DE3223157C2 - Einspiegelungsvorrichtung - Google Patents

Abstract

Bei einer Mikroskopanordnung, bei der das Bild einer Maske in den Strahlengang des Mikroskops eingespiegelt wird, wird eine Zwischenabbildung der Maske erzeugende Makrophotoeinrichtung verwendet, um Manipulationen an der Maske zu erleichtern. Diese Makrophotoeinrichtung ist ein an das Mikroskop anschließbares Zusatzgerät.

Description

Die Erfindung betrifft eine Einspiegelungsvorrichtung für ein Mikroskop mit einer Linsenanordnung zur Projektion von Masken, die mittels einer Lichtquelle von hinten beleuchtet werden, in eine Filmebene oder Brennebene eines Okulars.

Eine Einspiegelungsvorrichtung dieser Art ist beispielsweise aus der US-PS 36 23 807 bekannt. Mit dieser Einspiegelungsvorrichtung kann eine von hinten beleuchtete Maske im Mikroskop eingespiegelt werden. Die Masken weisen lichtdurchlässige Stellen in Form von Strichrastern, Ziffern, Maßstäben u. dgl. auf einem lichtundurchlässigen Film auf, so daß diese Zeichen und Markierungen hell auf dem hellen Bild des Objektivs erscheinen und werden derart beleuchtet, daß die Wendel der Beleuchtungslampe über einen Kollektor möglichst vollständig in die Eintrittspupille der Projektionslinse abgebildet wird. Da das auf die Filmebene oder die Okularebene des Mikroskops projizierte Sehfeld der Projektionslinse ohne weiteres wesentlich größer als die über dem Kollektor der Beleuchtungseinrichtung liegende Maske sein kann, können die Zeichen auf der Maske im Extremfall so groß wie die Maske sein, die dann in einem Teilbereich des Sehfeldes des Mikroskops eingespiegelt werden, dessen Größe sich zum gesamten Sehfeld des Mikroskops verhält wie die Größe der Maske zum Sehfeld der Projektionslinse. Da ferner in einem solchen Fall mit der Beleuchtungsanordnung nur noch eine Teilfläche im Sehfeld des Mikroskopes beleuchtet wird, wird die Helligkeit der Zeichen im gleichen Maße gesteigert, was bei hellen Objektfeldern von besonderer Bedeutung ist.

Aus der AT-PS 23 28 364 ist eine Zeichene'ijrichtung für Mikroskope bekannt, bei der die Projektionslinse eine variable Brennweite aufweist wodurch der Abbildungsmaßstab für die in das Mikroskop eingespiegelte Zeichenfläche innerhalb eines bestimmten Bereiches verändert werden kann.

ίο Aus den DE-OS 30 24 027 und 19 31 407 ist es bekannt, bei Einspiegelungsvorrichtungen zur Projektion von hinten beleuchteter Masken auf eine Film- oder Okularebene Einrichtungen zur Verschiebung des Bildes einer Maske über das gesamte Okular- oder Photofeld vorzusehen. Allerdings können keine Masken verwendet werden, die wesentlich größer sind als das Sehfeld des Mikroskops, weil eine Linsenanordnung zur verkleinerten Abbildung der Maske in eine zur Zwischenbildebene des Mikroskops konjugierte Ebene und in der Einrichtung zur Verschiebung des Bildes der Maske nicht vorgesehen ist

Ausgehend von einer Einspiegelungsvorrichtung der eingangs genannten Art liegt der Erfindung nun die Aufgabe zugrunde, eine Einrichtung zur Verschiebung des Bildes einer Maske innerhalb des Okularsehfeldes zu schaffen.

Diese Aufgabe wird nach einer ersten Ausführungsform der Erfindung dadurch gelöst, daß eine Einrichtung zur Verschiebung des Bildes der Maske innerhalb der Bildebene vorgesehen ist, mit der die Projektionslinse in einer zu ihrer optischen Achse senkrechten Ebene verschiebbar ist und die Projektionslinse die festangeordnete Maske in eine zur Filmebene oder Brennebene des Okulars konjugierte Ebene abbildet, wobei die Gesamtzahl der Zwischenabbildungen der Maske so gewählt ist, daß die Bewegungsrichtung des Maskenbildes in der Filmebene oder Brennebene des Okulars entgegengesetzt zur Richtung der Verschiebung der Projektionslinse ist.

Nach einer zweiten Ausführungsform der Erfindung wird diese Aufgabe dadurch gelöst, daß eine Einrichtung zur Verschiebung des Bildes der Maske in der Filmebene oder der Brennebene des Okulars vorgesehen ist, mit der die Maske zusammen mit der Lichtquelle und der Kollektorlinse längs einer Kreisbahn bewegbar ist, wobei der Krümmungsmittelpunkt der Kreisbahn auf der optischen Achse und in der Eintrittspupillenebene der Projektionslinse liegt.
Vorzugsweise ist die Projektionslinse ein Varioobjektiv.

Die Erfindung wird nun an zwei Ausführungsbeispielen und an Hand der Zeichnung näher erläutert. In der Zeichnung stellen dar

F i g. 1 schematisch ein erstes Ausführungsbeispiel der Erfindung und

Fig.2 "-chematisch ein zweites Ausführungsbeispiel der Erfindung.

Mit 10 ist das Objektiv eines Mikroskopes, mit 12 eine Photokamera und mit 14 ein Prisma bezeichnet, das den Objektstrahl 16 teilt und einen Teil zum Einblick 18 abzweigt. Mit 20 ist ein zwischen dem Prisma 14 und dem Objektiv 10 angeordneter teildurchlässiger Spiegel bezeichnet, mit dessen Hilfe Markierungen wie z. B. Raster oder sonstige Kennzeichnungen in den Objektstrahl 16 eingespiegelt werden können.

Die Markierungen sind auf einer Maske 22 aufgebracht als lichtdurchlässige Stellen auf einem lichtundurchlässigen Film, der von hinten beleuchtet wird Mit

24 ist die das Licht abgebende Wende! und mit 26 ein Kollektor einer Beleuchtungsanordnung bezeichnet.

28 ist der Markierungsstrahl, der vor dem Auftreffen auf den teilweise lichtdurchlässigen Spiegel 20 noch durch einen Spiegel 30 umgelenkt wird so daß Maske und Objekt parallel zueinander liegen.

Die Wendel 24 wird durch den Kollektor 26 in die Eintrittspupille des Mikroskopes abgebildet, so daß sich eine optimale Lichtausnützung ergibt Die Maske liegt dabei in einer zur Filmebene bzw. zur Okularebene des Mikroskopes konjugierten Ebene.

Erfindungsgemäß ist nun zwischen dem Spiegel 20 zur Einspiegelung der Markierungen ai'f der Maske 22 und der Maskenanordnung 32 ein Projektionslinsensystem 34 vorgesehen, das im wesentlichen eine Linse bzw. eine Linsenanordnung 36 und eine Eintrittspupille 38 umfaßt und den Punkt P auf der Maske 22 als P' in einer Ebene 40 abbildet, von der ausgehend durch die übrige Optik am Mikroskop eine Abbildung auf der Filmebene als P" und in der Okularebc.ie des Mikroskops als f" erfolgt. Der Kollektor 26 der Beleuchtungsanordnung bildet die Wendel 24 in die Eintrittspupille 38 der Projektionslinse 34 ab. Da die Abbildung der Wendel geringfügig größer als die Öffnung der Eintrittspupille 38 sein wird, kann durch geringfügige Ver-Schiebung des optischen Systems in seitlicher Richtung eine Verschiebung der Abbildungen P', P" und P'" des Punktes P auf der Filmebene bzw. im Einblick bewirkt werden, so daß durch eine derartige Manipulation an der Projektionslinse ein Raster oder ein Zeichen ohne weiteres in den jeweils gewünschten Abschnitt des Objektbildes eingespiegelt werden kann.

Das optische System kann in Form eine; ZJchenapparates ausgebildet sein und erlaubt eine von Behinderungen im wesentlichen freie Manipulation an der Maske sowie eine Vergrößerung der Markierungen auf der Maske, da diese durch die Projektionslinse verkleinert werden. Die Verkleinerung durch die Projektionslinse kann durch Änderung des Abstandes zwischen der Maskenanordnung und der Projektionslinse geändert werden. Es kann aber auch die Projektionslinse austauschbar gestaltet werden.

In einem zweiten Ausführungsbeispiel, das in Fig.2 veranschaulicht ist, ist sogar an Stelle der einfachen Linse 36 ein Varioobjektiv 42 vorgesehen, wobei die Eintrittspupille, in die die Wendel 24 abgebildet wird, in das Linsensystem integriert und von außen nicht zugänglich ist. Ferner ist das Varioobjektiv zwischen dem Umlenkspiegel 30 und dem Spiegel 20 zur Einspiegelung der Markierungen vorgesehen. Da das Varioobjektiv nicht ohne weiteres seitlich verschoben werden kann, um die Maske 22 an verschiedenen Stellen des Bildes des Objektes auf der Filmebene oder im Einblick abbilden zu können, muß die Maske 22 einschließlich der Beleuchtungsanordnung seitlich verschoben werden, ^ wobei aber darauf zu achten ist, daß bei einer derartigen Verschiebung der Maskenanordnung 32 die Wendel 24 immer in die Eintrittspupille 38 des Varioobjektes 42 abgebildet wird. Dies geschieht gemäß einem weiteren Merkmal der Erfindung dadurch, daß die Maskenanord- to nung 32 auf einer Kreisbahn um die gespiegelte Eintrittspupille 38' der Projektionslinse verschiebbar angeordnet wird. Zweckmäßigerweise wird eine Kugelschale hierfür verwendet.

Die Anzahl der Abbildungen der Maske soll immer so sein, daß die Orientierung der Bewegung der Maske mit der Orientierung der Bewegung des Bildes der Maske auf der Filmebene bzw. im Einblick übereinstimmt, um die Manipulation der Maske zu erleichtern.

Die Projektionslinse kann insbesondere in Form eines bekannten Zeichenapparates vorliegen.

Hierzu 2 Blatt Zeichnungen

Claims (3)

Patentansprüche:

1. Einspiegelungsvorrichtung für ein Mikroskop mit einer Linsenanordnung zur Projektion von Masken, die mittels einer Lichtquelle von hinten beleuchtet werden, in eine Filmebene oder Brennebene eines Okulars, dadurch gekennzeichnet, daß eine Einrichtung zur Verschiebung des Bildes der Maske (22) innerhalb der Bildebene vorgesehen ist, mit der die Projektionslinse (34) in einer zu ihrer optischen Achse senkrechten Ebene verschiebbar ist und die Projektionslinse (34) die festangeordnete Maske (22) in eine zur Filmebene oder Brennebene des Okuiars konjugierte Ebene abbildet, wobei die Gesamtzahl der Zwischenabbildungen der Maske (22) so gewählt ist, daß die Bewegungsrichtung des Maskenbildes in der Filmebene oder Brenisebene dei Okulars entgegengesetzt zur Richtung der Verschiebung der Projektionslinse ist. (F i g. 1).

2. Einspiegelungsvorrichtung für ein Mikroskop mit einer Linsenanordnung zur Projektion von Masken, die mittels einer Lichtquelle von hinten beleuchtet werden, in eine Filmebene oder Brennebene eines Okulars, dadurch gekennzeichnet, daß eine Einrichtung zur Verschiebung des Bildes der Maske (22) in der Filmebene oder der Brennebene des Okulars vorgesehen ist, mit der die Maske (22) zusammen mit der Lichtquelle und der Kollektorlinse längs einer Kreisbahn bewegbar ist, wobei der Krümmungsmittelpunkt der Kreisbahn auf der optischen Achse und in der Eintrittspupillenebene der Projektionslinse (42)liegt.(Fig. 2).

3. Einspiegelungsvorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Projektionslinse ein Varioobjektiv (42) ist.