DE3719731C2 - - Google Patents
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Description
Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung der im
Oberbegriff des Patentanspruchs 1 genannten Art.
Eine solche, aus der US-A-45 66 201 bekannten Meßeinrich
tung weist eine Spindel auf, die in einem Gehäuse geführt
ist. Die Spindel trägt eine Hauptskala, die zwischen
einem LED-Element und einer Indexskala bewegt werden
kann. Neben der Indexskala ist ein Lichtempfangselement
angeordnet. Die Indexskala, das LED-Element und das
Lichtempfangselement sind mit dem Gehäuse fest verbunden.
Möglichkeiten zur Erfassung der Position der Sensorele
mente zueinander und zur Justierung dieser sind in dieser
Meßeinrichtung, die sich durch einen besonderen
Stoßabsorptionsmechanismus auszeichnet, nicht vorgesehen.
Allgemein bekannt sind mechanische Meßuhren, bei welchen
an einem vorderen Endbereich eine Spindel vorgesehen ist,
die ein Meßelement umfaßt, welches verschiebbar in dem
Gehäusekörper gelagert ist. Eine axiale Bewegung der
Spindel wird mittels eines Übersetzungsmechanismus in
eine Drehbewegung eines Zeigers umgewandelt. Der gemesse
ne Wert kann dann unter Zusammenwirkung zwischen dem Zei
ger und Anzeigeeinrichtungen abgelesen werden. Ebenfalls
allgemein bekannt sind auch als Längenmeßvorrichtung die
nende elektronische Meßuhren. Bei diesen wird eine Bewe
gung über einen Detektor, der in der Vorrichtung vorge
sehen ist, in ein elektrisches Signal umgewandelt, wel
ches mittels einer Anzeigeeinrichtung elektronisch ange
zeigt wird, beispielsweise mittels einer Digital-
und/oder Analoganzeige. Die letztere Art von Vorrichtun
gen ist weit verbreitet, vor allem wegen ihrer hohen Ge
nauigkeit und wegen der leichten Ablesbarkeit.
Die Detektoren oder Aufnehmer dieser Vorrichtungen können
in Form eines elektrostatischen Kapazitätssystems, eines
fotoelektrischen Systems, eines magnetischen Systems,
eines Kontaktpunktsystems oder in ähnlicher Weise gemäß
den Anforderungen und entsprechend dem Verwendungszweck,
der erforderlichen Meßgenauigkeit und des Energiever
brauchs ausgebildet sein. Alle diese Systeme sind jedoch
so ausgestaltet, daß ein erstes und ein zweites Sensor
element an einem bewegbaren Element, wie der
Spindel und an einem feststehenden Element, wie dem Ge
häusekörper so vorgesehen sind, daß sie relativ zueinan
der bewegbar sind. Das erste und das zweie Sensorelement
können in ihrer Abmessung gemäß dem zu verwendenden Prin
zip oder System variiert werden und können in Form eines
Paares von Elektrodenplatten, die einander gegenüberlie
gend angeordnet sind, in Form einer Hauptskala und einer
Indexskala mit optischen Gittern, die einander zugeordnet
sind, in Form einer magnetischen Skala und eines Magnet
kopfes oder in Form einer Elektrodenplatte und eines
elektrischen Kontaktes ausgebildet sein. Unter der Be
dingung, daß die relative Zuordnung und Positionierung
zwischen den Sensorelementen in ordnungsgemäßer Weise er
folgt, ist eine derartige Vorrichtung in der Lage, eine
Auflösung in der Größe einer Strichteilung von 10 µm zu
erzielen.
Bei den bekannten Detektoren oder Aufnehmern trat jedoch
das Problem auf, daß der Zusammenbau und die Justierung
der gegenseitigen Position der Sensorelemente sich ausge
sprochen schwierig gestalten.
Aufgabe der Erfindungist es, eine Längenmeßvorrichtung
mit einer hohen Meßgenauigkeit bei einfacher Teileher
stellung und Montage zu schaffen.
Diese Aufgabe wird durch die im kennzeichnenden Teil des
Patentanspruchs 1 angegebenen Merkmale gelöst.
Die erfindungsgemäße Vorrichtung ist mit einer Justier
einrichtung versehen, die so ausgebildet ist, daß eines
der beiden Sensorelemente mit einer Positionsanzeige ver
sehen ist und das andere Sensorelement an einer Justier
platte befestigt ist, wodurch eine gewünschte Positionie
rung der beiden Sensorelemente zueinander vollzogen wer
den kann. Die Erfassung der Position der beiden Sensor
elemente zueinander sowie deren Justierung ermöglicht
eine einfache Montage der Vorrichtung.
Weiterbildungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen
angegeben.
Im folgenden wird die Erfindung anhand eines Ausführungs
beispiels in Verbindung mit der Zeichnung beschrieben.
Dabei zeigt
Fig. 1 eine Gesamtansicht eines Ausführungsbeispiels der
erfindungsgemäßen Vorrichtung zur Längenmessung;
Fig. 2 eine perspektivische Ansicht der wesentlichen
Bereiche der Positioniereinrichtung sowie zuge
höriger Teil;
Fig. 3 eine vergrößerte Teilansicht des ersten Sensorelements
und
Fig. 4 eine Gesamtansicht der Vorrichtung.
Die Vorrichtung zu Längenmessung ist im we
sentlichen in Form einer elektronischen Meßuhr ausgebildet, bei wel
cher ein Aufnehmer verwendet wird, der nach einem elektrostatischen
Kapazitätssystem unter Verwendung einer Phasendiskriminierung arbei
tet. Diese Meßuhr ist in den Fig. 1 bis 4 dargestellt. Die Ausge
staltung des Aufnehmers ist im wesentlichen gleich zu der in Zusammen
hang mit den Fig. 5 und 6 beschriebenen Ausgestaltung, so daß gleiche
Teile oder ähnliche Teile mit gleichen Bezugsziffern versehen sind.
Zur Vermeidung von Wiederholungen wurde bei diesen Teilen auf eine
nochmalige detaillierte Beschreibung verzichtet.
Die in Fig. 4 gezeigte Vorrichtung weist eine Spindel 11 auf, welche
axial (in vertikaler Richtung gemäß der Darstellung in Fig. 1) ver
schiebbar an einem Gehäusekörper 1 gelagert ist, und zwar mittels ei
nes Ansatzes 6. Weiterhin ist ein äußerer Rahmen 9 vorgesehen, der ei
ne Anzeigeeinrichtung 21 aufweist. Außerdem sind Schalter 22 oder ähn
liches drehbar an dem Gehäusekörper 1 vorgesehen. Bei einer Bewegung
der Spindel 11 in vertikaler Richtung kann ein Meßwert in Form von
digitalen und/oder analogen Werten an der Anzeigeeinrichtung 21 abge
lesen werden, wenn sich ein Meßelement 14, das an dem vorderen Endbe
reich der Spindel 11 vorgesehen ist, in Kontakt mit einem zu messenden,
nicht dargestellten Werkstück befindet. Zu diesem Zweck weist der Ge
häusekörper 1 ein erstes Sensorelement 30 sowie ein zweites Sensorele
ment 40 auf, sowie eine Positioniereinrichtung 50, eine Paralleljustier
einrichtung 60 und ähnliche Bauelemente, welche den Aufnehmer 100 bil
den.
In den Fig. 1 und 2 ist angezeigt, daß die bewegbare Platte 41 des zwei
ten Sensorelementes 40 an einem rechteckigen Lagerelement 12 befestigt
ist, welches an der Spindel 11 befestigt ist, wobei das Lagerelement
12 als elektrischer Leiter dient, und zwar über ein in hohem Maße elek
trisch leitfähiges Klebemittel 46. Das bewegbare Element 41 dieses Aus
führungsbeispiels ist aus einem elektrischen Isolator, wie etwa aus
32 den Empfängerelektroden 33 und den Koppelelektroden 42 auf einen
vorbestimmten und konstanten Wert eingestellt ist. Die jeweiligen ex
zentrischen Bolzen 56 werden durch eine Drehung derart eingestellt,
daß die längliche Durchgangsausnehmung, welche den Positionsanzeiger
51 bildet, visuell von der rückseitigen Fläche der bewegbaren Platte
41 eingesehen werden kann, d. h. von der in Fig. 1 dargestellten rück
seitigen Seite. Die Bezugslinie S, welche die Endkante der Durchgangs
ausnehmung bildet, stimmt dann mit dem in Fig. 3 dargestellten Verbin
dungsmuster überein. Nach der Positionierung wird die Justierplatte 54
in der eingestellten Stellung mittels der Einstellschrauben 59 an dem
stationären Rahmen 3 befestigt. Zusätzlich kann, falls erforderlich,
eine feste Verbindung mittels eines Klebemittels vorgenommen werden.
Anschließend wird ein Endbereich 18 des flexiblen Anschlußdrahtes 5
mit der Anzeigeeinrichtung 21 oder einer ähnlichen Anzeigeeinrichtung
verbunden. Der äußere Rahmen 9 wird anschließend mit dem Gehäusekörper
1 verbunden, um auf diese Weise den Zusammenbau abzuschließen.
Wenn bei der in beschriebener Weise zusammengebauten und justierten
Vorrichtung die Spindel 11 verschoben
wird, während sich das Meßelement 14 in Kontakt mit einem zu messenden
Werkstück befindet, kann ein gemessener Wert an der Anzeigeeinrichtung
21 abgelesen werden.
Folglich ist es bei dem beschriebenen Ausführungsbeispiel möglich, ei
ne Fluchtung des Verbindungsmusters 37, welches an dem ersten Sensor
element 30 vorgesehen ist mit der Lage des Positionsanzeigers 51, der
an der bewegbaren Platte 41 des zweiten Sensorelements 40 vorgesehen
ist, visuell zu überprüfen, wobei eine Übereinstimmung der gegenseiti
gen Lage der beiden Elemente durch Betätigung der Positioniereinrich
tung 50 hervorgerufen werden kann. Im Gegensatz zu dem konventionellen
Positionierverfahren, bei welchem die stationäre Platte 31 des ersten
Sensorelements 30 und die bewegbare Platte 41 des zweiten Sensorele
ments 40 jeweils vorher fixiert werden mußten und bei welchem beide
Elemente anschließend auf ihre Lage überprüft wurden, wobei die Vor
richtung wieder auseinandergebaut und nachreguliert wurde, und zwar
auf der Basis verschiedener Wellenformen der Spannungen, welche durch
ein direkte Betätigung der Vorrichtung erzielt wurden, ist es gemäß
dem beschriebenen Verfahren möglich, eine Positionierung schnell
und mit hoher Genauigkeit vorzunehmen, so daß die Auflösung und Genau
igkeit des Aufnehmers 100 in starkem Maße gesteigert werden kann. Da
bei kann eine Auflösung von weniger als 1 µm erreicht werden. Weiterhin
ist eine stabile und wiederholbare Messung sichergestellt und es ist
möglich, die Vorrichtung insgesamt kompakt
auszubilden. Da weiterhin die Positioniereinrichtung 50 die in großer
Genauigkeit auf der stationären Platte 31 ausgerichteten Verbindungs
muster 37 verwendet, ist kein einzelner zusätzlicher Bearbeitungsgang
für die Positionierung erforderlich, wodurch die Gesamtkonstruktion
vereinfacht und wirtschaftlich ausgebildet sein kann und wodurch eine
direkte Positionierung vorgenommen werden kann.
Die Paralleljustiereinrichtung 60 weist, wie beschrieben, die Führungs
nut 62 auf, die in dem winkelmäßig neigbaren Führungselement 61 vorge
sehen ist, so daß die Funktion einer Verhinderung der Drehung der Spin
del 11 und eine geradlinige Bewegung der Spindel sichergestellt werden
können. Weiterhin ist dadurch eine parallele Führung des zweiten Sen
sorelements 40 relativ zu dem ersten Sensorelement 30 erreichbar. Ein
weiterer Vorteil ist dadurch gegeben, daß die Konstruktion dieser
Vorrichtung leicht herstellbar und ökonomisch fertigbar
ist, im Vergleich zu konventionellen Ausgestaltungen, bei welchen die
Führungsnut einstückig an dem Gehäusekörper 1 ausgebildet ist.
Da weiterhin der Detektor oder Aufnehmer 100 des elektrostatischen
Kapazitätssystems, welches eine Phasendiskriminierung verwendet, bei
der Vorrichtung in der bevorzugten Ausführungsform verwendet werden kann, bei welcher
sich die Spindel bewegt, wie etwa bei einer konventionellen elektro
nischen Meßuhr, welche keinen Bereich aufweist, der mit der Hauptskala
71 korrespondiert, erweist es sich als vorteilhaft, daß die Vorrichtung
zur Längenmessung mit großer Genauigkeit und kompakten Ab
messungen ausgebildet sein kann.
Bei dem beschriebenen Ausführungsbeispiel ist der geradlinige Bereich
an der Endkante der länglichen Durchgangsausnehmung der bewegbaren
Platte 51 ausgebildet, wobei die längliche Durchgangsausnehmung den
Positionsanzeiger 51 darstellt, und dient als Bezugslinie S. Es kann
jedoch auch ausreichend sein, visuell das vorbestimmte Muster an
der Seite der stationären Platte 31 von der Seite der bewegbaren Plat
te 41 aus zu inspizieren. Deshalb kann es auch möglich sein, eine
mit einem vorgegebenen Muster korrespondierende Kurve, eine unterbro
chene Linie, die in regelmäßigen Intervallen angeordnet ist, eine
rechtwinklige Markierung oder ähnliches zu verwenden. Wenn jedoch die
Bezugslinie S verwendet wird, dann ergibt sich daraus der Vorteil, daß
die Positionierung über einen großen Bereich hinweg in effektiver Wei
se erfolgen kann, während die Spindel 11 bewegt wird. In diesem Zusam
menhang ist zu erwähnen, daß die Positionsanzeige 51 anstelle der Durch
gangsausnehmung auch in Form einer farbigen Kerbe oder eines Schlitzes
ausgebildet sein kann, wenn die bewegbare Platte 41 aus einem licht
durchlässigen Material gefertigt ist. Weiterhin ist es möglich, als
vorbestimmtes Muster anstelle des Verbindungsmusters 37, welches als
Anschluß- oder als Verbindungsdraht zur Energieversorgung der Sende
elektroden 32 dient, die jeweiligen Sendeelektroden 32 direkt zu ver
wenden. Es sollten jedoch vorzugsweise Muster verwendet werden, welche
zur Ausbildung des Aufnehmers 100 benötigt werden. Wenn folglich der
Aufnehmer 100 als fotoelektrisch arbeitender Typ ausgebildet ist, soll
ten optische Gitter oder ähnliches, die zur Feststellung der jeweili
gen Lage dienen, als Muster verwendet werden. Es ergibt sich, daß die
Muster bei den jeweils zur Anwendung kommenden Grundprinzipien und
Systemen unterschiedlich ausgebildet sein können.
Wie sich aus obenstehender Beschreibung ergibt, weist die
Vorrichtung in der bevorzugten Ausführungsform den besonderen Vorteil
auf, daß die Gesamtkonstruktion wesentlich vereinfacht werden kann,
daß eine Positionierung der Relativlage der beiden Sensorelemente
schnell erfolgen kann und daß eine Längenmessung mit hoher Genauigkeit
vorgenommen werden kann.
Claims (10)
1. Vorrichtung zur Längenmessung mit einer Spindel, die
mit einem Meßelement versehen ist und verschiebbar an
einem Gehäusekörper gelagert ist und einen Aufnehmer zur
Ermittlung einer Verschiebung der Spindel in deren
axialer Richtung, wobei der Aufnehmer ein erstes Sensor
element umfaßt, welches an dem Gehäusekörper gelagert ist
und an welchem vorbestimmte Muster ausgebildet sind, so
wie ein zweites Sensorelement umfaßt, welches dem ersten
Sensorelement gegenüberliegend angeordnet ist und ein
stückig an der Spindel befestigt ist, dadurch gekenn
zeichnet, daß zur Justierung der Sensorelemente (30, 40)
zueinander das zweite Sensorelement (40) mit einer Posi
tionsanzeige (51) versehen ist, die eine Bezugslinie (S)
aufweist, welche in Form einer sich parallel zu der
Längsachse der Spindel (11) erstreckenden Durchgangsaus
nehmung ausgebildet ist; daß das erste Sensorelement (30)
an einer Justierplatte (54) befestigt ist, die mit dem
Gehäusekörper (1) verbunden ist, daß die Justierplatte
(54) eine Positionierung des ersten Sensorelementes (30)
relativ zu dem zweiten Sensorelement (40) ermöglicht, und
daß das erste Sensorelement (30) nach einer Lagejustie
rung an dem Gehäusekörper (1) lagerbar ist.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß die Positionsanzeige (51) an der einstückig mit der
Spindel (11) ausgebildeten bewegbaren Platte (41) ausge
bildet ist.
3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekenn
zeichnet, daß die bewegbare Platte (41) aus einem licht
durchlässigen Material gefertigt ist.
4. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch
gekennzeichnet, daß die Justierplatte (54) mittels mehre
rer exzentrischer Elemente (56) in ihrer Lage einjustier
bar ist.
5. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, gekenn
zeichnet durch eine Paralleljustiereinrichtung (60) zur
Justierung der Parallelität zwischen dem ersten Sensor
element (30) und dem zweiten Sensorelement (40).
6. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet,
daß die Paralleljustiereinrichtung (60) ein Führungsele
ment (61) umfaßt, welches an dem Gehäusekörper (1) vorge
sehen ist, sowie ein Eingriffsbauteil (66), welches an
seinem innenliegenden Endbereich an der Spindel (11) be
festigt ist und dessen anderer Endbereich mit dem Füh
rungselement (61) in Eingriff ist.
7. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet,
daß das Führungselement (61) eine Führungsnut (62) auf
weist, die parallel zur Längsachse der Spindel (11) ange
ordnet ist und winkelmäßig neigbar ist.
8. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch
gekennzeichnet, daß das erste Sensorelement (30) eine
stationäre Platte (3) umfaßt, welche an dem Gehäusekörper
(1) gelagert ist, sowie Sendeelektroden (32) und eine
Empfängerelektrode (33), die an der stationären Platte
(3) ausgebildet sind, daß das zweite Sensorelement (40)
eine bewegbare Platte (41) umfaßt, die einstückig mit der
Spindel (11) ausgebildet ist, sowie Koppelektroden (42)
und Erdungselektroden (43), die an der bewegbaren Platte
(41) vorgesehen sind und daß die bewegbare Platte (41) an
ihrer Umfangsfläche mit einer elektrisch leitfähigen
Schicht (45) versehen ist, wobei die Erdungselektroden
(43) und die Spindel (11) miteinander mittels der leit
fähigen Schicht (45) in elektrischer Verbindung stehen.
9. Vorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet,
daß die bewegbare Platte (41) und die Spindel (11) mit
tels eines elektrisch leitfähigen Klebmittels (46) ver
bunden sind.
10. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch
gekennzeichnet, daß die Vorrichtung in Form einer elek
tronischen Meßuhr ausgebildet ist.
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9094086U JPS62201008U (de) | 1986-06-13 | 1986-06-13 | |
JP9093986U JPH0421054Y2 (de) | 1986-06-13 | 1986-06-13 | |
JP9291986U JPS63206U (de) | 1986-06-18 | 1986-06-18 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3719731A1 DE3719731A1 (de) | 1987-12-17 |
DE3719731C2 true DE3719731C2 (de) | 1989-07-27 |
Family
ID=27306576
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19873719731 Granted DE3719731A1 (de) | 1986-06-13 | 1987-06-12 | Vorrichtung zur messung einer versetzung |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4798004A (de) |
CN (1) | CN1009131B (de) |
DE (1) | DE3719731A1 (de) |
GB (1) | GB2192720B (de) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4134848A1 (de) * | 1990-10-22 | 1992-04-23 | Mitutoyo Corp | Verschiebungsdetektor |
Families Citing this family (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CH677144A5 (de) * | 1988-12-21 | 1991-04-15 | Weber Hans R | |
US5074051A (en) * | 1990-07-20 | 1991-12-24 | The Boeing Company | Instrument for measuring the distance of a flange to a hole |
US5416479A (en) * | 1992-03-23 | 1995-05-16 | Hewlett-Packard Corporation | Handle for position encoder system |
US5414420A (en) * | 1992-03-23 | 1995-05-09 | Hewlett-Packard Corporation | Switch interconnect for position encoder system |
US5428355A (en) * | 1992-03-23 | 1995-06-27 | Hewlett-Packard Corporation | Position encoder system |
US5920307A (en) * | 1995-02-21 | 1999-07-06 | Lucent Technologies, Inc. | System for directly sensing the orientation of a track ball |
CN1053464C (zh) * | 1996-08-12 | 2000-06-14 | 锦州石化润滑油厂 | 纺织机械专用润滑油 |
JP3474402B2 (ja) * | 1997-07-17 | 2003-12-08 | 株式会社ミツトヨ | 測定器 |
CN1079111C (zh) * | 1999-01-25 | 2002-02-13 | 李政兆 | 润滑油添加剂组合物 |
CN1089799C (zh) * | 1999-08-03 | 2002-08-28 | 中国石油兰州炼油化工总厂 | 一种汽油机油组合物 |
CN1089798C (zh) * | 1999-08-03 | 2002-08-28 | 中国石油兰州炼油化工总厂 | 发动机润滑油组合物 |
CN1299955A (zh) * | 1999-12-12 | 2001-06-20 | 陈其良 | 容栅式数显杠杆表 |
JP4098650B2 (ja) * | 2003-03-20 | 2008-06-11 | 株式会社ミツトヨ | 変位測定器 |
US20050241168A1 (en) * | 2004-04-29 | 2005-11-03 | Iannuzzelli Raymond J | PWB warp gauge |
CN101561240B (zh) * | 2009-05-31 | 2010-10-20 | 哈尔滨工业大学 | 基于球形电容极板的超精密非接触式三维瞄准与测量传感器 |
DE102014116527B4 (de) * | 2014-11-12 | 2020-01-23 | Andreas Hettich Gmbh & Co. Kg | Zentrifuge und Verfahren zur Erfassung von Unwuchten in der Zentrifuge |
CN105136007B (zh) * | 2015-05-20 | 2017-12-08 | 广州中国科学院先进技术研究所 | 一种基于电容位移计的直线位移检测装置 |
JP6657005B2 (ja) * | 2016-04-27 | 2020-03-04 | 株式会社ミツトヨ | リニアゲージ |
JP7481195B2 (ja) * | 2020-08-05 | 2024-05-10 | 株式会社ミツトヨ | 測定器 |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR1009689A (fr) * | 1948-06-17 | 1952-06-03 | Dispositif de déclenchement automatique lorsqu'une touche atteint une position déterminée | |
GB668679A (en) * | 1949-02-19 | 1952-03-19 | Mahr Carl | Precision dial gauge having electrical contacts |
US3867037A (en) * | 1973-08-29 | 1975-02-18 | Dynamics Res Corp | Linear motion encoder |
US3987552A (en) * | 1974-07-01 | 1976-10-26 | Inductosyn Corporation | Measuring apparatus |
US4114280A (en) * | 1977-04-27 | 1978-09-19 | Quality Measurement Systems, Inc. | Digital electronic indicator |
US4227308A (en) * | 1978-09-15 | 1980-10-14 | Tibar Corporation | Interface device |
JPH06105161B2 (ja) * | 1983-02-09 | 1994-12-21 | 株式会社ミツトヨ | ダイヤル指示型測定器 |
JPS59170701A (ja) * | 1983-03-16 | 1984-09-27 | Mitsutoyo Mfg Co Ltd | デジタル表示式寸法測定器 |
JPS59193306A (ja) * | 1983-04-19 | 1984-11-01 | Mitsutoyo Mfg Co Ltd | 寸法測定装置 |
US4586260A (en) * | 1984-05-29 | 1986-05-06 | The L. S. Starrett Company | Capacitive displacement measuring instrument |
DE3440221C2 (de) * | 1984-11-03 | 1993-11-18 | Mauser Werke Oberndorf | Meßuhr mit digitaler Anzeigeeinheit |
US4631831A (en) * | 1986-01-31 | 1986-12-30 | Bandag Licensing Corporation | Tread depth probe and computer |
-
1987
- 1987-06-09 GB GB8713420A patent/GB2192720B/en not_active Expired - Fee Related
- 1987-06-10 US US07/061,070 patent/US4798004A/en not_active Expired - Fee Related
- 1987-06-12 CN CN87104890.6A patent/CN1009131B/zh not_active Expired
- 1987-06-12 DE DE19873719731 patent/DE3719731A1/de active Granted
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4134848A1 (de) * | 1990-10-22 | 1992-04-23 | Mitutoyo Corp | Verschiebungsdetektor |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US4798004A (en) | 1989-01-17 |
GB2192720A (en) | 1988-01-20 |
DE3719731A1 (de) | 1987-12-17 |
CN87104890A (zh) | 1988-03-16 |
CN1009131B (zh) | 1990-08-08 |
GB8713420D0 (en) | 1987-07-15 |
GB2192720B (en) | 1990-04-25 |
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---|---|---|
DE3719731C2 (de) | ||
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DE69525819T2 (de) | Kapazitives Verschiebungsmessgerät | |
DE69720626T2 (de) | Kapazitive Wegmesseinrichtung | |
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