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DE2712181B2 - - Google Patents

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DE2712181B2
DE2712181B2 DE2712181A DE2712181A DE2712181B2 DE 2712181 B2 DE2712181 B2 DE 2712181B2 DE 2712181 A DE2712181 A DE 2712181A DE 2712181 A DE2712181 A DE 2712181A DE 2712181 B2 DE2712181 B2 DE 2712181B2
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Germany
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probe
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joint member
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DE2712181A
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DE2712181A1 (de
DE2712181C3 (de
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Klaus Ing.(Grad.) 7082 Oberkochen Herzog
Franz 7923 Koenigsbronn Szenger
Walter Dr. 7923 Koenigsbronn Werner
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Carl Zeiss AG
Original Assignee
Carl Zeiss AG
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Publication date
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Priority to CH138378A priority patent/CH625045A5/de
Priority to US05/887,241 priority patent/US4177568A/en
Priority to GB10417/78A priority patent/GB1586052A/en
Priority to JP53030500A priority patent/JPS6048681B2/ja
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Publication of DE2712181B2 publication Critical patent/DE2712181B2/de
Publication of DE2712181C3 publication Critical patent/DE2712181C3/de
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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
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  • A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Tastsystem zur Auslösung eines zur Meßwerterfassung dienenden Impulses beim Antasten eines relativ zum Tastsystem bewegten Werkstücks, bestehend aus einem Gehäusefesten und einem relativ zu diesem beweglichen, einen oder mehrere Taststifte tragenden Teil. Ein solches Tastsysiem findet besonders vorteilhafte Anwendung in Mehrkoordinaten-Meßmaschinen, bei denen das zu messende Werkstück jeweils bis zum Kontakt mit einem Taststift des Tastsystems bewegt wird, wobei der Verschiebeweg sehr genau gemessen und diese Messung durch den Antastimpuls beendet wird.
Bekannt sind Tastsysteme, bei denen Taststifte an einer torsionssteifen Aneinanderreihung von spiel- und reibungsfreien Geradführungssystemen befestigt sind, die als Federparallelogramme ausgebildet sind und die ein räumliches Koordinatensystem bilden. Bei der Antastung des Werkstücks, d. h. bei Berührung des Werkstücks mit einem Taststift wird eines der Federparallelogramme ausgelenkt und erzeugt über einen zugeordneten Signalgeber einen Antastimpuls. Solche Taster sind zwar äußerst genau, sie verlangen jedoch einen sehr präzisen Aufbau und sind deshalb verhältnismäßig teuer. Außerdem ist zur Auslösung des Antastimpulses eine bestimmte und für die Auslenkung des zugehörigen Federparallelogramms ausreichende Kraft erforderlich.
Es ist auch ein Taster bekannt, bei dem der an einer Koordinaten-Meßmaschine befestigte Teil mit V-Lagern ausgestattet ist, in welche mit dem beweglichen Teil verbundene Fortsätze mit kreisförmigem Querschnitt unter der Wirkung einer Feder einrasten. Beim Antasten des Werkstücks wird der am beweglichen Meßkopfteil befestigte Taster aus seiner definierten Ruhelage bewegt, wobei mindestens einer seiner
Fortsätze aus dem zugehörigen V-I^ager gehoben wird. Dadurch wird entweder ein Stromkreis unterbrochen oder ein gesondertes Schaltelement betätigt, so daß ein Antastimpuls erzeugt wird.
Auch hier ist zur Auslösung des Antastimpulses eine bestimmte, für die Aushebung eines Fortsatzes aus dem zugeordneten Lager ausreichende Kraft erforderlich.
Schließlich ist auch eine Meßsonde bekannt, bei der die eigentliche Sonde gegenüber einem Grundkcrper beweglich ist und bei der die beim Antasten ausgelöste Relativbewegung mit Hilfe von kapazitiven, ohmschen, induktiven oder pneumatischen Weggebern in den Koordinateneinrichtungen gemessen wird. Bei Erreichen eines bestimmten Anpreßdruckes der Meßsonde an den Prüfling wird über Schalter die Relativbewegung abgeschaltet Auch bei dieser Meßsonde ist zur Auslösung des Meßsignals eine bestimmte zur Einleitung einer Relativbewegung zwischen Sonde und Grundkörper ausreichende Kraft erforderilch.
Es ist nun die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein preiswerteres Tastsystem zu schaffen, bei dem die zur Auslösung eines Antastimpulses notwendige Kraft praktisch beliebig klein gehalten werden kann und bei dem auch bei schneller Werkstückantastung eine Zerstörung des Tastsystems ebenso vermieden ist wie eine plastische Verformung des Meßobjektes.
Dieses Ziel wird gemäß der Erfindung dadurch erreicht, daß der bewegliche Teil des Tastsystems aus zwei fest miteinander verbundenen Teilen besteht, zwischen denen ein oder mehrere auf Zug und Druck hochempfindliche Meßelemente angeordnet sind, und daß die Verbindung zwischen gehäusefestem und beweglichem Teil des Tastsystems über ein Gelenkglied bewirkt ist, das in Ruhestellung die Position des beweglichen Teils zum gehäusefesten Teil durch Federwirkung hochgenau festlegt.
Als Meßelemente sind zweckmäßig Sensoren verwendet, die auf mechanische und/oder elektrische Reize hochempfindlich ansprechen, vorzugsweise Dehnungsmeßstreifen oder piezoelektrische Elemente.
Der bewegliche Teil des Tastsystems besteht aus einem ersten, zur Aufnahme des Taststiftes dienenden Teil und einem zweiten mit dem Gelenkglied verbundenen Teil. Diese beiden Teile grenzen mit ebenen Flächen aneinander und sind fest miteinander verbunden, wobei zwischen den ebenen Flächen die Meßelemente angeordnet sind.
Eine geringe, kaum meßbare Kraft auf den Taststift bewirkt, daß trotz der festen Verbindung der beiden Teile des beweglichen Tasterteils die hochempfindli- so chen Sensoren ansprechen. Das von ihnen erzeugte Signal wird einem Trigger zugeleitet, dessen Pegel einstellbar ist. Sobald das Signal diesen Pegel überschreitet, wird ein Antastimpuls ausgelöst, welcher die in diesem Moment an den Meßsystemen der Koordinaten- M Meßmaschine anliegenden Daten fixiert. Die elektrischen Schaltelemente zur Verwertung des von den Meßelementen erzeugten Signals sind zweckmäßig im Tastsystem selbst angeordnet.
Die Empfindlichkeit des Tastsystems hängt von der Einstellung des Signalpegels ab. Wird dieser Pegel sehr niedrig gelegt, so bringt es die dann erreichte hohe Empfindlichkeit mit sich, daß schon bei einer unbeabsichtigten Erschütterung der Meßmaschine oder des Tastsystems ein Signal aufgelöst wird. Um dadurch b5 bedingte Fehlmessungen zu vermeiden, wird der erste, d. h. der eingentliche AnUstimpuls nur dann zur Meßwerterfassung weitergeleitet, wenn innerhalb einer einstellbaren Zeitspanne ein zweiter Impuls, der sogenannte Kennimpuls erzeugt wird.
Bei einer Antastung des Werkstücks wird nach dem Auslösen des Antastimpulses die Bewegung des Werkstücks, bzw. der Meßmaschine abgebremst Da diese Abbremsung aus Gründen der Massenträgheit nicht abrupt erfolgen kann, liegt der Taststift während einer gewissen Zeitspanne am Werkstück an. Während dieser Zeit treten elastische Verformungen des Taststiftes auf und es gibt schließlich das Gelenkglied zwischen dem festen und dem beweglichen Teil des Tastsystems nach, so daß eine Ausweichbewegung des Taststifts freigegeben wird.
Dieser Ablauf des Abtastvorganges macht es möglich, den Kennimpuls nach einer vorgegebenen Zeitspanne ebenfalls von den Meßelementen abzuleiten oder aber im Gelenkglied ein Schaltelement vorzusehen, das bei einer Ausweichbewegung des Taststifts diesen zweiten Impuls erzeugt.
Um auch die Verwendung langer, schlanker Taststifie zu ermöglichen und trotzdem schon beim ersten Antasten des Werkstücks den Antastimpuls zu erhalten, ist es vorteilhaft, die Meßelemente in unmittciumcr Nähe der Tastkugel des Taststiftes anzuordnen.
Das Gelenkglied zwischen dem festen und dem beweglichen Teil des Tastsystems kann in verschiedener Weise ausgebildet sein. Es muß gewährleisten, daß sich beim Abheben des Taststiftes vom Werkstück die dreidimensionale Lage des dann freistehenden Tastsystems wieder hochgenau regeneriert.
Verschiedene mögliche Ausbildungen des Gelenkgiiedes werden zusammen mit den Ausführungsbeispiele des Tastsystems nach der Erfindung darstellenden Fig. 1 bis 11 der Zeichnungen näher erläutert. Im einzelnen zeigt
F i g. 1 eine Seilenansicht eines Ausführungsbeispiels des Tastsystems;
F i g. 2 eine Ansicht des beweglichen Teils des Tastsystems der Fig. 1;
F i g. 3 einen Teilschnitt durch ein anderes Ausführungsbeispiel des Tastsystems;
Fig.4 einen Schnitt entlang der Linie IV-IV der Fig.3;
F i g. 5 eine Draufsicht auf ein Ausführungsbeispiel eines beim Tastsystem nach Fig. 1 oder 3 verwendbaren Zwischenrings;
F i g. 6 einen Teilschnitt durch einen Zwischenring mit hohlkugelförmigen Lagern;
F i g. 7 den zeitlichen Verlauf des beim Antasten eines Werkstücks von einem der Meßelemente abgegebenen Signals;
F i g. 8 einen Teilschnitt durch ein anderes Ausführungsbeispiel für ein bewegliches Teil eines Tastsystems;
Fig.9 einen Schnitt entlang der Linie IX-IX der Fig. 8;
Fig. 10 einen Teilschnitt durch ein weiteres Ausführungsbeispiel des Tastsystems;
F i g. 11 einen Teilschnitt durch ein weiteres Ausführungsbeispiel des Tastsystems.
In Fig. 1 ist mit 1 der gehäusefeste Teil eines Tastsystems bezeichnet, welcher über den Flansch 2 fest mit einer hier nicht dargestellten iCoordinaien-Meßmaschine verbunden ist. Der relativ zum Teil 1 bewegliche Teil ist mit 3 bezeichnet und trägt einen Taststift 4. Der feste Teil 1 ist mit Fortsätzen la, li»und Ic versehen, von denen jeder mit einer Lagerkugel 5a, 5b, 5c fest verbunden ist.
Der bewegliche Teil 3 des Tastsystems besteht, wie F i g. 2 zeigt, aus den beiden Teilen 3a und 36, die entlang des oberen Randes des Teiles 3a mit ebenen Flächen aneinandergrenzen. Die Teile 3a und 36 sind fest miteinander verbunden, wobei jedoch zwischen diesen Teilen drei, gleichmäßig über den Umfang verteilte piezoelektrische Elemente angeordnet sind. Eines dieser Elemente ist in F i g. 2 sichtbar und ist mit 6 bezeichnet.
Der ringförmige Teil 3b ist an seiner Unterseite mit drei gleichmäßig über den Umfang verteilten Lagerkugeln 7a, 7b, Tc fest verbunden, von denen in F i g. 2 die Kugel 7a sichtbar ist.
Mit 8 ist ein Zwischenring bezeichnet, welcher im dargestellten Beispiel drei gleichmäßig über seinen Umfang verteilte Lager 8a—8caufweist. Im festen Teil 1 ist eine Zugfeder 9 angeordnet, welche über Ketten oder Drähte mit dem Zwischenring 8 verbunden ist und diesen an das Teil 1 zieht. Dabei greifen die Kugeln 5a, 5b und 5c in die Lager 8a, Sb, 8c des Zwischenringes 8 ein. Der bewegliche Teil 3 greift mit seinem Kugeln 7a, 7b, 7c in die entsprechenden Lager 8a, Sb, Sc des Zwischenringes 8 ein und wird mit Hilfe von Magneten, von denen in Fig.2 ein Paar mit 10 bezeichnet ist in Ruhelage gehalten.
Mit 11 sind elektrische Schaltelemente bezeichnet, welche im Teil 3a angeordnet sind und welche dazu dienen, die von den Meßelementen 6 gelieferten Signale in das eigentliche Meßsignal umzuformen.
Die Wirkungsweise des in den F i g. 1 und 2 dargestellten Tastsystems ist folgende. Das Tastsysiem wird relativ zur Meßmaschine auf das zu messende Werkstück zu bewegt. Beim ersten Kontakt des Taststiftes 4 mit dem Werkstück sprechen die Meßelemente 6 an und erzeugen ein Signal, dessen Verlauf beispielsweise in Fig. 7 dargestellt ist. Die Schaltelemente 11 enthalten einen Trigger, dessen Pegel einstellbar ist. Sobald das Meßsignal den Pegel des Triggers übersteigt, wird ein Impuls ausgelöst, welcher die im Moment an den Meßsystemen der Meßmaschine anliegenden Daten fixiert. Dieser Zeitpunkt ist in F i g. 7 mit f: bezeichnet. Im weiteren Verlauf des Antastvorganges beginnt nun das Abbremsen der Bewegungen der Meßmaschine. Es treten dabei erste elastische Verformungen des Taststiftes 4 auf. Die Kraft auf diesen Taststift und somit auf den beweglichen Teil 3 wird größer, bis sich schließlich dieser Teil gegenüber den Zwischenring 8 bewegt. Dadurch wird eine Ausweichbewegung des Taststiftes 4 zusammen mit dem beweglichen Teil 3 ermöglicht, so daß eine Zerstörung des Tastsystems ebenso verhindert ist, wie eine plastische Verformung des angetasteten Werkstückes. Bei der Ausweichbewegung des beweglichen Teiles 3 hebt sich mindestens eine der Lagerkugeln Sa, 5b, 5c oder 7a, 7b, 7c aus ihrem zugeordneten Lager auf dem Zwischenring 8.
Bei niedriger Einstellung des Trigger-Pegels, d. h. bei hoher Empfindlichkeit des Tastsystems wird durch die Schaltelemente 11 nach einer einstellbaren Zeitspanne zu dem in F i g. 7 mit Ji bezeichneten Zeitpunkt wieder abgefragt, ob an den Meßelementen 6 noch eine Spannung liegt Da die Zeitspanne tr U kurz ist, sie liegt in der Größenordnung von 100 ms, ist eine solche Spannung in jedem Fall vorhanden und es wird ein zweiter Impuls, der sogenannte Kennimpuls erzeugt Dieser zweite Impuls bewirkt, daß der erste, der eigentliche Antastimpuls zu der hier nicht dargestellten Auswerteschaltung weitergeleitet, wird.
Wenn der Abbremsvorgang beendet ist und sich der Taster 4 wieder vom angetasteten Werkstück löi regeneriert sich die dreidimensionale Lage des dan wieder freistehenden Taststiftes 4 über die in den F i g. und 2 dargestellte Lagerung wieder exakt und es kan die nächste Antastung vorgenommen werden.
Wird mit dem Tastsystem eine Innenantastung eine z. B. waagerecht liegenden Bohrung eines Werkstück vorgenommen, so legt sich einer der in Fig. dargestellten waagrechten Fortsätze des Taststiftes 4 a die Werkstückinnenseite an. Bei der zur Messung dienenden Aufwärtsbewegung des Tastsystems beweg sich der Zwischenring 8 zusammen mit dem bewegli chen Teil 3 gegenüber dem feststehenden Teil 1, wöbe die Lagerkugeln 5a, 5b, 5c aus ihren entsprechender Lagern auf dem Zwischenring 8 bewegt werden. Durci die dargestellte und beschriebene Ausbildung de Gelenkgliedes ist also vermieden, daß bei eine Aufwärtsbewegung des Tastsystems eine Zerstörunj des Systems auftreten kann.
Bei dem in den Fig.3 und 4 dargestelltei Ausführungsbeispiel ist der feste Teil des Tastsystem mit 12 bezeichnet, der bewegliche System-Teil besteh aus den beiden fest miteinander verbundenen Teilen 13 und 136, welche den Taststift 14 tragen. Die Teile 13 und 136 grenzen entlang ebener Oberflächen aneinan der und zwischen ihnen sind die beispielsweise a piezoelektrische Elemente ausgebildeten Meßelement 16a, 166, 16c, 16dund 16e angeordnet. Die Elemente 16 und 166 messen beispielsweise eine Antastung i x-Richtung, die Elemente 16c/und 16c eine Antastung i y-Richtung und das Element 16e eine Antastung z-Richtung.
Der bewegliche Teil 13Zj ist mit drei gleichmäßig über seinem Umfang verteilten Lagerkugeln 17a, 176 und 17 verbunden, von denen in der Schnittdarstellung de F i g. 4 die Kugel 17a sichtbar ist. Der feste Teil 12 ist m drei Lagerkugeln 15a, \5b, 15cfest verbunden. Mit 18 is ein Zwischenring bezeichnet, welcher im dargestelltei Beispiel drei gleichmäßig über seinen Umfang verteilt V-Lager 18a, iSb, 18c aufweist. In das V-Lager 18 greifen die Lagerkugeln 17a und 15a ein. Mehrere mit 1 bezeichnete Schraubenfedern drücken den Zwischen ring 18 auf das feste Teil 12. Eine Feder 20 zieht da bewegliche Teil 136 an den Zwischenring 18.
Die Wirkungsweise des in den Fig.3 und
dargestellten Tastsystems entspricht im wesentliche derjenigen des Tastsystems nach den F i g. 1 und 2. Aue hier bewegt sich bei einer Auslenkung in Ar- um y-Richtung der bewegliche Systemteil 13a, 136 zusam men mit dem Taststift 14 relativ zum Zwischenring 18 wobei mindestens eine der Kugeln 17a, 176, 17c ode 15a, 156, 15c, das zugeordnete V-Lager im Ring 11 verläßt.
Der Zwischenring 18 der Fig.3 ist in den dargestellten Beispiel mit V-Lagern ausgestattet Es is jedoch auch möglich, anstelle dieser Lager andere zi verwenden, wie dies im Ausführungsbeispiel der Fig.; gezeigt ist Der dort mit 28 bezeichnete Zwischenrinj trägt insgesamt sechs Lager, nämlich zwei V-Lager 2 und 22, sowie zwei ebene Lagerplatten 23 und 24. Eil weiteres Lager 25 ist als Negativ-Form einer Pyrami denspitze ausgebildet Der mit diesem Lager erreichba re Effekt, nämlich die genaue Plazierung eine Lagerkugel läßt sich auch mittels eines Lagers 2 erreichen, das aus drei Kugeln besteht, in deren Mitt dann die Lagerkugel eingreift
In F i g. 6 ist ein Teilschnitt durch ein bewegliches Tei 33 eines Tastsystems dargestellt, das mit eine
Lagerkugel 35 verbunden ist. Dem beweglichen Teil 33 ist hier ein mit 38 bezeichneter Zwischenring zugeordnet, welcher hohlkugelförmig ausgebildete Lagerstellen aufweist. Diese lassen sich beispielsweise durch eine Abformung oer entsprechenden Lagerkugeln erzeugen, die dann in Form von Einsätzen 39 im Zwischenring 38 verankert sind. Durch eine Bohrung 34 wird zweckmäßig Luft in die dargestellte Lagerstelle geblasen, so daß die Kugel 35 auf einem dünnen Luftpolster ruht. Über die Bohrung 32 ist ein pneumatischer Fühler 31 angeschlossen, welcher auf geringste Veränderungen der Spaltbreite zwischen den Teilen 35 und 39 reagiert. Solche pneumatische Meßfühler können zur Auslösung des zweiten Impulses beim Antastvorgang verwendet werden.
In F i g. 8 ist ein Taststift dargestellt, welcher aus den beiden Teilen 44 und 45 besteht. Diese beiden Teile sind über die Fortsätze 45a, 45ö, 45c fest miteinander verbunden. Zwischen ihnen ist ein dreigeteiltes piezoelektrisches Element 46 angeordnet. Mit Hilfe dieses Elementes lassen sich alle drei Koordinatenrichtungen erfassen.
Der in den F i g. 8 und 9 dargestellte Taststift weist den Vorteil auf, daß das Meßelement 46 in unmittelbarer Nähe der Meßkugel angeordnet ist. Beim Antasten eines Werkstücks wird also sofort ein Antastimpuls ausgelöst, d. h. dieser Impuls muß nicht erst noch durch Schall-Leitung bis zu weiter oben angeordneten Meßelementen weitergeführt werden. Der Taststiff kann deshalb vorzugsweise lang und schmal ausgebildet werden und führt dennoch zu sehr exakten und genau reproduzierbaren Meßergebnissen.
In Fig. 10 ist ein weiteres Ausführungsbeispiel eines Tastsystems dargestellt. Der feste System-Teil ist mit 52 bezeichnet, während der mit dem Taststift 54 verbündene bewegliche Teil die Bezeichnung 55 trägt. Zwischen den Teilen 52 und 55 ist ein Federbalg 56 angeordnet, der zur Vermeidung von Schwingungen mit Ol gefüllt ist. Die piezoelektrischen Meßelemente sind wie bei den schon besprochenen Ausführungsbeispielen im beweglichen Teil 55 angeordnet. Das Gelenkglied 56, d. h. der Federbalg kann hier beispielsweise mit Dehnungsmeßstreifen versehen sein, die bei einer Ausweichbewegung des Taststiftes 54 ein Signal liefern, welches zu dem zweiten Impuls verarbeitet werden kann. Ein Dehnungsmeßstreifen ist beispielsweise dargestellt und mit 57 bezeichnet.
Anstelle des Federbalges 56 kann auch eine Schraubenfeder vorgesehen sein. In jedem Fall ist es notwendig, daß das Gelenksystem die dreidimensionale Lage der freistehenden Taststiftes exakt definiert und regeneriert.
Das in F i g. 11 dargestellte Ausführungsbeispiel des Tastsystems entspricht in seinem Aufbau im wesentlichen der Fig.3. Der mit der Meßmaschine fest verbundene Teil 62 ist über einen Zwischenring 68 mit dem auslenkbaren Teil 63 gelenkig verbunden. Der Teil 63 trägt einen Taststift 64. Auf dem Zwischenring 68 ist ein Hohlspiegel 65 fest angeordnet. Dieser bildet das von einer gehäusefesten Lichtquelle 66 ausgehende Licht auf einen gehäusefesten Empfänger 67 ab. Dieser kann beispielsweise als eine 4-Quadranten- Photodiode ausgebildet sein. Im Ruhezustand werden alle vier Quadranten des Empfängers gleichmäßig beaufschlagt, so daß nachgeordnete Schaltelemente kein Signal liefern.
Sobald der Teil 63 ausgelenkt wird, liefert der Empfänger 67 ein Signal, das beispielsweise zur Erzeugung eines Kennimpulses verwendet werden kann.
Außerdem läßt sich mit der in F i g. 11 dargestellten Einrichtung automatisch die Einhaltung der exakten Null-Lage des auslenkbaren Teils 63 bei freistehendem Taststift 64 überwachen.
Wie die vorstehende Beschreibung zeigt, sind sämtliche Ausführungsbeispiele des Tastsystems einfach und kostensparend aufgebaut Es müssen nur sehr kleine Massen bewegt werden, so daß kleine dynamische Kräfte und wenig Belastung der eigentlichen Meßmaschine durch Gewicht auftreten. Das neue Tastsystem ermöglicht einen schnellen Antastvorgang und erlaubt deshalb Antastungen in schneller Folge, wodurch die Meßzeit gegenüber bekannten Systemen abgesenkt werden kann.
Hierzu 5 Blatt Zeichnungen

Claims (16)

Patentansprüche:
1. Tastsystem zur Auslösung eines zur Meßwerterfassung dienenden Impulses beim Antasten eines relativ zum Tastsystem bewegten Werkstücks, bestehend aus einem gehäusefesten und einem relativ zu diesem beweglichen, einen oder mehrere Taststifte tragenden Teil, dadurch gekennzeichnet, daß der bewegliche Teil (3) des Tastsystems aus zwei fest miteinander verbundenen Teilen (3a, 3b) besteht, zwischen denen ein oder mehrere auf Zug und Druck hochempfindliche Meßelemente (6) angeordnet sind, und daß die Verbindung zwischen gehäusefestem (1) und beweglichem (3) Teil des Tastsystems über ein Gelenkglied '5 (8) bewirkt ist, das in Ruhestellung die Position des beweglichen Teils (3) zum gehäusefesten Teil (1) durch Federwirkung hochgenau festlegt
2. Tastsystem nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß als Meßelemente piezoelektrische %> Elemente (6) verwendet sind.
3. Tastsystem nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß sein beweglicher Teil (3,13) aus einem ersten (3a, 13a^ mit dem Gelenkglied (8, 18) verbundenen Teil besteht, daß beide Teile mit ebenen Flächen aneinandergrenzen und fest miteinander verbunden sind und daß zwischen diesen ebenen Flächen die Meßelemente (6,16) angeordnet sind.
4. Tastsystem nach Anspruch 1 —3, dadurch Jo gekennzeichnet, daß eine Anordnung (11, 57) vorgesehen ist, die nach erfolgtem Antasten des Werkstücks innerhalb einer einstellbaren Zeitspanne (t2-t\) einen Kennimpuls auslöst, und daß der erste Antastimpuls nur nach Auslösen dieses Kennimpul- ^ ses zur Meßwerterfassung weitergeleitet wird.
5. Tastsystem nach Anspruch!—4, dadurch gekennzeichnet, daß die Meßelemente (6) mit im System selbst angeordneten elektrischen Schaltelementen (11) verbunden sind, die zur Umformung der «> Meßsignale in Antastimpulse und in Kennimpulse dienen.
6. Tastsystem nach Anspruch 1 —5, dadurch gekennzeichnet, daß die Meßelemente (46) in unmittelbarer Nähe der Tastkugel (45) des Taststif- « tes (44) angeordnet sind.
7. Tastsystem nach Anspruch 1—6, dadurch gekennzeichnet, daß sowohl am festen (1) als auch am beweglichen (3) Tasterteil jeweils mindestens 3 gleichmäßig über den Umfang verteilte und in einer Ebene angeordnete Kugeln (5a, 5b, 5c, Ta, Tb, Tc) befestigt sind, daß das Gelenkglied aus einem, mit mindestens drei Gegenlagern (8a, Sb, Sc) versehenen Zwischenring (8) besteht, in dessen Lager die Kugeln des festen und des beweglichen Tasterteils eingreifen und daß Federelemente (9) vorgesehen sind, welche diese beiden Tasterteile (1, 3) und den Zwischenring (8) in ihrer gegenseitigen Position halten.
8. Tastsystem nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß der Zwischenring (28) für den festen und den beweglichen Tasterteil jeweils mindestens ein als Negativ-Form einer Pyramidenspitze ausgebildetes Lager (25), ein V-Lager (21) und eine ebene Lagerplatte (23) enthält.
9. Tastsystem nach Anspruch 7, dadurch gekenn zeichnet, daß die Lager des Zwischenringes (38) als Hohlkugeln ausgebildet sind.
10. Tastsystem nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen Kugel (35) und Hohlkugel (39) jeweils ein Luftpolster erzeugt ist
11. Tastsystem nach Anspruch 1—6, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen seinem festen i'nd seinem beweglichen Teil als Gelenkglied eine Schraubenfeder vorgesehen ist
12. Tastsystem nach Anspruch 1 —6, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen seinem festen (52) und seinem beweglichen (55) Teil als Gelenkglied ein ölgefüllter Federbalg (56) vorgesehen ist
13. Tastsystem nach Anspruch 1 und einem oder mehreren der folgenden, dadurch gekennzeichnet daß auch der, zur Bestätigung des ersten Antastimpulses dienende Kennimpuls von den Meßelementen (6) erzeugt oder abgeleitet ist
14. Tastsystem nach Anspruch 1 und einem oder mehreren der folgenden, dadurch gekennzeichnet, daß im Gelenkglied (56) Schaltelemente (57) zur Erzeugung des Kennimpulses vorgesehen sind.
15. Tastsystem nach Anspruch 1—6, dadurch gekennzeichnet, daß am Gelenkglied (68) ein Spiegel (65) befestigt ist, der zur Umlenkung der von einer gehäusefesten Quelle (66) ausgehenden Strahlung auf einen gehäusefesten Empfänger (67) dient
16. Tastsystem nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, daß der Spiegel als Hohlspiegel (65) und der Empfänger (67) als Vier-Quadranten-Empfänger ausgebildet ist.
DE2712181A 1977-03-19 1977-03-19 Tastsystem Expired DE2712181C3 (de)

Priority Applications (7)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE2712181A DE2712181C3 (de) 1977-03-19 1977-03-19 Tastsystem
CH138378A CH625045A5 (de) 1977-03-19 1978-02-08
JP53030500A JPS6048681B2 (ja) 1977-03-19 1978-03-16 測定ヘツド
GB10417/78A GB1586052A (en) 1977-03-19 1978-03-16 Measurement head
US05/887,241 US4177568A (en) 1977-03-19 1978-03-16 Measurement head
IT48491/78A IT1102107B (it) 1977-03-19 1978-03-17 Testa di misurazione
FR7807959A FR2384230A1 (fr) 1977-03-19 1978-03-20 Tete de mesure

Applications Claiming Priority (1)

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