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DE3739955A1 - Vorrichtung zur ultraschall-drahtkontaktierung - Google Patents

Vorrichtung zur ultraschall-drahtkontaktierung

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Publication number
DE3739955A1
DE3739955A1 DE19873739955 DE3739955A DE3739955A1 DE 3739955 A1 DE3739955 A1 DE 3739955A1 DE 19873739955 DE19873739955 DE 19873739955 DE 3739955 A DE3739955 A DE 3739955A DE 3739955 A1 DE3739955 A1 DE 3739955A1
Authority
DE
Germany
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pin
wire
bonding
sonotrode
guide tube
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
DE19873739955
Other languages
English (en)
Inventor
Manfred Dipl Ing Bansemir
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Elektromat VEB
Original Assignee
Elektromat VEB
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Elektromat VEB filed Critical Elektromat VEB
Publication of DE3739955A1 publication Critical patent/DE3739955A1/de
Withdrawn legal-status Critical Current

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Description

Anwendungsgebiet der Erfindung
Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zur Ultraschall-Drahtkontaktierung, mit der Kontaktstellen mittels Ultraschallschweißen durch Drahtbrücken verbunden werden können, beispielsweise Anschlußstellen auf Bauelementeträgern mit den Bondinseln von Halbleiterchips.
Charakteristik der bekannten technischen Lösungen
Bei den bekannten Vorrichtungen zur Ultraschall-Drahtkontaktierung wird in der Regel der Draht durch eine hinter der Schweißfläche einer Sonotrode angeordnete schräge Bohrung in Längsrichtung des Ultraschallschwingers zugeführt und geschweißt. Dieses übliche Arbeitsprinzip verlangt, daß vor der Ausführung jeder Drahtbrücke die Verbindungsrichtung ihrer zwei Anschlußstellen mit der Achsrichtung des Ultraschallschwingers in Übereinstimmung gebracht werden muß.
Dazu kann entweder die Bauteilaufnahme oder ein den Ultraschallschwinger enthaltender Bondkopf in die erforderliche Richtung eingestellt werden. Bei automatisch arbeitenden Vorrichtungen ist für bestimte Anwendungsgebiete, z. B. für die Bearbeitung sogenannter Hybrid-Bauelemente die Realisierung durch Einstellen des Bondkopfes vorteilhaft. Bekannte Vorrichtungen dieser Art besitzen einen um eine vertikale, annähernd durch die Schweißfläche am Fuß der Sonotrode verlaufende Achse drehbaren Bondkopf, der in der Regel auch eine vertikale Hubbewegung ausführen kann. Alle bekannten Ausführungen besitzen außerdem eine in der Nähe der Drehachse liegende optische Anordnung, mit der das zu bearbeitende Bauelement mittels einer TV-Kamera auf dem Monitor abgebildet werden kann.
Die Drahtzuführung verläuft bei diesen Vorrichtungen in der Regel durch eine im Bereich von 30 bis 60 Grad zur Horizontalen geneigte schräge Bohrung im Bondrüssel. Das automatische Vorschieben und Trennen des Drahtes wird üblicherweise durch eine Zange bewirkt, die den Draht hinter der Sonotrode mit zwei Klemmbacken spannt. Durch Bewegung der Klemmbacken in Längsrichtung des zuzuführenden Drahtes, koordiniert mit der Spannbewegung der Klemmbacken, wird der Draht vor der Ausführung der 1. Schweißverbindung einer Drahtbrücke unter die Schweißfläche der Sonotrode vorgeschoben und nach Ausführung der 2. Schweißverbindung dieser Drahtbrücke an der Hinterkante der Schweißfläche der Sonotrode abgerissen.
Bei bekannten Vorrichtungen mit drehbarem und vertikal beweglichem Bondkopf ist die Vorratsspule für den Draht am Bondkopf angeordnet. Diese Anordnung erfordert die Verwendung relativ kleiner und leichter Drahtvorratsspulen, um den speziell für die Bondkopfdrehung benötigten Freiraum und das Massenträgheitsmoment um die Drehachse in Grenzen zu halten.
In der Praxis bekannt und z. B. in US-PS 42 39 144 beschrieben sind Vorrichtungen, bei denen eine übliche leichte Spule mit etwa 12,5 mm Durchmesser und 19 mm Länge drehbar auf einen Zapfen am Bondkopf aufgesteckt wird. Beim Ziehen der Drahtbrücken wird der Draht von der Spule abgerollt. Nachteilig bei dieser Ausführung ist, daß der Spulenkörper mit beschleunigt und gedreht werden muß. Dadurch schwanken die Nachzugskräfte für den Draht und die sichere Zuleitung der für eine elektrische Bondfehlerkontrolle erforderlichen Prüfspannung zum Bonddraht ist problematisch. Ein weiterer Nachteil ist, daß die Spulen für Drähte über etwa 0,05 mm Durchmesser schlecht geeignet sind.
In der Praxis bekannt ist weiterhin eine Vorrichtung, bei der der Draht über die Stirnseite eines fest am Bondkopf gehaltenen Spulenkörpers abgezogen wird. Der Spulenkörper ist kleiner als bei den üblicherweise für diese Art des Drahtabzuges verwendeten Spulen ausgeführt. Nachteilig dabei ist, daß dadurch auch die Vorratsmenge an Draht je Spule geringer ist und die Spulen ebenfalls nur für dünne Drähte geeignet sind. Außerdem sind Platzbedarf und Masse für die Spule und ihre Halterung bei dieser Ausführung bereits relativ groß.
Ziel der Erfindung
Das Ziel der Erfindung ist es, eine Vorrichtung zur Ultraschall-Drahtkontaktierung zu schaffen, bei der der Einsatz beliebiger üblicher Drahtvorratsspulen bei solchen Vorrichtungen möglich, der Bereich der verarbeitbaren Drahtdurchmesser erweitert ist, günstige Bedingungen für eine automatische Bondfehlerkontrolle geschaffen sind und die Arbeitsgeschwindigkeit bei der Herstellung der Drahtverbindungen verbessert ist.
Darlegung des Wesens der Erfindung
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung zur Ultraschall-Drahtkontaktierung zu schaffen, die eine Drahtzuführung beinhaltet, bei der die Vorratsspule für den Draht ortsfest außerhalb des drehbaren und vertikal bewegbaren Bondkopfes angeordnet ist und bei der die bei der Herstellung der Drahtverbindungen auftretenden Nachzugskräfte für den Draht gering und konstant reproduzierbar sind. Zur Lösung der Aufgabe wird von einer Vorrichtung zur Ultraschallkontaktierung ausgegangen, bei der der Bonddraht durch Schrägbohrungen in Bondrüssel und Sonotrode zugeführt und durch hinter der Sonotrode angeordnete Zangenbacken vorgeschoben und getrennt wird und bei der ein im wesentlichen aus Ultraschallschwinger mit Sonotrode und einem Zangenmechanismus bestehender Bondkopf an einen Zapfen befestigt ist.
Der Zapfen weist eine exzentrische Längsbohrung mit einem am unteren Bohrungsaustritt eingeschraubten Mikroskopobjektiv sowie einen an der oberen Stirnseite zentrisch befestigten Flansch auf und ist in einer kombinierten Axial- und Radialführung montiert, in der er mittels zweier unabhängiger Antriebe vertikal in Richtung der Sonotrodenachse bewegt und um seine annähernd zentrisch zur Schweißfläche am Fuß der Sonotrode liegende Achse gedreht werden kann.
Erfindungsgemäß wird die Aufgabe dadurch gelöst, daß der Zapfen für die Drahtzuführung eine in Richtung des Ultraschallschwingers angeordnete Längsnut aufweist. In diese Längsnut ist ein Führungsrohr eingelegt, dessen oberes Ende in der Nähe der Drehachse vertikal aus dem Flansch austritt und dessen unteres Ende im Bereich der Bondkopfbefestigung, das heißt unterhalb der kombinierten Axial- und Radialführung schräg nach außen etwa in Richtung einer Tangente an den oberen Umfangsbereich eines am Bondkopf angeordneten Umlenkzapfens geneigt aus dem Zapfen austritt. Über dem oberen Ende des Führungsrohres ist ein nicht mit der Drehbewegung gekoppeltes Umlenkelement für den Draht angeordnet. Der von einer ortsfest außerhalb der Bondkopfführung angeordneten Vorratsspule kommende Draht läuft über dieses Umlenkelement, in das Führungsrohr. Nach dem Austritt aus dem Führungsrohr wird der Draht durch den am Bondkopf angeordneten Umlenkzapfen in die Richtung der schrägen Bohrung im Bondrüssel umgelenkt und durch diese Bohrung und die Klemmbacken der Zange zur Sonotrode geführt. Durch die feste Zuordnung von Bondkopf, Optikanordnung und Führungsrohr und Drahteintritt in der Nähe der Drehachse ist die Winkelstellung des Bondkopfes für die Drahtzuführung ohne Bedeutung.
In einer vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung ist der Umlenkzapfen an einem um eine zu ihm parallele Achse schwenkbaren Hebel angeordnet, der durch eine Zugfeder in bezug auf den Bonddraht nach innen gegen einen Anschlag gezogen ist.
Am Hebel ist ein parallel zur Achse liegender Stift angeordnet. Weiterhin befindet sich an der Radialführung für den Bondkopf ein in der Höhe verstellbarer Steg. Beim Anheben des Bondkopfes kann der Steg den Stift nach außen drücken und damit auch den Umlenkzapfen in bezug auf den Bonddraht nach außen bewegen. Der Steg ist so eingestellt, daß diese Bewegung im oberen Bereich des Anhebens nach Beendigung einer Drahtbrücke erfolgt. Die Drahtzange ist zu diesem Zeitpunkt geschlossen und durch die Bewegung des Umlenkzapfens wird Draht von der Vorratsspule nachgezogen.
Bei einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung ist das Umlenkelement über dem Führungsrohr an einem zur Übertragung der Vertikalbewegung vom Antrieb auf den Flansch des Zapfens dienenden Hebel befestigt, dadurch folgt es der Vertikalbewegung des Zapfens. In einer anderen Ausgestaltung der Erfindung setzt sich das Führungsrohr nach seinem unteren Austritt aus dem Zapfen in einem zunächst nach außen und dann nach innen gerichteten Bogen fort, dessen Austrittsrichtung etwa mit der Richtung der Bohrung im Bondrüssel übereinstimmt. Der Bonddraht läuft ohne weitere Umlenkung vom Führungsrohr in die Bohrung im Bondrüssel ein. Vorteilhaft ist außerdem, das Führungsrohr gegen die übrigen Teile der Vorrichtung isoliert zu befestigen oder aus elektrisch isolierendem Material herzustellen.
Ausführungsbeispiel
Die Erfindung soll nachstehend an einem Ausführungsbeispiel näher erläutert werden. In den Zeichnungen zeigt
Fig. 1 eine Teildraufsicht auf die Vorrichtung;
Fig. 2 eine Teilansicht von der Seite;
Fig. 3 einen Schnitt durch die Bondkopfführung entlang Linie A-A in Fig. 1;
Fig. 4 eine Seitenansicht auf die Vorrichtung mit Teil­ schnitt entlang Linie B-B in Fig. 1.
Die Vorrichtung zur Ultraschall-Drahtkontaktierung entsprechend Fig. 1 bis 4 ist über einen Basiskörper 1 in einem in der Zeichnung nicht dargestellten Gestell angeordnet, wobei sie entweder ortsfest oder auch an einem in x-/y-Richtung verfahrbaren Tisch montiert sein kann.
Als Radialführung für den Bondkopf 2 dient ein spielfrei einstellbares, zweireihiges Kugellager, dessen Außenring 9 im Basiskörper 1 gehalten ist. Der Innenring 10 der Radialführung dient auch als Außenbuchse einer außerdem aus der Innenbuchse 11 und dem mit Kugeln 13 bestückten Kugelkäfig 12 bestehenden konzentrischen Längsführung für den Bondkopf 2. Die steuerbare Drehbewegung für den Bondkopf 2 wird mittels eines Zahnriemens 15 von einem auf den Basiskörper 1 montierten Drehantrieb auf das mit der oberen Stirnseite des Innenringes 10 verschraubte Zahnriemenrad 14 übertragen. An der unteren Stirnseite des Innenringes 10 ist eine Trommel 16 befestigt. Sie dient zur Befestigung und Führung flexibler elektrischer Zuleitungen 17 zum Bondkopf 2.
Der im wesentlichen aus dem Ultraschallschwinger 35 mit Bondrüssel 36 und Sonotrode 39, der Halterung des Ultraschallschwingers und einem hier nicht näher erläuterten Zangenmechanismus mit der Zange 38 zum Vorschieben und Trennen des Drahtes bestehende Bondkopf 2 ist an der Stirnseite eines Zapfens 3 so befestigt, daß die Zapfenachse parallel zur Sonotrodenachse und annähernd durch die Schweißfläche am Fuß der Sonotrode verläuft.
Der Zapfen 3 ist in die Innenbuchse 11 der Führung eingesetzt und über eine Spannhülse 7 durch den mit Schrauben gegen seine obere Stirnseite gezogenen Flansch 6 festgespannt. Der Flansch 6 dient außerdem zur Einleitung der steuerbaren Vertikalbewegung für den Bondkopf 2. Dazu greifen in seinem äußeren Stirnbereich von oben und unten zwei Rollen 26 an, die über einen Hebelmechanismus mit einem auf den Basiskörper 1 montierten Vertikalantrieb verbunden sind. In der am Innenring 10 befestigten Trommel 16 ist parallel zur Drehachse ein Stift 19 angeordnet. Zwei am Bondkopf 2 angeordnete Rollen 18 liegen beidseitig an ihm an und übertragen so die Drehbewegung auf den Bondkopf 2 und den mit ihm verbundenen Zapfen 3.
Zapfen 3 und Flansch 6 weisen eine exzentrische Bohrung 8 auf, in die von unten ein Mikroskopobjektiv 20 eingeschraubt ist. Sie liegt in bezug auf den Ultraschallschwinger 35 seitlich neben der Schwingerachse und vor der Sonotrodenachse. In einem bestimmten Abstand über der Austrittsöffnung der exzentrischen Bohrung 8 ist eine TV-Kamera 21 oder in einer anderen Ausführungsvariante eine weitere Baugruppe der Abbildungsoptik angeordnet. Über dem Mikroskopobjektiv 20 kann ein unter 45° zur Achse geneigter teildurchlässiger Spiegel 22 eingesetzt sein. Durch Querbohrungen im Zapfen 3 und den Führungselementen ist mittels einer am Basiskörper 1 angeordneten Beleuchtungseinrichtung 23 über den Spiegel 22 eine Auflichtbeleuchtung des unter dem Mikroskopobjektiv 20 liegenden Objektes möglich, wenn sich die Anordnung in der in Fig. 1 dargestellten Grundstellung befindet. Für die Drahtzuführung weist der Zapfen 3 eine in Richtung des Ultraschallschwingers 35 angeordnete Längsnut 4 auf.
In diese Längsnut 4 ist ein Führungsrohr 5 eingelegt, dessen oberes Ende in der Nähe der Drehachse, jedoch außerhalb des optisch wirksamen Bereiches der exzentrischen Bohrung 8, vertikal aus dem Flansch 6 austritt. Darüber ist ein nicht mit der Drehbewegung gekoppeltes Umlenkelement 24 angeordnet, das im Ausführungsbeispiel als geschlossene Drahtöse ausgebildet ist. Das untere Ende des Führungsrohres 5 tritt im Bereich der Bondkopfbefestigung schräg nach außen geneigt aus dem Zapfen 3 aus.
Am Bondkopf 2 ist ein Umlenkzapfen 27 so angeordnet, daß sein Umfang etwa mit der Richtung der Bohrung 37 im Bondrüssel 36 und der Austrittsrichtung des Führungsrohres 5 tangiert. Der aus horizontaler oder von oben her geneigter Richtung von einer außerhalb der Bondkopfführung am Basiskörper 1 gehaltenen und hier nicht näher beschriebenen Vorratsspule kommende Bonddraht 40 läuft über das Umlenkelement 24, durch das Führungsrohr 5 und um den Umlenkzapfen 27 zur Bohrung 37 im Bondrüssel 36 und danach durch die Klemmbacken der Zange 38 zur Sonotrode 39.
Die zur Drahtführung dienenden Elemente sind gegen die übrigen Teile der Vorrichtung elektrisch isoliert befestigt oder aus elektrisch isolierendem Material hergestellt. Als Führungsrohr 5 wird vorzugsweise ein Glasrohr verwendet.
Im Ausführungsbeispiel ist der Umlenkzapfen 27 an einem um eine parallel zu ihm liegende Achse 28 schwenkbaren Hebel 29 angeordnet. Durch eine am Hebel 29 angreifende Zugfeder 30 wird der Umlenkzapfen 27 in Bezug auf den Bonddraht 40 nach innen bis zur Begrenzung durch einen einstellbaren Anschlag 31 gezogen. Der Hebel 29 weist einen parallel zur Achse 28 liegenden Stift 32 auf. Darüber ist an einem in die Trommel 16 eingesetzten Stift 33 ein in der Höhe verstellbarer Steg 34 angeordnet. Beim Anheben des Bondkopfes 2 kann der Steg 34 den Stift 32 nach außen drücken und damit auch den Umlenkzapfen 27 in bezug auf den Bonddraht 40 nach außen bewegen.
Der Steg 34 ist so eingestellt, daß diese Bewegung im oberen Bereich des Anhebens nach Beendigung einer Drahtbrücke erfolgt. Die Drahtzange 38 ist zu diesem Zeitpunkt geschlossen und durch die Bewegung des Umlenkzapfens 27 wird Draht von der Vorratsspule nachgezogen.
Beim Absenken zur Ausführung der folgenden Drahtbrücke bewegt sich der Umlenkzapfen 27 wieder nach innen und bildet eine lose Drahtreserve im Bereich über den Bondrüssel 36. Während der Ausführung der Drahtbrücke braucht dadurch kein Draht von der Vorratsspule nachgezogen werden. In diesen Arbeitszeitraum wird der Bondkopf 2 nur soweit angehoben, daß der Umlenkzapfen 27 in seiner inneren Endlage verbleibt.
In einer anderen, in Fig. 2 dargestellten Ausführungsvariante erfolgt die Umlenkung des Bonddrahtes 40 in die Richtung der schrägen Bohrung 37 im Bondrüssel 36 direkt durch das Führungsrohr 5. Der untere Teil des Führunsrohres 5 setzt sich dazu nach seinem Austritt aus dem Zapfen 3 in einem zunächst nach außen und dann nach innen gerichteten Bogen fort und endet etwa in Richtung der Bohrung 37.
Im Ausführungsbeispiel ist weiterhin das Umlenkelement 24 an dem zur Übertragung der Vertikalbewegung auf den Flansch 6 dienenden Hebel 25 angeordnet. Das Umlenkelement 24 folgt dadurch der Vertikalbewegung und es tritt dabei keine für den Bonddraht 40 wirksame Längenänderung zwischen Umlenkelement 24 und Sonotrode 39 auf.
  • Aufstellung der Bezugszeichen zur Patentanmeldung "Vorrichtung zur Ultraschall-Drahtkontaktierung"  1 Basiskörper
     2 Bondkopf
     3 Zapfen
     4 Längsnut
     5 Führungsrohr
     6 Flansch
     7 Spannhülse
     8 exzentrische Bohrung
     9 Außenring
    10 Innenring
    11 Innenbuchse
    12 Kugelkäfig
    13 Kugeln
    14 Zahnriemenrad
    15 Zahnriemen
    16 Trommel
    17 flexible elektrische Zuleitungen
    18 Rollen
    19 Stift
    20 Mikroskopobjektiv
    21 TV-Kamera
    22 teildurchlässiger Spiegel
    23 Beleuchtungseinrichtung
    24 Umlenkelement
    25 Hebel
    26 Rollen
    27 Umlenkzapfen
    28 Achse
    29 schwenkbarer Hebel
    30 Zugfeder
    31 Anschlag
    32 Stift
    33 Stift
    34 Steg
    35 Ultraschallschwinger
    36 Bondrüssel
    37 Bohrung
    38 Zange
    39 Sonotrode
    40 Bonddraht

Claims (5)

1. Vorrichtung zur Ultraschall-Drahtkontaktierung, beispielsweise zum Drahtbonden von Halbleiterbauelementen, bei der der Bonddraht durch Schrägbohrungen in Bondrüssel und Sonotrode zugeführt und durch hinter der Sonotrode angeordnete Zangenbacken vorgeschoben und getrennt wird und bei der ein im wesentlichen aus Ultraschallschwinger mit Sonotrode und einem Zangenmechanismus bestehender Bondkopf an einem Zapfen befestigt ist, der eine exzentrische Längsbohrung mit einem am unteren Bohrungsaustritt eingeschraubten Mikroskopobjektiv sowie einen an der oberen Stirnseite zentrisch befestigten Flansch aufweist und in einer kombinierten Axial- und Radialführung montiert ist, in der er mittels zweier unabhängiger Antriebe vertikal in Richtung der Sonotrodenachse bewegt und um seine annähernd zentrisch zur Schweißfläche am Fuß der Sonotrode liegende Achse gedreht werden kann, gekennzeichnet dadurch, daß der den Bondkopf (2) tragende Zapfen (3) eine in Richtung des Ultraschallschwingers (35) angeordnete Längsnut (4) aufweist, in die ein Führungsrohr (5) eingelegt ist, dessen oberes Ende in der Nähe der Drehachse vertikal aus dem Flansch (6) austritt und dessen unteres Ende unterhalb der kombinierten Axial- und Radialführung schräg nach außen etwa in Richtung einer Tangente an den oberen Umfangsbereich eines am Bondkopf (2) angeordneten Umlenkzapfen (27) geneigt aus dem Zapfen (3) austritt, daß der untere Umfangsbereich des Umlenkzapfens (27) etwa tangential zur Richtung der Bohrung (37) durch den Bondrüssel (36) liegt, daß in einem bestimmten Abstand über dem oberen Ende des Führungsrohres (5) ein nicht mit der Drehbewegung des Zapfens (3) gekoppeltes Umlenkelement (24) angeordnet ist und daß der Bonddraht (40) aus horizontaler oder nach außen geneigter Richtung kommend über das Umlenkelement (24), durch das Führungsrohr (5), um den Umlenkzapfen (27) und danach durch die Bohrung (37) im Bondrüssel (36) und die Zange (38) bis zur Sonotrode (39) geführt ist.
2. Vorrichtung zur Ultraschall-Drahtkontaktierung nach Punkt 1, gekennzeichnet dadurch, daß das Führungsrohr (5) gegen die übrigen Teile der Vorrichtung elektrisch isoliert befestigt ist oder aus elektrisch isolierendem Material, vorzugsweise aus Glas hergestellt ist.
3. Vorrichtung zur Ultraschall-Drahtkontaktierung nach Punkt 1, gekennzeichnet dadurch, daß der Umlenkzapfen (27) an einem um eine zu ihm parallele Achse (28) schwenkbaren Hebel (29) angeordnet ist, der durch eine Zugfeder (30) in bezug auf den Bonddraht (40) nach innen gegen einen Anschlag (31) gezogen ist, daß am Hebel (29) ein parallel zur Achse (28) liegender Stift (32) angeordnet ist, und daß über diesen Stift (32) an der Radialführung für den Bondkopf (2) ein in der Höhe einstellbarer, den Hebel (29) bei der Höhenbewegung des Bondkopfes (2) über den Stift (32) nach außen drückender Steg (34) angeordnet ist.
4. Vorrichtung zur Ultraschall-Drahtkontaktierung nach Punkt 1, gekennzeichnet dadurch, daß das Umlenkelement (24) an einem zur Übertragung der Vertikalbewegung von Antrieb auf den Flansch (6) des Zapfens (3) dienenden Hebel (25) befestigt ist.
5. Vorrichtung zur Ultraschall-Drahtkontaktierung nach Punkt 1 und 2, gekennzeichnet dadurch, daß das Führungsrohr (5) sich nach seinem unteren Austritt aus dem Zapfen (3) in einem zunächst nach außen und dann nach innen gerichteten Bogen fortsetzt, dessen Austrittsrichtung etwa mit der Richtung der Bohrung (37) im Bondrüssel (36) übereinstimmt und daß der Bonddraht (40) ohne weitere Umlenkung vom Führungsrohr (5) in die Bohrung (37) im Bondrüssel (36) einläuft.
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