DE3615690C2 - Integriertes Schutzelement, insbesondere für Eingänge in MOS-Technologie von integrierten Schaltungen - Google Patents
Integriertes Schutzelement, insbesondere für Eingänge in MOS-Technologie von integrierten SchaltungenInfo
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Description
Die Erfindung betrifft ein integriertes Schutzelement, insbesondere für Eingänge in
MOS-Technologie von integrierten Schaltungen, mit einem ersten Abschnitt zum
Schutz gegen Spannungen oberhalb eines ersten Schwellenwertes und einem
zweiten Abschnitt zum Schutz gegen Spannungen unterhalb eines zweiten Schwellenwertes.
Es ist bekannt, daß die Eingangsstufen integrierter
Schaltungen in MOS-Technologie einen verhältnismäßig
empfindlichen Aufbau haben, der gegen elektrostatische
Aufladungen geschützt werden muß. Hierzu werden Schutzmaßnahmen
ergriffen, die zum Beispiel eine Diode umfassen,
die dann leitet, wenn die Eingangsspannung
die Durchbruchsspannung der Diode erreicht, z. B.
den Wert von 15 V. Solche Schutzdioden sind konstruktiv robust
aufgebaut und in der Lage, die Gateelektrode
und auch die diffundierten Zonen des MOS-
Transistors der Eingangsstufe der integrierten Schaltung
zu schützen. Darüber hinaus ist am Eingang meistens noch
ein Widerstand zum Schutz der Diode vorgesehen.
Trotzdem kann eine hohe Störspannung mit einem sehr hohen
Entladestrom bei einer gewissen Abklingzeit schon zu einem
Schaden der Schaltung führen.
In Fig. 1 ist schematisch eine solche herkömmliche Schutzmaßnahme mit
einer integrierten Schaltung 3 gezeigt. Ein Eingang 2,
dem z. B. Netzspannung zugeführt wird, wird durch einen
äußeren Widerstand 1 geschützt, der zwischen einem der
Eingänge 2 und dem Eingang der integrierten Schaltung 3
angeordnet ist. Fig. 1a zeigt den Eingang einer integrierten
Schaltung mit einer MOS-Eingangsstufe, bei der ein Schutz
durch eine Diode 4 und den Widerstand 1 vorgenommen wird.
Hier wird die Eingangsstufe schematisch durch einen MOS-
Transistor 5 dargestellt, dessen Gateelektrode das Eingangssignal
über den Schutzwiderstand 1 zugeführt wird,
wobei die Gateelektrode gleichzeitig durch eine Diode 4
geschützt wird.
Dieses bekannte Schutzsystem arbeitet einwandfrei, wenn
es für den typischen Verwendungszweck entsprechend eines erwarteten begrenzten
Eingangsspannungsbereiches benutzt wird; dieses System
reicht jedoch nicht aus, wenn ein Schutz gegenüber einem
größeren Spannungsbereich erforderlich ist.
Solche Schaltungsanordnungen werden z. B. durch hohe
Spannungen angesteuert, um z. B. den Null-Durchgang der Netzspannung festzustellen
oder um das Vorhandensein der Netzspannung
zu erkennen, oder um andere dem Eingang zugeführte, größere elektrische
Signale zu überwachen, um hiermit nachgeschaltete
Steuereinheiten anzusteuern. In einem solchen Fall kann also
dem Eingang eine wesentlich höhere Spannung als der
typische logische Eins-Pegel über einen Vorwiderstand zugeführt
werden, in einigen Fällen bis zu einigen zehn oder
hundert Volt. In solchen Fällen können dann unzulässige
Zustände auftreten, die die Arbeitsweise der Schaltungsanordnung
teilweise beeinträchtigen bzw. stören.
Zum Beispiel bewirken hohe positive Potentiale, daß das
Oxid der MOS-Gateelektronik zerstört wird, so daß die
gesamte Eingangsstufe unbrauchbar wird, oder solche hohen
positiven Potentiale führen zu einem Durchbruch der
Schutzdiode, während negative Spannungen einen unerwünschten
Strom in Vorwärtsrichtung durch die Diode verursachen.
Bei der Zuführung einer Wechselspannung erreicht die
positive Halbwelle einen Wert, bei dem die Schutzschaltung
in Aktion tritt. Anschließend folgt ein
Abfall der Spannung bis auf den niedrigeren
Ansprechswert und die Spannung steigt anschließend mit einer Folge
von Schwingungen um den niedrigeren Abschaltwert an.
Dieser Wert liegt in der Nähe des logischen "Ein"-Wertes
und verursacht somit Störungen, wenn die integrierte
MOS-Schaltung für logische Operationen benutzt wird.
Im Falle der negativen Halbwelle ergibt sich ein noch unerwünschterer
Zustand. Sobald die Diode in Vorwärtsrichtung
zu leiten beginnt, injiziert sie Elektronen in
das Substrat der integrierten Schaltung und entlädt die aufgeladenen Verbindungspunkte
(wenn z. B. vorgeladene Daten anliegen) innerhalb eines
bestimmten Abstandes vom Eingang. Die Schaltungsanordnung
arbeitet somit nicht mehr einwandfrei und die erzielten
Resultate sind unzuverlässig. Dieser Effekt tritt noch
deutlicher auf bei weniger hohen Frequenzen und sobald
die Anzahl der mit der Eingangsstufe verbundenen MOS-
Strukturen der integrierten Schaltung ansteigt.
Aus der DE-AS 21 06 312 ist es außerdem bekannt, zwischen dem Eingangsanschluß
der Gate-Elektrode eines Feldeffekttransistors und Masse eine Schutzschaltung
vorzusehen, die für die eine Polarität von Überspannungen aus einer
Schutzdiode und für die andere Polarität aus zwei Längswiderständen und zwei
Ableittransistoren besteht. Die Überspannung wird hierdurch in der einen oder
anderen Richtung vom Eingangsanschluß nach Masse abgeleitet, ohne die Gate-
Elektrode der zu schützenden Schaltung zu erreichen. Diese bekannte Schaltung ist
mit Feldeffekttransistoren des Verarmungstypes ausgerüstet, die entsprechend ihrer
Kennlinie einen leitenden Pfad zwischen Eingang und Masse darstellen, wenn die
Gate-Elektroden spannungslos sind. Nur in diesem Zustand wird die zu schützende
Schaltung geschützt. Soll jedoch die zu schützende Schaltung in Arbeitsstellung
betrieben werden, so wird ihre Betriebsspannung über einen Betriebsspannungsanschluß
zugeführt. Diese Betriebsspannung gelangt gleichzeitig an die Gate-
Elektroden der Schutz-Transistoren, die hierdurch gesperrt werden, so daß der
Kurzschluß im Eingangszweig aufgehoben und das Eingangssignal vom Eingangsanschluß
an die Gate-Elektrode der zu schützenden Schaltung gelangt. Das bedeutet
also, daß es sich bei dieser bekannten Schutzschaltung nicht um eine sog. dynamische
Schutzschaltung handelt, sondern nur um eine solche, die im abgeschalteten
Zustand der zu schützenden Schaltung in Aktion tritt und ein Aufladen des Eingangsanschlusses in der einen oder anderen Richtung auf zu hohe Spannungen
verhindert.
Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein dynamisches Schutzelement
zur Kombination mit einer bekannten Diodenschutzschaltung gegen elektrostatische
Aufladungen nach dem Oberbegriff des Anspruches 1
vorzuschlagen, das sowohl für logische Eingänge als
auch für analoge Eingänge geeignet ist und im erlaubten Spannungsbereich als
offene Schaltung arbeitet und dabei weder Strom zuführt noch verbraucht.
Das Schutzelement ist für die geschützte Schaltung völlig "transparent".
Bei diesem dynamischen Schutzelement sind die Ansprechwerte
beim Schaltungsentwurf leicht wählbar und einstellbar. Das Schutzelement kann
dabei auch nur einen geringen Platzbedarf aufweisen und ist mit bereits vorliegenden
Herstelltechnologien herstellbar.
Diese Aufgabe wird gemäß der vorliegenden Erfindung dadurch gelöst, daß der
erste und der zweite Abschnitt parallel zueinander als Eingang des Schutzelementes zwischen einem zu schützenden
Eingang der Schaltung und einem Betriebsspannungsanschluß angeordnet und
elektrisch mit einem Referenzspannungsanschluß verbunden sind, daß der erste
und der zweite Abschnitt Schaltmittel mit MOS-Transistoren aufweisen und so
ausgebildet sind, daß sie wahlweise aufgrund der Eingangsspannung zwischen dem
Eingang und dem Referenzspannungsanschluß einschalten, wenn diese den ersten
Schwellenwert überschreitet oder den zweiten Schwellenwert unterschreitet, wobei
der erste Schwellenwert im wesentlichen der Betriebsspannung am Betriebsspannungsanschluß
entspricht, daß der erste Abschnitt so ausgebildet ist, daß er den
vom Eingang aufgenommenen Strom in Richtung auf den Betriebsspannungsanschluß
leitet, wenn die Eingangsspannung den ersten Schwellenwert überschreitet,
und daß der zweite Abschnitt so ausgebildet ist, daß er den vom Betriebsspannungsanschluß
aufgenommenen Strom in Richtung auf den Eingang leitet, wenn
die Eingangsspannung den zweiten Schwellenwert unterschreitet, wobei der zweite
Abschnitt einen Inverter mit einer Spannungsfolgestufe enthält.
Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind den
Unteransprüchen zu entnehmen.
Die Erfindung wird nachfolgend anhand eines Ausführungsbeispieles
unter Bezug auf die beigefügten Zeichnungen
näher erläutert.
Es zeigen
Fig. 1+1a vereinfachte Schaltbilder von bekannten
Schutzschaltungen;
Fig. 2 eine schematische Darstellung der Verbindung eines
erfindungsgemäßen Schutzelementes mit
einer zu schützenden Schaltung; und
Fig. 3 ein dazugehöriges Schaltbild des erfindungsgemäßen
Schutzelementes.
In Fig. 2 ist die Verbindung des vorgeschlagenen
Schutzelementes mit einer zu schützenden, integrierten
Schaltung 15 gezeigt. Das Schutzelement ist in Blockform
mit dem Bezugszeichen 10 bezeichnet und ist einem bekannten
Schutzelement für elektrostatische Aufladungen parallel
geschaltet, das aus einem Widerstand 1 und einer Diode 4
besteht, die den Eingangsanschlüssen 2 parallel geschaltet
sind. Ein Eingang 11 des Schutzelementes 10 ist
mit dem Eingang 14 der integrierten Schaltung verbunden,
und ein Betriebsspannungsanschluß 12 ist an einer Betriebsspannung
VCC angeschlossen. Ein weiterer Anschluß 13
des Schutzelementes 10 ist mit einer Leitung 16 verbunden,
die zu der zu schützenden Schaltung 15 führt. Diese Leitung
13 ist nur gestrichelt gezeichnet, da sie nur als Referenzleitung
dient und keinen Strom vom Eingang
erhält.
Nachfolgend soll die Schaltung des dynamischen Schutzelementes
10 anhand der Fig. 3 beschrieben werden.
Das Schutzelement 10 besteht im wesentlichen aus zwei
Abschnitten 19 und 20. Diese Abschnitte arbeiten als Schaltelemente
und sprechen bei verschiedenen Spannungen
und verschiedenen Betriebsbedingungen an. Insbesondere interveniert
der Abschnitt 19, wenn die Eingangsspannung die
Betriebsspannung VCC zuzüglich einer einstellbaren Spannung
überschreitet; in diesem Fall absorbiert der Abschnitt 19
über den Eingang 11 einen Strom von der Leitung 14. Der
Abschnitt 20 spricht an, wenn die Eingangsspannung unterhalb
eines bestimmten Schwellenwertes fällt, wodurch ein
Strom vom Betriebsspannungsanschluß 12 über den Eingang
11 zur Leitung 14 fließt. Auf diese Weise sind beide
Abschnitte 19 und 20 wirksam; der erste absorbiert Strom
vom Eingang der zu schützenden Schaltung, während der
letztere Strom vom Betriebsspannungsanschluß absorbiert,
um auf diese Weise zu verhindern, daß die Eingangsspannung
der zu schützenden Schaltung über die gesetzten
Grenzen ansteigt oder unterhalb diese abfällt, was die eingangs
beschriebenen, negativen Konsequenzen mit sich
brächte.
Der Abschnitt 19 besteht genauer aus einem MOS-Transistor
21 vom Anreicherungs-Typ, der als Diode geschaltet ist.
Die Gateelektrode und die Drainelektrode des Transistors
21 sind miteinander und mit dem Eingang der
Schaltung verbunden, der durch die Leitung 11 gebildet
wird. Die Sourceelektrode ist über eine Leitung 12 mit
der Betriebsspannung VCC verbunden.
Der Abschnitt 20 besteht aus zwei MOS-Transistoren 22 und 23
vom Verarmungs-Typ und bildet einen Inverter. Mit dem Ausgang
dieses Inverters ist ein MOS-Transistor 24 vom
Anreicherungs-Typ verbunden, dessen Sourceelektrode an den
Invertereingang angeschlossen ist, um somit eine Source-
Folgeschaltung bzw. Spannungsfolgestufe zu bilden. Die Drainelektrode des Transistors
22 ist an den Betriebsspannungsanschluß VCC angeschlossen,
während die Gateelektrode und die Sourceelektrode miteinander
verbunden und an die Drainelektrode des Transistors 23
sowie die Gateelektrode des Transistors 24 angeschlossen
sind. Die Gateelektrode des Transistors 23 ist mit der
Eingangsleitung 11 verbunden, während die Sourceelektrode
über die Leitung 13 mit Masse verbunden ist. Der Anreicherungs-
Transistor 24 ist mit seiner Drainelektrode an die
Betriebsspannung VCC angeschlossen, während die Sourceelektrode
mit der Eingangsstufe der zu schützenden Schaltung
über die Leitung 11 verbunden ist.
Nachfolgend soll die Funktion des erfindungsgemäßen
Schutzelementes beschrieben werden.
Liegt die Eingangsspannung zwischen den Leitungen 14 und
16 (siehe Fig. 2) innerhalb des Spannungsbereiches, der
durch die Schwellenwerte bzw. Einschaltwerte der Abschnitte
19 und 20 definiert ist, so wird das Schutzelement durch
die zu schützende Schaltung nicht "wahrgenommen". Da die
Spannung VGS des Transistors 21 negativ ist bzw. unter
dem Schwellenwert liegt, ist der Transistor 21 gesperrt
und nimmt keinen Strom auf. Das gleiche gilt für den
Abschnitt 20, weil der Transistor 24 eine Spannung VGS
hat, die negativ ist oder unterhalb dem Einschaltwert
liegt, so daß dieser Transistor gesperrt ist und die Gateelektrode
des Transistors 23 keinen Strom aufnimmt.
Steigt die Eingangsspannung jedoch über den oberen Schwellenwert
an, der durch die Betriebsspannung VCC zuzüglich der
Einschaltspannung des Transistors 21 definiert wird, so
erhält der Transistor 21 eine positive Spannung VGS und wird
somit leitend, so daß ein Strom von der Leitung 11 zum
Betriebsspannungsanschluß 12 der Betriebsspannung VCC
fließt. Währenddessen bleibt der Transistor 24 jedoch
im gesperrten Zustand.
Fällt die Spannung am Eingang zwischen den Leitungen 14
und 16 jedoch unter den unteren Schwellenwert, so schaltet
der durch die Transistoren 22 und 23 gebildete Inverter
um, so daß die Gatespannung des Transistors 24 ansteigt.
Somit wird der Transistor 24 leitend und bildet einen
Stromweg von der Betriebsspannung VCC über die Eingangsleitung
11 zur Leitung 14. Dies bedeutet also, daß dann, wenn die
Eingangsspannung unter den unteren Schwellenwert fällt, die
Eingangsschwankungen durch die Störung im Inverter 22, 23 invertiert wird, so
daß die Gatespannung des Transistors 24 ansteigt, was
wiederum ein Ansteigen des Stroms durch den Transistor
(um das Quadrat der Änderung der Spannung VGS) zur Folge
hat. Dies wirkt einem Spannungsanstieg am Eingang entgegen.
Der Strom steigt um den quadratischen Wert der Spannung
VGS an, weil der Inverter 22, 23 die Eingangsschwankung
entsprechend dem Produkt der Verstärkungsfaktoren verstärkt.
Es wird außerdem bemerkt, daß die Einschaltspannungen des
Schutzelementes während des Entwurfs z. B. dadurch variiert
werden können, daß die Schwellenspannungen des Transistors
21 und auch die untere Schwellspannung (definiert durch die
Umschaltspannung des Inverters 22, 23) von der Technologie
bei der Herstellung der Transistoren abhängt. Insbesondere
können diese Werte durch entsprechende Auswahl der Implantationsdosis
bzw. des Implantationsgrades der Transistoren 21, 22 und 23 eingestellt
werden, um das Schutzelement dem gewünschten Anwendungszweck
anzupassen.
Damit
wird ein integriertes dynamisches Schutzelement geschaffen, das beim
Entwurf so bemessen werden kann, daß es innerhalb des
normalen Betriebsspannungsbereiches die Schaltung
schützt, wobei das Schutzelement keine Belastung
darstellt, da es weder Strom von der Eingangsstufe der
zu schützenden Schaltung noch von "außen" (Anschluß 2) aufnimmt.
Sobald die Eingangsspannung jedoch den oberen
Schwellenwert überschreitet, so schaltet der Abschnitt 19
ein und zieht über die Leitung 11 einen Strom in Richtung
des Betriebsspannungsanschlusses 12, wodurch ein Ansprechen
des Schutzes gegen elektrostatische
Entladungen während des normalen Betriebszustandes zwar verhindert
wird, jedoch elektrostatische Entladungen die
die integrierte Schaltung negativ beeinflussen würden, zuverlässig
abgeleitet werden.
Fällt die Eingangsspannung dagegen unterhalb des unteren
Schwellenwertes ab, so schaltet der Abschnitt 20 ein und
zieht Strom vom Betriebsspannungsanschluß in Richtung
der Eingangsleitung 11 und der Leitung 14, wodurch ein
weiteres Absinken der Eingangsspannung und ein Leitendwerden
der Diode 4 mit einer Injektion von störenden Elektronen
verhindert wird, wie es mit der konventionellen Schutzschaltung
ohne das dynamische Schutzelement nicht
möglich war.
Das dynamische Schutzelement ist wie gesagt sehr zuverlässig
und die Ansprech-Schwellenwerte sind einstellbar.
Die Herstellkosten und die für das Schutzelement
notwendige Fläche sind niedrig. Das
Schutzelement weist verhältnismäßig schnelle
Ansprechzeiten auf, die völlig ausreichen, um irgendwelche
Fehlfunktionen zu vermeiden.
Claims (5)
1. Integriertes Schutzelement, insbesondere für Eingänge in MOS-Technologie
von integrierten Schaltungen,
mit einem ersten Abschnitt (19) zum Schutz gegen Spannungen oberhalb eines
ersten Schwellenwertes und einem zweiten Abschnitt (20) zum Schutz gegen
Spannungen unterhalb eines zweiten Schwellenwertes;
dadurch gekennzeichnet,
daß der erste und der zweite Abschnitt (19, 20) parallel zueinander als Eingang 11 des Schutzelementes zwischen einem zu schützenden Eingang (14) der Schaltung (15) und einem Betriebsspannungsanschluß (12) angeordnet und elektrisch mit einem Referenzspannungsanschluß (16) verbunden sind;
daß der erste und der zweite Abschnitt (19, 20) Schaltmittel mit MOS-Transistoren (21-24) aufweisen und so ausgebildet sind, daß sie wahlweise aufgrund der Eingangsspannung zwischen dem Eingang (14) und dem Referenzspannungsanschluß (16) einschalten, wenn diese den ersten Schwellenwert überschreitet oder den zweiten Schwellenwert unterschreitet, wobei der erste Schwellenwert im wesentlichen der Betriebsspannung (Vcc) am Betriebsspannungsanschluß (12) entspricht;
daß der erste Abschnitt (19) so ausgebildet ist, daß er den vom Eingang (14) aufgenommenen Strom in Richtung auf den Betriebsspannungsanschluß (12) leitet, wenn die Eingangsspannung den ersten Schwellenwert überschreitet; und daß der zweite Abschnitt (20) so ausgebildet ist, daß er den vom Betriebsspannungsanschluß (12) aufgenommen Strom in Richtung auf den Eingang (14) leitet, wenn die Eingangsspannung den zweiten Schwellenwert unterschreitet, wobei der zweite Abschnitt (20) einen Inverter (22, 23) mit einer Spannungsfolgestufe (24) enthält.
dadurch gekennzeichnet,
daß der erste und der zweite Abschnitt (19, 20) parallel zueinander als Eingang 11 des Schutzelementes zwischen einem zu schützenden Eingang (14) der Schaltung (15) und einem Betriebsspannungsanschluß (12) angeordnet und elektrisch mit einem Referenzspannungsanschluß (16) verbunden sind;
daß der erste und der zweite Abschnitt (19, 20) Schaltmittel mit MOS-Transistoren (21-24) aufweisen und so ausgebildet sind, daß sie wahlweise aufgrund der Eingangsspannung zwischen dem Eingang (14) und dem Referenzspannungsanschluß (16) einschalten, wenn diese den ersten Schwellenwert überschreitet oder den zweiten Schwellenwert unterschreitet, wobei der erste Schwellenwert im wesentlichen der Betriebsspannung (Vcc) am Betriebsspannungsanschluß (12) entspricht;
daß der erste Abschnitt (19) so ausgebildet ist, daß er den vom Eingang (14) aufgenommenen Strom in Richtung auf den Betriebsspannungsanschluß (12) leitet, wenn die Eingangsspannung den ersten Schwellenwert überschreitet; und daß der zweite Abschnitt (20) so ausgebildet ist, daß er den vom Betriebsspannungsanschluß (12) aufgenommen Strom in Richtung auf den Eingang (14) leitet, wenn die Eingangsspannung den zweiten Schwellenwert unterschreitet, wobei der zweite Abschnitt (20) einen Inverter (22, 23) mit einer Spannungsfolgestufe (24) enthält.
2. Schutzelement nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß der erste Abschnitt (19) einen als Diode geschalteten
MOS-Transistor (21) enthält.
3. Schutzelement nach Anspruch 1 oder 2,
dadurch gekennzeichnet, daß der MOS-Inverter (22, 23) aus zwei Verarmungs-MOS-Transistoren
besteht, deren Implantationsgrad entsprechend dem
gewünschten Wert der unteren Schwellenspannung eingestellt ist.
4. Schutzelement nach einem der vorstehenden Ansprüche,
gekennzeichnet durch
einen ersten MOS-Transistor (21), dessen Gateelektrode und Drainelektrode
miteinander verbunden und an den Eingang (11) des Schutzelementes angeschlossen sind, und dessen
Sourceelektrode mit dem Betriebsspannungsanschluß (12) verbunden ist;
einen zweiten MOS-Transistor (22), dessen Drainelektrode mit dem Betriebsspannungsanschluß (12) verbunden ist, und dessen Gateelektrode und Sourceelektrode miteinander verbunden sind;
einen dritten MOS-Transistor (23), dessen Drainelektrode mit der Gateelektrode und der Sourceelektrode des zweiten MOS-Transistors (22) verbunden ist, dessen Gateelektrode mit dem Eingang des Schutzelementes (11) und dessen Sourceelektrode mit dem Referenzspannungsanschluß (16) verbunden ist; und
einen vierten MOS-Transistor (24) als Speichertransistor, dessen Drainelektrode mit dem Betriebsspannungsanschluß (12), dessen Sourceelektrode mit dem Eingang des Schutzelementes (11) und dessen Gateelektrode mit dem Verbindungspunkt zwischen den Gate- und Sourceelektroden des zweiten MOS-Transistors (22) und der Drainelektrode des dritten MOS-Transistors (23) verbunden ist.
einen zweiten MOS-Transistor (22), dessen Drainelektrode mit dem Betriebsspannungsanschluß (12) verbunden ist, und dessen Gateelektrode und Sourceelektrode miteinander verbunden sind;
einen dritten MOS-Transistor (23), dessen Drainelektrode mit der Gateelektrode und der Sourceelektrode des zweiten MOS-Transistors (22) verbunden ist, dessen Gateelektrode mit dem Eingang des Schutzelementes (11) und dessen Sourceelektrode mit dem Referenzspannungsanschluß (16) verbunden ist; und
einen vierten MOS-Transistor (24) als Speichertransistor, dessen Drainelektrode mit dem Betriebsspannungsanschluß (12), dessen Sourceelektrode mit dem Eingang des Schutzelementes (11) und dessen Gateelektrode mit dem Verbindungspunkt zwischen den Gate- und Sourceelektroden des zweiten MOS-Transistors (22) und der Drainelektrode des dritten MOS-Transistors (23) verbunden ist.
5. Schutzelement nach Anspruch 4,
dadurch gekennzeichnet, daß der erste und der vierte MOS-Transistor (21, 24) vom
Anreicherungs-Typ und der zweite und der dritte MOS-Transistor (22, 23) vom
Verarmungs-Typ sind.
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