her­ nehmen.

Claims (6)

1. Mit gemitteltem Beugungsmuster arbeitender Stellungsgeber, umfassend:

• - ein erstes Beugungsgitter (1; 21),
• - ein seitlich in bezug auf das erste Beugungsgitter bewegbares zweites Beugungsgitter (2; 22) mit zwei Gitterabschnitten (2A-2D), die in Bewegungsrichtung versetzte Teilungen aufweisen,
• - eine Lichtquelle, die Licht auf das erste Beugungsgitter abgibt, wobei das von diesem kommende Licht auf das zweite Beugungsgitter gelangt,
• - eine zwischen dem ersten und dem zweiten Beugungsgitter befindliche Einrichtung (3) zum Ändern der Lücken-Lichtweglänge zwischen Teilen der sich effektiv gegenüberliegenden Flächenbereiche der beiden Beugungsgitter in demjenigen Bereich des Lichtdurchgangswegs, der dem zweifachen der Fresnel-Zahl oder deren Produkt mit dem zweifachen einer ganzen Zahl entspricht, und
• - eine dem zweiten Beugungsgitter optisch nachgeordnete Signalerzeugungseinrichtung (4, 5, 7; 25) zum Erfassen der gemittelten Lichtintensitätswerte aus den zwei Gitterabschnitten (2A-2D) während der Relativbewegung der Beugungsgitter derart, daß den Intensitätswerten entsprechende Signaländerungen mit einer der Hälfte der Gitterkonstanten (P) der Beugungsgitter entsprechenden Periode vorliegen, dadurch gekennzeichnet,

daß an dem zweiten Beugungsgitter (2) die zwei Gitterabschnitte (2A, 2B; 2C, 2D) um eine halbe Gitterkonstante (P/2) versetzt sind, und daß die aus den beiden Gitterabschnitten stammenden Signale addiert werden.

2. Stellungsgeber nach Anspruch 1, bei dem die zwei Gitterabschnitte (2A, 2B) derart angeordnet sind, daß sie sich in Richtung der relativen Bewegung der Beugungsgitter (1, 2) benachbart sind.

3. Stellungsgeber nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die zwei Gitterabschnitte (2C, 2D) senkrecht zur Bewegungsrichtung der Beugungsgitter (1, 2) benachbart angeordnet sind.

4. Stellungsgeber nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Signalerzeugungseinrichtung die Signale entweder in Form von Lichtintensitäten oder in Form von elektrischen Signalen addiert.

5. Stellungsgeber nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch eine Steuereinrichtung, die das Verhältnis zwischen den Intensitäten des durch die zwei Gitterabschnitte gelangenden Lichts steuert.