DE3037553A1 - Verfahren und vorrichtung zum gesteuerten bewegen eines beweglichen elementes in einer werkzeugmaschine - Google Patents
Verfahren und vorrichtung zum gesteuerten bewegen eines beweglichen elementes in einer werkzeugmaschineInfo
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Description
Inoue-Japax Research Incorporated Yokohamashi, Kanagawaken
Japan
Verfahren und Vorrichtung zum gesteuerten Bewegen eines beweglichen Elementes in einer Werkzeugmaschine
Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zum gesteuerten Bewegen eines Elementes in einer
Werkzeugmaschine, wie beispielsweise in Fräs-, Schneid-, Bohr- und Schleifmaschinen sowie in Laufdraht- oder Drahtschneid-EDM
(EDM = elektrisches Entladungs-Bearbeiten)-Maschinen, Absenk-EDM-Maschinen und anderen Elektroerosions-
oder elektrischen Bearbeitungs-Ausrüstungen; insbesondere betrifft die Erfindung aber ein Verfahren und eine Vorrichtung
zum gesteuerten Bewegen eines beweglichen Elementes, wie beispielsweise eines Werkzeuges, einer Werkzeugelektrode
oder eines Werkstückes oder eines Werkzeughalters, eines Arbeitstisches oder eines Schlittens, der
ein Werkzeug oder ein Werkstück trägt.
581-(A 868)-E
130018/
In einer Werkzeugmaschine ist ein Antriebsglied, wie beispielsweise eine Leitspindelanordnüng, gewöhnlich
antriebsmäßig mit einem beweglichen Element gekoppelt und durch einen Motor, wie beispielsweise einen
Gleichstrommotor oder Schrittmotor, angetrieben, der durch ein Vorschubsignal erregt ist, um eine gegebene
Bewegung des beweglichen Elementes zu erzielen.
In einer numerisch gesteuerten (NC-)Werkzeugmaschine
ist das Vorschubsignal ein Strom von Impulsen, die auf digitalen Befehlen beruhen, die in einem Aufzeichnungsmedium
so vorprogrammiert sind, daß die gewünschte Bewegung so genau als möglich entsprechend
den programmierten Befehlen ausgeführt werden kann. Derartige Antriebssysteme erfordern jedoch gewöhnlich
eine Umsetzung elektrischer Signale in mechanische Signale und weiterhin eine umsetzung mechanischer (Rotations-)
Signale in mechanische (Longitudinal-)Signale oder Verschiebungen. Somit tritt unvermeidbar ein mechanischer
Fehler in der Umsetzungsstufe aufgrund beispielsweise eines Fehlers in der Steigung oder Ganghöhe
einer Leitspindel und eines Spieles in verschiedenen Bauteilen auf. Als Ergebnis wird ein präziser elektrischer
Befehl nicht genau in einer gewünschten Bewegung des beweglichen Elementes wiedergegeben. Diese Fehler
sind jeder einzelnen Werkzeugmaschine eigen und können im allgemeinen nicht durch einen Vorprogrammierungsprozeß
mit den herkömmlichen Systemen kompensiert werden.
Es ist daher Aufgabe der Erfindung, ein Verfahren und eine Vorrichtung zum gesteuerten Bewegen eines beweglichen
Elementes in einer Werkzeugmaschine anzugeben, so daß unter Überwindung der beim Stand der Technik auftretenden
obigen Probleme ein extrem genaues Verschieben
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des beweglichen Elementes gewährleistet ist.
Diese Aufgabe wird gelöst durch ein Verfahren zum gesteuerten Bewegen eines beweglichen Elementes in einer
Werkzeugmaschine mit einem Antriebsglied, das antriebsmäßig mit dem beweglichen Element gekoppelt ist,
einem Motor, der antriebsmäßig mit dem Antriebsglied gekoppelt ist, und einer Motorschaltungseinrichtung zum
Erregen des Motores, um das Antriebsglied anzutreiben, wodurch das bewegliche Element bewegt wird; dieses Verfahren
weist auf:
(a) Einspeisen einer Folge von Vorschubsignalen von einer Befehlsquelle in die Motorschaltungseinrichtung,
um dadurch den Motor zu erregen, wodurch die entsprechende Folge gewünschter Bewegungen des beweglichen
Elementes erzielt wird,
(b) Erfassen einer Verschiebung des beweglichen Elementes aufgrund der Einspeisung jedes sequentiellen
Vorschubsignales in die Motorschaltungseinrichtung, um ein erstes Signal als eine Funktion dieser Verschiebung
zu erzeugen,
(c) Erfassen der sequentiellen Vorschubsignale, um eine Folge zweiter Signale zu erzeugen, deren jedes
von jedem der sequentiellen Vorschubsignale abhängt,
(d) aufeinanderfolgendes Speichern in einem Speichermedium
der ersten Signale entsprechend den sequentiellen zweiten Signalen,
(e) aufeinanderfolgendes Wiedergeben der in dem Speichermedium gespeicherten ersten Signale entsprechend den
sequentiellen zweiten Signalen, während die Vorschubsigna-
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le sequentiell von der Befehlsquelle abgegeben werden
können, und
(f) Verarbeiten der wiedergegebenen ersten Signale und der abgegebenen Vorschubsignale, um die Folge überarbeiteter
Vorschubsignale zu erzeugen, und sequentielles Einspeisen der überarbeiteten Vorschubsignale in die Motorschaltungseinrichtung,
wodurch die gewünschten sequentiellen Bewegungen des beweglichen Elementes erzielt werden.
Insbesondere kann der Verfahrensschritt (b) umfassen:
Erzeugen des ersten Signales als eine Abweichung der erfaßten Verschiebung des beweglichen Elementes von
einer durch das Vorschubsignal vorgeschriebenen imaginären Verschiebung hiervon.
Im Verfahrensschritt (c) kann das zweite Signal durch Erfassen einer Betriebsverschiebung des Motores infolge
der Einspeisung jedes sequentiellen Vorschubsignales in die Ansteuerschaltungseinrichtung erzeugt werden. Der Verfahrensschritt
(b) kann das Erzeugen des ersten Signales als eine Abweichung der erfaßten Verschiebung des
beweglichen Elementes von der Betriebsverschiebung des Motores umfassen.
Im Verfahrensschritt (c) kann das zweite Signal alternativ durch Erfassen einer Betriebsverschiebung des
Antriebsgliedes infolge der Einspeisung jedes sequentiellen Vorschubsignales in die Motorschaltungsexnrichtung erzeugt
werden. Der Verfahrensschritt (d) kann das Erzeugen des ersten Signales als eine Abweichung der erfaßten Verschiebung
des beweglichen Elementes von der Betriebsver-
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Schiebung des Antriebsgliedes umfassen.
Im Verfahrensschritt (d) können die ersten Signale
nacheinander in dem Speichermedium direkt entsprechend den sequentiellen Vorschubsignalen gespeichert werden.
Im Verfahrensschritt (e) können die ersten Signale nacheinander direkt entsprechend den sequentiellen Vorschubsignalen
wiedergegeben werden.
Im Verfahrensschritt (b) wird die Verschiebung des
beweglichen Elementes in vorteilhafter Weise durch Messen der Lage des beweglichen Elementes mit einem Laserstrahl
erfaßt.
Das erfindungsgemäße Verfahren kann weiterhin die folgenden Verfahrensschritte umfassen:
Erfassen der Temperatur wenigstens eines kritischen Maschinenbauteiles,
Umsetzen der erfaßten Temperatur in ein entsprechendes elektrisches Signal, das eine thermische Deformation
dieses Bauteiles darstellt,
Ableiten eines Korrektursignales aus dem elektrischen Signal, und
Mischen der Vorschubsignale und des Korrektursignales zum Kompensieren eines Fehlers beim Justieren des beweglichen
Elementes aufgrund der thermischen Deformation des Bauteiles.
Das wenigstens eine Bauteil kann das bewegliche Element einschließen. Das elektrische Signal kann zusammen
mit dem Verfahrensschritt (d) gespeichert und zusammen mit
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dem Verfahrensschritt (e) wiedergegeben werden. Das Korrektursignal
kann dann mit den Vorschubsignalen zusammen mit dem Verfahrensschritt (e) oder dem Verfahrensschritt (f)
gemischt werden.
Weiterhin sieht die Erfindung eine Vorrichtung zum gesteuerten Bewegen eines beweglichen Elementes in einer
Werkzeugmaschine vor; diese Vorrichtung hat:
Eine Antriebseinrichtung, die antriebsmäßig mit dem beweglichen Element gekoppelt ist,
einen Motor, der antriebsmäßig mit dieser Einrichtung gekoppelt ist,
eine Motorschaltungseinrichtung zum Erregen des Motores, um die Antriebseinrichtung anzusteuern, so daß das
bewegliche Element bewegt wird,
eine Befehlsquelle zum Anlegen einer Folge von Vorschubsignalen an die Motorschaltungseinrichtung, um dadurch
den Motor zu erregen, so daß die entsprechende Folge gewünschter Bewegungen des beweglichen Elementes erzielt
wird,
eine erste Fühlereinrichtung, die auf eine Verschiebung des beweglichen Elementes infolge der Einspeisung
jedes der Vorschubsignale in die Motorschaltungseinrichtung anspricht, um ein erstes Signal abhängig von dieser
Verschiebung zu erzeugen,
eine zweite Fühlereinrichtung, die auf die Vorschubsignale anspricht, um eine Folge zweiter Signale jeweils
abhängig von jedem der sequentiellen Vorschubsignale zu erzeugen,
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eine Speichereinrichtung zum aufeinanderfolgenden Speichern der ersten Signale entsprechend der sequentiellen
zweiten Signale,
eine Ausleseeinrichtung für die Speichereinrichtung, um nacheinander die ersten Signale entsprechend
den sequentiellen zweiten Signalen wiederzugeben, und
eine Logikeinrichtung zum Verarbeiten der wiedergegebenen ersten Signale und der Vorschubsignale, um
die Folge der überarbeiteten Vorschubsignale zu erzeugen und sequentiell die überarbeiteten Vorschubsignale
an die Motorschaltungseinrichtung zu legen, wodurch die gewünschte Folge von Bewegungen des beweglichen Elementes
erzielt wird.
Insbesondere kann die erste Fühlerejnrichtung so
gestaltet sein, daß das erste Signal als eine Abweichung einer durch die Vorschubsignale vorgeschriebenen tatsächlichen
oder Ist-Verschiebung hiervon erzeugt wird.
Die zweite Fühlereinrichtung kann auf eine Betriebsverschiebung des Motores infolge der Einspeisung
jedes der Vorschubsignale in die Motorschaltungseinrichtung ansprechen. Die erste Fühlereinrichtung kann dann
so gestaltet sein, daß das erste Signal als eine Abweichung der erfaßten oder Ist-Verschiebung des beweglichen
Elementes von der Betriebsverschiebung des Motores erhalten wird.
Die zweite Fühlereinrichtung kann auch auf eine Betriebsverschiebung
der Antriebseinrichtung infolge der Einspeisung jedes der Vorschubsignale in die Motorschaltungseinrichtung
ansprechen. Die erste Fühlereinrichtung
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kann dann so gestaltet seinr daß das erste Signal als
eine Abweichung der Verschiebung des beweglichen Elementes von der Betriebsverschiebung der Antriebseinrichtung
erzeugt wird.
Die Speichereinrichtung kann so gestaltet sein, daß nacheinander die ersten Signale direkt entsprechend
der Folge der Vorschubsignale gespeichert werden.
Die Ausleseeinrichtung kann so gestaltet sein, daß nacheinander die ersten Signale direkt entsprechend der
Folge der Vorschubsignale wiedergegeben werden.
Die erste Fühlereinrichtung umfaßt in vorteilhafter Weise eine Meßeinrichtung zum Messen der Lage des beweglichen
Elementes mit einem Laserstrahl.
Die erfindungsgemäße Vorrichtung kann weiterhin aufweisen:
Eine Meßeinrichtung zum Messen der Temperatur wenigstens eines kritischen Maschinenbauteiles,
eine Umsetzereinrichtung zum Umsetzen der erfaßten oder Ist-Temperatur in ein entsprechendes elektrisches
Signal, das eine thermische Deformation dieses Bauteiles darstellt,
eine Einrichtung zum Ableiten eines Korrektursignales aus dem elektrischen Signal, und
eine Mischeinrichtung zum Mischen der Vorschubsignale und des Korrektursignales, um einen Fehler beim Justieren
des beweglichen Elementes aufgrund der thermischen De-
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formation dieses Bauteiles zu kompensieren.
Das Bauteil kann ein Werkstück aufweisen, das seinerseits das bewegliche Element bilden kann, und ein
Glied zum Lagern des zum Bearbeiten des Werkstückes verwendeten Werkzeuges.
Glied zum Lagern des zum Bearbeiten des Werkstückes verwendeten Werkzeuges.
Die Erfindung betrifft also ein Verfahren und eine Vorrichtung zum gesteuerten Bewegen eines beweglichen
Elementes in einer Werkzeugmaschine mit einer Antriebseinrichtung, die antriebsmäßig mit dem beweglichen Element gekoppelt ist, mit einem Motor, der antriebsmäßig
mit der Antriebseinrichtung gekoppelt ist, und mit einer Motorschaltungseinrichtung zum Erregen des Motores, um
die Antriebseinrichtung anzusteuern, wodurch das bewegliche Element bewegt wird, wobei eine Folge von Vorschubsignalen von einer Befehlsquelle geliefert wird, um den Motor zu erregen, so daß eine entsprechende und gewünschte Folge von Bewegungen des beweglichen Elementes erzielt wird. Die Erfindung sieht vor:
Elementes in einer Werkzeugmaschine mit einer Antriebseinrichtung, die antriebsmäßig mit dem beweglichen Element gekoppelt ist, mit einem Motor, der antriebsmäßig
mit der Antriebseinrichtung gekoppelt ist, und mit einer Motorschaltungseinrichtung zum Erregen des Motores, um
die Antriebseinrichtung anzusteuern, wodurch das bewegliche Element bewegt wird, wobei eine Folge von Vorschubsignalen von einer Befehlsquelle geliefert wird, um den Motor zu erregen, so daß eine entsprechende und gewünschte Folge von Bewegungen des beweglichen Elementes erzielt wird. Die Erfindung sieht vor:
Eine erste Fühlereinrichtung, die direkt auf eine
Verschiebung des beweglichen Elementes infolge der Einspeisung jedes der sequentiellen Vorschubsignale in die Motorschaltungseinrichtung anspricht, um ein erstes Signal abhängig von der Verschiebung zu erzeugen,
Verschiebung des beweglichen Elementes infolge der Einspeisung jedes der sequentiellen Vorschubsignale in die Motorschaltungseinrichtung anspricht, um ein erstes Signal abhängig von der Verschiebung zu erzeugen,
eine zweite Fühlereinrichtung, die auf die Vorschubsignale anspricht, um eine Folge zweiter Signale zu erzeugen,
deren jedes von jedem der sequentiellen Vorschubsignale abhängt,
eine Speichereinrichtung zum aufeinanderfolgenden
Speichern der ersten Signale entsprechend der Folge der zweiten Signale in einem Speichermedium,
Speichern der ersten Signale entsprechend der Folge der zweiten Signale in einem Speichermedium,
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eine -Ausleseeinrichtung für das Speichermedium, um
nacheinander die ersten Signale hiervon entsprechend der Folge der zweiten Signale wiederzugeben, und
eine Logikeinrichtung zum Verarbeiten der wiedergegebenen Signale und der Vorschubsignale, um die Folge überarbeiteter
Vorschubsignale zu erzeugen und sequentiell die überarbeiteten Vorschubsignale an die Motorschaltungseinrichtung
abzugeben, wodurch die gewünschte Folge von Bewegungen des beweglichen Elementes erzielt wird.
Nachfolgend wird die Erfindung anhand der Zeichnung näher erläutert. Es zeigen:
Fig. 1 eine teilweise geschnittene und teilweise in einem Blockschaltbild gezeigte
schematische Darstellung der Vorrichtung nach einem Ausführungsbeispiel
der Erfindung,
Fig. 2 eine schematische Darstellung, die im wesentlichen in einem Blockschaltbild
unter anderem eine Speichersteuereinheit zeigt, die einen Teil des Ausführungsbeispiels
der Fig. 1 bildet, und
Fig. 3 eine schematische Darstellung im wesentlichen in der Form eines Blockschaltbildes,
das unter anderem eine Logikschaltungseinheit zeigt, die einen Teil des Ausführungsbeispiels
der Fig. 1 bildet.
Anhand des Ausführungsbeispiels der Fig. 1 wird die Erfindung für eine Laufdraht- oder Drahtschneid-EDM-Maschine
erläutert. Die Maschine umfaßt eine kontinuierliche
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inal inspected
Drahtelektrode 1, die aus Kupfer oder einer Kupferlegierung,
wie beispielsweise Messing, besteht und eine Dicke oder einen Durchmesser von 0,05 bis 0,5 mm haben kann.
Die Drahtelektrode 1 wird kontinuierlich von einer Vorrats- oder Abwickelspule 2 zugeführt, die auf einem Gestell
3 der Maschine befestigt gezeigt ist, und sie wird auf einer Aufnahme- oder Aufwickelspule 4 gesammelt, die
auf einem Ausleger oder Arm 5 befestigt gezeigt ist, der sich vom Gestell 3 aus erstreckt. Ein anderer Arm oder
Ausleger 6 erstreckt sich vom Gestell 3 und weist an seinem Ende ein erstes Drahtführungsglied 7 auf. Ein zweites
Drahtführungsglied 8 ist an einer Spindel oder Stange 9 befestigt, die durch den oberen Arm 5 vertikal verschiebbar
gelagert ist. Auf diese Weise wird die Drahtelektrode 1 über das untere Führungsglied 7 und das obere
Führungsglied 8 geführt, deren Abstar- durch Justieren der Spindel 9 durch eine nicht gezeigte Einrichtung reguliert
oder eingestellt wird, und sie rückt axial zwischen diesen Gliedern durch eine Antriebseinrichtung vor, die
nicht dargestellt ist, jedoch in der Strecke des Drahtlaufes auf der Seite der Abwickelspule 2 liegt, um der
Laufdrahtelektrode 1 eine geeignete (mechanische) Spannung
zu vermitteln.
Ein Werkstück 10 ist in einer Bearbeitungsbeziehung zu der Drahtelektrode vorgesehen, die kontinuierlich zwischen
den Drahtführungsgliedern 7 und 8 läuft. Das Werkstück 10 ist fest in einem Arbeitsbehälter 11 befestigt,
der sicher auf einer Arbeitstischanordnung 12 liegt. Ein Bearbeitungsfluid, beispielsweise Wasser, wird in den Bereich
des Werkstückes 10 und der Drahtelektrode 1 von einer oder mehreren (nicht gezeigten) Düsen gespeist, während
eine (nicht gezeigte) EDM-Strom- bzw. Spannungsversorgung elektrisch mit der Drahtelektrode 1 und dem Werkstück 10
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verbunden ist, um eine Folge von Bearbeitungsimpulsen
an den zwischen der Laufdrahtelektrode 1 und dem Werkstück 10 ausgeführten und fluidgefüllten Bearbeitungsspalt zu legen, damit Material vom Werkstück 10 abgetragen
wird.
Eine Vorschub- oder Leitspindel 13 ist mit der Arbeitstischanordnung 12 verbunden und wird durch einen
Motor 14 gedreht, um die Arbeitstischanordnung 12
longitudinal in der Richtung einer Y-Achse zu bewegen. Ein Codierer 15 ist drehbar mit der Welle des Motores
14 gekoppelt vorgesehen, um eine Winkelverschiebung hiervon zu erfassen. Obwohl dies nicht dargestellt ist,
so wird eine X-Achsen-Vorschub- oder Leitspindel in ähnlicher Weise mit der Arbeitstischanordnung 12 gekoppelt
und in ähnlicher Weise durch einen (nicht gezeigten) X-Achsen-Motor angetrieben, um die Arbeitstischanordnung
12 longitudinal in der Richtung einer X-Achse zu bewegen, die sich senkrecht zur Zeichenebene erstreckt.
Ein Codierer ist in ähnlicher Weise drehbar gekoppelt mit der Welle des X-Achsen-Motores vorhanden, um eine
Winkelverschiebung hiervon zu erfassen.
Ein Ansteuer- oder Vorschubsignal zum X-Achsen- und zum Y-Achsen-Motor wird entlang einer Leitung 16X bzw.
16Y von einer numerischen Steuereinrichtung (NC-Einrichtung)
16 eingespeist, die hier mit einer Steuerspeicher-Schaltungseinheit 17 und einer Steuerlogik-Schaltungseinheit
18 ausgestattet ist, deren jede weiter unten näher erläutert wird. Die Steuerspeicherschaltung
17 umfaßt eine Speichereinheit, die aus einem Festwertspeicher
(ROM), einem Speicher mit direktem Zugriff (RAM) und einem Magnetband bestehen kann, das geeignet in einer
Kassette zum einfachen Zuführen und Entfernen gehalten ist.
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Die Steuerlogik-Schaltungseinheit 18 kann in geeigneter
Weise aus einem Rechner bzw. Computer oder einer Zentraleinheit (beispielsweise einem Mikrocomputer oder Mikroprozessor)
bestehen, damit die Einrichtung 16 CNC-Funktionen (CNC = Computer-NC) ausführen kann.
Weiterhin ist ein Lasergenerator 19 vorhanden, um einen
Laserstrahl zum Werkstück 10 zur Erfassung einer Verschiebung des Werkstückes 10 mit einem hohen Genauigkeitsgrad
auszusenden. Ein Prisma 20 liegt fest auf der Oberfläche des Werkstückes 10, und ein Spiegel 21 ist in der
Strecke des Laserstrahles vorhanden, um den durch die Oberfläche des Werkstückes 10 reflektierten Laserstrahl zu einem
optoelektrischen Umsetzer 22 zu leiten, dessen elektrischen Ausgangssignale an der Steuerspeicher-Schaltungseinheit
17 liegen. Weiterhin sind eine Bezugsskala 23 bzw. 24 entlang der Y- bzw. der X-Achse vorhanden.
Thermometer 25, 26 und 27 liegen in den Bereichen verschiedener kritischer Maschinenbauteile. Das Thermometer
25 kann verwendet werden, um die Temperatur an einem Lager für die Bearbeitungsführung 7 zu erfassen, das
Thermometer 26 kann die Temperatur am Werkstück 10 ermitteln, und das Thermometer 27 kann die Temperatur an einem Lager
für die Bearbeitungsführung 8 feststellen. Jedes der Thermometer 25, 26 und 27 ist so gestaltet, daß es das erfaßte
oder Ist-Temperatursignal in ein entsprechendes elektrisches Signal umsetzt. Die elektrischen Signale liegen an
einem Computer 28, dessen Ausgangssignal der Steuerspeicher-Schaltungseinheit 17 zugeführt ist oder alternativ direkt
zur Steuerlogik-Schaltungseinheit 18 gespeist sein kann.
Ein gewünschtes Bearbeitungs- oder Kontur- bzw. Profilmuster, das auf das Werkstück 10 während des Betriebs
der dargestellten Drahtschneid-EDM-Maschine zu übertragen
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ist, wird durch eine Folge von Strecken einer Bewegung der Arbeitstischanordnung 12 gegeben, die entlang der
X- und der Y-Achse durch den X-Achsen-Motor bzw. durch den Y-Achsen-Motor 14 bewirkt wird. Die Folge der
Strecken der Bewegung wird ihrerseits durch die entsprechend vorgeschriebenen Befehle bestimmt, die in der
NC-Einrichtung 16 programmiert sind. Um jede Strecke einer Bewegung entlang jeder Achse zu erzielen, liefert
die NC-Einrichtung 16 ein entsprechendes Vorschubsignal
zu jedem Motor. Dieses genaue Vorschubsignal wird jedoch nicht exakt in die entsprechende oder gewünschte
Vorschubbewegung der Arbeitstischanordnung 12 oder des Werkstückes 10 aufgrund von zwingend im Antriebssystem
vorhandenen Fehlerfaktoren umgesetzt, wie beispielsweise aufgrund eines Fehlers in:der Ganghöhe oder Steigung
der Führungsspindel 13 und eines Spieles in den zugeordneten Bauteilen. Erfindungsgemäß wird ein Fehler in der
Verschiebung des bewegten Elementes 12 oder des Werkstückes 10 erfaßt und gesteuert gespeichert sowie mit
dem Computer oder Rechner verarbeitet, um eine Überarbeitung in dem an jedem Motor liegenden Vorschubsignal
zu erzeugen.
Anhand der Fig. 2 wird der Aufbau und Betrieb eines bestimmten Ausführungsbeispiels der Steuerspeicher-Schaltungseinheit
17 näher erläutert. In dieser Anordnung, die sich beispielsweise auf die Y-Achsen-Bewegung bezieht, versorgt
der optoelektrische Wandler 22 die Steuerspeicher-Schaltungseinheit 17 mit einem Analog-Eingangssignal, das
die Lage des Werkstückes 10 wiedergibt, die durch den Laserstrahl erfaßt ist. Die Steuerspeicher-Schaltungseinheit
17 hat einen Analog/Digital-Umsetzer (A/D-Umsetzer) 121, der das Analog-Lagesignal in eine Folge von Digital-Impulsen
umsetzt, die durch einen Zähler 122 gezählt wer-
130016/0933
den, während die Fühler-Ausgangsimpulse des Codierers 15 durch einen Zähler 124 gezählt werden. Ein Vergleicher
123 vergleicht die Zählerstände der Zähler 122 und 124 und liefert eine Differenz in den Zählerständen, die
in einem Verriegelungszähler 125 verriegelt oder zwischengespeichert wird. Die Fühler-Ausgangsimpulse des Codierers
15 werden auch durch Zähler 128 und 129 gezählt, um einen
aufeinanderfolgenden Betrieb eines Festwertspeichers (ROM)
126 zu bewirken. Ein Takt- oder Zeitsteuerimpulsgenerator
127 spricht auf ein Ausgangssignal des Zählers 128 an, um
einen Takt- oder Zeitsteuerimpuls zu erzeugen, sooft ein Inkrement einer Verschiebung gezählt wird, damit das in
der Schaltung 125 verriegelte Signal zur Speicherung im Festwertspeicher 126 freigegeben wird. Sooft ein Taktoder
Zeitsteuerimpuls erzeugt wird, sind beide Zähler 122 und 124 gelöscht, und der Differenz-'ahlerstand zwischen
der tatsächlichen oder Ist-Verschiebung des Werkstückes 10 und dem Ausgangssignal des Codierers für jedes
Inkrement einer Verschiebung wird vom Verriegelungszähler 125 zum Festwertspeicher 126 übertragen. Somit werden die
Differenzwerte in den aufeinanderfolgenden Inkrementen
der Verschiebung nacheinander gesammelt und im Festwertspeicher 126 gespeichert. Ein Schalter 130 dient zum Löschen
des Zählerstandes von allen Zählern.
Die tatsächliche oder Ist-Verschiebung des Werkstückes 11 wird mit einem extrem hohen Genauigkeitsgrad durch die
Laseranordnuny 19, 20, 21 und 22 gemessen. Ein Differenzwert zwischen einer derartigen tatsächlichen oder Ist-Verschiebung
des gemessenen bewegten Gliedes 10 und dem Ausgangssignal des Codierers 14, das eine Verschiebung der
Welle des Motores 14 wiedergibt, die abhängig von einem Vorschubsignal bewirkt wird, wird so für jeden Inkrement-Vorschub
ermittelt, wobei die Werte nacheinander über aufeinanderfolgenden Inkrement-Vorschüben gespeichert werden.
130016/0933
Die Speicherungsoperation erfolgt vor einer gegebenen Bearbeitungsoperation.
Somit wird ein Fehler in der Führungsspindel 13, der zu einem Fehler in der tatsächlichen
oder Ist-Verschiebung des bewegten Gliedes bzw. der bewegten
Einheit, des Werkstückes 10 oder der Arbeitstischanordnung 12 führt, im Festwertspeicher 126 in jedem Vorschub einer Folge von Inkrement-VorSchüben gespeichert,
die durch vorprogrammierte Befehle der NC-Einrichtung 16
geleitet sind. Der gespeicherte Fehler im Festwertspeicher 126 wird ausgelesen, und die korrigierten Vorschubsignale
liegen am Motor 14.
Fig. 3 zeigt ein Ausführungsbeispiel der Steuerlogik-Schaltungseinheit
18. Die Erläuterung erfolgt wiederum anhand einer Verschiebung entlang der Y-Achse. Ein Signal
von der NC-Einrichtung 16 liegt an einem Signalformer 131, dessen Ausgangssignal einem Flipflop 132 zugeführt wird,
das so Digital-Signale erzeugt. Diese Digital-Signale werden über einen Diskriminator 133 zum Aufwärts- oder Abwärts-Anschluß
eines Zweirichtungs- oder reversiblen Zählers gespeist. In der Zwischenzeit zählt ein Voreinstellzähler
139 die Fühler-Ausgangsimpulse des Codierers 15, um ein
Ausgangssignal zu liefern, das an einer Ausleseschaltung 138 für den Festwertspeicher 126 liegt. Der Speicher im
Festwertspeicher wird ausgelesen, und der Inhalt wird an einen Signalformer 136 abgegeben. Ein Flipflop 137 setzt
das geformte Signal in Digital-Impulse um, die über den Diskriminator 133 in den Aufwärts- oder Abwärts-Anschluß
des Zählers 134 gespeist werden. Der Zähler 134 führt ein Aufwärts-Zählen oder Abwärts-Zählen durch, bis ein voreingestellter
oberer oder unterer Grenzwert erreicht ist. Dann wird ein Ausgangssignal durch einen Signalformer 135 abgegeben
und einer Differenz-Steuerschaltung 142 über einen ersten Eingang von dieser und wiederum einer Ansteuerschaltung
143 zugeführt, um gesteuert den Motor 14 anzusteuern.
130016/0933
Ein Signalformer 141 liegt zwischen dem Zähler 139 und einem zweiten Eingangsanschluß der Differenzsteuerschaltung
142. Ein Oszillator 140 dient zum Betreiben der beiden Flipflops 132 und 137.
Im Betrieb wird der Motor 14 angesteuert, um die Leit- oder Führungsspindel 13 anzutreiben, die ihrerseits
die Arbeitstischanordnung 12 und damit das Werkstück 10 bewegt. Eine Winkelverschiebung des Motores 14
oder der Leitspindel 13 wird durch den Codierer 15 erfaßt, der so Impulse entsprechend der Winkelverschiebung erzeugt,
die abhängig von einem am Motor 14 liegenden Vorschubsignal bewirkt wird. Der Codierer 15 kann hier auch
ein Geschwindigkeits- oder Ratesignal aus der Anzahl von Impulsen je Zeiteinheit zusätzlich zum Lage- oder Verschiebungssignal
entsprechend der Impulszahl erzeugen. Das Ausgangssignal des Codierers 15 wird im Voreinstellzähler
139 gesammelt, und sooft die erfaßten Impulse eine voreingestellte Zahl erreichen, gibt der Zähler 139 einen
Signalimpuls ab, um die Ausleseschaltung 138 freizugeben. Die Speicherinhalte im Festwertspeicher 126 werden so
nacheinander ausgelesen und über die Schaltung 136 dem Flipflop 137 zugeführt, wo sie in Digital-Signale umgesetzt
werden. Die Digital-Signale liegen dann über den Diskriminator 133 am Zähler 134, in den die vorprogrammierten
Vorschubsignale von der NC-Einrichtung 16 eingespeist werden. Der Zähler 134 liefert so die Vorschubsignale, die
durch die Fehlerkompensiersignale von der Speichereinheit 136 durch deren Differenz-Zählbetrieb überarbeitet sind.
Die überarbeiteten Vorschubsignale vom Zähler 134 werden durch den Signalformer 135 erneut geformt und verlaufen
durch die Differenz-Steuerschaltung 142 und die Ansteuerschaltung 143, um den Motor 14 zl. erregen, wodurch genau
die Arbeitstischanordnung 12 in befohlener Weise trotz eines Fehlers bewegt wird, der dem mechanischen System eigen
ist, das den Motor 14 mit der Anordnung 12 verbindet.
130016/0933
Das Werkstück 10 ist sicher auf der Arbeitstischanordnung 12 befestigt und wird in einer vorbestimmten Bearbeitungslage
mit der Drahtelektrode 1 gehalten. Demgemäß wird ein gewünschtes Bearbeitungsprofil mit einem extrem
hohen Genauigkeitsgrad erzielt. Es sei darauf hingewiesen, daß ein ähnlicher Antriebsmechanismus, der die
oben erläuterte Fehlerkompensieranordnung enthält, entlang einer oder mehreren Achsen in einer X-Z-Ebene senkrecht zur
beschriebenen Y-Achse verwendet werden kann.
Aus den obigen Erläuterungen folgt auch, daß trotz des Vorliegens von Fehlern in der Ganghöhe oder Steigung
der Vorschubspindel 13 diese Fehler tatsächlich durch eine
sehr genaue Messung mittels der Laseranordnung 19, 20, 21, 22 festgestellt werden können, und ein Fehler in jedem
der Inkrement-Vorschübe wird nacheinander in der Steuerspeichereinheit 17 gespeichert, um eine gegebene Bearbeitungsoperation
vorzubereiten. In der tatsächlichen Bearbeitungsoperation werden die gespeicherten Fehlersignale synchron
mit der Folge vorprogrammierter Vorschubsignale wiedergegeben, die von der NC-Einrichtung oder Befehlsquelle
16 eingespeist sind, so daß eine überarbeitete Folge von Vorschubsignalen auftritt und in den Motor eingespeist
wird, wodurch das bewegliche Element in gewünschter Weise genau bewegt wird.
Die Verwendung eines Codierers als eines Detektors zum Erzeugen eines Bezugssignales abhängig von einem Vorschubsignal
ist vorteilhaft, da dadurch das Erfassen der Verschiebungsgeschwindigkeit möglich ist. Somit können
die Ausgangsimpulse des Zählers 139 der Differenz-Steuerschaltung 142 zugeführt werden, und ein Geschwindigkeits-Abweichungssignal,
das am Ausgang der Differenz-Steuerschaltung 142 auftritt, kann am Motor 14 liegen, um die
Geschwindigkeit oder Änderung der Winkelverschiebung von
130016/0333
dessen Welle zu steuern. Auf diese Weise wird eine Justiersteuerung
mit erhöhter Ansprechempfindlichkeit erzielt.
Es hat sich weiter gezeigt, daß eine thermische Deformation
(Ausdehnung), unter der verschiedene kritische Maschinenbauteile leiden, einen ernsten Bearbeitungs-Justierfehler
hervorruft. Dieser Fehler wird wirksam nach weiteren Merkmalen der Erfindung kompensiert. So sind,
wie in Fig. 1 gezeigt ist, die Thermometer 25, 26 und 27 vorgesehen, um die Temperaturen des Bearbeitungs-Führungsgliedes
7 oder dessen Trägerarmes 6, des Werkstückes 10 und des Bearbeitungs-Führungsgliedes 8 oder dessen Trägergliedes
9 zu erfassen, damit die entsprechenden elektrischen Signale erzeugt werden. Die thermische Deformation
(Ausdehnung) jedes Teiles ist aus dessen erfaßter Temperatur und den entsprechenden elektrischen Signalen bekannt,
die am Ausgang der Thermometer 25, 26 und 27 auftreten. Ein Entscheidungsglied oder Computer bzw. Rechner
28, der mit den Temperatursignalen beaufschlagt ist, analysiert dann die Einflüsse der thermischen Deformation (Ausdehnungen)
der jeweiligen Teile auf die tatsächliche oder effektive Stellung des Werkstückes 10 bezüglich der Achse
des Laufdrahtwerkzeuges 1 und liefert ein Kompensationssignal, das über eine Leitung 28a direkt an die Logikschaltung
18 gelegt werden kann, um dadurch das in den Motor 14 gespeiste Vorschubsignal zu überarbeiten oder zu überprüfen.
Die Schaltung 28 kann alternativ eine einfache Verbinduagssuiidltung sein, und dann kann die Analyse durch
die Logikschaltung 18 durchgeführt werden. Die Entscheidungsschaltung
oder der Rechner 28 kann auch eine Folge von Signalen erzeugen, die den Einfluß der thermischen Ausdehnung
der abgetasteten Bauteile auf die Lage oder Stellung des Werkstückes wiedergeben, die als Funktion der Zeit
bekannt ist. Die Folge derartiger Signale kann über eine Leitung 2 8b an der Speichereinheit 17 liegen, und die ge-
130016/0933
speicherten Signale können wiedergegeben und zu den vorprogrammierten
Vorschubsignalen von der NC-Einrichtung 16 während einer Bearbeitungsoperation geführt werden.
Eine gesteigerte Bearbeitungsgenauigkeit wird so unabhängig von thermischen Deformationen (Ausdehnungen) dieser
kritischen Maschinenbauteile erzielt.
Der Motor im System kann entweder ein umlaufender Motor oder ein Linearmotor sein. Ein Wechselstrommotor
kann mit einer phasengesteuerten Ansteuerschaltung versehen werden. Ein Schrittmotor und ein Gleichstrommotor
sollte durch eine "pulsierende" bzw. "kontinuierliche" Ansteuerschaltung von üblichem Aufbau versorgt werden.
Ein Flüssigkeitsmotor oder ein Elektrohydromotor kann in gleicher Weise verwendet werden. Eine Einrichtung zum
Erfassen der Betriebsverschiebung des Motores oder des Antriebsgliedes (beispielsweise der Leitspindel) besteht
in vorteilhafter Weise aus einem umlaufenden (wie dargestellt) oder linearen Codierer, obwohl andere Detektoren
der gleichen Funktion alternativ verwendbar sind, wie beispielsweise ein Induktor-Tachometer, ein Moire-Interferenz-Fühler,
ein Funktionsdrehmelder oder eine magnetische Skala. Die Befehlsquelle ist in vorteilhafter Weise eine
NC-Einrichtung eines herkömmlichen Aufbaues; sie kann jedoch auch einen herkömmlichen Aufbau kopieren. Die direkt
auf eine Verschiebung des beweglichen Gliedes ansprechende Einrichtung ist nicht auf die gezeigte Laseranordnung
beschränkt; sie kann unter anderem in vorteilhafter Weise ein Ultraschall-Fühlersystem verwenden, das
beispielsweise in der Europäischen Patentanmeldung OOO6O22A1
(veröffentlicht am 12. Dezember 19 79) beschrieben ist.
Die Erfindung ermöglicht so ein vorteilhaftes Verfahren und eine zweckmäßige Vorrichtung zum gesteuerten Bewegen
eines beweglichen Gliedes in einer Werkzeugmaschine, wobei eine extrem hohe Verschiebungsgenauigkeit gewährleistet
ist.
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Claims (28)
1. !Verfahren zum gesteuerten Bewegen eines beweglichen Elementes
in einer Werkzeugmaschine, mit einer Antriebseinheit, die antriebsmäßig mit dem beweglichen Element gekoppelt
ist, einem Motor, der antriebsmäßig mit der Antriebseinheit gekoppelt ist, und einer Änsteuerschaltungseinrichtung
zum Erregen des Motores, um die Antriebseinheit anzutreiben, wodurch das bewegliche Element bewegt
wird,
- (a) Einspeisen einer Folge von Vorschubsignalen von einer Befehlsquelle (16) in die Ansteuerschaltungseinrichtung,
um dadurch den Motor (14) zu erregen, so daß die entsprechende Folge gewünschter Bewegungen
des beweglichen Elementes (13) erzielt wird,
- (b) Erfassen einer Verschiebung des beweglichen Elementes (13) aufgrund der Einspeisung jedes Vorschubsignales
in die Ansteuerschaltungseinrichtung und den Motor (14), um ein erstes Signal als Funktion
der Verschiebung zu erzeugen,
- (c) Erfassen der Vorschubsignale, um eine Folge zweiter
Signale jeweils als Funktion jedes Vorschubsignales zu erzeugen,
- (d) aufeinanderfolgendes Speichern in einem Speichermedium (17), wobei die ersten Signale der Folge der
581-(A 868)-E
130016/0933
zweiten Signale entsprechen,
- (e) aufeinanderfolgendes Wiedergeben der in dem Speichermedium (17) gespeicherten ersten Signale entsprechend
der Folge der zweiten Signale, während die Vorschubsignale in einer Folge von der Befehlsquelle (16) abgegeben werden können, und
- (f) Verarbeiten der wiedergegebenen ersten Signale und
der Vorschubsignale, um die Folge überarbeiteter
Vorschubsignale zu erzeugen, und Einspeisen der überarbeiteten Vorschubsignale in die Ansteuerschaltungseinrichtung,
um dadurch die gewünschten Bewegungen in einer Folge des beweglichen Elementes
(13) zu erzielen.
2. Verfahren nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
dadurch gekennzeichnet,
- daß der Verfahrensschritt (b) aufweist:
- Erzeugen des ersten Signales als eine Abweichung der Verschiebung des beweglichen Elementes (13)
von einer imaginären Verschiebung hiervon, die durch das Vorschubsignal vorgeschrieben ist.
3. Verfahren nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
dadurch gekennzeichnet,
- daß im Verfahrensschritt (c) das zweite Signal durch
Erfassen einer Betriebsverschiebung des Motores (14) infolge der Einspeisung jedes Vorschubsignales in die
Ansteuerschaltungseinrichtung erzeugt wird.
4. Verfahren nach Anspruch 3,
dadurch gekenn ζ ei chnet,
dadurch gekenn ζ ei chnet,
- daß der Verfahrensschritt (b) aufweist:
- Erzeugen des ersten Signales als eine Abweichung der Verschiebung des beweglichen Elementes (13) von der
Betriebsverschiebung des Motores (14).
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5. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
- daß im Verfahrensschritt (c) das zweite Signal erzeugt wird durch Erfassen einer Betriebsverschiebung der Antriebseinheit
infolge der Einspeisung jedes Vorschubsignales in die Ansteuerschaltungseinrichtung.
6. Verfahren nach Anspruch 5,
dadurch gekennzeichnet,
- daß der Verfahrensschritt (b) aufweist:
- Erzeugen des ersten Signales als eine Abweichung der Verschiebung des beweglichen Elementes (13) von
der Betriebsverschiebung der Antriebseinheit.
7. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet,
- daß im Verfahrensschritt (d) die ersten Signale nacheinander im Speichermedium (17) direkt entsprechend
der Folge der Vorschubsignale gespeichert werden.
8. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet,
- daß im Verfahrensschritt (e) die ersten Signale, die im Speichermedium (17) gespeichert sind, nacheinander
direkt entsprechend der Folge der Vorschubsignale wiedergegeben werden.
9. Verfahren nach Anspruch 7,
dadurch gekennzeichnet,
- daß im Verfahrensschritt (e) die ersten Signale, die im Speichermedium (17) gespeichert sind, nacheinander
direkt entsprechend der Folge der Vorschubsignale wiedergegeben werden.
130016/0033
10. Verfahren nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
dadurch gekennzeichnet,
- daß im Verfahrensschritt (b) die Verschiebung des beweglichen Elementes (13) durch Messen der Stellung des
beweglichen Elementes (13) mittels eines Laserstrahles
erfaßt wird.
11. Verfahren nach Anspruch 1,
gekennzeichnet durch
gekennzeichnet durch
- Erfassen der Temperatur wenigstens eines kritischen Maschinenbauteiles,
- Umsetzen der erfaßten Temperatur in ein entsprechendes elektrisches Signal, das eine thermische Deformation
des Bauteiles darstellt,
- Ableiten eines Korrektursignales aus dem elektrischen Signal, und
- Mischen der Vorschubsignale und des Korrektursignales, um einen Fehler in der Justierung des beweglichen Elementes
(13) aufgrund der thermischen Deformation des Bauteiles zu kompensieren.
12. Verfahren nach Anspruch 11,
dadurch gekennzeichnet,
dadurch gekennzeichnet,
- daß das wenigstens eine Bauteil das bewegliche Element (13) umfaßt.
13. Verfahren nach Anspruch 11,
dadurch gekennzeichnet,
dadurch gekennzeichnet,
- daß das elektrische Signal zusammen mit dem Verfahrensschritt (d) gespeichert und zusammen mit dem Verfahrensschritt (e) wiedergegeben wird.
14. Verfahren nach Anspruch 11,
dadurch gekennzeichnet,
dadurch gekennzeichnet,
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- daß das Korrektursignal zusammen mit dem Verfahrensschritt (d) gespeichert und zusammen mit dem Verfahrensschritt (e) wiedergegeben wird.
15. Vorrichtung zum gesteuerten Bewegen eines beweglichen
Elementes in einer Werkzeugmaschine, mit
- einer Antriebseinheit, die antriebsmäßig mit dem
beweglichen Element gekoppelt ist,
- einem Motor, der antriebsmäßig mit der Antriebseinheit gekoppelt ist,
- einer Ansteuerschaltungseinrichtung zum Erregen des Motores, um die Antriebseinheit anzusteuern, wodurch
das bewegliche Element bewegt wird, und
- einer Befehlsquelle zum Einspeisen einer Folge von Vorschubsignalen
in die Ansteuerschaltungseinrichtung, um dadurch den Motor zu erregen, so daß die entsprechende
Folge gewünschter Bewegungen des beweglichen Elementes erzielt wird,
gekennzeichnet durch
- eine erste Fühlereinrichtung (19), die auf eine Verschiebung
des beweglichen Elementes (13) infolge der Einspeisung jedes Vorschubsignales in die Ansteuerschaltungseinrichtung
und den Motor (14) anspricht, um ein erstes Signal als Funktion der Verschiebung zu
erzeugen,
- eine zweite Fühlereinrichtung, die auf die Vorschubsignale anspricht, um eine Folge zweiter Signale jeweils
als eine Funktion jedes der Vorschubsignale zu erzeugen,
- einen Speicher (17) zum aufeinanderfolgenden Speichern
der ersten Signale entsprechend der Folge der zweiten Signale,
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- eine Ausleseeinrichtung für die Speichereinrichtung
(17), um nacheinander die ersten Signale entsprechend
der Folge der zweiten Signale wiederzugeben, und
- eine Logikeinrichtung zum Verarbeiten der wiedergegebenen ersten Signale und der Vorschubsignale, um die
Folge überarbeiteter Vorschubsignale zu erzeugen und die überarbeiteten Vorschubsignale sequentiell an die
Ansteuerschaltungseinrichtung und den Motor (14) zu legen,
so daß dadurch die gewünschte Folge von Bewegungen des beweglichen Elementes (13) erzielt wird.
16. Vorrichtung nach Anspruch 15,
dadurch gekennzeichnet,
dadurch gekennzeichnet,
- daß die erste Fühlereinrichtung (19) gestaltet ist,
um das erste Signal als eine Abweichung der Verschiebung des beweglichen Elementes (13) von einer imaginären
Verschiebung hiervon zu erzeugen> die durch das Vorschubsignal
vorgeschrieben ist.
17. Vorrichtung nach Anspruch 15,
dadurch gekennzeichnet,
dadurch gekennzeichnet,
- daß die zweite Fühlereinrichtung auf eine Betriebsverschiebung des Motores (14) infolge der Einspeisung jedes
Vorschubsignales in die Ansteuerschaltungseinrichtung anspricht.
18. Vorrichtung nach Anspruch 17,
dadurch gekennzeichnet,
dadurch gekennzeichnet,
- daß die erste Fühlereinrichtung (19) gestaltet ist, um das erste Signal als eine Abweichung der Verschiebung
des beweglichen Elementes (13) von der Betriebsverschiebung
des Motores (14) zu erzeugen.
130016/09
19. Vorrichtung nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet,
- daß die zweite Fühlereinrichtung auf eine Betriebsverschiebung der Antriebseinheit infolge der Einspeisung
jedes Vorschubsignales in die Ansteuerschaltungseinrichtung
anspricht.
20. Vorrichtung nach Anspruch 19, dadurch gekennzeichnet,
- daß die erste Fühlereinrichtung (19) gestaltet ist,
um das erste Signal als eine Abweichung der Verschiebung des beweglichen Elementes (13) von der Betriebsverschiebung der Antriebseinheit zu erzeugen.
21. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 15 bis 20, dadurch gekennzeichnet,
- daß die Speichereinrichtung (17) gestaltet ist, um
nacheinander die ersten Signale direkt entsprechend der Folge der Vorschubsignale zu speichern.
22. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 15 bis 20, dadurch gekennzeichnet,
- daß die Ausleseeinrichtung gestaltet ist, um nacheinander die ersten Signale direkt entsprechend der Folge
der Vorschubsignale wiederzugeben.
23. Vorrichtung nach Anspruch 21, dadurch gekennzeichnet,
- daß die Ausleseeinrichtung gestaltet ist, um nacheinander die ersten Signale direkt entsprechend der Folge
der Vorschubsignale wiederzugeben.
24. Vorrichtung nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet,
- daß die erste Fühlereinrichtung eine Einheit zum Messen der Lage des beweglichen Elementes (13) mit einem
Laserstrahl aufweist.
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25. Vorrichtung nach Anspruch 15,
gekennzeichnet durch
gekennzeichnet durch
- eine Temperaturfühlereinrichtung (25, 26, 27) zum Messen der Temperatur wenigstens eines kritischen
Maschinenbauteiles,
- eine Umsetzereinrichtung zum Umsetzen der erfaßten oder Ist-Temperatur in ein entsprechendes elektrisches
Signal, das eine thermische Deformation des Bauteiles darstellt,
- eine Einrichtung zum Ableiten eines Korrektursignales aus dem elektrischen Signal, und
- eine Mischeinrichtung zum Mischen der Vorschubsignale und des Korrektursignales, um einen Fehler in der Justierung
des beweglichen Elementes (13) aufgrund der thermischen Deformation des Bauteiles zu kompensieren.
26. Vorrichtung nach Anspruch 25,
dadurch gekennzeichnet,
dadurch gekennzeichnet,
- daß das wenigstens eine kritische Maschinenbauteil das bewegliche Element (13) umfaßt.
27. Vorrichtung nach Anspruch 26,
dadurch gekennzeichnet,
dadurch gekennzeichnet,
- daß das bewegliche Element ein Werkstück (10) ist.
28. Vorrichtung nach Anspruch 17,
dadurch gekennzeichnet,
dadurch gekennzeichnet,
- daß das wenigstens eine kritische Maschinenbauteil wenigstens ein Glied zum Lagern eines Werkzeuges (1)
zum Bearbeiten des Werkstückes (10) umfaßt.
130016/0933
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