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DE2820813A1 - Verfahren und einrichtung zur messwerterfassung an prueflingen - Google Patents

Verfahren und einrichtung zur messwerterfassung an prueflingen

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Publication number
DE2820813A1
DE2820813A1 DE19782820813 DE2820813A DE2820813A1 DE 2820813 A1 DE2820813 A1 DE 2820813A1 DE 19782820813 DE19782820813 DE 19782820813 DE 2820813 A DE2820813 A DE 2820813A DE 2820813 A1 DE2820813 A1 DE 2820813A1
Authority
DE
Germany
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test
button
counter
probe
signal
Prior art date
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Withdrawn
Application number
DE19782820813
Other languages
English (en)
Inventor
Hans Dieter Dipl Ing Dr Jacoby
Erich Schuster
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ernst Leitz Wetzlar GmbH
Original Assignee
Ernst Leitz Wetzlar GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ernst Leitz Wetzlar GmbH filed Critical Ernst Leitz Wetzlar GmbH
Priority to DE19782820813 priority Critical patent/DE2820813A1/de
Publication of DE2820813A1 publication Critical patent/DE2820813A1/de
Withdrawn legal-status Critical Current

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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B7/00Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
    • G01B7/004Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring coordinates of points
    • G01B7/008Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring coordinates of points using coordinate measuring machines
    • G01B7/012Contact-making feeler heads therefor
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B3/00Measuring instruments characterised by the use of mechanical techniques
    • G01B3/002Details
    • G01B3/008Arrangements for controlling the measuring force
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B7/00Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
    • G01B7/02Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)

Description

  • Verfahren und Einrichtung zur Meßwert-
  • erfassung an Prüflinge Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Meßwerterfassung an Prüflinge unter Verwendung eines relativ zu diesen bewegten mechanischen Tasters sowie Meßwertgebern und Einrichtungen zur Durchführung des Verfahrens.
  • Zur Meßwerterfassung an Prüflingen sind in den DE-GM 7 231 877 und 7 400 071 sowie in der DE-PS 2 440 692, DE-OS 1 804 253, den DD-PS 92 567 und 99 221 in drei Koordinatenrichtungen arbeitende Taster beschrieben, welche induktiveMeßglieder oder elektrische Kontakte besitzen, die bei Auslenkung des Tasters entsprechende elektrische Signale erzeugen.
  • Taster mit induktiven Wegmeßsystemen bedürfen jedoch sowohl zur Sicherstellung der elektrischen Versorgung des Meßsystems sowie zur Auswertung der bei der Tasterauslenkung entstehenden Signale als auch zur Steuerung der Meßmaschine eines großen elektronischen Aufwandes.
  • Ein weiterer Nachteil solcher Meßsysteme ist der technische Aufwand für die in allen drei Koordinatenrichtungen erforderlichen Tasterführungen. Diese müssen alilich in Antagtrichtung möglichst flexibel und reibungsfrei, in der zur Antastrichtung senkrechten Achse jedoch möglichst steif sein.
  • Ferner sind Kleunungen erforderlich, damit beim Antasten schräger Flächen der Taster nicht in det zur Meßrichtung senkrechten Achsen ausweichen kann.
  • Bei Wegmeßsystemen dieser Art ist es außerdem von Nachteil, daß zur Erzielung reproduzierbarer Meßergebnisse die Einhaltung definierter Meßkräfte erforderlich ist, deren Realisierung einen hohen mechanischen Aufwand voraussetzt.
  • Es ist bei Meßsystemen ferner bekannt, zur Messung der Größe einer Relativbewegung eines Objektes sich eines Paares optischer Gitter zu bedienen. Dabei ist ein Gitter dem zu vermessenden Objekt, das andere einem Taster zugeordnet. Aus der Bewegung der Gitter zueinander werden elektrische Impulse abgeleitet, deren Anzahl ein Maß fUr die Größe der Bewegung ist. Diese Wegmeßsysteme unterliegen jedoch dem Nachteil, vor allem bei kleinen Relativbewegungen ungenaue Meßergebnisse zu liefern, da Gitter und Objekte nicht ausreichend stabil miteinander zu verbinden sind.
  • Deshalb ist es auch üblich, den Taster federnd zu gestalten, damit er bei Berührung mit dem zu vermessenden Objekt ausweichen kann. Eine exakte Ausrichtung des Tastertrlgers ist dann nicht mehr erforderlich.
  • Für Messungen in zwei Koordinatenrichtungen ist jedoch eine einen bedeutenden technischen Aufwand erfordernde Elastizität des Tasters in zwei Koordinatenrichtungen unumginglich, damit sich auftretende Fehler nicht verdoppeln.
  • Aus diesem Grunde ist in der US-P8 3 394 248 vorgeschlagen worden, das zu vermessende Objekt mit eines Rauptgitterpaar und das den Taster tragende Objekt mit eines Zuntaqitterpaar zu versehen. Beim Meßvorgang werden zunächst die von Hauptgitterpaar abgeleiteten elektrischen Impulse in eines Zahler gezählt. Ab dem Berührungszeitpunkt zwischen Taster und dem zu vermessenden Objekt werden auch vom Zusatiqitterpaar elektische Impulse abgeleitet, die sich je nach Bewegungsrich- tung des zu vermessenden Objektes zur Anzahl der vom Hauptgitterpaar abgeleiteten Impulse addiert bzw. von diesem subtrahiert werden. Dadurch ist der exakte Berührungspunkt zwischen Taster und zu vermessendem Objekt ermittelbar. Nachteilig bei diesem Maß system ist der hohe technische Aufwand wegen der Notwendigkeit zweiter Gitterpaare.
  • Der vorliegenden Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, ein universell anwendbares Verfahren zur Meßwerterfassung an Prüflinge unter Verwendung eines relativ zu diesem bewegten mechanischen Tasters sowie Meßwertgebern zu nennen, welches sich gegenüber dem Bekannten durch Verwendung einer einfach aufgebauten Einrichtung sowie durch hohe Meßgenauigkeit auszeichnet.
  • Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe durch ein Verfahren gelöst, bei welchem zur Meßwerterfassung an Prüflingen ein relativ zu diesen bewegter mechanischer Taster verwendet ist und das sich dadurch auszeichnet, das im Augenblick des Zusammentreffens von Taster und Prüfling ein Signal erzeugt wird und daß dieses Signal dann zum Festhalten des im Augenblick des Zusarmentreffens vorhandenen Meßwertes der Meßwertgeber benutzt wird.
  • In weiterer Ausgestaltung dieses Verfahrens ist es auch möglich, daß mit dem im Augenblick des Zusanentreffens von Taster und Prüfling erzeugten Signal ein Speicher gesteuert wird, welcher den augenblicklichen Meßwert speichert, und daß aus der Fortsetzung der Relativbewegung zwischen Taster und Prüfling ein zweites Signal abgeleitet wird, webeheg den gespeicherten Maßwert fUr Rechenvorginge und/oder zur Anzeige freigibt.
  • Dabei kann die Ableitung des zweiten Signals wegabhingig erfolgen.
  • Zur DurchfUhrung des Verfahrens wird eine Einrichtung mit einem elastisch gelagerten und relativ zum Prüfling bewegten mecha- nischen Taster, wenigsten. einem diesem zugeordneten lageempfindlichen Geber und mit die Relativbewegung zwischen Prflfling und Taster erfassenden Meßwertgebern mit Zähler angegeben, welche dadurch gekennzeichnet ist, daß der Geber mit dem Zähler der Meßwertgeber elektrisch verbunden ist und diesen zur Fixierung der jeweils bei Berührung zwischen Taster und Prüfling anstehenden Meßwerte blockiert.
  • Weiter wird für eine solche Einrichtung vorgeschlagen, daß dem Zähler der Meßwertgeber ein Speicher nachgeschaltet ist und daß Mittel vorhanden sind, welche in Abhängigkeit von aus der Relativbewegung abgeleiteten Signalen den Datenfluß zwischen Zahler und Speicher steuern.
  • Von Vorteil ist es für die genannten Einrichtungen, wenn der Taster mittels eines Knickgelenkes an einer Halterung montiert und ihm ein Schaltglied zugeordnet ist, der, durch die Knickbewegung betätigt, den Datenfluß zwischen Speicher und einem nachgeschalteten Rechner und/oder einer nachgeschalteten Anzeigevorrichtung freigibt.
  • Außerdem können erfindungsgemlß Mittel vorhanden sein, welch den Taster in oszillierende Bewegung versetzen.
  • Gleichfalls ist es erfindungsgemlß möglich, daß der lageempfindlic#e Geber vom Prüfling selbst im Zusammenw@@@en mit dem Taster gebildet ist.
  • In den Zeichnungen ist die Erfindung in Ausführungsbeispielen schematisch dargestellt und in folgenden näher beschrieben. Es zeigen: Fig. 1 eine erfindungsgemäße Einrichtung mit Zähler (und Anzeige) und/oder mit Speicher (und Anzeige), Fig. 2 eine erfindungsgemäße Einrichtung mit einem einen Schalt impuls erzeugenden Schalter, Fig. 3 eine Einrichtung mit oszillierendem Taster und elektronischer Auswerteschaltung.
  • Fig. 4 eine Einrichtung mit lageempfindlichem Geber aus Taster und Prtfling, Fig. 5 das Xnickgelenk mit dem den Schalt impuls auslösenden Schalter in Einzelheit und geschnittener Seitenansicht und Fig. 6 das Knickgelenk gemäß Fig. 5 in Vorderansicht.
  • In Fig. 1 ist ein Ausführungsbeispiel einer Einrichtung zur Durchführung des neuen Verfahrens schematisch dargestellt. Mit einer Halterung 1 ist ein Knickgelenk 2 verbunden, in welchem ein Taster 3 elastisch lagert. Mit zum Taster 3 soll ein Prüfling 4 zur Vermessung angetastet werden. Dazu ist dieser auf einem in den Richtungen der Pfeile 5 verstellbaren Meßtisch 6 befestigt Der Meßtisch 6 ist mit einer Teilung 7 versehen, welche zusammen mit fotoelektrischen Empfängersystemen 8 einen Meswertgeber bildet. ki Verschiebung des Meßtisches 6 in einer der Richtungen der Pfeile 5 werden von dem Meßwertg@ber elektrische Impulse erzeugt, die von einem Zähler 9 gezählt werden.
  • Zum Festhalten des Meßwertes, der zum Zeitpunkt der Berührung zwischen Taster 3 und Prüfling 4 im Zähler 9 ansteht, ist letzterer elektrisch mit einem lageempfindlichen Geber 10, z.B.
  • eine Mikrofon oder Beschleunigungsaufnehmer, verbunden, welcher des Taster 3 zugeordnet ist und der im Berührungsaugenblick ein Signal abgibt, welches den Zähler 9 stoppt und gleichzeitig die Relativbewegung abschaltet. Der ii Zähler 9 anstehende Wert kann nunmehr an einer Anzeigevorrichtung 11 abgelesen werden.
  • Soll der wert des Zählers 9 gespeichert werden, so schaltet man, wie in Fig. 1 gestrichelt dargestellt, mit Vorteil den dafür vorgesehenen Speicher 13 über eine Torstufe 12 an den Zähler 9 an.
  • Die Steuerung der Tor stufe 12 kann zeit abhängig aus den Signalen des Meßwertgebers 7, 8 derart abgeleitet werden, daß der Wert des Zählers 9 erst eine bestisite Zeit nach Abklingen der Relativbewegung zwischen Taster 3 und Prüfling 4, d.h., dem Nichtmehranfallen von Impulsen am Empfängersystem 8, in den Speicher 13 übernommen wird.
  • Im Ausführungsbeispiel der Fig. 2, in welcher - wie auch in allen noch zu beschreibenden Beispielen - die die gleiche Funktion wie in Fig. 1 ausübenden Bauteile die gleichen Bezugszeichen tragen, ist ein dem Xnickgelenk 2 zugeordnetes Schaltglied 14 dargestellt, mit welchem aus der Fortsetzung der Relativbewegung zwischen Taster 3 und Prüfling 4 über den Berührungspunkt hinaus ein Schalt impuls erzeugt wird. Dieser Schaltimpuls, dessen Entstehung im Zusammenhang mit den Fig.
  • 5 und 6 noch näher beschrieben werden wird, öffnet eine Torstufe 15. Dadurch kann ein Rechner 16 die im Speicher 13 gespeicherten Daten übernehmen und verarbeiten. Des Rechner 16 ist eine Anzeigevorrichtung 11 b zugeordnet.
  • Fig. 3 zeigt ein Ausführungsbeispiel für einen lageewpfindlichen Geber sowie ein Beispiel für eine elektronische Signalauswerteschaltung. Bin @@zillator 17, z.B. ein elektromagnetisches Schwinger, versetzt den Taster 3 in hochfr.quente Schwingungen kleinster Amplitude. Bei Berührung zwischen Taster 3 und Prüfling 4 wird die Amplitude der, Schwingung, unabhängig davon, ob die Berührung in Schwingungsrichtung oder senkrecht dazu erfolgt, stark beeinträchtigt. Aus dieser Beeinträchtigung läst sich ein Signal ableiten, das den Abruf der Zählwerte in den Rechner 16 veranlaßt.
  • Um den Berührungszeitpunkt exakt festzustellen, wird aus der Schwingbewegung ein Signal abgeleitet, welches bei Bertihrung zwischen Taster 3 und Prüfling 4 infolge der dadurch bewirkten Störung der Schwingbewegung - stark ansteigt. Die Erzeugung dieses Signals erfolgt mittels eines Meßkondensators 18, eines diesem nachgeschalteten Verstärker 19, eines phasenunempfindlichen Gleichrichters 20, eines Tiefpasses 21 sowie eines Differenziergliedes 22.
  • Mit Hilfe dieses Signals wird eine Triggerstufe 23 gesteuert, die ihrerseits den Zähler 9 stoppt. Dem Zähler 9 können in bereits oben beschriebener Weise ein Speicher 13 und/oder ein Rechner 16, eine Anzeigevorrichtung 11 oder 11 a oder 11 b eowie eine oder mehrere Torstufen 12, 15 nachgeschaltet sein.
  • Beim in Fig. 4 dargestellten Ausführungsbeispiel wird der lageempfindliche Geber vom Prüfling 4 und dem Taster 3 selbst gebildet. Dazu sind der Prüfling 4 bzw der Taster 3 mit dem negativen bzw. positiven Pol einer nicht mit dargestellten Stromquelle verbunden. Infolgedessen entsteht im Augenblick des Kontaktes zwischen Prtfling 4 und Taster 3 ein Stromimpuls, der über einem Impulsgeber 24 den Zähler 9 stoppt und so den anstehenden Wert der vom Meßwertgeber 7, 8 ausgehenden Impulse fixiert. Dieser Wert kann beispielsweise mittels der Anzeigevorrichtung 11 zur Anzeige gebracht werden.
  • Die elastische Lagerung des Tasters 3 im Knickgelenk 2 dient im wesentlichen dazu, dem Taster 3 das Ausweichen in allen erforderlichen Richtungen zu ermöglichen und ein. beim Antasten eines Prüflinge erforderlichen Freihub zu gewährleisten.
  • Außerdem kann, wie bereits weiter oben beschrieben, durch die Fortsetzung der Rolativbewegung zwischen Prüfling 4 und Taster 3 ein Schalt impuls erzeugt werden, durch den die im Speicher 13 abgelegten Daten zur weiteren Verarbeitung im Rechner 16 und/ oder zur Anzeige in der Anzeigevorrichtung 11 b freigegeben werden.
  • Die Erzeugung des Impuls ist wegabhängig und oll eine uner- wünscht Meiwertubernahme verhindern, wie sie beispielsweise durch unbeabsichtigtes Berühren des Tasters 3 oder ähnliche Störungen hervorgerufen werden kann.
  • Eine mögliche Ausgestaltung des Knickgelenkes 2 mit Schalter 14, die eine hohe Reproduziergenauigkeit der Ausgangslage gewährleistet, ist in den Fig. 5 und 6 dargestellt. Der Taster 3 ist an einem U-förmigen Gelenkstück 25 verschraubt. An der Innenseite des linken Schenkels 25 a sind Kugeln 26, 27 und 28 fest eingelassen. Ein zweites. mit der Halterung 1 einstückiges Gelenkteil 29 trägt Vertiefungen 30, 31 und 32, von denen z.B. die mit 30 und 31 gekennzeichneten kegelförmig sind und die mit 32 bezeichnete zylindrisch ist. In diesen Vertiefungen lagert das Gelenkstück 25 mit seinen Kugeln 26, 27 und 28. Eine Zugfeder 33, welche durch miteinanderfluchtende Bohrungen 34 bzw. 35 im Gelenkstück 25 und Gelenkteil 29 gelegt ist, verbindet diese federnd miteinander. Die Lagerungsform gewährleistet ein Ausweichen des Tasters 3 in allen Richtungen.
  • Zum eventuell erforderlichen Ausgleich des Tastergewichtes kann eine oder mehrere Ausgleichsfeder(n) 36 vorgesehen sein, die mit ihre(n) unteren Ende(n) 36 a an einem ii Gelenkstück 25 eingepresten Haltestift 37 und mit ihrow(n) oberen Xnde(n) 36 b im halterungsfesten Gelenkteil 29 eingehängt ist.
  • Der andere Schenkel 25 b des Gelenketückes 25 umgreift das freie Ende des Gelenkteiles 29 und steht in Wirkverbindung mit einem das Schaltglied 14 bildenden Mikroschalter 38, der im Schwerpunkt der Gelenklagerung fest mit dem Gelenkteil 29 verbunde ist und der durch das Ausheben der Gelenklagerung bei entsprechender Relativbewequng des Gelenketückes 25 und des Gelenkteiles 29 gegeneinander geöffnet oder geschlossen wird.
  • Dadurch kann über einen nicht mitdargestellten Stromkreis die Torstufe 15 betätigt werden, welche daraufhin dann den gspeicherten Meßwert zur Weiterleitung an den Rechner 16 freigibt.
  • Leerseite

Claims (8)

  1. AnsPriiche 1. Verfahren zur Meßwerterfassung an Prüflingen unter Verwendung eines relativ zu diesem bewegten mechanischen Tasters sowie Meßwertgebern, dadurch gekennzeichnet, daß im Augenblick des Zusammentreffens von Taster und Prüfling ein Signal erzeugt wird und daß dieses Signal dann zum Festhalten des im Augenblick des Zusammentreffens vorhandenen Meßwerts der Meßwertgeber benützt wird.
  2. 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß mit dem im Augenblick des Zusammentreffens von Taster und Prüfling erzeugten Signal ein Speicher gesteuert wird, welcher den augenblicklichen Meßwert speichert, und daß aus der Fortsetzung der Relativbewegung zwischen Taster und Prüfling ein zweites Signal abgeleitet wird, welches den gespeicherten Meßwert für Rechenvorgänge und/ oder zur Anzeige freigibt.
  3. 3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Ableitung des zweiten Signals wegabhängig erfolgt.
  4. 4. Einrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach einem der Ansprüche 1 bis 3 mit einem elastisch gelagerten und relativ zum Prüfling bewegten mechanischen Taster, wenigstens einem diesem zugeordneten lageempfindlichen Geber und mit die Relativbewegung zwischen Prüfling und Taster erfassenden Mbßwertgebern mit Zähler, dadurch gekennzeichnet, daß der Geber (10; 3, 4) mit dem Zähler (9) des Meßwertgebers (7, 8) elektrisch verbunden ist und diesen zur Fixierung der jeweils anstehenden Meßwerte blockiert.
  5. 5. Einrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach einem der Ansprüche 1 bis 3, mit einem elastisch gelagerten und relativ zum Prüfling bewegten mechanischen Taster, wenigstens einem diesem zugeordneten lageempfindlichen Geber mit die Relativbewegung zwischen Prüfling und Taster erfassenden Meßwertgebentmit Zähler, dadurch gekennzeichnet, daß dem Zähler (9) der Meßwertgeber (7, 8) ein Speicher (13) nachgeschaltet ist und daß Mittel (12) vorhanden sind, welche in Abhängigkeit von aus der tivbewegung abgeleiteten Signalen den Datenfluß zwischen Zähler (9) und Speicher (13) steuern.
  6. 6. Einrichtung nach Anspruch 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, daß der Taster (3) mittels eines Knickgelenkes (2) an einer Halterung (1) montiert und ihm ein Schaltglied (14) zugeordnet ist, der, durch die Knickbewegung betätigt, den Datenfluß zwischen Speicher (13) und einem nachgeschalteten Rechner (16) und/oder einer nachgeschalteten Anzeigevorrichtung (11; lla; llb) freigibt.
  7. 7. Einrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß Mittel (17) vorhanden sind, welche den Taster (3) in oszillierende Bewegung versetzen.
  8. 8. Einrichtung nach Anspruch 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, daß der lageempfindliche Geber vom Prüfling (4) selbst im Zusammenwirken mit dem Taster (3t gebildet ist.
DE19782820813 1978-05-12 1978-05-12 Verfahren und einrichtung zur messwerterfassung an prueflingen Withdrawn DE2820813A1 (de)

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Cited By (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0025485A1 (de) * 1979-09-15 1981-03-25 Ernst Leitz Wetzlar Gmbh Einrichtung zur Messwerterfassung an Prüflingen
DE2947394A1 (de) * 1979-11-24 1981-05-27 Ernst Leitz Wetzlar Gmbh, 6330 Wetzlar Einrichtung zur messwerterfassung an prueflingen
DE3111068A1 (de) * 1981-02-03 1982-08-12 Maag-Zahnräder & -Maschinen AG, 8023 Zürich "schaltung zum entnehmen von messwerten aus einem inkrementellen lagemesssystem"
EP0060689A1 (de) * 1981-03-12 1982-09-22 The Babcock & Wilcox Company Koordinaten-Messsysteme
EP0060690A1 (de) * 1981-03-12 1982-09-22 The Babcock & Wilcox Company Koordinaten-Messsysteme
WO1988001726A1 (en) * 1986-09-03 1988-03-10 Renishaw Plc Signal processing for contact-sensing probe
US4854050A (en) * 1984-12-17 1989-08-08 Renishaw Plc Contact-sensing probe
EP0420305A2 (de) * 1986-09-03 1991-04-03 Renishaw plc Signalverarbeitung für Berührungstastkopf
DE4316236C1 (de) * 1993-05-14 1994-07-21 Leitz Mestechnik Gmbh Verfahren zur Ermittlung der Koordinaten des Antastpunktes auf einem Werkstück bei der dimensionellen Messung von Werkstücken mit Hilfe eines Sensors
DE9421789U1 (de) * 1993-02-23 1996-08-29 Faro Technologies, Inc., Lake Mary, Fla. Meßvorrichtung zum Erfassen von dreidimensionalen Koordinaten
EP0780660A2 (de) 1995-12-21 1997-06-25 Carl Zeiss Tastsystem für Koordinatenmessgeräte
EP1593928A1 (de) * 2004-05-03 2005-11-09 Robert Bosch Gmbh Vorrichtung zum Vermessen von Werkstückbohrungen

Cited By (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0025485A1 (de) * 1979-09-15 1981-03-25 Ernst Leitz Wetzlar Gmbh Einrichtung zur Messwerterfassung an Prüflingen
DE2937431A1 (de) * 1979-09-15 1981-04-02 Ernst Leitz Wetzlar Gmbh, 6330 Wetzlar Einrichtung zur messwerterfassung an prueflingen
DE2947394A1 (de) * 1979-11-24 1981-05-27 Ernst Leitz Wetzlar Gmbh, 6330 Wetzlar Einrichtung zur messwerterfassung an prueflingen
EP0029499A1 (de) * 1979-11-24 1981-06-03 Ernst Leitz Wetzlar Gmbh Einrichtung zur Messwerterfassung an Prüflingen
DE3111068A1 (de) * 1981-02-03 1982-08-12 Maag-Zahnräder & -Maschinen AG, 8023 Zürich "schaltung zum entnehmen von messwerten aus einem inkrementellen lagemesssystem"
EP0060689A1 (de) * 1981-03-12 1982-09-22 The Babcock & Wilcox Company Koordinaten-Messsysteme
EP0060690A1 (de) * 1981-03-12 1982-09-22 The Babcock & Wilcox Company Koordinaten-Messsysteme
US4854050A (en) * 1984-12-17 1989-08-08 Renishaw Plc Contact-sensing probe
WO1988001726A1 (en) * 1986-09-03 1988-03-10 Renishaw Plc Signal processing for contact-sensing probe
US4916339A (en) * 1986-09-03 1990-04-10 Renishaw Plc Signal processing for contact-sensing probe
EP0420305A2 (de) * 1986-09-03 1991-04-03 Renishaw plc Signalverarbeitung für Berührungstastkopf
EP0420305A3 (en) * 1986-09-03 1991-07-10 Renishaw Plc Signal processing for contact-sensing probe
DE9421789U1 (de) * 1993-02-23 1996-08-29 Faro Technologies, Inc., Lake Mary, Fla. Meßvorrichtung zum Erfassen von dreidimensionalen Koordinaten
DE4316236C1 (de) * 1993-05-14 1994-07-21 Leitz Mestechnik Gmbh Verfahren zur Ermittlung der Koordinaten des Antastpunktes auf einem Werkstück bei der dimensionellen Messung von Werkstücken mit Hilfe eines Sensors
EP0780660A2 (de) 1995-12-21 1997-06-25 Carl Zeiss Tastsystem für Koordinatenmessgeräte
EP1593928A1 (de) * 2004-05-03 2005-11-09 Robert Bosch Gmbh Vorrichtung zum Vermessen von Werkstückbohrungen

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Legal Events

Date Code Title Description
8130 Withdrawal