DE3431837C2 - Vorrichtung zum Ausrichten eines Galvanisierkopfes relativ zu einem Halbleiter-Leiterrahmen - Google Patents

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zum Aus­ richten eines Galvanisierkopfes relativ zu einem Halbleiter- Leiterrahmen auf einer von ihm längs eines Arbeitsweges durchlaufenen Bearbeitungsmaschine, insbesondere zum elektrolytischen Beschichten und Metallisieren der An­ schlußstellen des Halbleiter-Leiterrahmens.

Beim Metallisieren der Anschlußstellen eines Halbleiter- Leiterrahmens wird ein verhältnismäßig langes Stück des Leiterrahmens schrittweise an einem Galvanisierkopf vor­ beibewegt. Bei jedem Halt wird eine Anzahl von Anschluß­ stellen gleichzeitig galvanisiert bzw. metallisiert. Dann wird der Leiterrahmen mittels eines Schrittschalt­ werks um eine einstellbare Strecke, beispielsweise etwa 20 bis 30 cm (9 bis 11 Zoll), weitergeschoben, wobei neue zu metallisierende Anschlußstellen in den Galvanisier­ kopf gelangen. Da die Schrittschaltvorrichtung relativ weit von dem Glavanisierkopf entfernt ist, können beim Einstellen der Lage der Anschlußstellen relativ zu dem Kopf Fehler entstehen. Diese müssen kompensiert werden, um eine einwandfreie Galvanisierung bzw. Metallisie­ rung der Anschlußstellen zu gewährleisten (US-PS 4,063,993).

Bisher wurde zur Kompensierung solcher Einstellungs­ fehler der Galvanisierkopf genau nach dem Anhalten des Leiterrahmens in Bewegung gesetzt.

Die Bewegung des Galvanisierkopfes geschah dabei bei­ spielsweise von Hand, etwa durch Drehung einer Vorschub- oder Einstellschraube, durch Drehen einer Handhabe oder mit Hilfe ähnlicher Vorrichtungen. Solche Einstellungen erfordern jederzeit die Aufmerksamkeit der Bedienungs­ person während des Betriebs des Galvanisierkopfes, was die genaue Wiederholbarkeit erschwert und zusätzlichen Arbeitsaufwand erfordert Außerdem erschwert die Mög­ lichkeit von Bedienungsfehlern eine genaue Ausrichtung der Anschlußstellen gegenüber dem Galvanisierkopf.

Im Hinblick auf die erwähnten Probleme besteht ein Be­ darf nach einer Vorrichtung zum selbsttätigen Ausrich­ ten von Galvanisierkopf und Anschlußstellen eines Halb­ leiter-Leiterrahmens, nachdem der Leiterrahmen durch das Schrittschaltwerk bewegt wurde, beispielsweise im Anschluß an das Galvanisieren einer Gruppe von Anschluß­ stellen in dem Galvanisierkopf. Durch die Erfindung soll dieser Bedarf befriedigt werden und eine Vorrichtung geschaffen werden, die besonders einfach und robust ge­ baut ist, hohe Zuverlässigkeit gewährleistet und prak­ tisch keine Aufmerksamkeit seitens der Bedienungsperson erfordert.

Der Erfindung liegt somit die Aufgabe zugrunde, eine Vorrich­ tung zum Ausrichten einer Halbleiter-Bearbeitungsma­ schine zu bestimmten Bezugsstellen auf einem Halblei­ ter-Leiterrahmen zu schaffen, bei der die Ausrichtung selbsttätig und ohne Aufmerksamkeit einer Bedienungs­ person erfolgt, so daß der Aufwand möglichst gering ge­ halten wird, ohne daß die Zuverlässigkeit der Ausrich­ tung Einbußen erleidet.

Diese Aufgabe wird durch die im Patentanspruch 1 gekenn­ zeichneten Merkmale gelöst, vorteilhafte Weiterbildungen sind in den Unteransprüchen dargestellt.

Eine Vorrichtung nach der Erfindung enthält einen An­ triebsmotor, der von dem Ausgangssignal eines Verglei­ chers mit zwei Eingängen gespeist wird, von denen der eine ein Signal, das einer Bezugsstellung entspricht, und der andere ein Signal von dem Ausgang eines umlaufenden optischen Kodierers empfängt. Der optische Kodie­ rer kann durch eine Vorrichtung mit Zahnstange und Ritzel betätigt werden, die durch einen Stift oder Dorn mit einer Stellvorrichtung gekuppelt ist; der Stift oder Dorn ist in ein Bezugsloch an dem einen Rande des Halb­ leiter-Leiterrahmens einführbar, der durch den Galvani­ sierkopf hindurchgelaufen ist. Die Stellvorrichtung wird in der Nähe des Endes einer normalen Schrittbewe­ gung des Leiterrahmens eingeschaltet, so daß der Stift und die Zahnstange zusammen mit dem Lei­ terrahmen um eine Schrittstrecke, etwa um 2,5 bis 5 mm (0,100 bis 0,200 Zoll) bewegt werden.

Die Bewegung von Zahnstange und Ritzel erzeugt durch Betätigung des umlaufenden Kodierers ein Signal, das dem Vergleicher zugeführt und mit der Bezugsspannung ver­ glichen wird. Das Ausgangssignal des Vergleichers wird dem Antriebsmotor über einen Servoverstärker zugeführt, der eine Leitspindel oder eine ähnliche Vorrichtung, die mit dem Galvanisierkopf selbst gekuppelt ist, in Betrieb setzt. Wenn also der Antriebsmotor eingeschal­ tet ist, wird der Galvanisierkopf um die Schrittstrecke vorgeschoben, so daß er in genauer Ausrichtung mit den Anschlußstellen auf dem Leiterrahmen gelangt. Die Be­ zugsstellung wird am Anfang durch Handbedienung der Vorrichtung gewählt, und wenn sie einmal festgelegt ist, bleibt sie erhalten, weil die Bezugslöcher, die fort­ laufend nacheinander den Stift oder Dorn der Stellvor­ richtung aufnehmen, in gleichmäßigen Abständen längs des Leiterrahmens angeordnet sind.

Die Vorrichtung enthält erfindungsgemäß die Anordnung eines Stiftes oder Dornes, der sich während eines Schaltschrittes des Halbleiter-Leiterrahmens um eine kurze Strecke bewegt und die Betätigung des umlaufen­ den Kodierers bewirkt. Der Kodierer erzeugt ein Signal, das mit einem Bezugssignal verglichen wird, um ein Ein­ gangssignal eines Antriebsmotors zu bilden. Auf diese Weise kann der Galvanisierkopf um eine Schrittstrecke bewegt werden, die genügt, um ihn in einwandfreier Aus­ richtung mit den Anschlußstellen an dem Halbleiter-Lei­ terrahmen zu bringen. Dies alles geschieht selbsttätig, und ohne die Aufmerksamkeit einer Bedienungsperson zu benötigen.

Im folgenden ist die Erfindung anhand eines in den Zeichnungen dargestellten Ausführungsbeispiels mit wei­ teren Einzelheiten näher erläutert. Es zeigen

Fig. 1 eine vereinfachte schematische Darstellung einer Vorrichtung gemäß der Erfindung zum Ausrichten einer Bearbeitungsmaschine wie beispielsweise des Galvanisierkopfes zum Metallisieren der Anschlußstellen eines Halb­ leiter-Leiterrahmens,

Fig. 2 eine perspektivische Darstellung des Gal­ vanisierkopfes und verschiedener Bauteile der zur selbsttätigen Ausrichtung dienenden Vorrichtung gemäß der Erfindung mit einem Halbleiter-Leiterrahen, der an dem Galva­ nisierkopf vorbeibewegt wird und mit der Vorrich­ tung gekuppelt ist,

Fig. 3 eine Grundrißansicht der Vorrichtung zur Veranschaulichung der Art und Weise, in welcher die Vorrichtung mit dem Kopf und dem Leiterrahmen gekoppelt wird, und

Fig. 4 eine Ansicht eines Halbleiter-Leiterrah­ mens üblicher Art zur Verwendung in Ver­ bindung mit der Vorrichtung gemäß der Er­ findung.

Die Vorrichtung gemäß der Erfindung ist in Fig. 3 allge­ mein mit der Bezugsziffer 10 bezeichnet. Sie kann in Verbindung mit einem Galvanisierkopf 12 üblicher Art verwendet werden, der zum Galvanisieren der Anschluß­ stellen 14 auf einem Halbleiter-Leiterrahmen 16, wie er in Fig. 4 dargestellt ist, dient. In an sich bekann­ ter Weise trägt der Leiterrahmen 16 das Plättchen und sorgt für passende elektrische Verbindungen zwischen dem Plättchen und einem Sockel einer gedruckten Schaltung oder einer sonstigen Vorrichtung. Nachdem das Plättchen mit dem Leiterrahmen 16 fest verbunden ist und die elektrischen Verbindungen hergestellt sind, wird die gesamte Anordnung häufig in ein Kunststoffma­ terial eingekapselt. Leiterrahmen zum Tragen von Halb­ leiterplättchen sind allgemein bekannt und in verschie­ denen Größen und Formen handelsüblich.

Der in Fig. 4 gezeigte Leiterrahmen 16 soll nur ein Bei­ spiel für die Art von Leiterrahmen veranschaulichen, in Verbindung mit denen ein Galvanisierkopf 12 verwendbar ist.

Wie in Fig. 2 gezeigt, enthält der Galvanisierkopf 12 ei­ ne Stützhalterung 18, die verschiebbar mit einem festen waage­ rechten Träger 17 gekuppelt ist. Die Stützhalterung 18 kann beispielsweise eine senkrechte Platte 20 sein. Der Gal­ vanisierkopf 12 enthält zwei Kopfteile 22 und 24, die durch eine Endplatte 26 gekuppelt sind. Die Kopfteile 22 und 24 sind gegeneinander beweg­ bar, so daß sie sich um einen Halbleiter-Leiterrahmen 16 schließen und eine oder mehrere Anschlußstellen 14 des Leiterrahmens 16 gleichzeitig metallisieren können. Im allgemeinen werden vier bis acht Anschlußstellen 14 gleichzeitig metallisiert; allerdings hängt die Arbeits­ fähigkeit des Galvanisierkopfes 12 von seiner Abmessung sowie von der Abmessung der Leiterrahmen 16 ab.

Die Endplatte 26 hat einen Schlitz 28, durch den der Leiterrahmen 16 hindurchlaufen kann. In entsprechender Weise hat die Endplatte am entgegengesetzten Ende des Galvanisierkopfes 12 einen solchen Schlitz (nicht dar­ gestellt) zur Aufnahme des Leiterrahmens 16, dessen Laufrichtung mit dem Pfeil 32 angegeben ist. Galvanisierköpfe, wie der hier beschriebene Kopf 12, sind an sich bekannt. Der Galvanisierkopf 12 ist nur ein Beispiel einer Bearbeitungsvorrichtung oder Maschine, die durch Verwendung der erfindungsgemäßen Vorrichtung 10 mit Bezugsstellen an einem Halbleiter-Leiterrahmen 16 genau ausrichtbar ist. Die Vorrichtung 10 ermöglicht eine sehr genaue Ausrichtung der Anschlußstellen 14 ei­ nes Halbleiter-Leiterrahmens 16 gegenüber den metallisierenden Teilen an den Kopfteilen 22, 24 des Galvanisier­ kopfes 12. Wenn die Anschlußstellen nicht genau ausge­ richtet sind, können sie nicht einwandfrei von dem Kopf galvanisiert bzw. metallisiert werden, was defekte Werk­ stücke, einen geringeren Ausstoß und daher höhere Ko­ sten zur Folge haben würde.

Mit dem Leiterrahmen 16 (am Rande dargestellt) ist ein Schrittschaltwerk 29 gekoppelt, um den Leiterrahmen 16 um jeweils ein Stück gegenüber dem Galvanisierkopf 12 vorzuschieben. In der Regel ist das Schrittschaltwerk 29 eine pneumatische Vorrichtung, die selbsttätig be­ trieben werden kann. Bei den meisten Anwendungen befin­ det sich das Schrittschaltwerk 29 in einem verhältnis­ mäßig großen Abstand von etwa 7,5 bis 15 m (25 bis 50 Fuß) von dem Galvanisierkopf 12 entfernt.

Handelsübliche Schrittschaltwerke bewirken einen Vor­ schub des Leiterrahmens um jeweils in der Größenordnung von 25 bis 30 cm (10 bis 12 Zoll) bei je­ dem Schaltschritt.

Wie in Fig. 3 gezeigt, enthält die Vorrichtung 10 einen Gleichstrom-Servomotor 34 als Antriebseinrichtung 36 zum Antrieb einer Leitspindel 38 in einem Gehäuse. Die An­ triebswelle 40 des Motors 34 trägt ein Stirnrad 42, das mit der Leitspindel 38 im Eingriff steht. Wenn der Mo­ tor 34 eingeschaltet wird, wird die Leitspindel 38 ge­ dreht und verschiebt einen Lenker 44, der mit dem Gal­ vanisierkopf 12 gekuppelt ist, um diesen in Richtung des Pfeils 46 zu verschieben. Das Gehäuse der Antriebs­ einrichtung 36 ist mit einer Klemmvorrichtung 48 (Fig. 2) an dem starren Träger 17 befestigt, längs des­ sen sich die Stützhalterung 18 und der Galvanisierkopf 12 be­ wegen. Der Motor 34 und die Leitspindel 38 sind also ortsfest bezüglich des Trägers 17.

Ein Gehäuse 50 wird von einer Zahnstange 52 (Fig. 2 und 3) auf der dem Austritt des Leiterrahmens 16 aus dem Ge­ häuse 50 gegenüberliegenden Seite getragen. Das Ge­ häuse 50 enthält eine pneumatische Stellvorrichtung 54. Die Stellvorrichtung 54 weist einen zurückziehbaren Dorn oder Stift 56 auf, der von dem Gehäuse 50 aus vor­ steht und in ein Bezugsloch 58 längs des einen unteren Randes 60 des Leiterrahmens 16 eintreten kann.

Die Zahnstange 52 ist in einem Lager 62 auf einer Seite 64 eines Gehäuses des Signalgebers 66 verschiebbar an­ gebracht. Ein umlaufender optischer Kodierer 68 in dem Gehäuse besitzt ein Stirnrad 70, das mit den Zähnen 72 am inneren Ende 74 der Zahnstange 52 im Eingriff steht. Das innere Ende 74 der Zahnstange 52 und das Stirnrad 70 bilden eine Zahnstange mit Ritzel, wobei das Stirnrad 70 sich entgegengesetzt im Uhrzeigerdrehsinn dreht, wenn die Zahnstange 52 sich nach links bewegt. Die Zahnstange 52 bewegt sich nach links, wenn der Stift 56 in ein Loch 58 des Leiterrahmens 16 eingreift und mit dem Leiterrahmen 16 um einen Schaltschritt während des letzten Teils der Schrittschaltbewegung nach der Seite hin gezogen wird.

Der umlaufende Kodierer 68 ist mit der Vergleicherschal­ tung 76 gekoppelt, welche Impulse zählt und den Zählwert mit einem Bezugszählwert vergleicht. Der Unterschied zwischen diesen Zählwerten wird einem Digital/Analog­ wandler zugeführt. Dessen Ausgangsspannung wiederum wird an einen Servoverstärker gelegt (als Stellungs­ rückkopplung), der seinerseits den Motor 34 antreibt, was eine Bewegung der Leitspindel 38 zur Folge hat, um den Lenker 44 und den Galvanisierkopf 12 schrittweise in Richtung des Pfeils 46 (Fig. 3) zu bewegen.

Im Betrieb wird der Leiterrahmen 16 zwischen die Kopf­ teile 22 und 24 eingefädelt, wie in Fig. 2 und 3 gezeigt, und mit einem Schrittschaltwerk 29 gekoppelt, wie in Fig. 3 gezeigt. Angenommen, daß das Schrittschaltwerk 29 den Leiterrahmen 16 in die Lage für den ersten Metallisier­ vorgang gebracht hat, wird der Galvanisierkopf von Hand zur genauen Ausrichtung der Anschlußstellen 14 des Leiterrahmens 16 mit den Kopfteilen 22 und 24 eingestellt. Dies geschieht durch Betätigung eines mit dem Motor 34 verbundenen Hand­ schalters 33. Die Stellvorrichtung 54 und der Dorn 56 sind mit dem Schrittschaltwerk 29 verbunden, wie durch die gestrichelte Linie 31 in Fig. 3 angedeutet. Auf diese Weise kann der Schalter 33 in der Leitung 31 die Stell­ vorrichtung 54 betätigen, um den Stift 56 in ein Bezugs- oder Taktloch 58 in dem Leiterrahmen 16 eintreten zu las­ sen. Somit verschiebt der Motor 34, wenn er von Hand eingeschaltet wird, den Kopf schrittweise, in aller Re­ gel um eine Strecke von 2,5 bis 5 mm (0,100 bis 0,200 Zoll) , wodurch der Lenker 44 die Galvanisierköpfe in genauer Ausrichtung mit den Anschlußstellen 14 zum Metallisieren bringt. Diese kleine Bewegung des Leiterrahmens 16 hat eine seitliche Verschiebung des Gehäuses 50 und damit des Stiftes 56 zur Folge, wodurch der Zahnstangen­ teil 74 der Zahnstange 53 dazu gebracht wird, das Ritzel 70 um einen bestimmten Winkelschritt in der Größenordnung von 20° bis 30° zu drehen. In der Regel ergibt der Aus­ gang des Kodierers 68 10.000 Impulse pro volle Umdre­ hung des Ritzels 70. Bei einer Drehung um 30° liefert also der Kodierer 68 etwa 1.000 Impulse, die von einem Bezugsstellwertzähler 101 gezählt werden. Wenn die Be­ zugsstellung erreicht ist, wird die Maschine automatisch betrieben, so daß die Anschlußstellen 14 des Leiterrah­ mens 16 metallisiert werden, ohne daß es der Aufmerksam­ keit einer Bedienungsperson bedarf.

Bei dem ersten Arbeitszyklus rückt das Schrittschalt­ werk 29 den Leiterrahmen 16 um eine vorbestimmte Strecke vor, beispielsweise 25 bis 30 cm (10 bis 12 Zoll), um neue Anschlußstellen 14 zum Metallisieren in den Galvani­ sierkopf 12 zu bringen. Nahe dem Ende der Bewegung des Leiterrahmens um diesen Schritt wird der Schalter 33 geschlossen, die Stellvorrichtung 54 beträgt, läßt den Stift 56 nach außen vortreten und bringt ihn zum Ein­ tritt in das nächste Loch 58 am Rande 60 des Leiterrah­ mens 16. Wenn der Stift 56 in das Loch 58 eintritt, wird die Vorrichtung 54 mit dem Leiterrahmen 16 gekuppelt und um ein kleines Stück nach links verschoben, was zur Folge hat, daß die Zahnstange 52 sich nach links bewegt und eine Drehung des Ritzels 70 verursacht. Diese Dre­ hung erzeugt eine Reihe von Ausgangsimpulsen, die an den Zähler 100 gelegt werden. Der Ausgang des Zählers 100 wird verglichen mit dem Bezugswertzähler 101, was eine Spannung zur Folge hat, die dem Abstand von der zu erreichenden gewünschten Stellung proportional ist. Diese Spannung wird dann am Summierglied 103 mit einer Spannung summiert, die proportional der Gegen-EMK des Motors ist (Geschwindigkeitsrückkopplung) und die an den Servoverstärker 104 gelegt wird, so daß der Motor 34 die Leitspindel 38 dreht. Die Drehung der Leitspin­ del 38 hat eine Verschiebung des Lenkers 44 in Richtung des Pfeiles 46 und damit eine Bewegung des Galvanisier­ kopfes 12 zur genauen Ausrichtung mit den Anschlußstel­ len 14 des Leiterrahmens 16 zur Folge. Der Galvanisier­ kopf 12 wird dann eingeschaltet, um eine Anzahl von An­ schlußstellen 14 in dem Kopf zu metallisieren. Das Galva­ nisieren oder Metallisieren kann nur auf einer Seite jeder Anschlußstelle oder aber auch auf entgegenge­ setzten Seiten erfolgen, je nachdem wie der Kopf selbst kon­ struiert ist. Wenn die Metallisierung beendet ist, öffnen sich die Kopfteile und das Schrittschaltwerk 29 wird erneut betätigt, um den Leiterrahmen 16 nach links vor­ zuschieben, und der ganze Vorgang wiederholt sich.

Wenn die Galvanisierkopfteile sich nach dem Metallisier­ vorgang öffnen, führt der Motor 34 den Galvanisierkopf 12 in seine anfängliche Ausgangsstellung zurück. Da­ durch wird die Maschine in die Lage gebracht, sich stets in einer Richtung zu bewegen und auf diese Weise Tot­ gang der Maschine zu vermeiden. Wenn die Maschine einmal in Gang gesetzt ist, kann der Kopf 12 genau "eingestimmt" werden, um die beste Stellung durch Einstellen des Werts an dem an der Summierstelle 102 an­ liegenden Bezugszähler zu erhalten.

Im wesentlichen steuert der Hilfsverstärker 104 den Motor 34 an, um die Lage des Galvanisierkopfes 12 zu verändern und der Bewegung des Leiterrahmens 16 nach dem Eingreifen von Stift 56 in Loch 58 zu folgen. In diesem Fall des Arbeitszyklus wird die Bewegung des Leiterrah­ mens 16 gestoppt. Der Hilfsverstärker 104 erhält Infor­ mationen sowohl zur gewünschten Kopfposition (VREF) als auch zur Geschwindigkeit des Leiterrahmens 16, um den Mo­ tor 34 richtig zu steuern. Dabei gibt die Verbindung 84 die Gegen-EMK von Motor 34 an den Leseverstärker 105. Es handelt sich um eine mit der Positionsmeldung von der Vergleicherschaltung 76 kombinierte geschwindig­ keitsbezogene Rückkopplung.

Die Gegen-EMK-Rückkopplung aus dem Verstärker 105 re­ gelt die Geschwindigkeit ein und vermeidet die Notwen­ digkeit eines Tachometers. Es ist also eine ständige Geschwindigkeits- und Stellungsrückkopplung für die Genauigkeit der Höchstgeschwindigkeit und der Stellung des Galvanisierkopfes 12 vorhanden. Die Stellungsrück­ kopplung wird über das Summierglied 102 summiert und die Geschwindigkeit über das Summierglied 103. Im Detail wird hierzu die in Fig. 3 als VREF bezeichnete Bezugs­ spannung an einen Komparator 80 in der Vergleicherschal­ tung 76 angelegt. Der optische Kodierer 68 im Signal­ geber 66 erzeugt eine Reihe von Impulsen, die die Be­ wegung des Leiterrahmens 16 nach Eintreten von dem Stift 56 in das Loch 58 darstellen. Das Ziel der Erfindung besteht darin, den Galvanisierkopf 12 mittels des An­ triebes 36 zu bewegen und dem Leiterrahmen 16 nachzufüh­ ren, wenn dessen Vorschub zum Stehen gebracht wird. Die Vergleicherschaltung 76 enthält einen D/A-Wandler 78, der ein GS-Signal auf Leitung 79 erzeugt, welches die vom Signalgeber 66 erfaßte Bewegung des Leiterrahmens darstellt. VREF ist eine am Komparator 80 anliegende Gleichspannung, die die gewünschte Impulszählung aus Element 68 darstellen soll. Somit liegt am Ausgang von Komparator 80 ein digitales Abbild der Stellung des Leiterrahmens 16 in bezug auf eine durch VREF bestimmte gewünschte Position an. Das Signal wird an den Lese­ verstärker 105 geleitet, dem außerdem das Ausgangssig­ nal des Hilfsverstärkers 104 eingespeist wird. Der Lese­ verstärker 105 liefert dann die Informationen zur Stel­ lung des Leiterrahmens 16 und zur Geschwindigkeit an den Summierverstärker 103. Zu beachten ist, daß der Summier­ verstärker 102 die Geschwindigkeitsinformation liefert.

Bewegt sich der Leiterrahmen 16 schnell, so wird der Mo­ tor 34 über den Hilfsverstärker 104 stärker angetrie­ ben, um den Antriebskopf 12 schneller zu bewegen. Mit abnehmender Geschwindigkeit des Leiterrahmens 16 und An­ näherung an die Endstellung reduziert der Hilfsverstär­ ker 104 den auf Motor 34 wirkenden Antrieb, so daß auch die Bewegung des Galvanisierkopfes 12 langsamer wird. Es ist darauf zu achten, daß die Stellung des Galvanisierkopfes 12 so eingestellt ist, daß sie zur Stellung des Leiter­ rahmens 16 paßt und daß ebenso die jeweiligen Geschwin­ digkeiten der Bewegung zueinander passen.

Claims (8)

1. Vorrichtung zum Ausrichten eines Galvanisierkopfes (12) relativ einem Halbleiter-Leiterrahmen (16) auf einer von ihm längs eines Arbeitsweges durchlaufenen Bear­ beitungsmaschine, insbesondere zum elektrolytischen Beschichten und Metallisieren der Anschlußstellen (14) des Halbleiter-Leiterrahmens (16), gekennzeichnet durch folgende Merkmale:
eine Stellvorrichtung (54) mit einem zurückziehba­ ren Dorn oder Stift (56) zum Eintritt in ein Bezugs­ loch (58) des Halbleiter-Leiterrahmens (16)
eine Haltevorrichtung zur beweglichen Festlegung der Stellvorrichtung (54) längs des Arbeitsweges,
eine Kraftquelle, mit der die Stellvorrichtung (54) kuppelbar ist, um den Dorn oder Stift (56) in ein Bezugsloch (58) eines benachbarten Leiterrahmens (16) einzudrücken, so daß die Stellvorrichtung (54) sich mit dem Leiterrahmen (16) bewegt, wenn der Dorn oder Stift (56) in das Bezugsloch (58) des Leiterrahmens (16) eingreift,
ein mit der Stellvorrichtung (54) ge­ kuppelter Signalgeber (66), der ein Ausgangssignal als Funktion der Strecke abgibt, um welche sich die Stellvorrichtung (54) zusammen mit dem Leiterrahmen (16) bewegt, und
eine mit der Bearbeitungsmaschine kuppelbare An­ triebseinrichtung, die den Galvanisierkopf (12) in Abhängigkeit von dem Ausgangssignal relativ zu dem Leiterrahmen (16) bewegt.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die zur beweglichen Festlegung der Stellvorrich­ tung (50) dienende Haltevorrichtung eine Zahnstange (52) mit Ritzel (70) aufweist.

3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Stellvorrichtung (54) mit einem pneu­ matischen Antrieb arbeitet und einen verschiebbaren Zap­ fen aufweist, welcher den Dorn oder Stift (56) bildet bzw. trägt.

4. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß das eine Ende der zu der Haltevorrichtung gehö­ renden Zahnstange (52) mit der pneumatischen Stell­ vorrichtung (54) verbunden ist und der Signalgeber (66) einen auf die lineare Bewegung der Zahnstange (52) ansprechenden umlaufenden Kodierer (68) aufweist.

5. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß eine Vergleicherschaltung (76) zum Aufnehmen des Signals aus dem umlaufenden Kodierer (68) und zur Aufnahme eines zusätzlichen Bezugssignals (VREF) vor­ gesehen ist, und daß der Ausgang der Vergleicher­ schaltung (76) mit der Antriebseinrichtung (36) ver­ bunden ist.

6. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Antriebseinrichtung (36) einen Motor (34) hält, dessen Ausgangswelle mit einer Leitspindel (38) gekuppelt ist, welche mit der Bearbeitungsma­ schine kuppelbar ist, so daß sie deren Verschiebung aufgrund des Betriebs des Motors (34) bewirkt.

7. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Stellvorrichtung (54) pneumatisch arbeitet und einen Dorn oder Stift (56) aufweist, der in ein in dem Leiterrahmen (16) vorgesehenes Loch (58) paßt, daß die Haltevorrichtung eine Zahnstange (52) mit Zähnen (72) an ihrem einen Ende (74) auf­ weist, mit denen ein Stirnzahnrad (70) im Eingriff steht,
daß der Signalgeber (66) einen mit dem Stirnzahnrad (70) gekuppelten umlaufenden Kodierer (68) aufweist und bei seiner Drehung ein Ausgangssignal liefert,
daß ein Vergleicher (80) vorgesehen ist, dessen erster Eingang (79) mit dem Kodierer (68) verbunden ist und dessen zweiter Eingang (82) zur Aufnahme eines Be­ zugssignals (VREF) dient,
daß der Antriebsmotor (34) mit dem Ausgang des Ver­ gleichers (76) verbunden ist und
daß eine Leitspindel (36) mit dem Antriebsmotor (34) gekuppelt ist und von diesem gedreht wird, sowie mit der Bearbeitungsmaschine gekuppelt ist.

8. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß sie ein Schrittschaltwerk (29) zum Bewegen des Leiterrahmens (16) relativ zu der Bearbeitungsmaschine enthält, welches ein Arbeitsweg-Endsignal zur Ein­ schaltung der Stellvorrichtung (54) liefert.