DE3228183C2 - Flache Elektronenstrahlröhre und Verfahren zu ihrer Herstellung - Google Patents

Abstract

Im Hauptpatent wird ein Flachbildschirm mit folgendem Aufbau beschrieben: Eine gasgefüllte Hülle wird durch eine mit einer Elektrodenmatrix versehene Steuerplatte in eine vordere und eine hintere Kammer unterteilt (Nachbeschleunigungsraum 5, Gasentladungsraum 6). Beim Betrieb der Röhre brennt im Gasentladungsraum, und zwar jeweils zwischen einer Kathode (7) an der Hüllenrückwand (2) und einem Zeilenleiter (11) der Elektrodenmatrix ein Plasma, aus dem durch ausgewählte Kanäle der Steuerplatte Elektronen gezogen werden; diese Elektronen werden im Nachbeschleunigungsraum (5) auf eine kV gebracht und platzen auf einem Lumineszenzschirm (8) auf. Die Steuerplatte des Patents ist dadurch charakterisiert, daß sie "verdeckt" ist, das heißt, die Elektroneneintrittsöffnungen (13) sind mit den zugehörigen Elektronenaustrittsöffnungen (14), durch gewundene Kanäle verbunden. Der vorliegende Lösungsvorschlag zielt darauf ab, mit einer Röhre dieses Typs eine Farbdarstellung zu realisieren und sieht hierzu vor, die in den Nachbeschleunigungsraum (5) eintretenden Elektronenstrahlen in an sich bekannter Weise auf Lumineszenzschirmbereiche auszulenken, die in einer der drei Grundfarben emittieren. In einem bevorzugten Ausführungsbeispiel ruhen die Spaltenleiter (12) auf einem isolierenden Grundkörper, der zugleich auch die Zwischen elektroden (21Δ) trägt und durch doppelseitige Ätzung einer Platte entstanden ist.

Description

Die Erfindung betrifft eine Flachbildröhre gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1. Eine solche Flachbildröhre wird in der älteren Patentanmeldung P 32 22 850.3 beschrieben.

Die dort beschriebene Röhre zeichnet sich vor allem dadurch aus, daß das im Gasentladungsraum erzeugte Plasma praktisch nicht mehr auf den Nachbeschleunigungsraum übergreifen kann, daß die dargestellten Bilder einen sehr dunklen Hintergrund haben und daß der Aufbau relativ einfach ist und auch kleinste Bildpunktabstände erlaubt.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, die Flachbildröhre der eingangs genannten Art für eine mehrfarbige Darstellung auf der Basis dreier Grundfarben anzupassen, und zwar so, daß alle seine Vorteile im wesentlichen gewahrt bleiben. Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch eine Elektronenstrahlröhre mit den Merkmalendes Anspruchs 1 gelöst.

Der Lösungsvorschlag übernimmt das an sich bekannte Konzept, pro »Weißpunkt« jeweils nur einen Elektronenstrahl zu erzeugen und diesen Strahl durch eine Nachablenkung auf die drei Farbpunkte des Weißpunkts zu führen. Diese Technik, die etwa in der DE-OS 27 42 555 ausführlich diskutiert wird und auch schon ganz allgemein für aus zwei Kammern bestehende Elektronenstrahlröhren vorgeschlagen worden ist (DE-OS 29 39 426), hat gegenüber der konventionellen Methode, jeden Farbpunkt mit einem eigenen Elektronenstrahl anzuregen, eine Reihe von Vorzügen: Der Ansteueraufwand ist insgesamt geringer. Die Steuerstruktur kann ein gröberes Raster haben und ist damit leichter herstellbar, ein Umstand, der vor allem bei Geräten mit hoher Bildauflösung wie Fernsehröhren ins Gewicht fällt. Die gleiche Steuerstruktur kann — mit oder ohne Zusatzteil — für eine farbige oder monochromatische Darstellung benutzt werden und ist somit vielseitig verwendbar. Dabei gestalten sich die Verhältnisse im vorliegenden Fall besonder;; günstig, weil man die Strahlablenkung mit Elektroden bewerkstelligen kann, die schon aus Gründen der Strahlfokussierung vorhanden sein sollten, und überdies der in den Nachbeschleunigungsraum eintretende Elektronenstrahl in Auslenkungsrichtung sehr schmal ist und dementsprechend eine besonders feine Farbpunktrasterung zuläßt.

Die Ablenk- und Fokussiereinheit kann mit einer oder zwei Fukussierelektroden — im folgenden auch »Zwischenclektroden« genannt — pro Spaltenleiter aufgebaut sein. Beide Alternativen haben ihre spezifischen Vorzüge: 1st den Spalten jeweils nur eine einzige Elektrcde zugeordnet, so erhält die Steuerstruktur einen relativ einfachen Aufbau; allerdings muß man beachten, daß Elektronenstrahlen benachbarter Spalten gegenläufig abgelenkt werden, und den Leuchtschirm und/ oder den Schaltungsteil der Röhre entsprechend auslegen. Eine Ausführung mit zwei Zwischenelektroden pro Spalte ist mechanisch etwas komplizierter, zumal die schmalen Spalte zwischen nebeneinanderliegenden Elektrodenpaaren überschlagsfest sein müssen und keine Falschstrahlen passieren lassen dürfen; sie ist den-

»o noch der einfacheren Variante unter Umständen vorzuziehen, da die Nutzstrahlen sauber voneinander entkoppelt sind und die Elektronenstrahlröhre mit einer herkömmlichen Farbpunktverteilung und konventionellen Ansteuereinheiten auskommt.

Im allgemeinen wird man die zeilensequentiell adressierte Elektronenstrahlröhre so ansteuern, daß die jeweils selektierte Zeile nacheinander die drei Farbauszüge der gesamten Zeileninformation erhält und die Elektronenstrahlen zeitsynchron abgelenkt werden. Dane-

jo ben besteht aber auch noch die Möglichkeit, die Farbinformationen bild- statt zeilenweise einzuschreiben. Ein solcher Bildaufbau könnte sich für farbige Datensichtschirme empfehlen.

Die Fertigung einer erfindungsgemäßen flachen Elektronenstrahlröhre wird besonders rationell, wenn man die Spaltenleiter durch ein Isolatorgerüst abstützt, das zugleich auch als Träger für die Zwischenelektroden fungieren kann. Hat dieses Gerüst die in Anspruch 4 charakterisierte Form, so läßt es sich durch eine beidseitige Ätzung gewinnen. Eine solche Ätzbehandlung ist unproblematisch, da man rückseitig durch die vorgegebenen Elektronendurchtrittsöffnungen hindurch ätzen kann und bei der Wahl der frontseitigen Ätzöffnungen in weiten Grenzen frei ist. Bemerkenswerterweise sind die eingeätzten Trägerflächen für die Zwischenelektrodenpaare automatisch selbst zentriert, so daß man ohne sonderlichen lustieraufwand zu den richtigen Feldkonfigurationen vorder Spaltenleiterebene kommt.
Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen und Weiterbildüngen der Erfindung sind Gegenstand zusätzlicher Ansprüche.

Der Lösungsvorschlag soll nun anhand mehrerer Ausführungsbeispiele in Verbindung mit der Zeichnung näher erläutert werden. In den Figuren sind einander entsprechende Teile mit gleichen Bezugszeichen versehen. Es zeigt

F i g. 1 eine Elektronenstrahlröhre in einem Ausführungsbeispiel nach der Erfindung, teilweise geschnitten, in einer Perspektivansicht;

Fig. 2 die Stcuerstruktur der Elektronenstrahlröhre nach Fig. 1, teilweise weggebrochen und auseinandergezogen, aus einer anderen Perspektive;

Fi g. 3 von einer abgewandelten Steuerstruktur den spaltenseitigen Teil, ebenfalls teilweise weggebrochen und in einer perspektivischen Darstellung.

Der in der F i g. I mit seinen wesentlichen Teilen dargestellte Flachbildschirm dient zur Wiedergabe farbiger Fernsehbilder. Er enthält im einzelnen eine gasgefüllte

Hülle 1 mit einer Rückplatte 2, einer Frontplatte 3 und einer Steuerstruktur 4. Alle drei Teile erstrecken sich in zueinander parallelen Ebenen, wobei die Steuerstruktur das Hülieninnere in zwei Räume, einen vorderen Nachbeschleunigungsraum 5 und einen hinteren Gasentladungsraum 6, unterteilt.

Die Rückplatte 2 ist auf ihrer Vorderseite mit einer Schar von zueinander parallelen, relativ großflächigen streifenförmigen Gasentladungskathoden 7 versehen. Die Frontplatte 3 trägt auf ihrer Rückseite ein regelmäßiges Raster aus Lumineszenzstreifen 8 und darüber eine Nachbeschleunigungsanode 9. Die Lumineszenzstreifen 8, die durch die Elektronen zur Lichtabgabe angeregt werden können, emittieren in den Farben rot (R), grün (G) und blau (B). Sie sind auf dem Bildschirm mit einer periodischen Farbfolge verteilt — eine Periode umfaßt sechs Streifen mit dem Farbmuster R-G-B-B-G-R.

Die Steuerscheibe 4, die gegen die Frontplatte 3 durch einen Abstandsrahmen 10 geschützt ist, geht am deutlichsten aus Fig.2 hervor. Sie hat folgenden Aufbau: Ein Träger aus isolierendem Material ist auf seiner Rück- und Vorderseite jeweils mit einer Schar aus streifenförmigen, zueinander parallelen Leitern (Zeilenleiter 11 bzw. Spaltenleiter 12) versehen. Die Zeilenleiter verlaufen parallel zu den streifenförmigen Gasentladungskathoden 7, und die Spaltenleiter erstrecken sich senkrecht dazu. In jeden der Leiter 11,12 sind öffnungen — Elektroneneintrittsöffnungen 13 in den Zeilenleitern 11 und Elektronenaustrittsöffnungen 14 in den Spaltenleitern 12 — eingebracht. Der isolierende Träger besteht aus einem — randseitig umrahmten — Gitter 15, das seinerseits relativ massive Stützen 16 und vergleichsweise feine Querstreben 17 umfaßt und aus spaltenseitigen Stegen 18 zusammengesetzt ist. Das Gitter 15 ist so positioniert, daß die Zeilenleiter an ihren beiden Rändern einer Stütze 16 aufliegen, die überdies den Zwischenraum zwischen benachbarten Zeilenleitern ausfüllt, und in ihren Abschnitten zwischen den ElektroneneintrittsöffjTjngen !3 auf den Querstreben 17 ruhen. Die Stege 18 stützen die Spaltenleiter 12 in ähnlicher Weise wie die Stützen 16 die Zeilenleiter 11; sie haben allerdings einen wesentlich kleineren Querschnitt und sind außerdem durch Lücken 19 in einzelne Abschnitte aufgeteilt. Während die Stege 18 hinter der Spaltenleiterebene angeordnet sind, befinden sich vor dieser Ebene noch weitere Isolatorteile. Es sind dies zwischen den Spaltenleitern erstreckte Stäbe 20. die auf ihrer Rückseite an den Elektroden und/oder den Stegen fixiert sind und auf ihrer Vorderseite jeweils mit einer Zwischenelektrode 21 in Form eines aufmetallisierten Streifens versehen sind.

Die gesamte Steuerstruktur wird folgendermaßen hergestellt und montiert:

Zunächst fertigt man das Gitter 15 mit den Zeilenleitern 11 (»Zeilenteil«), die durch Lücken 19 unterbrochenen Stege 18 mit den Spaltenleitern 12 (»Spaltenteil«) und die Stäbe'20 mit ihren Zwischenelektroden 21 (»Ablenkteile«) als gesonderte Untereinheiten. Zur Herstellung des Zeilenteils erzeugt man auf einer Glasplatte die erforderliche Leiterstruktur und ätzt dann die Platte von beiden Seiten her. Die Ätzung auf der Elektrodenseite erfolgt durch die Elektroneneintrittsöffnungen hindurch, und die elektrodenabgewandte Seite wird mittels einer Maske mit langgestreckten, jeweils einem Zeilenleiter zugeordneten Schlitzen geätzt: die Form der Maskenschlitze ist dabei unkritisch. Das Spaltenteil erhält man, wenn man eine relativ dünne Glasplatte auf ihrer einen Seite mit dem gewünschten Elektrodenmuster versieht und auf ihrer anderen Seite durch eine Maske hindurch ätzt, deren Löcher die breiten Abstände zwischen benachbarten Stegen und die schmalen, definiert plazierten Lücken in den einzelnen Stegen ermöglichen. Nach der Metallisierung der Stäbe fügt man die Untereinheiten zusammen, wobei die Stützen in den Steglükkcn Aufnahme finden; anschließend verfestigt man die Einzelteile miteinander und erhält ein mechanisch fe-

H) stes, selbsttragendes Gebilde.

Im Betrieb der Röhre liegen an den einzelnen Elektroden folgende Spannungen. An den selektierten bzw. nichtselektierten streifenförmigen Gasentladungskathoden — 200 V bzw. 0 V; an den getasteten bzw. nichtgetasteten Zeilenleitern OV bzw. —50 V; an den Spailenleitern 12 zwischen —80 V und —30 V; an den Zwischcnelektroden —100V oder abwechselnd —50 V bzw. —50 V oder aber — ebenfalls alternierend — — 50 V bzw. —150 V; und an der Nachbeschleunigungsanode +4 kV. Die Zeilenleiter werden nacheinander getastet, das heißt, sukzessive auf die Spannung 0 V angehoben. Während der Tastzeit erhalten die Spaltenleiter parallel die dem Zeileninhalt entsprechenden Signalspannungen, und zwar nacheinander die einzelnen Farbkomponenten des Gesamtinhalts. Die Kathodenspannungen sind mit der Zcilenabtastspannung derart synchronisiert, daß das plasma bei der Zeilenfortschaltung jeweils zwischen dem ausgewählten Zeilenleiter und der gerade gegenüberliegenden Gasentladungskathode

jo brennt. Und die Zwischenelektrodenpotentiale werden im Takt der Tastzeitintervalle so verändert, daß die Elektronenstrahlen, die infolge der an den Zwischenelektroden herrschenden Spannungsverhältnisse entweder nach links oder nach rechts abgelenkt werden oder aber keinerlei Auslenkung erfahren, auf dem farbrichtigen Lumineszenzstreifen landen.

Eine mehr ins einzelne gehende Darstellung dieses Röhrentyps, insbesondere auch Angaben zur Geometrie der sogenannten »verdeckten« Steuerstruktur, findet sich in der Patentanmeldung P 32 22 850.3. auf die hiermit ausdrücklich verwiesen wird.

Bei der geschilderten Steuerstruktur ist die Herstellung der einzelnen Teile relativ unproblematisch. Man muß allerdings eine gewisse Sorgfalt darauf verwenden.

die Zwischenelektrodenträger in bezug auf die Spaltenleiter auszurichten. Diese ]ustierarbeiten sind nicht erforderlich, wenn das Spaltenteil und die Ablenkteile baulich zu einem einzigen, in Fig. 3 dargestellten System zusammengefaßt werden.

so Der isolierende Grundkörper dieses Systems, der sowohl die Spaltenleiter 12 als auch Zwischenelektroden 2Γ trägt, hat im wesentlichen die gleiche Form wie das Gitter 15 des Zeilenteils, mit Balken 22 und Querripper 23 entsprechend den Stützen 16 bzw. den Querstreber

17. Er wird auch grundsätzlich genau so wie das Gittei hergestellt, also durch eine doppelseitige Ätzung au einer Glasplatte herausgearbeitet Wie die F i g. 3 zeigtl trägt jeder Balken 22 auf seinen durch die frontseitigej Ätzung entstandenen Flanken jeweils einen aufmetalli

sierten Streifen, der als Zwischenelektrode 21' dient| Das bedeutet, daß zu jedem Spaltenleiter zwei Zwi schenelektroden gehören, die sich folgendermaßen oh ne sonderlichen Aufwand realisieren lassen:

Bei dem fertig geätzten Grundkörper werden diejeni

b% gen Bereiche, in denen sich benachbarte Balken anl nächsten kommen, durch Lackpfropfen verschlösset] und die Frontflächen der Balken mit einer Lackschich abgedeckt. Dann bedampft man das System von vom|

und zwar senkrecht zu seiner Erstreckungsebenc mit einem geeigneten Metall und erhält somit mit einem einzigen Aufdampfschritt sämtliche Zwischenelektroden. In einer Variante hierzu könnte man zur Abdckkung der Balkenfrontflächen auf die Lackschicht zurückgreifen, die zur Ätzung des Grundkörpers verwendet worden war. Man spart dann am Maskierungsaufwand, kommt jedoch nicht umhin, die geradzahligen und ungeradzahligen Zwischenelektroden aus zwei verschiedenen, schrägen Richtungen aufzudampfen, da die \o wiederverwendeten Ätzöffnungen nur relativ schmal sind. Im Rahmen dieses photolitographischcn Verfahrens sollten zugleich mit den Zwischenelektroden die erforderlichen Anschlüsse erzeugt werden, und zwar auf ungeätzten Grundkörperbereichen am Bildschirm- \% rand. Dies ist ohne weiteres möglich, da die geradzahligen und ungeradzahligen Zwischenelektroden jeweils auf eine Spannungsquelle geschaltet werden können und die entsprechende Interdigitalstruktur mit einem höchst einfachen Zuleitungsmuster auskommt.

Eine Röhre mit zwei statt einer Zwischenelektrode pro Spaltenleiter kann prinzipiell mit den gleichen Betriebsspannungen an den einzelnen Elektroden arbeiten. Der wesentliche Unterschied besteht darin, daß benachbarte Elektronenstrahlen nicht mehr gegensinnig, sondem gleichsinnig abgelenkt werden. Dementsprechend können die Lumineszenzstreifen auf der Frontplatte das gewohnte Muster bilden, bei dem beispielsweise das Farbentripel R-G-B periodisch aufeinander folgt. Die Ansteuerschaltung selbst ist in beiden Fällen die gleiche. Sie braucht im vorliegenden Zusammenhang nicht näher erläutert zu werden, da sie keinerlei Schwierigkeiten bereitet; als Vorlage könnte beispielsweise die in der bereits zitierten DE-OS 27 42 555 ausführlich behandelte Schaltung dienen.

Die Erfindung beschränkt sich natürlich nicht nur auf die dargestellten Ausführungsbeispiele, da es lediglich darauf ankommt, daß die flache Elektronenstrahlröhre mit einer verdeckten Steuerplatte eine Strahlablenkung im Nachbeschleunigungsraum erhält. Deshalb ist vor allem der konstruktive Gestaltungsspielraum noch relativ groß: So könnten etwa die Zwischenelektroden auch in der Spaltenleiterebene plaziert sein und/oder die Form von Drähten statt Bändern haben. Davon abgesehen könnte auch die aus den Zeilenleitern, Spallenleitern und dem zwischengeordneten Träger bestehende Steuerplatte beliebig geformt sein, wenn nur dafür gesorgt ist, daß die Elektronenaustrittsöffnungen »auf Lücke« zwischen den Elektroneneintrittsöffnungen stehen.

Hierzu 2 Blatt Zeichnungen

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Claims (5)

Patentansprüche:

1. Flache Elektronenstrahlröhre mit folgenden Merkmalen:

a) die Elektronenstrahlröhre besitzt eine gasgefüllte Hülle (1), die auf der einen Seite durch eine Frontplatte (3) und auf der gegenüberliegenden Seite durch eine zur Frontplatte (3) parallele Rückplatte (2) abgeschlossen wird;

b) der Innenraum der Hülle (1) ist durch eine parallel zur Frontplatte (3) und parallel zur Rückplatte (2) verlaufende Steuerscheibe (4) in einen der Rückplatte (2) zugewandten Gasentla- is dungsraum (6) und einen der Frontplatte (3) zugewandten Nachbeschltunigungsraur.i (5) unterteilt;

c) Die Rückplatte (2) trägt auf ihrer Innenseite mindestens eine Gasentladungskathode (7);

d) die Frontplatte (3) trägt auf ihrer Innenseite eine durch Elektronen anregbare Lumineszenzschicht und eine Nachbeschleunigungsanode

e) die Steuerscheibe (4) besitzt in ihrer dem Gasentladungsraum (6) zugewandten Seite regelmäßig angeordnete Elektroneneintrittsöffnungen (13);

f) die Steuerscheibe (4) trägt auf ihrer dem Gasentladungsraum (6) zugewandten Seite zueinander parallele, streifenförmige Zeilenleiter (11), über die durch Anlegen geeigneter Spannungen der Eintritt von Elektronen in die Elektroneneintrittsöffnungen (13) gesteuert werden kann;

g) die Steuerscheibe (4) besitzt in ihrer dem Nachbeschleunigungsraum (5) zugewandten Seite regelmäßig angeordnete Elektronenaustrittsöffnungen (14);

h) die Steuerscheibe (4) trägt auf ihrer dem Nachbeschleunigungsraum (5) zugewandten Seite zueinander parallele, streifenförmige Spaltenleiter (12), die senkrecht zu den Zeilenleitern (11) verlaufen und über die durch Anlegen geeigneter Spannungen der Austritt von Elektronen aus den Elektronenaustrittsöffnungen (14) gesteuert werden kann;

i) über durchgehende öffnungen in der Steuerscheibe (4) sind den Elektroneneintrittsöffnungen (13) Elektronenaustrittsöffnungen (14) zugeordnet, so daß Elektronen aus dem Gasentladungsraum (6) in den Nachbeschleunigungsraum (5) gelangen können;

j) die Zeilenleiter (11) sind mit einer ersten Spannungsquelle verbunden, die bei Ansteuerung eines Zeilenleiters (U) ein in bezug auf das Potential der Gasentladungskathode (7) derart positives Potential liefert, daß zwischen der Gasentladungskathode (7) und dem angesteuerten Zeilenleiter (11) eine Elektronen liefernde Gasent- bo ladung brennt;

k) die Spaltenleiter (12) sind mit einer zweiten Spannungsquelle verbunden, die während der Zeit, in der ein bestimmter Zeilcnleiter (11) angesteuert wird, zugehörige Signalspannungen *>■> liefert;

I) die Nachbeschleunigungsanodc (9) ist mit einer dritten Spannungsquelle verbunden, die an die Nachbeschleunigungsanode (9) ein derart hohes Potential legt, daß die aus dem Gasentladungsraum (6) in den Nachbsschleunigungsraum (5) gelangenden Elektronen auf einige kV beschleunigt werden und schließlich auf die Lumineszenzschicht treffen;

m) einander zugeordnete Elektroneneintrittsöffnungen (13) und Elektronenaustrittsöffnungen (14) überlappen sich in einer senkrecht zur Ebene der Steuerscheibe (4) verlaufenden Richtung nicht;

n) die zweite Spannungsquelle erzeugt eine Spannung, die stets niedriger ist als die an dem gerade angesteuerten Zeilenleiter (11) anliegenden Spannung;

o) jedem Spaltenleiter (12) sind eine oder zwei streifenförmige, zu den Spaltenleitern (12) parallel verlaufende Fokussierungselektroden (21, 21') zugeordnet, um die die Elektronenaustrittsöffnungen (14) verlassenden Elektronen zu fokussieren;

dadurch gekennzeichnet, daß zur Darstellung farbiger, aus drei Grundfarben aufgebauter Bilder

p) die Fokussierungselektroden (21,2V) auf einem periodisch derart modulierten Potential liegen, daß die durch eine Elektronenaustrittsöffnung (14) gelangten Elektronen während jeder Modulationsperiode in drei Richtungen ausgelenkt werden und dabei jeweils auf einen von drei Bereichen der Lumineszenzschicht treffen, die jeweils in einer der drei verschiedenen Grundfarben leuchten.

2. Elektronenstrahlröhre nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Modulationsperiode der Ansteuerzeit (»Tastzeit«) für einen der Zeilenleiter (11) entspricht.

3. Elektronenstrahlröhre nach den Ansprüchen 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die geradzahligen Fokussierungselektroden (21,21') mit einer vierten Spannungsquelle und die ungeradzahligen Fokussierungselektroden (21, 2V) mit einer fünften Spannungsquelle verbunden sind.

4. Elektronenstrahlröhre nach einem der Ansprüche 1 bis 3, bei der die Elektronenaustrittsöffnungen (14) Löcher in den Spaltenleitern (12) sind und jedem der Spaltenleiter (12) jeweils zwei Fokussierungselektroden (21') zugeordnet sind, dadurch gekennzeichnet, daß die Spaltenleiter (12) von einem isolierenden Grundkörper aus Balken (22) und Querrippen (23) getragen werden, wobei die Balken (22) jeweils zwischen zwei nebeneinanderliegenden Spaltenleitern (12) parallel zu diesen verlaufen und die Querrippen (23) sich jeweils zwischen benachbarten Elektronenaustrittsöffnungen (14) eines Spaltenleiters (12) erstrecken, und daß die Balken (22) auf ihren einander zugewandten Flächen jeweils mit einer der beiden einem Spaltenleiter (12) zugeordneten Fokussieriingselckiroden(2l') versehen sind.

5. Verfahren zur Herstellung einer flachen Elektronenstrahlröhre nach Anspruch 4, gekennzeichnet durch die folgenden Verfahrensschriue:

a) eine erste Glasplatte wird mit einer Schar von Zcilcnleitcrn (11) beschichtet;

b) aus der so beschichteten ersten Glasplatte wird durch beidseitiges Ätzen ein Gitter erzeugt, wobei die zeilenleiterseitige Ätzung der ersten Glasplatte durch die in den Zeilenleitern (11) vorgesehenen Elektroneneintriithöffnungen (13) hindurch erfolgt:

c) eine zweite Glasplatte wird mit einer Schar von Spaltenleitern (12) beschichtet;

d) aus der so ^beschichteten zweiten Glasplatte wird durch beidseitiges Ätzen der gitterförmige Gruniikörper hergestellt, der nach dem Ätzen aus Balken (22) und Querrippen (23) besteht, wobei die spaltenleiterseitige Ätzung durch die in den Spaltenlfiitem (12) vorgesehenen Elektronenaustrittsöffnungen (14) hindurch erfolgt;

e) auf die einander zugewandten Flächen der Balken (22) des Grundkörpers werden die Fokussierungselektroden (2Γ) aufmetallisiert;

f) die so bearbeitete erste und zweite Glasplatte werden zusammengesetzt und miteinander verfestigt, um so die Steuerscheibe (4) zu bilden;

g) die so hergestellte Steuerscheibe (4) wird mit den übrigen Teilen der Elektronenstrahlröhre montiert.