DE3411134A1 - Dickschichtverzoegerungsleitung und verfahren zu deren herstellung - Google Patents

Description

Dickschichtverzögerungsleitung und Verfahren zu deren Herstellung

Die Erfindung betrifft eine Miniaturverzögerungsleitung, die durch Dickschichtherstellungstechniken gemacht wird. Die Vorrichtung ist klein und kann in einer aktiven Verzögerungsleitung in Verbindung mit anderen Bauteilen, wie z.B. einem Verstärker, oder in einer passiven Verzögerungsleitung, wo sie allein ohne andere Bauteile verwendeL· wird, eingesetzt werden.

Es gibt ältere Verzögerungsleitungen, die aber bestimmte Mangel aufweisen. Die Herstellungstechniken dieser älteren Konstruktionen machen es schwierig, sie in Massenproduktion in großen Mengen leicht und schnell herzustellen. Die gegenwärtigen Techniken zur Herstellung dieser vorbekannten Vorrichtungen benutzen nicht das Drucken dicker Schichten. Außerdem beanspruchen viele der vorbekannten Vorrichtungen eine beträchtliche Menge Raum und sind nicht ohne weiteres für Miniaturschaltungen anpaßbar.

Ein weiteres Problem bei älteren Vorrichtungen ist ihre Schadensanfälligkeit, wenn sie einem Stoß oder einer Erschütterung ausgesetzt werden. Oft zeigen diese älteren Vorrichtungen Veränderungen in ihren elektrischen Merkmalen, wenn sie einmal einem Stoß oder einer Erschütterung ausgesetzt worden sind.

Ein weiteres Problem bei den älteren Vorrichtungen ist ihr Mangel an Flexibilität. Sie sind gewöhnlich

so konstruiert, daß sie in der Lage sind, nur eine einzige Verzögerungszeit zu schaffen, und sie sind gewöhnlich nicht in der Lage eine Vielzahl von verschiedenen Verzögerungszeiten entsprechend den Bedürfnissen der speziellen Schaltung, in welcher sie verwendet werden, zu schaffen.

Daher besteht die Aufgabe der Erfindung in der Schaffung einer verbesserten Miniaturverzögerungsleitung. Außerdem soll eine Verzögerungsleitung geschaffen werden, die mittels Techniken hergestellt wird, die es gestatten, sie in Massenproduktion in großen Mengen leicht und schnell herzustellen. Ferner soll eine Verzögerungsschaltung geschaffen werden, die mit einem minimalen Aufwand von Materialen zu sehr geringen Kosten hergestellt werden kann. Auch soll eine Verzögerungsleitung geschaffen werden, die durch den Einsatz von Dickschichttechniken hergestellt werden kann, um den Arbeitsaufwand für die Herstellung des Teiles stark zu vermindern. Weiterhin soll eine Verzögerungsschaltung geschaffen werden, die platzmäßig sehr klein ist. Darüber hinaus soll eine Verzögerungsleitung geschaffen werden, die steif ist und in der Lage ist, Stöße und Erschütterungen zu absorbieren, ohne ihre elektrischen Merkmale zu verändern. Ferner soll eine Verzögerungsleitung geschaffen werden, die unter Verwendung herkömmlicher Dickschichtherstellungsmethoden und herkömmlicher Dickschxchtmaterialen und Ausrüstungsteilen hergestellt werden kann. Auch soll eine Verzögerungsleitung geschaffen werden, die in einer solchen Form hergestellt werden kann, daß unterschiedliche Verzögerungszeiten von einem einzelnen Teil abgezapft werden können.Ferner soll eine Vorrichtung geschaffen werden, die wirtschaftlich in der

. R mm.

Herstellung, dauerhaft im Gebrauch und effizient im Betrieb ist.

Diese Aufgabe wird mit den Merkmalen des kennzeichnenden Teiles des Patentanspruches 1 bzw. 6 gelöst.

Gegenstand der Erfindung ist somit eine Verzögerungsleitung, die ein Keramiksubstrat aufweist, auf dem eine Vielzahl von Verzögerungsschaltungen, eine auf der anderen, gedruckt sind. Jede Verzögerungsschaltung weist ein festes Leitermuster auf, das auf das Substrat gedruckt ist, um die Massenseite der verteilten Kapazität der Verzögerungsleitung zu bilden. Als nächstes wird eine erste dielektrische Schicht auf das feste Muster gedruckt, so daß ihre Kapazität oder dielektrische Konstante richtig ist, um die gewünschten elekrischen Charakteristika für die Verzögerungsleitung zu schaffen. Auf die erste dielektrische Schicht wird ein spiralförmiges Leitermuster gedruckt, wobei das äußere Spiralende mit einem Anschluß an der Kante des Substrats und wobei das innere Spiralende mit einem zweiten Anschluß an der Kante des Substrats verbunden ist. Um das innere Ende der Spirale an die äußere Kante des Substrats zu bringen, ist es notwendig, das innere Ende über einem Teil des spiralförmigen Leiters kreuzweise anzuordnen. Eine kleine dielektrische Schicht wird zwischen dem inneren Ende der Spirale und dem überkreuzten Teil der Spirale angeordnet, um einen elektrischen Kontakt dazwischen zu verhindern.

Eine zweite dielektrische Schicht wird dann auf die

— Q —

Spirale gedruckt, so daß die Spirale vollständig bedeckt ist.

Eine zweite Verzögerungsschaltung wird durch Drucken eines zweiten festen Leitermusters auf die erste Verzögerungsschaltung und dann durch Fortfahren mit einem ähnlichen Schichtmuster, wie es für die erste dielektrische Schaltung vorgesehen ist, geschaffen. Eine Vielzahl von dielektrischen Schaltungen kann auf diese Weise übereinander geschichtet werden.

Alle festen Leiterfolien der verschiedenen Verzögerungsleitungen sind gemeinsam mit einem Massenanschluß verbunden. Die Spiralleiter der verschiedenen Verzögerungsschaltungen sind jedoch miteinander in Reihe geschaltet, wobei das innere Spiralende der einen Verzögerungsschaltung gemeinsam mit dem äußeren Spiralende einer angrenzenden Verzögerungsschaltung verbunden ist. Somit ist es durch Anzapfen verschiedener Kombinationen von Anschlüssen an der Kante der Vorrichtung möglich, die Größe der durch die Verzögerungsschaltungen geschaffenen Verzögerung zu verändern. Beispielsweise ist es möglich, die Verzögerung 1 und 2 anzuzapfen, ohne die Verzögerungen 2 bis 5 zu verwenden. Als eine Alternative ist es möglich, die Verzögerungen 1 bis 5 anzuzapfen und dadurch Nutzen aus der gesamten Kombination von Verzögerungs-Schaltungen zu ziehen.

Die flachen Spiralen der verschiedenen Schaltungen sind übereinandergeschichtet, wodurch gegenseitige Induktionen zwischen den Spulen verursacht werden. Diese gegenseitige Induktion bewirkt, daß

-ΙΟΙ die gesamte Induktion sämtlicher übereinandergeschichteter Spiralen größer als die Summen der einzelnen Induktionen der separat genommenen Spiralen ist.

Die Verzögerungsleitung kann leicht in großen Zahlen durch Drucken der Teile auf einem länglichen "Abrechsubstrat" hergestellt werden.

Ein Abrechsubstrat ist ein längliches Keramiksubstrat, das vorgeschriebene Linien darauf hat, so daß es in 20 bis 40 Teile nach dem Drucken und Brennen der Verzögerungsleitungsschaltungen gebrochen werden kann.

Die Verzögerungsleitung gemäß der Erfindung kann als aktive Verzögerungsleitung durch die Hinzufügung eines Umformers an jedem Eingang und Ausgang der Verzögerungsleitung verwendet werden.

Der Umformer kann 14 Stifte haben, die so angeordnet sind, daß sie mit den 14 Stiften der Verzögerungsleitung übereinstimmen. Bei dieser Anordnung können die Verzögerungsleitung und der. Umformer 'huckepack"miteinander verbunden werden, um ein einzelnes Paket zu bilden.

Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung ist in den Zeichnungen dargestellt und wird im folgenden näher beschrieben. Es zeigt:

Fig. 1 die Verzögerungsleitung gemäß der Erfindung in der Perspektive,

Fig. 2 eine ähnliche Darstellung wie Fig. 1, wobei Teile der Verzögerungsleitung weggebrochen

sind,

um das Innere davon zu zeigen,

Fig. 3a - 3d Darstellungen der verschiedenen Schichten innerhalb einer Verzögerungsleitungsschaltung und

Fig. 4a - 4d die Anordnung der verschiedenen Spiralleiter in drei getrennten Verzögungsschaltungen innerhalb der Verzögerungsleitung gemäß der Erfindung.

In den Zeichnungen ist mit der Bezugsziffer 10 global die Verzögerungsleitung gemäß der Erfindung bezeichnet. Die Verzögerungsleitung 10 umfaßt ein Substrat 12, eine Vielzahl von Kontaktanschlußplättchen oder -pads 14a - 14g und 16a - 16g und eine Vielzahl von Verzögerungsschaltungsanordnungen 18a - 18e. Die Vorrichtung gemäß Fig. 1 ist mit einem dielektrischen Material beschichtet, das die ganze Außenseite der Vorrichtung bedeckt und die inneren Bauteile vor äußeren Einflüssen schützt. Eine Vielzahl von Leitungen 22a - 22g und 24a - 24g sind in elektrischem Kontakt mit den Kontakten 14a - 14g bzw. 16a - 16g und erstrecken sich nach oben aus dem einkapselnden Material 20 heraus, wie in Fig. 1 gezeigt ist.

Obwohl die Vorrichtung 10 in Fig. 1 mit einem dielektrischen Material 20 beschichtet dargestellt ist, kann die Vorrichtung 10 auch in einem Preßstoff in Verbindung mit anderen Bauteilen, wie z.B. Transistoren, Widerständen usw., eingebettet oder eingekapselt sein.

Das Substrat 12 hat vorzugsweise eine rechteckige Gestalt mit einer oberen Oberfläche 26, einer unteren

Oberfläche 27, einem Paar entgegengesetzter Endkanten 28, 30 und einem Paar entgegengesetzer Seitenkanten 32, 34.

Auf der oberen Oberfläche 26 ist die erste Verzögerungsschaltungsanordnung 18a angebracht, die im Detail in den Figuren 3a - 3d gezeigt ist. Die unterste Schicht der Verzögerungsschaltung 18a umfaßt eine feste Folie aus leitendem Material 36, die auf die obere Oberfläche 26 des Substrats 12 durch herkömmliche Mittel gedruckt ist. Eine Leitung 38 ist ebenfalls auf die Oberfläche 26 gedruckt und verbindet die Folie 36 mit dem Kontakt 14a.

Fig. 3b zeigt den zweiten Schritt des Verfahrens zur Herstellung der Verzögerungsschaltung 18a. Eine erste dielektrische Schicht 40 wird über dem festen Leiter 36 angeordnet,um diesen vollständig zu bedecken. Die Wahl der Dicke und des Materials für das Dielektrikum wird so getroffen, daß seine Kapazität oder dielektrische Konstante richtig ist, um die gewünschten elektrischen Charakteristika für die Verzögerungsleitung zu schaffen. Die richtige Wahl der Dicke und des Materials, für das Dielektrikum ist ein Vorgang, der auf diesem Gebiet allgemein bekannt ist.

Fig. 3c zeigt den dritten Schritt in der Herstellung der Verzögerungsschaltung 18a. Ein spiralförmiger Leiter 42 wird auf die erste dielektrische Schicht 40 gedruckt und beinhaltet ein äußeres Spiralende 44, das mit dem Kontaktanschlußplättchen 14g elektrisch verbunden ist, und ein inneres Spiralende 46, das

<j mit dem Kontaktanschlußplättchen 14f mittels einer überkreuzenden Leitung 48 verbunden ist, die einen Teil des spiralförmigen Leiters 4 2 überkreuzt, um das innere Spiralende 46 mit dem Kontaktanschlußplättchen 14f zu verbinden. Ein kleiner dielektrischer Flecken 50 ist zwischen der kreuzenden Leitung 48 und dem Teil des spiralförmigen Leiters 42 angeordnet, über den die Leitung 48 hinweggeht, um einen elektrischen -jQ Kontakt zwischen ihnen zu verhindern.

Fig. 3d zeigt den letzten Schritt im Verfahren zur Herstellung der Verzögerungsschaltung 18a. Eine zweite dielektrische Schicht 57 wird dem gesamten spiralförmigen Leiter 4 2 überlagert, so daß sie diesen vollständig bedeckt.

Die Verzögerungsschaltung 18b ist auf dieselbe Weise aufgebaut, wie die Verzögerungsschaltung 18^a und wird auf die dielektrische Schicht 57, die in Fig. 3d gezeigt ist, gesetzt.Der einzige Unterschied zwischen der Verzögerungsschaltung 18b und der Verzögerungsschaltung 18a ist die Art und Weise, auf die die inneren und äußeren Spiralenden 44, 46 mit den Kontaktanschlußplättchen verbunden sind. Wie aus den Figuren 4a bis 4d ersichtlich ist, sind die spiralförmigen Leiter 42 dieser verschiedenen Schaltungen in Reihe miteinander verbunden. Das äußere Ende des spiral-

3Q förmigen Leiters 42 der Schaltung 18a (Fig. 3c) ist mit dem Kontaktanschlußplättchen 14gverbunden, und sein inneres Ende ist mit dem Kontaktanschlußplättchen 14f verbunden. Das äußere Spiralende 44 der Schaltung 18b (Fig. 4a) ist mit dem Kontaktanschlußplättchen 14f verbunden ,und ihr inneres Ende ist mit dem Kontaktanschlußplättchen 14everbunden.

Das äußere Spiralende 44 der Schaltung 18c (Fig. 4b) ist mit dem Kontaktanschlußplättchen 14e verbunden, und ihr inneres Spiralende 46 ist mit dem Kontaktanschlußplättchen 14d verbunden.

Das äußere Spiralende 44 der Schaltung 18d ist mit dem Kontaktanschlußplättchen 14d verbunden ,und ihr inneres Spiralende 4 6 ist mit dem Kontaktanschlußplättchen 14c verbunden. Das äußere Spiralende 44 der Schaltung 18e ist mit dem Kontaktanschlußplättchon 14c verbunden ,und ihr inneres Spiralende ist mit dem Kontaktanschlußplättchen 14d verbunden. Somit ist ersichtlich, daß die verschiedenen Schaltungen 18a bis 18e in Reihe miteinander verbunden sind.

Obwohl nur fünf Schaltungen 18a bis 18e gezeigt sind, ist es möglich, elf verschiedene Schaltungen aufeinander zu schichten, wobei die KontaktanschlußpLättchen 14b bis 14g und 16a bis 16g verwendet werden.

Das Kontaktanschlußplättchen 14a bildet einen gemeinsamen Anschluß für alle festen Folienleiter 36 der verschiedenen Schaltungen 18a bis 18e. Somit können die Folien 36 an eine gemeinsame Masse angeschlossen werden, um die Massenseite der verteilten Kapazität innerhalb der Verzögerungsleitung 10 zu bilden.

Eine Vielzahl von Leitungen 22a bis 22g und 24a bis 24g können auf herkömmliche Art und Weise mit den Kontantanschlußplättchen 14a bis 14g bzw. 16a bis 16g verbunden werden. Die spezielle Ausbildung der Leitungen 22, 24 kann verändert

•j werden, ohne von der Erfindung abzurücken. Eine Form ist in der Zeichnung gezeigt, die einen vertikalen Leitungsfuß 52 aufweist, der an seinem unteren Ende ein C-förmiges Teil hat, das aus einem oberen horizontalen Schenkel 54, einem unteren horizontalen Schenkel 56 und einem verbindenden vertikalen Schenkel 58 gebildet ist. Die Schenkel 54, 56 umfassen die obere Oberfläche von jedem Kontaktpad 14 und die untere Oberfläche des Substrats 12 nach der Art einer Feder, um einen festen Reibungssitz zu schaffen. Eine weitere Befestigung kann durch Löten oder andere herkömmliche Verfahren vorgesehen werden. Obwohl die Leitungen 22 mit aufrechten Teilen 52 gezeigt sind, die sich von der oberen Oberfläche der Verzögerungsleitung 10 aus nach oben erstrecken, können sich diese Leitungen entweder von der unteren Oberfläche der Verzögerungsleitung aus nach unten erstrecken oder sie können sich auf einer Linie, die parallel zu der Ebene des Substrats ist oder in irgendeine andere gewünschte Richtung erstrecken, ohne von der Erfindung abzuweichen.

Nachdem die Leitungen 22 befestigt worden sind, wird die gesamte Vorrichtung in einer dielektrischen oder Plastikbeschichtung 20 eingekapselt, die eine weitere Befestigung der Leitungen an den Kontaktanschlußplättchen 14, 16 schafft. Nur die aufrechten Teile 52 erstrecken sich von dem Kapselmaterial oder der Beschichtung 20 aus nach außen.

Wie aus Fig. 2 ersichtlich ist, ist die Dicke von jedem Kontaktplättchen 14a bis 14g und 16a bis 16g ausreichend,um die vertikale Höhe der verschiedenen Verzögerungsschaltungen 18a bis 18d zu überspannen.

Hierdurch ist jedes KontaktanschlußpLättchen 14, an der für die Kontaktherstellung mit dem inneren und äußeren Spiralende 44, 46 jeder Verzögerungsschaltung 18a bis 18d richtigen Höhe vorhanden.

Bei Verwendung der oben beschriebenen Dickschichtdrucktechnik ist es möglich, 20 bis 40 Verzögerungsleitungen herzustellen, indem sie alle auf einmal auf einem üblichen Abbrechsubstrat gedruckt werden, das ein großes Keramiksubstrat ist, das in kleinere Abschnitte zerschnitten worden ist, so daß sie auseinandergebrochen werden können, nachdem das Drucken beendet worden ist. Wenn eine aktive Verzögerungsleitung erforderlich ist, d.h. eine Verzögerungsleitung, die mit einem Umformer an jedem Eingang und Ausgang verbunden ist, kann der Teil mit dem Umformer verbunden werden, und dann in eine Paketform eingegossen oder eingekapselt werden. Ansonsten kann die Vorrichtung, wie in den Zeichnungen dargestellt, in die Plastikbeschichtung 20 zur Verwendung getrennt von anderen Bauteilen eingegossen werden.

Durch die vorstehenden Ausführungen wird ersichtlich, daß das Herstellungsverfahren der oben beschriebenen Konstruktion es gestattet, sie in Massenproduktion in großen Mengen leicht und schnell herzustellen. Die Vorrichtung kann mit einem minimalen Aufwand von Materialen zu sehr geringen Kosten hergestellt werden, und die bei der Herstellung der Erfindung angewandte Dickschichttechnik vermindert den zur Herstellung des Teiles erforderlichen Arbeitsaufwand erheblich. Die Verzögerungsleitung kann platzmäßig sehr klein gemacht werden,und die Steifheit der Konstruktion und die Herstellungs-

verfahren gestatten es dem Teil, Stöße und Erschütterungen mit einer minimalen Veränderung seiner elektrischen Charakteristika zu absorbieren. Die Vorrichtung kann unter Verwendung herkömmlicher gegenwärtig bekannter Dickschichtherstellungstechniken, Materialen und Ausrüstungsteilen hergestellt werden.

Ein weiterer Vorteil der Erfindung besteht darin, daß sie es dem Benutzer gestattet, die Vorrichtung sozu verbinden, daß verschiedene Verzögerungszeiten entsprechend der Wahl des Benutzers abgezapft werden können. Wenn beispielsweise die Vorrichtung durch Verbinden der Leitungen 14b und 14g angezapft wird, wird die gesamte kombinierte Verzögerung, die durch die Schaltungen 18a bis 18e erzielt wird, verwirklicht werden. Wenn eine kürzere Verzögerung gewünscht wird, ist es möglich, die Leitungen 14d und 14g oder andere Kombinationen von Leitungen anzuzapfen, die verschiedene Verzögerungszeiten erzeugen werden. Somit hat die Vorrichtung eine Flexibilität, die sie in die Lage versetzt, bei einer großen Anzahl verschiedener Anwendungsfälle eingesetzt zu werden.

Es ist somit ersichtlich, daß die Vorrichtung wenigstens alle der genannten Ziele erfüllt.

Claims (7)

Patentansprüche

1./Dickschichtverzögerungsleitung, gekennzeichnet durch ein Substrat (12), das eine obere Oberfläche (26), eine untere Oberfläche (27) und eine Vielzahl von Begrenzungskanten (28, 30, 32, 34) hat, eine Vielzahl von leitenden Kontaktanschlußplättchen (14a - 14g, 16a - 16g), die mit Abstand zueinander entlang wenigstens eines Teiles der Begrenzungskanten (28, 30, 32, 34) angeordnet sind, wobei jedes der Kontaktanschlußplättchen (14a - 14g, 16a - 16g) dafür ausgebildet ist, eine elektrische Leitung (22a - 22g, 24a - 24g) zu empfangen, eine Vielzahl von Verzögerungsschaltungsanordnungen (18a - 18e)einschließlich einer oberen Verzögerungs-

anordnung (18a) und einer unteren Verzögerungsanordnung (18e), die auf der oberen Oberfläche (26) des Substrats (12) angeordnet und schichtenweise übereinandergelegt sind, wobei jede der Verzögerungsschaltungsanordnungen (18a - 18e) umfaßt eine feste Folie (36) aus leitendem Material, eine erste Schicht (40) aus dielektrischem Material, die über der festen leitenden Folie (36) angeordnet ist, einen spiralförmigen Leiter (42), der auf die erste dielektrische Schicht (40) gedruckt ist und ein äußeres Spiralende (44) und ein inneres Spiralende (46) hat, wobei das innere Spiralende (46) einen Teil des spiralförmigen Leiters (42) überkreuzt und angrenzend an eine (32) der Begrenzungskanten (28, 30, 32, 34) des Substrats (12) endet, ein dielektrisches Mittel (50), das zwischen dem überkreuzten Teil des spiralförmigen Leiters (42) und dem inneren Spiralende (46) angeordnet ist, um einen elektrisehen Kontakt daxwischen zu verhindern, und eine zweite dielektrische Schicht (57), die über allen spiralförmigen Leitern (4 2) angeordnet ist, wobei jede der festen leitenden Folien (36) mit einem gemeinsamen Kontaktanschlußplättchen (14a) verbunden ist und wobei jedes der inneren (46) und äußeren (44) Spiralenden von jedem Leiter mit einem separaten Kontaktanschlußplättchcn (14a-14g, 16a-16g) verbunden ist.

2. Dickschichtverzögerungsleitung nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch eine Vielzahl von elektrischen Leitungen (22a - 22g, 24a - 24g), von denen jede mechanisch und elektrisch mit einem der Kontaktanschlußplättchen (14a - 14g, 16a - 16g) verbunden ist.

3. Dickschichtverzögerungsleitung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Substrat (12) rechteckig ist und entgegengesetzte Endkanten (28, 30) und entgegengesetzte Seitenkanten (32, 34) hat, wobei die Kontaktanschlußplättchen (14a- 14g, 16a - 16g) an dem Substrat (12) angrenzend zu den entgegengesetzten Seitenkanten (32, 34) angeordnet sind.

4. Dickschichtverzögerungsleitung nach Anspruch 3, dadurch gekenn zeichne L,daß sich jedes der Kontaktanschlußplättchen (14a - 14g, 16a - 16g) von dem Substrat (12) aus nach oben bis zu einer vorbestimmten Höhe über der oberen Oberfläche (26) des Substrats (12) erstreckt, wobei die vorbestimmte Höhe annähernd der gesamten Dicke der schichtweise angeordneten Vielzahl von Verzögerungsschaltungsanordnungen (18a 18e) entspricht.

5. Dickschichtverzögerungsleitung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß das dielektrische Material (20) das Substrat (12),die Kontaktanschlußplättchen (14a - 14g, 16a 16g) und die schichtweise angeordneten Verzögungsschaltungsanordnungen (18a - 18e) umgibt und einkapselt.

6. Verfahren zum Herstellen einer Dickschicht-

Verzögerungsleitung, gekennzeichnet durch die Schritte:

Anbringen einer Vielzahl von elektrisch leitenden Kontaktanschlußplättchen (14a - 14g, 16a - 16g) mit Abstand zueinander entlang wenigstens einer Kante (32, 34) eines dielektrischen Substrats (12),

das eine obere Oberfläche (26) , eine untere Oberfläche (27) und eine Vielzahl von Begrenzungskanten (28, 30, 32, 34) hat,

Anordnen einer ersten Verzögerungsschaltungsanordnung (18a) auf der oberen Oberfläche (26) des Substrats durch Drucken eines ersten leitenden Folienteiles (36) auf die obere Oberfläche (26), Bedecken des leitenden Folienteiles (36) mit einer ersten dielektrischen Schicht (40), Drucken eines spiralförmigen Leiters (42) auf die erste dielektrische Schicht (40), Verbinden des äußeren Spiralendes (44) der Spirale (42) mit einem (14g) der Kontaktanschlußplättchen (14a - 14g, 16a 16g) und des inneren Spiralendes (46) der Spirale (42) mit einem anderen (14f) der Kontaktanschlußplättchen (14a - 14g, 16a - 16g), Bedecken der Spirale (42) mit einer zweiten dielektrischen Schicht (57),

Anordnen wenigstens einer zweiten, mit der ersten Verzögungsschaltung (18a) identischen Verzögerungsschaltung (18b) auf der ersten Verzögerungsschaltung (18a),

Verbinden der leitenden Spirale (42) der zweiten Verzögerungsschaltung (18b) in Reihe mit der leitenden Spirale; (42) der ersLen Schaltung (18a) durch Verbinden des äußeren Spiralendes

(44) der zweiten Schaltung (18b) mit dem anderen Kontaktanschlußplättchen (14f) und durch Verbinden des inneren Spiralendes (46) der zweiten Schaltung (18b) mit einem dritten Kontaktanschlußplättchen (14e).

7. Verfahren nach Anspruch 6,gekennzeichnet durch kreuzweises Anordnen jedes inneren Spiralendes (46) über einem Teil jeder Spirale (42), um jedes innere Spiralende (46) in unmittelbare Nähe eines (14f) der Kontaktanschlußplättchen (14a- 14g, 16a - 16g) zu bringen und Anordnen eines dielektrischen Materials (50) zwischen dem inneren Spiralende (46) und dem überkreuzten Teil der Spirale (42) , um einen elektrischen Kontakt dazwischen zu verhindern.