DE3019870C2 - - Google Patents
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Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines elek
trischen Fühlers zum Messen der Feuchtigkeit.
Eine der Möglichkeiten zum Messen der Feuchtigkeit eines Me
diums ist die Anwendung von Fühlern, mittels derer eine An
gabe über die Feuchtigkeit in ein elektrisches Signal über
führt wird. Derzeit werden vor allem Fühler mit Lithiumchlo
rid (LiCl) hergestellt, welches mit einem geeigneten Bindemit
tel auf eine Unterlage aufgetragen wird, ferner Fühler, bei
denen pulverisierter Kohlenstoff mit einem geeigneten Binde
mittel auf eine Unterlage aufgetragen wird, oder Fühler, die
auf der Basis von Aluminiumoxid (Al2O3) hergestellt werden.
Fühler mit Lithiumchlorid (LiCl) und Pulverkohlenstoff sind
auf Feuchtigkeit durch Volumenänderungen in den Schichten
empfindlich. Deren Nachteile sind jedoch lange Ansprechzeiten
auf Feuchtigkeitsänderungen, die Unstabilität ihrer Eichkur
ven und ihre große Abhängigkeit von der Temperatur des Füh
lers.
Vorteilhaftere Eigenschaften besitzt ein Fühler, der auf der
Basis eines porösen Aluminiumoxids (Al2O3) hergestellt ist,
wobei an der Porenoberfläche Wasser adsorbiert wird und so
die elektrischen Parameter geändert werden. In diesem Fall
handelt es sich jedoch um Oberflächen- und nicht um Volumen
vorgänge und die Ansprechzeit derartiger Fühler ist wesent
lich kürzer. Eine langzeitig erzielbare Eichstabilität und
der gemessene Widerstand dieser Fühler sind jedoch von der
Bereitungstechnologie der porösen Schicht von Aluminiumoxid
(Al2O3) und dessen künstlicher Alterung abhängig. Die besten
Ergebnisse werden jetzt mit Fühlern erzielt, die gemäß dem
Stover-Vorgang erzeugt werden, wobei die Schicht aus Alumi
niumoxid (Al2O3) an reinem poliertem Aluminium durch anodi
sche Oxydation durch Wechselstrom einer Dichte von etwa
12 mA/cm3 in einem Elektrolyt mit 50% Schwefelsäure (H2SO4)
(p. a.) bei einer Temperatur von 33°C während 25 Minuten er
zeugt wird. Die so entstandene Schicht wird gleich nach dem
Waschen mit destilliertem Wasser einer künstlichen Alterung,
einem sogenannten Siegeln ausgesetzt, was in siedendem rede
stilliertem Wasser während etwa 30 Minuten vor sich geht.
Auf ihre Oberfläche wird auf geeignete Weise, z. B. durch Va
kuumaufdampfen, eine halbdurchlässige obere Elektrode aufge
tragen. Ein Nachteil des so erzeugten Fühlers ist, daß es
während des Betriebes zu einer Einwirkung des adsorbierten
Wassers auf das Aluminiumoxid (Al2O3) kommt und zu dessen
fortlaufendem Hydrieren, wobei in den Poren ein Monohydrat
von Aluminium, das sogenannte Böhmit gebildet wird, was zu
irreversiblen Änderungen der Struktur des Fühlers und dessen
Eigenschaften führt. Die erwähnten Eigenschaften können durch
Passivieren des elektrischen Feuchtigkeitsfühlers begrenzt
werden. Das Passivieren wird derart vorgenommen, daß die po
röse Oberfläche von Aluminiumoxid (Al2O3) in einer wässeri
gen Lösung 0,01 bis 2 Mol geeigneten Materials benetzt wird,
z. B. in Natriumhydrogenphosphat oder Kieselsäure bei einer
Temperatur im Bereich von 35 bis 100°C während 10 bis 60 Mi
nuten.
In der US-PS 35 74 681 wird ein Verfahren zur Herstellung eines
Feuchtigkeitsfühlers beschrieben, wobei man die Oberfläche eines
Aluminiumkörpers anodisch behandelt, um eine Schicht an porösem
Aluminiumoxid auf der Oberfläche zu erzeugen, diese Schicht von
dem Aluminiumkörper abtrennt, so daß die poröse Aluminiumoxid
schicht an der gegenüberliegenden Fläche der Schicht exponiert
wird, eine gegenüber Wasserdampf durchlässige Elektrode auf min
destens einer der Oberflächen der Schicht des porösen Aluminium
oxids bildet und eine weitere Elektrode auf der entgegengesetzten
Oberfläche der Schicht des porösen Aluminiumoxids.
Die Nachteile des bekannten Verfahrens liegen darin, daß der
gemessene Wasserdampf mit der Aluminiumoxidoberfläche che
misch reagiert. Durch diese langsame Hydratation ändern sich
die Oberflächeneigenschaften des Feuchtigkeitsfühlers und
damit verbunden ist die zeitliche Änderung der Eichkurve des
Fühlers.
Aufgabe der Erfindung war es, ein Verfahren bereitzustellen,
das es erlaubt, auf einfache Weise bessere Feuchtigkeitsfüh
ler herzustellen. Diese Aufgabe wird wie aus den vorstehen
den Ansprüchen ersichtlich gelöst.
Die Hauptnachteile des Verfahrens der US-PS 35 74 681 werden
erfindungsgemäß durch die Passivierung und künstliche Alte
rung vermieden.
Beim erfindungsgemäßen Verfahren zur Herstellung eines Feuch
tigkeitsfühlers mit einer porösen Schicht auf der Basis von
Aluminiumoxid durch Oxydieren in einem Elektrolyt und künstli
chem Altern und Passivieren wird eine weitere Verbesserung
der Langzeit-Stabilität der Eichkurve erzielt. Das Wesen
des erfindungsgemäßen Herstellungsverfahrens beruht darin,
daß die poröse Schicht von Aluminiumoxid nach dem Passivieren
bei einer Temperatur von 70 bis 110°C in einem chemisch iner
ten Medium temperiert wird.
Vorzugsweise wird die poröse Schicht von Aluminiumoxid in
einem inerten Medium temperiert, das Wasserdampf unter einem
niedrigeren Druck enthält als die Tension des Wasserdampfes
bei der Temperiertemperatur beträgt.
Der Vorteil des erfindungsgemäßen Verfahrens zum Herstellen
eines Fühlers ist, daß der so erzeugte Fühler eine wesent
lich bessere Langzeit-Stabilität der Eichkurve besitzt. Die
Verbesserung der Stabilität der Eichkurve zeigen die
Zeichnungen. Im einzelnen zeigt in Diagrammen
Fig. 1 den Einfluß des Temperierens auf die Eichstabi
lität eines Fühlers, der gemäß dem Stover-Ver
fahren inklusive Siegeln hergestellt wurde und
Fig. 2 den Einfluß des Temperierens auf die Stabilität
desselben Fühlers, der noch in einer 0,1 Mol
Lösung von NaH2PO4 · 2 H2O bei einer Temperatur
90°C über eine Zeit von 10 Minuten passiviert
wird.
Die Eichkurve 1 in Fig. 1a zeigt den Verlauf des Fühlersig
nals in Abhängigkeit vom Feuchtigkeits-Taupunkt für einen
gemäß dem Stover-Verfahren erzeugten Fühler, die Eichkurve 2
in Fig. 1a zeigt dieselbe Abhängigkeit desselben Fühlers, ge
messen nach fünf Monaten. Die Eichkurven 3 in Fig. 1b bzw. 5
in Fig. 1c zeigen den Verlauf eines Fühlersignals in Abhän
gigkeit vom Taupunkt für einen gemäß dem Stover-Verfahren er
zeugten Fühler, der erfindungsgemäß durch Temperieren bei
90°C in Vakuum bzw. in Wasserdampf bei einem Druck 6,5 · 104 Pa
behandelt wurde. Die Eichkurven 4 in Fig. 1b bzw. 6 in Fig.
1c zeigen dieselbe Abhängigkeit für diesen Fühler nach fünf
Monaten.
Die Eichkurve 7 in Fig. 2a zeigt den Verlauf des Fühlersig
nals in Abhängigkeit vom Feuchtigkeits-Taupunkt für einen ge
mäß dem Stover-Verfahren hergestellten Fühler, der in einer
NaH2PO4 · 2 H2O-Lösung passiviert wurde ohne folgendes Temperie
ren, die Eichkurve 8 in Fig. 2c zeigt dieselbe Abhängigkeit
desselben Fühlers nach fünf Monaten. Die Eichkurven 9 in
Fig. 2b bzw. 11 in Fig. 2c zeigen den Verlauf des Signals
eines Fühlers, der gemäß dem Stover-Verfahren hergestellt,
in einer Lösung NaH2PO4 · 2 H2O passiviert und durch Temperie
ren bei einer Temperatur 90°C in Vakuum bzw. in Wasserdampf
bei einem Druck 6,5 · 104 Pa behandelt wurde. Die Eichkurven
10 in Fig. 2b bzw. 12 in Fig. 2c zeigen dieselbe Abhängig
keit für diese Fühler nach fünf Monaten.
Die erwähnten Effekte und Vorteile der Erfindung beruhen auf
dem Umstand, daß sich durch Temperieren des Fühlers die Re
konstruktion der Oberfläche der aktiven Fühlerschicht be
schleunigt. Unter normalen Bedingungen geht die Gestaltung
der Oberfläche von Aluminiumoxid sehr langsam vor sich, mit
dem Ergebnis langzeitig andauernder kleiner Änderungen der
Empfindlichkeit, der sogenannten Drift der Eichkurve. Bei
Anwendung des erfindungsgemäßen Verfahrens der Behandlung
des Fühlers wird eine aktive Schicht mit besonders stabiler
Oberfläche erzielt, wodurch die Drift der Eichkurve wesent
lich begrenzt wird.
Claims (2)
1. Verfahren zur Herstellung eines elektrischen Fühlers zum
Messen der Feuchtigkeit, mit einer porösen Schicht auf der
Basis von Aluminiumoxid, gebildet durch Oxydation in einem
Elektrolyt durch künstliches Altern und Passivieren, da
durch gekennzeichnet, daß die poröse
Schicht von Aluminiumoxid nach dem Passivieren in einem
chemisch inerten Medium bei einer Temperatur von 70 bis 110°C
temperiert wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekenn
zeichnet, daß die poröse Schicht von Aluminiumoxid
in Wasserdampf bei einem niedrigeren Druck als die Tension
des Wasserdampfes bei Temperiertemperatur temperiert wird.
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