DE2523193C3 - Elektrophotographisches Aufzeichnungsmaterial und Verfahren zu seiner Herstellung - Google Patents

Description

den — im allgemeinen nicht gewünschten — kristallisierten Zustand überzugehen, durch einen Arsenzusatz verbessert Ebenfalls läßt sich die geringe Härte von amorphen Selenschichten durch einen Arsenzusatz verbessern.

Schichten mit höherem Arsengehalt zeichnen sich durch eine höhere Lichtempfindlichkeit aus, wie sie bei homogenen Selen-Arsen-Systemen, bei denen das atomare Mischungsverhältnis bis 1:1 geht, bekanntgeworden ist Es sind auch Schichten bekanntgeworden, bei denen an der Oberfläche ein höherer Arsengehalt vorhanden ist, der in Richtung auf den Schichtträger abnimmt und zu geringen Arsenkonzentrationen in den Schichtbereichen führt, die sich in der Nähe des Schichtträgers befinden. Dadurch lassen sich die Vorteile eines höheren Arsengehaltes mit einem geringen Gesamtanteil an Arsen verbinden.

Ebenfalls ist es bekanntgeworden, daß geringe Zusätze von einem oder mehreren Halogenen zu den Selenschichten von Vorteil sind, weil sie zu einer Verringerung des Restpotentials führen.

Bei bekannten Arsenverteilungen in der photoleitenden Schicht, bei denen der Anteil des Arsens in Richtung vom Substrat zur freien Oberfläche zunimmt, ist als nachteilig anzusehen, daß gerade im Oberflächenbereich ein verhältnismäßig starker Konzentrationsgradient vorhanden ist, dessen gleichmäßig reproduzierbare Erzeugung schwierig ist Unterschiedliche Gradienten bei der Schichtbildung führen aber auch zu einer größeren Variationsbreite der elektrischen Eigenschaften des erzeugten elektrophotographischen Materials, was für seine spätere Verwendung im Kopierbetrieb nicht erwünscht ist Ebenfalls muß als nachteilig angesehen werden, daß bei hohem Arsengehalt an der Oberfläche die aufgebrachten elektrischen Ladungen nicht so gut erhalten bleiben und außerdem auch Ermüdungserscheinungen iin Dauerbetrieb auftreten.

Es sind auch Mehrschichtanordnungen bekanntgeworden, bei denen eine arsenfreie Selenschicht auf dem Substrat aufgebracht ist und nur die obere Deckschicht Arsen enthält. Auch bei diesen Anordnungen ist in gleicher Weise die reproduzierbare Einhaltung einer bestimmten Arsenkonzentration an der freien Oberfläche schwierig. Als weiterer Nachteil muß angesehen werden, daß die untere arsenfreie Schicht durch ihre Neigung zu einer Kristallisation gefährdet ist, weil ja eine Kristallisation oft gerade vom Substrat her ihren Ausgang nimmt.

Aufgabe der Erfindung ist ein elektrophotographisches Aufzeichnungsmaterial sowie ein einfaches und reproduzierbares Verfahren zu seiner Herstellung, bei dem die Vorteile eines Arsengehaltes, wie die Bewahrung des amorphen Zustandes ohne die Gefahr einer Kristallisation, die Oberflächenhärte und Abriebfestigkeit, gegeben sind, gleichzeitig aber auch die Oberflächenladungen besser erhalten bleiben und bei dem die spektralen Eigenschaften von denen des reinen Selens sich nur wenig unterscheiden.

Diese Aufgabe wird bei einem elektrophotographischen Aufzeichnungsmaterial mit einem elektrisch leitenden Schichtträger und einer photoleitfähigen Schicht, die Selen, insgesamt zwischen 0,1 und 5 Gewichtsprozent Arsen und gegebenenfalls wenigstens ein Halogen längs ihrer Dicke in unterschiedlichen Konzentrationen enthält, erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß die Arsenkonzentration in Richtung vom Schichtträger zur freien Oberfläche der photoleitfähieen Schicht während 50 - 90% der Dicke der photoleitfähigen Schicht zunimmt und danach wieder abfällt, so daß sie an der freien Oberfläche der photoleitfähigen Schicht unter 3 Gewichtsprozent beträgt

In einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung enthält das Aufzeichnungsmaterial zur Vermeidung eines Restpotentials und zum Ausgleich von Leitfähigkeitsunterschieden, die zu einer ungünstigen Feldverteilung führen, zusätzlich ein oder mehrere Halogene wie

ίο Chlor, Brom oder Jod, in einem Anteil von I bis 10 000 ppm, vorzugsweise 5 bis 100 ppm. Dieses Halogen oder diese Halogene sind entweder gleichmäßig im Aufzeichnungsmaterial verteilt oder weisen einen Konzentrationsgradienten auf. Bevorzugt befin-

is det sich der Halogenanteil in diesem Fall überwiegend in einem Teil des Aufzeichnungsmaterials mit abnehmender Arsenkonzentratio:i.

Man erreicht mit dem elektrophotographischen Aufzeichnungsmaterial gemäß der Erfindung, bei dem die höchste Arsenkonzentration im oberen Drittel der Schichtdicke liegt, daß der amorphe Zustand über die gesamte Schichtdicke auch im Dauerbetrieb erhalten bleibt daß sowohl die Gesamtfestigkeit als auch die Oberflächenhärte gewährleistet sind, dennoch aber wegen der geringeren Arsenkonzentration an der freien Oberfläche die elektrischen Aufladungen dort besser gehalten werden. Insbesondere aber können die geringeren Arsenkonzentrationen an der freien Oberfläche in ihrer vorgesehenen Höhe leichter reproduzierbar eingestellt werden.

Eine Lösung der weiteren Aufgabe gemäß der Erfindung wird in einem Verfahren zum Herstellen eines elektrophotographischen Aufzeichnungsmaterials gesehen, bei dem Selen, eine Selenlegierung oder eine Selenverbindung zusammen mit Arsen im Vakuum auf einen elektrisch leitenden Schichtträger aus zwei Verdampfungsschiffchen unter Ausbildung einer photoleitfähigen Schicht, die längs ihrer Dicke Arsen in unterschiedlicher Konzentration enthält, aufgedampft wird, das dadurch gekennzeichnet ist daß aus dem ersten Verdampfungsschiffchen, das mit einer bei vollständiger Verdampfung zur Erzeugung der vorgesehenen Schichtdicke ausreichenden Menge Verdampfungsgut gefüllt ist, 60 — 90 Gewichtsprozent des Verdampfungsgutes aufgedampft wird, und daß gleichzeitig aus dem zweiten Verdampfungsschiffchen, das mit den restlichen 40 — 10 Gewichtsprozent des Verdampfungsgutes aus einer vorangegangenen gleichen Verdampfung gefüllt ist, bis höchstens 95% der vorgesehenen Schichtdicke der photoleitfähigen Schicht mitaufgedampft wird.

Eine andere Lösung der weiteren Aufgabe gemäß der Erfindung wird in einem Verfahren zum Herstellen eines elektrophotographischen Aufzeichnungsmaterials gesehen, bei dem Selen, eine Selenlegierung oder eine Selenverbindung zusammen mit Arsen im Vakuum auf einen elektrisch leitenden Schichtträger aus zwei Verdampfungsschiffchen unter Ausbildung einer photoleitfähigen Schicht, die längs ihrer Dicke Arsen in unterschiedlicher Konzentration enthält, aufgedampft wird, das dadurch gekennzeichnet ist, daß aus dem ersten Verdampfungsschiffchen, das mit einer bei vollständiger Verdampfung zur Erzeugung der vorgesehenen Schichtdicke ausreichenden Menge Verdamp-

<_)? fungsgut gefüllt ist, 60 — 90 Gewichtsprozent des Verdampfungsgutes aufgedampft wird, und daß gleichzeitig aus dem zweiten Verdampfungsschiffchen, das mit Selen, welches zwischen 20 und 50 Gewichtsprozent

Arsen enthält, gefüllt ist, bis höchstens 95% der vorgesehenen Schichtdicke der photoleitfähigen Schicht mitaufgedampft wird.

Hierbei ist es zweckmäßig, daß als Selen, welches zwischen 20 und 50 Gewichtsprozent Arsen enthält, As₂Se₃ verwendet wird.

Mit dem Verfahren gemäß der Erfindung läßt sich durch entsprechende Auswahl des Verdampfungsgutes hinsichtlich seines Arsengehaltes eine genaue und Träger, etwa eine Alüminiumtrcmmel im Substrathalter, auf eine Temperatur von 65 bis 70⁰C gebracht, woran sich bei einem Vakuum von 10-⁵Torr die Erwärmung des Schiffchens 1 auf eine Temperatur von 263° C für 45 Minuten anschließt und danach abgebrochen wird. Während der Verdampfungszeit des Verdampfungsschiffchens 1 wird das Verdampifungsschiffchen 2 ebenfalls auf 263° C aufgeheizt und mit einem konstanten Heizstrom bis etwa zur 40. Minute

reproduzierbare Einstellung des Gesamtarsengehaltes io leergedampft Wegen des ansteigenden Arsengehaltes im aufgedampften Photoleiter erreichen. Gleichzeitig ist und des damit sinkenden Dampfdruckes steigt in dieser aber durch den Abbruch der Verdampfung aus dem ersten Verdampfungsschiffchen zu einem Zeitpunkt an dem die Änderung des Arsengehaltes mit der Schichtdicke noch völlig unkritisch ist, die Möglichkeit gegeben, 15 auf eine ganz einfache Weise den stark ansteigenden und nur schwer gleichmäßig reproduzierbaren Konzentrationsgradienten gegen Schluß der Bedampfung zu vermeiden und insbesondere auch eine Arsenverteilung mit abnehmender Konzentration im Oberflächenbe- 20 reich bis zu dem vorgesehenen Grenzwert zu erreichen. von

Bei einer Bedampfung im Dauerbetrieb wirkt sich noch vorteilhaft aus, daß jeweils immer nur eins der beiden Verdampfungsschiffchen mit dem Verdamp-

fungsgut gefüllt zu werden braucht wobei dieses dann 25 Beginn der Bedampfung erhitzt und/oder auf andere bis zum Abbruch der Bedampfung zunächst als erstes Zwischenbedampfungstemperaturen gebracht werden, Verdampfungsschiffchen dient nach dem Abbruch der Bedampfung aber mit dem restlichen Inhalt in einer weiteren Bedampfung die Rolle des zweiten Verdampfungsschiffchens übernimmt 3°

Gegebenenfalls kann es auch zweckmäßig sein, als Inhalt des zweiten Verdampfungsschiffchens anstelle des restlichen Anteils des Verdampfungsgutes für die Zwischendampfung Selen mit einem Anteil von Arsen im Bereich von 20 bis 50 Gewichts-%, vorzugsweise Arsenselenid (As₂Se₃) zu verwenden, wobei allerdings der Rest des ersten Verdampfungsschiffchens nicht weiter verwendet wird.

Neben Selen können auch Selenlegierungen und

Selenverbindungen verwendet werden. So kommt als 40 guten elektrophotographiscnen Selenlegierung z.B. eine Legierung aus 90 Atom-% dieses. Selen, 9 Atom-% Schwefel und 1 Atom-% Arsen in Betracht Als Selenverbindung ist z. B. Phosphorselenid (P₂Se₃) mit einer Arsendotierung anwendbar.

Anhand einiger Ausführungsbeispiele sei das Verfahren gemäß der Erfindung und das mit Hilfe dieses Zeit die Schiffchentemperatur auf 285° C an. Das leergedampfte Schiffchen 2 wird für die nachfolgende Bedampfung wieder mit der Selen-Arsen-Legierung gefüllt und wird dann als Schiffchen 1 verwendet während das bisherige Schiffchen 1 mit den restlichen Anteilen des Verdampfungsgutes in der nachfolgenden Bedampfung das Schiffchen 2 darstellt

Werden die obengenannten Parameter eingehalten, tritt die höchste Konzentration des Arsens im Betrage etwa 1,5 bis 2 Gewichts-% bei etwa V3 der Schichtdicke des Photoleiters auf. Falls andere Arsenverteilungen in der photoleitenden Schicht vorgesehen sind, kann das Verdampfungsschiffchen 2 auch schon zu

wodurch sich dann mehr oder weniger große Abweichungen von der beschriebenen Arsenverteilung ergeben.

Die hergestallte Schicht, deren spektrale Eigenschaften sich von denen des reinen Selens nur wenig unterscheiden, zeichnet sich durch hervorragende Aufladbarkeit und geringe Dunkelendadung bei gleichzeitiger geringer Ermüdung aus. Da praktisch keine Kristallisation — auch nicht nach längeren Kopierpausen _ vorhanden ist ergibt sich für das elektrophotographische Aufzeichnungsmaterial nach der Erfindung eine wesentlich längere Gebrauchsdauer als für ein Aufzeichnungsmaterial aus reinem Selen bei gleich

Eigenschaften wie

Verfahrens hergestellte elektrophotographische Aufzeichnungsmaterial noch einmal näher erläutert

Beispiel 1

In ein Schiffchen werden zunächst 45 Gramm einer Legierung aus Selen, die 0,5 Gewichts-% Arsen enthält eingefüllt und im Hochvakuum von etwa 10"⁵ Torr auf eine Temperatur von 263° C gebracht Die dabei

Beispiel 2

Nach einem weiteren Beispiel wird die Bedampfung in der Weise durchgeführt daß in das Schiffchen \ — wie oben angegeben — 45 Gramm der Legierung aus Selen mit 0,5 Gewichts-% Arsen eingefüllt werden, in das Schiffchen 2 dagegen 50 Gramm Arsenselenid (As₂Se₃). Diese Verbindung dampft ohne Zersetzung und ohne Änderung der stöchiometrischen Zusammensetzung über. Das Schiffchen 1 wird wie oben 45 Minuten lang auf 263° C gehalten, sodann wird die Bedampfung abgebrochen. Je nach dem gewünschten Arsenprofil wird schon zu Beginn der Bedampfung oder

entstehende Verdampfung wird 45 Minuten aufrechter- 55 auch erst in deren Verlauf das Schiffchen 2 auf die

- - · * Verdampfungstemperatur gebracht Spätestens nach

halten und dann abgebrochen. Die Dämpfe werden auf einer Blindtrommei bei einer Substrattemperatur von bis 70° C niedergeschlagen und ergeben etwa 90% der Schichtdicke, die bei vollständiger Verdampfung niedergeschlagen worden wäre. Das Schiffchen mit dem restlichen Inhalt des Verdampfungsgutes dient sodann als Schiffchen 2.

Nun wird ein weiteres Verdampfungsschiffchen mit

0,5 95% der Bedampfungszeit wird das Zwischendampfen aus dem Schiffchen 2 — etwa durch Einfügen einer Blende in den Dampfstrom — wieder abgebrochen. Die Höhe des Arsenmaximums und die Gesamtmenge des Arsens werden durch die Temperatur des Schiffchens bestimmt, die im Bereich von 360 bis 400° C gewählt wird. Bei Anwendung dieser Methode muß das Schiffchen 1 vor einem neuen Arbeitsgang von den

Verdampfung befreit 2 können im nächsten

45 Gramm einer Legierung aus Selen mit .

Gewichts-% Arsen gefüllt; dieses Schiffchen entspricht 65 Resten der unvollständigen

bei der nun folgenden Bedampfung dem oben werden; Reste aus Schiffchen

beschriebenen Schiffchen 1. In einer Verdampfungsap- AAetagMg weiter verwertet werden. Auch nach dieser

oaratur wird sodann der zu bedampfende leitende Methode hergestellte Trommeln mit gleichem Arsen-

profil wie im Beispiel 1 zeigen äquivalent gute Eigenschaften für die elektrophotographische Anwendung.

Weitere zweckmäßige und vorteilhafte Ausgestaltungen der beschriebenen Beispiele 1 und 2 sind dadurch gegeben, daß als Verdampfungsgut Selen mit einem Anteil von 0,5 Gewichts-% Arsen benutzt wird, das zusätzlich einen Halogenanteil, etwa einen Chloranteil in Höhe von 20 ppm, enthält. Man erzielt dabei hervorragende elektrophotogtaphische Eigenschaften, wobei durch den Halogenzusatz eine weitere Verkleinerung des an sich schon geringen Restpotentials erreicht wird. Auch das Dotieren des As₂Se₃ mit einem Halogen ist möglich. Beim Vorgehen nach Beispiel 2 mit einer Legierung aus Selen mit 0,5 Gewichts-% Arsen und 20 ppm Chlor ergibt sich eine Halogenverteilung mit einem Konzentrationsgradienten, wobei sich der größere Halogenanteil im arsenärmeren Teil der Schicht befindet.

Beispiel 3

In einem weiteren Beispiel für das Verfahren gemäß der Erfindung werden 45 Gramm einer Legierung mit 2 Gewichts-% Arsen in das Schiffchen 2 eingefüllt und das Verdampfungsgut in einem Vorversuch bei einer Schiffchentemperatur von 295° C und einer Substrattemperatur von 75 bis 80⁰C während einer Dauer von 25 Minuten 80% der Schichtdicke, die bei vollständiger Verdampfung niedergeschlagen wäre, auf eine Blindtrommel aufgedampft Das Schiffchen 2 mit den restlichen Anteilen des Verdampfungsgutes wird dann für das Zwischendampfen während der Bedampfung aus dem Schiffchen 1 verwendet. Hierzu wird das Schiffchen 1 mit 45 Gramm einer Legierung aus Selen mit 2 Gewichts-% Arsen gefüllt, auf eine Temperatur von 295°C gebracht und der entwickelte Dampf bei einer Substrattemperatur von 75 bis 80⁰C 25 Minuten lang auf dem leitenden Träger niedergeschlagen. Zu Beginn der 8. Minute wird das Schiffchen 2 ebenfalls auf 295°C aufgeheizt und etwa bis zur 22. Minute leergedampft.

ίο Wie bereits im Beispiel 1 bei der Arsenkonzentration von 0,5 Gewichts-% beschrieben, braucht auch hier für die Durchführung eines neuen Bedampfungsvorganges jeweils nur das leergedampfte Schiffchen mit neuem Bedampfungsgut, also hier mit 45 Gramm Selen mit 2 Gewichts-% Arsen, gefüllt zu werden.

Die in diesem Beispiel gebildete Photoleiterschicht weist einen Gesamtarsengehalt von 2 Gewichts-% auf; die höchste Konzentration des Arsens im Bereich von 4 bis 5 Gewichts-% liegt in etwa V₃ der Schichtdicke des Photoleiters, während sich an der freien Oberfläche ein Arsengehalt von etwa 0,8 Gewichts-% ergibt Auch diese Photoleiterschicht zeichnet sich durch große Härte und gute elektrophotographische Eigenschaften aus und neigt nicht zur Kristallisation.

Wie weiter oben beschrieben, läßt sich auch bei diesem letzten Beispiel eine weitere Verringerung des Restpotentials erreichen, wenn dem Verdampfungsgut Halogene zugefügt werden. Als vorteilhaft hat sich als Zusatz zu dem Selen mit 2 Gewichts-% Arsen ein Anteil von 20 ppm Chlor erwiesen.

Claims (6)

Patentansprüche:

1. Elektrophotographisches Aufzeichnungsmaterial mit einem elektrisch leitenden Schichtträger und einer photoleitfähigen "schicht, die Selen, insgesamt zwischen 0,1 und 5 Gewichtsprozent Arsen und gegebenenfalls wenigstens ein Halogen längs ihrer Dicke in unterschiedlichen Konzentrationen enthält, dadurch gekennzeichnet, daß die Arsenkonzentration in Richtung vom Schichtträger zur freien Oberfläche der photoleitfähigen Schicht während 50 — 90% der Dicke der photoleitfähigen Schicht zunimmt und danach wieder abfällt, so daß sie an der freien Oberfläche der photoleitfähigen Schicht unter 3 Gewichtsprozent beträgt.

2. Aufzeichnungsmaterial nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die photoleitfähige Schicht 1 — 10 000 ppm, vorzugsweise 5—100 ppm Halogen, enthält

3. Aufzeichnungsmaterial nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die photoleitfähige Schicht das Halogen überwiegend in ihrem Teil mit abnehmender Arsenkonzentration enthält.

4. Verfahren zum Herstellen eines elektrophotographischen Aufzeichnungsmaterials, bei dem Selen, eine Selenlegierung oder eine Selenverbindung zusammen mit Arsen im Vakuum auf einen elektrisch leitenden Schichtträger aus zwei Verdampfungsschiffchen unter Ausbildung einer photoleitfähigen Schicht, die längs ihrer Dicke Arsen in unterschiedlicher Konzentration enthält, aufgedampft wird, dadurch gekennzeichnet, daß aus dem ersten Verdampfungsschiffchen, das mit einer bei vollständiger Verdampfung zur Erzeugung der vorgesehenen Schichtdicke ausreichenden Menge Verdampfungsgut gefüllt ist, 60 — 90 Gewichtsprozent des Verdampfungsgutes aufgedampft wird, und daß gleichzeitig aus dem zweiten Verdampfungsschiffchen, das mit den restlichen 40—10 Gewichtsprozent des Verdampfungsgutes aus einer vorangegangenen gleichen Verdampfung gefüllt ist, bis höchstens 95% der vorgesehenen Schichtdicke der photoleitfähigen Schicht mitaufgedampft wird.

5. Verfahren zum Herstellen eines elektrophotographischen Aufzeichnungsmaterials, bei dem Selen, eine Selenlegierung oder eine Selenverbindung zusammen mit Arsen im Vakuum auf einen elektrisch leitenden Schichtträger aus zwei Verdampfungsschiffchen unter Ausbildung einer photoleitfähigen Schicht, die längs ihrer Dicke Arsen in unterschiedlicher Konzentration enthält, aufgedampft wird, dadurch gekennzeichnet, daß aus dem ersten Verdampfvngsschiffchen, das mit einer bei vollständiger Verdampfung zur Erzeugung der vorgesehenen Schichtdicke ausreichenden Menge Verdampfungsgut gefüllt ist, 60 — 90 Gewichtsprozent des Verdampfungsgutes aufgedampft wird, und daß gleichzeitig aus dem zweiten Verdampfungsschiffchen, das mit Selen, welches zwischen 20 und 50 Gewichtsprozent enthält, gefüllt ist, bis höchstens 95% der vorgesehenen Schichtdicke der photoleitfähigen Schicht mitaufgedampft wird.

6. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß als Selen, welches zwischen 20 und 50 Gewichtsprozent Arsen enthält, As2Sei verwendet wird.

Die Erfindung betrifft ein elektrophotographisches Aufzeichnungsmaterial mit einem elektrisch leitenden Schichtträger und einer photoleitfähigen Schicht, die Selen, insgesamt zwischen 0,1 und 5 Gewichtsprozent Arsen und gegebenenfalls wenigstens ein Halogen längs ihrer Dicke in unterschiedichen Konzentrationen enthält

Die Erfindung betrifft weiter ein Verfahren zum Herstellen eines elektrophotographischen Aufzeich nungsmatenals, bei dem Selen, eine Selenlegierung oder eine Selenverbindung zusammen mit Arsen im Vakuum auf einen elektrisch leitenden Schichtträger aus zwei Verdampfungsschiffchen unter Ausbildung einer photoleitfähigen Schicht, die längs ihrer Dicke Arsen in

is unterschiedlicher Konzentration enthält, aufgedampft wird.

Ein elektrophotographisches Aufzeichnungsmaterial wird für elektrophotographische Kopierverfahren verwendet, die in der Vervielfältigungstechnik weite Verbreitung gefunden haben. Diese Verfahren beruhen auf der Eigenschaft des photoleitenden Materials, bei Belichtung mit einer aktivierenden Strahlung den elektrischen Widerstand zu ändern.

Nach elektrischer Aufladung und Belichtung mit einer

2s aktivierenden Strahlung läßt sich auf einer photoleitenden Schicht ein latentes elektrisches Ladungsbild erzeugen, das dem optischen Bild entspricht An den belichteten Stellen findet nämlich eine solche Erhöhung der Leitfähigkeit der photoleitenden Schicht statt, daß die elektrische Ladung über den leitenden Träger — zumindest teilweise, jedenfalls aber stärker als an den unbelichteten Stellen — abfließen kann, während an den unbelichteten Stellen die elektrische Ladung im wesentlichen erhalten bleibt; sie kann mit einem

Bildpulver, einem sogenannten Toner, sichtbar gemacht

und das entstandene Tonerbild, falls es erforderlich sein sollte, schließlich auf Papier oder eine andere Unterlage übertragen werden.

Als elektrophotographisch wirksame Stoffe werden

sowohl organische als auch anorganische Substanzen verwendet Unter ihnen haben Selen, Selenlegierungen und Selenverbindungen besondere Bedeutung erlangt.

An die mechanischen, optischen, elektrischen und thermischen Eigenschaften eines elektrophotogra phisch wirksamen Stoffes werden für einen erfolgrei chen und vorteilhaften praktischen Einsatz verschiedenartige Anforderungen gestellt, die von gebräuchlichen Schichten oft nur teilweise gleichzeitig erfüllt werden können. Es ist jedoch — z. B. durch die DT-OS 19 32 105 — bekannt, daß sich bestimmte Eigenschaften erzielen lassen, wenn das lichtempfindliche Element aus einer Mehrzahl von Schichten aufgebaut ist, wobei solche Mehrschichtanordnungen teils durch getrennntes Aufdampfen und gegebenenfalls auch durch zeitweiliges gemeinsames Aufdampfen des die verschiedenen Schichten bildenden Materials gewonnen werden können. Es ist weiter bekannt, daß sich durch Zusätze, wie Arsen, Schwefel, Tellur oder Halogene, gewisse Eigenschaften der elektrophotographisch wirksamen Stoffe verbessern lassen, wobei dem Arsen besondere Bedeutung zukommt; es hat in verschiedenen Konzentrationshöhen entweder homogen und über die gesamte Schichtdicke gleichmäßig verteilt oder auch mit einem bestimmten Konzentrationsprofil und wechselnden Anteilen in einzelnen Schichtbereichen vielfache Verwendung gefunden.

So wird z. B. die geringe thermische Stabilität von Schichten aus amorphem Selen, das die Neigung hat, in