DE2235522A1 - Behandlung von kupferfolie und hierdurch erhaltene produkte - Google Patents
Behandlung von kupferfolie und hierdurch erhaltene produkteInfo
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Description
.AJfrJ D-IBERLlN33 22, Juni 1972
MANFREDMIEHE FALKENRIED 4
A-4654 Ger. US/38/2001
YATES INDU S T.R IE S INC. Amboy Road, Bordentown, New Jersey, V.St,A
Behandlung von Kupferfolie und hierdurch erhaltene Produkte
Es wird ein Verfahren geschaffen, vermittels
dessen Kupferfolie einer Mehrzahl an Schichtbehandlungen unterworfen wird, einschließlich
einer aufrauhenden Behandlung und im Anschluß daran einer Abdeck- oder Auflagebehandlung
unter Ausbilden einer matten Oberfläche auf der Kupferfolie. Die matte Oberfläche wird
sodann mit einer dünnen Zinkschicht überzogen und unter Ausbilden einer Messingschicht erhitzt,
die der Kupferfolie eine gute Bindungsfestigkeit bezüglich eines tragenden Substrates
vermittelt, ohne daß es zu einem Verschmutzen oder Verfärben des Schichtkörpers kommt. Anstelle von Zink können auch andere
Metalle angewandt werden.
Bei dem Herstellen gedruckter elektronischer Schaltkreise ist es üblich, eine Metallfolie an ein Substratmaterial, im allgemeinen
ein synthetisches Polymer, unter Anwenden eines Klebstoffes zu binden und den Verbundkörper einer Säur.eätzung
unter Ausbilden des gewünschten Schaltkreises zu unterwerfen. Da das Anhaften zwischen einer herkömmlichen Metallfolie und
einem derartigen Substratmaterial allgemein schwach ist,
sind in der Vergangenheit erhebliche Anstrengungen darauf gerichtet worden, die Folie dergestalt zu behandeln, daß die
Bindungsfestigkeit rait dem Substrat verbessert wird. Als Ergebnis
dieser Anstrengungen sind Behandlungsweisen entwickelt worden, die zu der Ausbildung einer matten Oberfläche an
wenigstens einer Seite der Kupferfolie führen vermittels
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elektrolytischer Abscheidung eines dendritischen Kupfer-Elektroniederschlages
auf der Oberfläche der Folie, so daß bei einem überziehen mit einem härtbaren Kunststoff die
behandelte Oberfläche praktisch den Kunststoff ergreift und eine zähe Bindung ausbildet.
Wenn auch Arbeitsweisen dieser Art dazu geführt haben, daß die Bindungsfestigkeit in einem gewissen Ausmaß verbessert
worden ist, haben sich doch im Zusammenhang mit der Schichtkörperbildung
einer derartig behandelten Folie mit Kunststoff subs traten Probleme ergeben. Insbesondere neigt Kupferfolie,
die einer "kupferartigen" Behandlung der angegebenen Art unterworfen worden ist dazu, nach dem Ätzen unter Ausbilden
des angestrebten gedruckten Schaltkreises Spuren an festen Rückständen auf der Oberfläche des freiliegenden Kunststoffsubstrates
zurückzulassen. Dieser Rückstand wird in der Fachsprache als Schichtkörperverschmutzung oder Verfärbung
bezeichnet und ist höchst unzweckmäßig. Diese Schichtkörperverschmutzung erfolgt wahrscheinlich weil die matte, d.h.
behandelte Seite der Folie während der Schichtkörperbildung der Berührung mit einem halbflüssigen Kunstharz ausgesetzt
wird. Chemische Reaktionen treten scheinbar zwischen dem Kupfer und den Kunstharzbestandteilen ein unter Ausbilden
von Produkten, die in den bei dem Herstellen der gedruckten Schaltkreise in Anwendung kommenden Ätzlösungen nicht leicht
löslich sind und somit auf der Schichtkörper-Oberfläche verbleiben,
wodurch sich eine Verschmutzung oder Verfärbung ergibt.
Erfindungsgemäß werden die angegebenen Probleme dadurch gelöst, daß die Kupferfolie einer derartigen Behandlung unterworfen
wird, daß eine matte Oberfläche auf einer Mehrzahl an Kupferelektroniederschlägen mit bestimmten definierten
Eigenschaften hergestellt und die matte Obeffläche mit einer dünnen Zinkschicht überzogen wird, die nach dem Erhitzen
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eine messingartige Schicht mit dem darunter liegenden Kupfer bildet. Eine derartige Schicht vermittelt der behandelten
Folie eine hohe Bindungsfestigkeit und ermöglicht es, daß
der daraus hergestellte Schichtkörper in einem einzigen Bad geätzt werden kann unter Ausbilden des angestrebten gedruckten
Schaltkreises, der annehmbare Farbeigenschaften bezüglich des Schichtkörpers besitzt.
Eine der Erfindung zugrundeliegende.Aufgabe besteht somit
darin, ein neuartiges Verfahren und vermittels desselben hergestellte Gegenstände zu schaffen zwecks Ausbilden einer
verbesserten Bindungsfestigkeit zwischen der matten Oberfläche
der Kupferfolie und einem darunterliegenden Substrat, wodurch ein Schichtkörper erhalten wird, der für das Anwendungsgebiet
der gedruckten Schaltkreise geeignet ist und keine Verschmutzung oder Verfärbung des Schichtkörpers zeigt.
Erfindungsgemäß wird die Kupferfolie zunächst einer Behandlung unterworfen, die in wirksamer Weise zu einem Aufrauhen
wenigstens einer ihrer Oberflächen fülrt und somit einer derartigen
Oberfläche eine matte Oberflächenbeschaffenheit vermittelt,
deren Bindungseigenschaften gegenüber der nicht behandelten Folie verbessert sind. Um das erfindungsgemäß angestrebte
Ergebnis zu erzielen, ist diese erste Behandlung der Kupferfolie von Wichtigkeit. Es wurde gefunden, daß die angestrebten
Eigenschaften erzielt werden, wenn die Kupferfolie einer Behandlung unterworfen wird, die darin besteht, daß auf
die Folie wenigstens zwei getrennte, elektrolytisch aufgebrachte Kupferbehandlungsschichten aufgebracht werden, wobei jede
der aufeinanderfolgenden elektrolytisch aufgebrachten Schichten eine unterschiedliche mechanische Struktur gegenüber einer
zuvor elektrolytisch aufgebrachten Schicht besitzt, um so eine behandelte Oberfläche zu ergeben, deren physikalische Eigenschaften
.'-ich von denjenigen der letzteren unterscheiden.
Mit anderen Worten, bei dieser Behandlung v/erden eine Hehrzahl
elektrolyt!scher Kupferbehandlungs-Vorgänge in einer Mehrzahl
Behandüungstanks ausgeführt, wobei jede derselben unter getrcinnten
!.ilektroplattierunysbedinyungen zur Ausführung kommt.
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ÖRIQJNAL
Bei der ersten Behandlung wird auf die Kupferfolie eine kugelige oder knotenförmige, pulverartige Kupfershicht elektrolytisch
aufgebracht, die grob und rauh und schwach anhaftend an dieser Kupferfolie ist, und im Anschluß hieran erfolgt mittels
einer zweiten Behandlung das Aufbringen vermittels elektrolytischer Abscheidung einer sogenannten Abdeck- oder Auflage-Kupferschicht,
die in ihrer Struktur nicht kugelförmig oder
knotenförmig ist, jedoch sich an die Konfiguration der ersten Schicht anpaßt. Die vermittels der ersten Behandlung aufgebrachte Schicht wird vorgesehen, um die Bxndungsfestigkeit der
Kupferfolie zu erhöhen, so daß dieselbe in besserer Welse mit einem Substrat unter Ausbilden eines Schichtkörpers verbunden werden kann, der für elektronische gedruckte Schaltkreise vorgesehen ist. Der Arbeitsschritt der ersten Behandlung vermag die Bxndungsfestigkeit einer 28,4 g Folie auf 1,79 bis 1,97 kg/cm Breite des Schichtkörpers zu verbessern in Abhängigkeit von den speziellen bei diesem ersten Behandlungsschritt angewandten
Bedingungen. Die Menge des bezüglich dieser ersten Schicht
knotenförmig ist, jedoch sich an die Konfiguration der ersten Schicht anpaßt. Die vermittels der ersten Behandlung aufgebrachte Schicht wird vorgesehen, um die Bxndungsfestigkeit der
Kupferfolie zu erhöhen, so daß dieselbe in besserer Welse mit einem Substrat unter Ausbilden eines Schichtkörpers verbunden werden kann, der für elektronische gedruckte Schaltkreise vorgesehen ist. Der Arbeitsschritt der ersten Behandlung vermag die Bxndungsfestigkeit einer 28,4 g Folie auf 1,79 bis 1,97 kg/cm Breite des Schichtkörpers zu verbessern in Abhängigkeit von den speziellen bei diesem ersten Behandlungsschritt angewandten
Bedingungen. Die Menge des bezüglich dieser ersten Schicht
aufgebrachten Kupfers sollte sich auf 3-5 und vorzugsweise
ο
etwa 4 g/m derFolie belaufen.
etwa 4 g/m derFolie belaufen.
Der zweite Behandlungsschritt, d.h. das Aufbringen der "Abdeck-" oder "Auflage-"Kupferschicht führt nicht zu einer
Verringerung der Bindungsfestigkeit, wie sie durch die erste Behandlung des Aufbringens einer Kupferschicht bedingt worden ist und wird üblicher Weise eine derartige Bindungsfestigkeit auf 2,14 bis 2,32 kg/cm der Breite des Schichtkörpers erhöhen, Hierdurch wird jedoch die unvorteilhafte Eigenschaft der PuI-verabfärbung verringert und sogar ausgeschaltet, die die Folie ansonsten aufgrund der ersten Behandlung haben würde. Die vermittels Jleserzwelten Behandlungsstufe aufgebrachte Schicht
sollte iene derartige Dicke besitzen, daß diese Schicht praktisch zu keiner Verringerung der Bindungsfestigkeit führt.
Um beste Ergebnisse zu erzielen, sollte sich die Menge des
vermittels dieses zweiten Arbeitsschrittes aufgebrachten
Verringerung der Bindungsfestigkeit, wie sie durch die erste Behandlung des Aufbringens einer Kupferschicht bedingt worden ist und wird üblicher Weise eine derartige Bindungsfestigkeit auf 2,14 bis 2,32 kg/cm der Breite des Schichtkörpers erhöhen, Hierdurch wird jedoch die unvorteilhafte Eigenschaft der PuI-verabfärbung verringert und sogar ausgeschaltet, die die Folie ansonsten aufgrund der ersten Behandlung haben würde. Die vermittels Jleserzwelten Behandlungsstufe aufgebrachte Schicht
sollte iene derartige Dicke besitzen, daß diese Schicht praktisch zu keiner Verringerung der Bindungsfestigkeit führt.
Um beste Ergebnisse zu erzielen, sollte sich die Menge des
vermittels dieses zweiten Arbeitsschrittes aufgebrachten
Kupfers zwecks Erzielen dieser Aufgabe auf etwa 3-7 und vor-
2
zugsweise etwa 5 g/m der Folie belaufen.
zugsweise etwa 5 g/m der Folie belaufen.
• 5 -
309808/1182
Die folgende Tabelle I zeigt die anwendbaren Bereiche der einschlägigen Bedingungen und die bevorzugten Bedingungen
für diesen Arbeitsschritt des Erfindungsgegenstandes.
Bedingung
kugel- oder knotenförmige Schicht
Abdeckschicht
Dichte des
Kathodens troms
(A/dm2)
Kathodens troms
(A/dm2)
Temperatur 0C
Kupferkonzentration (g/l, berechnet als Cu)
Süurekonzentration (g/l, berechnet als H2SO4)
16,2-32,2 bevorzugt 21,5
27-43; bevorzugt 32
20-30; bevorzugt 20
50-100; bevorzugt 75
umgewälzte Flüssig- 0-100 keitsmenge bezüglich der den Elektrolyten
enthaltenden Vorrichtung (l/min(
Spannung (V)
Zeit (see)
Kaethode
Anode
Zeit (see)
Kaethode
Anode
bevorzugt 20
7-8; bevorzugt 7,5 10-14; bevorzugt 12 Kupferfolie unlösliches Blei
10,7-32,2; bevorzugt 21,5
60-71; bevorzugt 49
50-100; bevorzugt 70
50-100; bevorzugt 75
0-100, bevorzugt 20
5-7, bevorzugt 6 8-12 ,'bevorzugt 12
Kupferfolie unlösliches Blei
Der oben angegebene Verfahrenszug wird vorzugsweise in zwei
getrennten Behandlungstanks hintereinander zur Durchführung gebracht. Mit anderen Worten, die Folie wird in dem ersten Tank
und im Anschluß hieran in dem zweiten Tank behandelt. Wahlweise, jedoch nicht so sehr bevorzugt, können auch beide Behandlungen
in dem gleichen Tank durchgeführt werden, wobei zwischen den Behandlungen die Flüssigkeit aus dem Tank entfernt wird.
Eine 28,4 g Folie, die gemäß den Bedingungen nach der obigen
Tabelle behandelt worden ist,wird eine Bndungsfestigkeit von
etwa 2,14-2,32 kg/cm besitzen und weist gleichzeitig nicht die
3 0 9 8 0 8/116
Schwierigkeiten bezüglich der Pulverabfärbung einer entsprechenden
Folie auf, die nicht der Abdeck- oder Auflage-Schichtbehandlung
unterworfen worden ist.
Die spezielle für das Aufbringen jeder der Schichten auf die Oberfläche der Kupferfolie in Anwendung kommende Vorrichtung
stellt keinen Teil der vorliegenden Erfindung dar. Derartige Schichten können jedoch zweckmäßigerweise dadurch aufgebracht
werden, daß die Kupferfolie durch einen Elektrolyten in der
Weise und unter Anv/enden einer derartigen Vorrichtung hindurchgeführt wird, wie es in der US-PS (US-Patentanmeldung SN 421 04b)
beschrieben ist. Bei einer derartigen Vorrichtung werden Plattenanoden angewandt, wobei die Kupferfolie serpentinartig
benachbart zu derartigen Anoden geführt wird unter Anwenden einer entsprechenden Berührung zwischen der Kupferfolie und
leitfähigen Rollen. Die Kupferfolie ist in den entsprechenden Schaltkreis als Kathode geschaltet. Vermittels Hindurchführen
der Kupferfolie durch ein derartiges System dergestalt, daß die zu überziehende Oberfläche der Folie gegenüberliegend zu der
aktiven Fläche der Anoden vorliegt, führt dazu, daß das auf diese Oberfläche aufzubringende Metall hierauf ausgehend aus
dem Elektrolyten elektrolytisch abgeschieden wird. Um die bevorzugte Ausführungsform durchzuführen, versteht es sich, daß
bei der anzuwendenden Vorrichtung zwei getrennte ßehandlungstanks vorliegen.
Nachdem die matte Oberfläche auf der Kupferfolie aufgebracht worden ist, erfolgt ein überziehen mit einer dünnen Zinkschicht.
Vor Aufbringen der Zinkschicht auf die behandelte Oberfläche ist es jedoch von Wichtigkeit, daß die behandelte Oberfläche
gründlich dergestalt gewaschen wird, daß jegliche Rückstände an Schwefelsäure hiervon entfernt werden, die ansonsten das
einwandfreie Zinkplattieren verhindern würden. Dies kann in jeder geeigneten Weise durchgeführt werden, jedoch ist das
mehrfache Waschen mit Wasser bevorzugt. Wenn auch der Umfang des Waschens von der Rauheit der matten Oberfläche abhängt,
können ausgezeichnete Ergebnisse dadurch erhalten werden, daß abwechselnd und in Serie angeordnete heiße - 54 C - und kalte
309808/1162 " ? "
- Raumtemperatur - Besprahungen auf die matte Oberfläche in
Anwendung kommen, v/obei ein gesamtes Wasservolumen von etwa 76 l/min, zur Verwendung kommt. Die behandelte und gewaschene
Kupferfolie wird sodann durch ein Plattierungsbad geführt und auf die matte Oberfläche der Kupferfolie elektrolytisch eine
tjinkschicht aufgebracht unter vollstandigeraBedecken der Oberfläche.
Das Zink wird als Schicht in e±er lienge von etwa 0,3-3
2'
und vorzugsweise 1 g/m der Folienoberfläche aufgebracht. Bei dies ein Arbeits schritt des Erfindungägogenstandes kann jede
herkömmliche Vorrichtung für das Elektroplattieren mit Zink angewandt v/erden, wenn auch eine Vorrichtung der in der oben
angegebenen Anmeldung beschriebenen Art hierzu bevorzugt ist. Wahlweise, wenn auch weniger wirksam, können andere Verfahren
zum Aufbringen eines "fetallüberzuges, wie ein Aufbringen aus
der Dampfphase angewandt werden.
I>iach der bevorzugten Ausführungsform wird die behandelte
Kupferfolie durch ein Plattierungsbad unter Bedingungen hindurchgeführt,
wie sie in der folgenden Tabelle II angegeben s ind.
Tabelle II | bevorzugte Be dingungen |
|
Bedingung | breiteste Arbeits bedingungen |
80-300 |
ZnSO4 . 7 H2O (g/l) | 5-400 | 0- 50 |
(NH4) 2SO4 (g/l) | 0-250 | Rest |
„ia s s er | Rest | 1,1-2,2 |
Kath odens tromdi chte A/dm2. |
0,6-32,2 | 5-30 |
Eintauchzeit (see,) | 5-6O | 27-32 |
Temperatur des Elektro lyten (0C) |
10-66 | Kupferfolie |
Kathode | Kupierfolie | Kupferfolie |
Anode | unlösliches Blei; Blei-Antimon (8%) lösliches Zink |
|
3098Ö8/11S2
Das oben angegebene Ammoniumsulfat {(NH.) SO.} wird als ein Puffer angewandt, um die Badlösung auf einen pH von etwa 1,5
bis 6, vorzugsweise auf einen pH-Wert von 3,5 zu bringen.
Anstelle der Zinksulfatlösung kann Zinkfluoborat angewandt werden.
In ähnlicher Weise kann ein Zinkatbad aus Zinksulfat und Natriumhydroxid angewandt werdeän.
Im Anschluß an das Aufbringen der Zinkschicht auf die matte Kupferoberfläche wird die Mehrschichtfolie einem Erhitzen auf
eine Temperatur von 12O-2O5°C,vorzugsweise 2O5°C, eine Zeitspanne
von etwa 30 Minuten bis etwa 10 Stunden lang und vorzgsweise 30 Minuten lang unterworfen. Dieser Erhitzungsvorgang
kann in jeder herkömmlichen Weise durchgeführt werden, bei der bevorzugten Ausführungsform jedoch wird die Folie auf einen
Stahlkern gewickelt und in einen Ofen eingeführt, der eine inerte Atmosphäre, z.B. Argon, enthält, der auf eine entsprechende
Temperatur erhitzt worden ist. Das Erhitzen der Folie kann unmittelbar nach Aufbringen der Zinkschicht durchgeführt
werden oder es kann bis zu einem Zeitpunkt vor dem Binden der Folie ein geeignetes Substrat hintenangestellt werden.
Vor der Erhitzen der überzogenen Oberfläche zeigt die Folie eine blau-gräuliche Farbe, offensichtlich die Farbe der
Zinkschicht. Nach dem Erhitzen wird die behandelte Oberfläche der Folie jedoch eine gelbliche oder goldene Farbe annehmen,
wodurch angezeigt wird, daß sich das Zink mit dem darunterliegenden Kupfer unter Ausbilden einer Messingschicht legiert
hat. Wenn die behandelte Folie Temperaturen über den oben angegebenen Werten ausgesetzt wird, kann die glänzende Seite
der Folie oxidiert werden. Zusätzlich können derartig hohe Temperaturen eine Umkristallisation des Kupfers bewirken,
wodurch sich eine Verschlechterung an Eigenschaften, wie Härte, Duktilität, usw. ergibt, die für gedruckte Schaltkreisanwendungen
wichtig sind.
309808/1162
Da die Zink- und Kuperschichten beide in der gleichen Art an
Säureätzbädern - wenn auch, wie weiter unten angegeben, im unterschiedlichen Ausmaß - löslich sind, kann das Ätzen der
Folie nach Binden an ein geeignetes Substrat durchgeführt werden, ohne daß sich ein zusätzlicher Kostenfaktor dadurch ergibt,
daß ein Ätzmittel für das Überzugsmetall und ein getrenntes Ätzmittelbad für die darunterliegende matte Kupferschicht
Erforderlich ist. Weiterhin zeigt der sich ergebende geätzte Schichtkörper keine Verschmutzung oder Verfärbung. Diese
Verbesserung wird möglich, da sich das Zink nicht mit den Kunststoffen umsetzt, die üblicherweise in dedruckten Schaltkreisen
angewandt werden. Da weiterhin das Zink leichter als Kupfer in herkömmlichen Ätzlösungen löslich ist, führt der
erfindungsgemäße Schichtkörper zu einem verbesserten Ätzen und der Bildung von sauberen gedruckten Schaltkreisprodukten.
Wie weiter oben angegeben, wird erfindungsgemäß nicht nur ein"
neuartiges Verfahren zum Herstellen von Kupferfolie mit guter Bindungsfestigkeit geschaffen, wobei keine Verschmutzung des
Schichtkörpers bei gedruckten Schaltkreisanwendungen erfolgt, sowie die durch das Verfahren gewonnene Kupferfolie geschaffen
wird, sondern werden erfindungsgemäß auch Schichtkörper geschaffen, die aus der Kupferfolie gebunden an ein geeigne-*
tes Substrat bestehen. Es versteht sich, daß das spezielle in diesem Laminat in Anwendung kommende Substrat unterschiedlich
sein wird in Abhängigkeit von der vorgesehenen Anwendung des Laminates und den Benutzungsbedingungen, denen ein
derartiges Laminat zugeführt wird. Besonders geeignete Substrate, die das Laminat für die Verwendung bei gedruckten
Schaltkreisen geeignet machen, sind unter anderem nicht flexible Träger, wie ein mit Teflon-imprägniertes Fiberglas
(Teflon ist das Warenzeichen für Polytetrafluoräthylen), mit KeI-F imprägniertes Fiberglas (KeI-F ist das Warenzeichen
für bestimmte Fluorkhlenstoffprodukte, einschließlich Polymerer
aus Trifluorchloräthylen und bestimmter Copolymerer)
und dgl. Zu geeigneten flexiblen Substraten können Polyamide
- 10 -
309808/1162
gezählt werden, wie sie unter den Bezeichnungen "Kapton" und "H-FiIm" bekannt sind - beide Produkte werden von der Firma
DuPont hergestellt und sind Polyimid-Kunststoffe, die durch
Kondensieren eines Pyromellitinanhydrides mit einem aromatischen Diamin hergestellt werden -.
Die für das Verbinden der behandelten Kupferfolie mit dem Substrat
in Anwendung kommenden Klebstoffe sind diejenigen, die herkömmlicher Weise für 'las spezifische in Betracht kommende
Anwendungsgebiet herangezogen werden, v/obei "FEP" - ein fluoriertes Äthylenpropylen-Kunstharz in Form eines Copolymereri
aus Tetrafluoräthylen und Hexafluorpropylen mit ähnlichen
Eigenschaften wie Teflon - besonders für Teflon und KeI-F geeignet
sind, und herkömmliche Epoxy-Kunstharze sind für die anderen
Materialien geeignet. Das Verfahren zum Verbinden der Kupferfolie mit dem Substrat ist herkömmlich und stellt keinen
Teil der vorliegenden Erfindung dar, typische Einzelheiten einer derartigen Verbindungsart sind z.B. in der US-PS
3 328 275 beschrieben.
Die Erfindung wird im folgenden weiterhin anhand einer Reihe Ausführujngsbeispiele erläutert.
Nach diesem Beispiel werden Kupferschichten auf einer Folie in einer elektrolytischen Zelle der allgemeinen Art aufgebracht,
wie es weiter oben erwähnt wurde.
Eine Rolle 28,4 g Kupferfolie v/ird elektrolytisch mit einer kugel- oder knotenförmigen Kupferschicht in einem ersten
Behandlungstank versehen, wobei die folgende Arbeitsbedingung zur Anwendung kommt.
2
Dichte des Kathodenstroms (A/dm ) 21,5
Dichte des Kathodenstroms (A/dm ) 21,5
Temperatur 0C 32
Kupferkonzentration (g/l, berechnet als Cu) 20
Säurekonzentration (g/l, berechnet als H2SO4) 75
Umwälzung (l/min) 20
- 11 -
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Spannung (V) 7,5
Zeit (sec) 12
Kathode Kupferfolie
Anode unlösliches Blei
Die in dieser Weise behandelte Kupferfolie weist auf einer ihrer Oberflächen einen elektrolytich augebrachten pulverförmigen
kugel- oder knotenförmig ausgestalteten Kupferniederschlag auf. Aufgrund dieses Behandlungsschrittes besitzt die
behandelte Folie eine ßindungsfestigkeit von 1,79 - 1/97 cm.
Diese Folie besitzt jedoch wenig vorteilhafte Eigenschaften bezüglich der Pulverabfärbungen dahingehend, daß bei einem
Aufbringen auf ein Substrat unter Ausbilden eines Laminates das Laminat sich bei dem Ätzen verfärbt.
Die dieser Behandlung unter Ausbilden eines knotenförmigen Kupferniederschlages unterworfene Rolle aus Kupferfolie wird
sodann in einem zweiten Behandlungstank behandelt, wobei elektrolytisch eine Auflage- oder Abdeck-Kupferschicht über
der zuvor aufgebrachten knotenförmigen Kupferschicht aufgebracht wird. Diese Behandlung wird unter Anwenden der folgenden
Bedingungen durchgeführt.
2
Dichte des Kathodenstroms (A/dm ) 21,5
Dichte des Kathodenstroms (A/dm ) 21,5
Temperatur 0C 50
Kupferkonzentration (g/l) 70
Säurekonzentration ausgedrückt als
H2SO4 (g/l) 75
Umwälzung (l/min) 20
Spannung (V) 6
Zeit (see.) 12
Kathode Kupferfolie
Anode unlösliches Blei
Die in dieser Weise behandelte Folie besitzt eine Bindungsfestigkeit von etwa 2,14 - 2,32 cm. Die·sich ergebende Kupferfolie
besitzt nicht die nachteiligen Eigenschaften einer Abfärbung.
- 12 -
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Die Gemäß Beispiel 1 behandelte Kupferfolie wird bezüglich ihrer behandelten Seite nacheinander fünfmal mit Wasser gewaschen.
Diese Waschvorgänge erfolgen abwechselnd heiß und kalt, wobei das heiße Wasser auf eine Temperatur von 54°C
erwärmt wird und das kalte Wasser Raumtemperatur besitzt. Die gewaschene Folie wird sodann durch einen Zinkionen enthaltenden
Eelektrolyten in einer elektrolytischen Zelle hindurchgeführt. Im folgenden sind die Behandlungsbedingungen bezüglich
der Kupferfolie angegeben.
ZnSO4 . 7 H2O (g/l) 240
Wasser Rest
Dichte desKathodenstroms (A/dm ) 1,1
Eintaachzeit (sec.) IO
Temperatur des Elektrolyten (0C) Raumtemperatur
Kathode Kupferfolie
Anode unlösliches Blei
(Pb 92 Gew.%; Sb 8%) .
Die Bindefestigkeit der mit Zink überzogenen Folie beläuft
kg
sich auf 2,14 - 2,32/cm.
sich auf 2,14 - 2,32/cm.
Nach Abschluß der Behandlung wird die mit Zink überzogene Folie auf einen Kern aus rostfreiem Stahl aufgewickelt und
in einer Argonatmosphäre in einen Ofen gebracht, der eine Temperatur von 2O5°C aufweist. Die Folie verbleibt in dem
Ofen 30 Minuten lang. Nach dem Erhitzen weist die behandelte Oberfläche der Folie eine gelbliche oder messingartige Farbe
auf.
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Weiter oben ist das Aufbringen eines Zinküberzuges auf eine
mit einer Mehrzahl an Kupferlagen versehene Kupferfolie als
die bevorzugte erfindungsgemäße Ausführungsform beschrieben.
Wahlweise, wenn auch nicht bedvorzugt, kann eine Messingschicht direkt auf die zweite Kupferschicht aufgebracht werden.
In einem derartigen Fall braucht jedoch die fertige behandelte Folie nicht einer Wärmebehandlung ausgesetzt zu werden,
da es nicht erforderlich ist, eine Messingschicht vermittels Legieren der abschließend aufgebrachten Zinkschicht
und der darunter liegenden Kupferschichten auszubilden.
Die Messingschicht wird vorzugsweise elektrolytisch unter Anwenden
einer Vorrichtung der zuvor beschriebenen Art und einem Plattierungsbad und Arbeitsbedingungen gemäß der folgenden
Tabelle III aufgebracht.
Tabelle III | 0-200 | bevorzugte Be dingungen |
|
Bedingungen | breitester Ar beitsbereich |
0-100 | 30 |
Cu2(CN)2 (g/l) | 10-200 | 9. | |
Zn(CN)2 (g/l) | 1-100 | Rest | |
Wasser | Rest | 80 | |
NaCN oder KCN (liefert Ionen Verbessern der (g/i) |
20-200 zwecks Leitfähigkeit) |
||
Na2CO3 oder K2CO3 | 60 | ||
(Puffer, g/l) | 0 | ||
NaOH ία/1) |
(NH4J3SO4 (zwecks
Beeinflussen der Farbe) (ml/1)
0-50
Dichte des Kathodenstroms 0,1-10,7 (Ä/dm2) Eintauchzeit (see.)
Temperatur des Elektrolyten (QC) Kathode Anode
5-50
10-380
Kupferfolie
Messing
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20
Raumtemperatur
Kupferfolie
Messing
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Bei dem obigen Messing-Plattierungsverfahren beläuft sich der
pH-Wert des Elektrolyten auf etwa 10-13 und vorzugsweise 12.
Wahlweise kann die Messingschicht nicht elektrolytisch aufgebracht
werden. Die Dicke der aufgebrachten Messingschicht sollte jedoch gleich derjenigen der Zinkschicht sein.
Es liegt weiterhin im Rahmen der Erfindung, einen Gegenstand zu schaffen, der anstelle des Aufbringens einer Zink- oder
Messingschicht auf die matte Oberfläche, die durch eine Mehrzahl an aufgebrachten Kupferschichten ausgebildet worden ist,
eine Metallschicht anzuwenden, die gegenüber dem tragenden Substrat inert ist, auf das die Folie bei gedruckten Schaltkreisen
gebunden aufgebracht wird, um so eine Verschmutzung oder Verfärbung des Schichtkörpers zu verhindern. Ein derartiges
Metall sollte die matte Oberfläche vollständig bedecken und eine derartige Dicke besitzen, daß praktisch keine Verringerung
der Bindungsfestigkeit der matten Oberfläche zu dem Zeitpunkt der Verbindung mit dem Substrat erfolgt. Zu denjenigen
Metallen, die anstele von Zink oder Messing angewandt werden können, gehören z.B. Nickel, Kobalt, Chrom, Cadmium, Zinn
und Bronze. Jedes dieser Metalle kann herkömmlicher Weise elektrolytisch aufgebracht werden, vorzugsweise vermittels
elektrolytischer Abscheidung, und zwar auf die Mehrzahl der Kupferschichten, die zuvor als Oberzug auf die Ausgangsfolie
aufgebracht worden sind.
Bezüglich der hier ersatzweise in Betracht gezogenen Metalle sind Nickel, Kobalt, Cadnium, Zinn und Bronze bevorzugt.
Der hier in Anwendung kommende Ausdruck "praktisch keine Verringerung der Bindungsäfestigkeit der matten Oberfläche" ist
so zu verstehen, daß darunter gemeint ist ein Verlust von weniger als etwa 0,179 kg/cm der Bindungsfestigkeit.
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Claims (30)
1. Verfahren zur Behandlung von Kupferfolie zwecks Verbessern der Bindungsfestigkeit desselben, ohne daß zu einer Verschmutzung
oder Verfärbung eines daraus gefertigten Schichtkörpers kommt, dadurch gekennzeichnet , daß auf
die Folie wenigstens zwei getrennte, elektrolytisch aufgebrachte
Kupferschichten unter Ausbilden einer matten Oberfläche angeordnet werden, wobei die erste derartige Schicht in Berührung
mit der Folie in Form eines kugelförmigen oder knotenförmigen,
pulverförmigen Kupferelektroniederschlages und die zweite derartige
Schicht in Form einer Abdeckschicht vorliegt, die nicht kugel- oder knotenförmig in ihrer Struktur ist, jedoch der
Konfiguration der ersten Schicht entspricht unter Verringern der Pulverabfarbungsexgenschaften der ersten Schicht sowie anschließend
hieran diese matte Oberfläche mit einer Zinkschicht überzogen wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichne,t
, daß die Dicke der Zinkschicht so ausgewählt wird, daß praktisch keine Verringerung der ursprünglichen Bindungsfestigkeit
der matten Oberfläche resultiert.
3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß das Aufbringen der Abdeckschicht so ausgeführt wird, daß praktisch keine Verringerung der Bindungsfestigkeit erfolgt,
wie sie der Folie durch die ursprüngliche Kupferschichtbehandlung vermittelt wird.
4. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß die überzogene Folie im Anschluß an das Aufbringen des Zinküberzuges so erhitzt wird, daß der Zinküberzug von
einer grauen in eine gelbliche Färbung überführt wird.
- 16 -
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5. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß die überzogene Folie im Anschluß an das Aufbringen des Zinküberzuges so erhitzt wird, daß sich die Zinkschicht mit
der matten Kupferschicht unter wenigstens teilweisem Ausbilden einer Messingschicht legiert.
6. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet,
daß die Folie mit dem Zinküberzug auf eine Temperatur von etwa 120 bis etwa 2O5°C 30 Minuten bis etwa 10 Stunden
lang erhitzt wird.
7. Verfahren nach Ansprach l, dadurch gekennzeichnet,
daß die Zinkschicht
der Folie aufgebracht wird.
net, daß die Zinkschicht in einer Menge von etwa 0,3-3 g/m
8. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß die erste Kupferschicht in einer Menge von etwa
2
3-5 g/m der Folie und die zweite Kupferschicht in einer Menge
3-5 g/m der Folie und die zweite Kupferschicht in einer Menge
2
von etwa 3-7 g/m der Folie aufgebracht wird.
von etwa 3-7 g/m der Folie aufgebracht wird.
9. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß die elektrolytisch aufgebrachten Kupferniederschläge auf die Folie ausgehend von sauren Bädern aufgebracht werden,
sowie die behandelte Folie vor dem Aufbringen des Zinküberzuges ausreichend unter Entfernen der sauren Rückstände von derselben
gewaschen wird.
10. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß anstelle eines Zinküberzuges ein Messingüberzug auf die matte Oberfläche mit einer derartigen Dicke aufgebracht
wird, daß die Messingschicht zu praktisch keiner Verringerung der ursprünglichen Bindungsfestigkeit der matten Oberfläche
führt.
- 17 -
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11. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichn
e t , daß der Zinküberzug elektrolytisch auf die matte Oberfläche aufgebracht wird.
12. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß der Zinküberzug elektrolytisch aufgebracht wird bei
2 einer kathodikchen Stromdichte von etwa 0,6 - 32,2 A/dm , einer
Temperatur des Elektrolyten von etwa 10-66 C, einer Zinkkonzentration - berechnet als ZnSO. . 7 H2O - in dem Elektrolyten von
etwa 5-400 g/l, einer elektrolytischen Abscheidungszeit von etwa 5-60 Sekunden und einem pH-Wert des Elektrolyten von etwa
1,5-6.
13. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß die erste knotenförmige Schicht elektrolytisch aufgebracht wird bei einer kathodischen Stromdichte von etwa 16,2
-32,2 A/dm , einer Temperatur des Elektrolyten von etwa 27-43°O, einer Kupferkonzentration in dem Elektrolyten von etwa 20-30 g/l
ausgedrückt als Kupfer, einer Säurekonzentration in dem Elektrolyten - ausgedrückt als H2SO4- von etwa 50-100 g/l und einer
elektrolytischen Abscheidungszeit von etwa 10-14 Sekunden.
14. Verfahren nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet
, daß die Abdeckschicht aufgebracht wird unter den folgenden elektrolytischen Abscheidungsbedxngungen: einer Kathoden-
2
stromdichte von etwa 10,7-32,2 A/dm , einer Temperatur des Elektrolyten von etwa 6O-71°C, einer Kupferkonzentration in dem Elektrolyten von etwa 50-100 g/l ausgedrückt als Kupfer, einer Säurekonzentration in dem Elektrolyten ausgedrückt als H3SO4 von etwa 50-100 g/l und einer elektrolytischen Abscheidungszeit von etwa 8-12 Sekunden.
stromdichte von etwa 10,7-32,2 A/dm , einer Temperatur des Elektrolyten von etwa 6O-71°C, einer Kupferkonzentration in dem Elektrolyten von etwa 50-100 g/l ausgedrückt als Kupfer, einer Säurekonzentration in dem Elektrolyten ausgedrückt als H3SO4 von etwa 50-100 g/l und einer elektrolytischen Abscheidungszeit von etwa 8-12 Sekunden.
- 18 -
3Ö9ÖÖ87 1 162
15. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß das Aufbringen der Abdeckschicht so ausgeführt wird, daß praktisch keine Verringerung der üindungsfestigkeit erfolgt,
die der Folie durch die Aufbringung der ersten Kupferschicht vermittelt wird, die Menge der aufgebrachten kugelförmigen oder
2 knotenförmigen Schicht sich auf 3-5 g/m der Folie, die Menge
2 der aufgebrachten Abdeckschicht sich auf 3-7 g/m der Folie
und die elektrolytisch auf die matte Oberfläche aufgebrachte Menge der Schicht aus Zink sich auf etwa 0,3-3 g/m der Folie
beläuft, die elektrolytische Kupferabscheidung auf die Kupferfolie
ausgehend von sauren Bädern erfolgt, die behandelte Folie vor dem Aufbringen des Zinküberzuges ausreichend gewaschen wird
unter Entfernen der sauren Rückstände von derselben, die erste kugel- oder knotenförmige Schicht aufgebracht wird unter elektrolytischer
Abscheidung mit kathodischen Stromdichte von etwa
2
16,2 - 32,2 A/dm , einer Temperatur des Elektrolyten von etwa 27-43 C, einer Kupferkonzentration in dem Elektrolyten von etwa 20-30 g/l bezüglich des Kupfers, einer Säurekonzentration in dem Elektrolyten ausgedrückt als H„SO. von etwa 50-100 g/l und einer elektrolytischen Abscheidungszeit von etwa 10-14 Sekunden, wobei die zweite Abdeckschicht aufgebracht wird unter elektrolytischen Abscheidungsbedingungen mit einer kathodischen
16,2 - 32,2 A/dm , einer Temperatur des Elektrolyten von etwa 27-43 C, einer Kupferkonzentration in dem Elektrolyten von etwa 20-30 g/l bezüglich des Kupfers, einer Säurekonzentration in dem Elektrolyten ausgedrückt als H„SO. von etwa 50-100 g/l und einer elektrolytischen Abscheidungszeit von etwa 10-14 Sekunden, wobei die zweite Abdeckschicht aufgebracht wird unter elektrolytischen Abscheidungsbedingungen mit einer kathodischen
2
Stromdichte von etwa 10,7-32,2 A/dm , einer Temperatur des Elektrolyten von etwa 60-71°C, einer Kupferkonzentration in dem Elektrolyten von etwa 50-100 g/l ausgedrückt als Kupfer, einer Säurekonzentration in dem Elektrolyten ausgedrückt als H2SO4 von etwa 50-100 g/l,einer elektrolytischen Abscheidungszeit von etwa 8-12 Sekunden, wobei der Zinküberzug aufgebracht wird unter Anwenden von elektrolytischen Abseheidungsbedingungen mit einer kathodischen Stromdichte von etwa 0,6-32,2 A/dm , einer Temperatur des Elektrolyten von etwa 1O-66°C, einer Zinkkonzentration - berechnet als ZnSOj. 7 H2O in dem Elektrolyten von etwa 5-400 g/l, und einer elektroLytischen Abscheidungszeit von etwa 5-60 Sekunden, wöbe L ;-. ich der pH-Wert des Elektrolyten auf etwa 1,5--6 belauft und die überzogene Folie im Anschluß an das Aufbringen Ut;;; Z lnkiH>t:rzuges! auf eine Temper $l$ir !von etwa 120-20.1S C etwa 30 MLnututi
Stromdichte von etwa 10,7-32,2 A/dm , einer Temperatur des Elektrolyten von etwa 60-71°C, einer Kupferkonzentration in dem Elektrolyten von etwa 50-100 g/l ausgedrückt als Kupfer, einer Säurekonzentration in dem Elektrolyten ausgedrückt als H2SO4 von etwa 50-100 g/l,einer elektrolytischen Abscheidungszeit von etwa 8-12 Sekunden, wobei der Zinküberzug aufgebracht wird unter Anwenden von elektrolytischen Abseheidungsbedingungen mit einer kathodischen Stromdichte von etwa 0,6-32,2 A/dm , einer Temperatur des Elektrolyten von etwa 1O-66°C, einer Zinkkonzentration - berechnet als ZnSOj. 7 H2O in dem Elektrolyten von etwa 5-400 g/l, und einer elektroLytischen Abscheidungszeit von etwa 5-60 Sekunden, wöbe L ;-. ich der pH-Wert des Elektrolyten auf etwa 1,5--6 belauft und die überzogene Folie im Anschluß an das Aufbringen Ut;;; Z lnkiH>t:rzuges! auf eine Temper $l$ir !von etwa 120-20.1S C etwa 30 MLnututi
309808/ I 162 - η -
SAD ORIGINAL
bis etwa 10 Stunden unter Legieren der Zinkschicht mit der matten Kupferoberfläche unter wenigstens teilweisem Ausbilden
einer Messingschicht erhitzt v/ird.
16. Kupferfolie, deren wenigstens eine Oberfläche eine verbesserte
Bindungsfestigkeit aufweist bei einer Bindung an ein tragendes Substrat, dadurch gekennzeichnet ,
daß eine matte Oberfläche auf der Fo.lie vorliegt in Form einer
kugelförmigen oder knotenförmigen, pulverförmigen, elektrolytisch
abgeschiedenen Kupferschicht und einer abdeckenden, elektrolytisch aufgebrachten Kupferschicht auf der kugel-
oder knotenförmigen Schicht, die nicht in ihrer Struktur "
kugel- oder knotenförmig ist, jedoch der kugel- oder knotenförmigen
Konfiguration der pulverförmigen elektrolytisch aufgebrachten
Kupferschicht entspricht, wobei die matte Oberfläche
mit einem Zinküberzug bedeckt ist.
17. Kupferfolie nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet,
daß die Dicke des Zinküberzuges dergestalt ist, daß dieselbe praktisch zu keiner Verringerung der Bindungsfestigkeit der matten Oberfläche bezüglich des Substrates zum Zeitpunkt
der Bindung an das Substrat führt.
18. Kupferfolie nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet,
daß der Zinküberzug mit der matten Kupferoberfläche legiert ist unter wenigstens teilweise Ausbilden einer Kupferschicht.
19. Kupferfolie nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet , daß die Menge des aufgebrachten Zinküber-
2
zuges sich auf 0,3-3 g/m der Folie beläuft.
zuges sich auf 0,3-3 g/m der Folie beläuft.
20. Kupferfolie nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, daß die Menge der aufgebrachten knotenförmi-
gen Schicht sich auf etwa 3-5 g/m der Folie und diejenige
2 der Abdeckschicht sich auf etwa 3-7 g/m der Folie beläuft.
- 20 -
3098087 1162
21. Schichtkörper, dadurch gekennzeichnet , daß derselbe eine Kupferfolie gemäß Anspruch 16 und ein tragendes
Substrat aufweist, wobei die mit Zinklegierung überzogene matte Oberfläche der Folie an das Substrat gebunden ist.
22. Kupferfolie, deren wenigstens eine Oberfläche eine verbesserte
Bindefestigkeit aufweist bei einer Bindung an ein tragendes Substrat, dadurch gekennzeichne t , daß
auf der Folie eine matte Oberfläche in Form einer kugel- oder, knotenförmigen, pulverförmigen, elektrolytisch abgeschiedenen
Kupferschicht vorliegt, sowie über der knotenförmigen Schicht eine elektrolytisch abgeschiedene Abdeck-Kupferschient, die
in ihrer Struktur nicht kugel- oder knotenförmig ist, jedoch
der kugel- oder knotenförmigen Konfiguration der elektroytisch abgeschiedenen, pulverförmigen Kupferschicht entspricht, wobei
die matte Oberfläche mit einem Messingüberzug bedeckt ist.
23. Kupferfolie nach Anspruch 22, dadurch gekennzeichnet , daß die Dicke des Messingüberzuges dergestalt
ist, daß dieselbe praktisch zu keiner Verringerung der Bindungsfestigkeit der matten Oberfläche bezüglich des Substrates
zum Zeitpunkt der Bindung an das Substrat führt.
24. Verfahren zum Behandeln von Kupferfolie zwecks Verbessern der Bindungsfestigkeit,desselben, ohne daß es zu einer Verschmutzung
oder Verfärbung eines daraus gefertigten Schichtkörpers kommt, dadurch gekennzeichnet , daß
auf die Folie wenigstens zwei getrennte, elektrolytisch abgeschiedene Kupferbehandlungsschichten aufgebracht werden unter
Ausbilden einer matten Oberfläche, wobei die erste derartige Schicht in Berührung mit der Folie in Form einer knotenförmigen,
pulverförmigen, elektrolytischen Kupferabscheidung und
die zweite derartige Schicht in Form einer Abdeckschicht vorliegen, die in ihrer Struktur nicht kontenförmig ist, jedoch
der Konfiguration der ersten Schicht entspricht, zwecks Verringerung der Pulverabfärbungseigenschaften der ersten
Schicht, und die matte Oberfläche mit einer Schicht eines
309808/1162 - 21 -ORlGiNAt INSPECTED
Metalls überzogen wird, das zu praktisch keiner Verringerung der Bindungsfestigkeit der matten Oberfläche führt, und gegenüber
dem die matte Oberfläche bildenden Metall chemisch inert ist, unter Verhindern einer Verschmutzung des Schichtkörpers,
sobald die Folie mit einem harzartigen Substrat unter Ausbilden eines gedruckten Schattkreises mit dem Metall in Berührung
mit dem Substrat gebunden wird.
25. Verfahren nach Anspruch 24, dadurch gekennzeichnet,
daß als Metall Nickel, Kobalt, Chrom, Cadmium, Zinn oder Bronze angewandt wird.
26. Kupferfolie, deren wenigstens eine Oberfläche verbesserte Bindungsfestigkeitseigenschaften aufweist, wenn dieselbe an
ein tragendes Substrat gebunden wird, dadurch gekennzeichnet , daß eine matte Oberfläche auf der Folie in
Form einer kugelförmigen oder knotenförmigen, pulverförmigen,'
elektrolytisch abgeschiedenen Kupferschichtvorliegt und eine abdeckende, elektrolytisch aufgebrachte Kupferschicht auf der
kugel- oder knotenförmigen Schicht angeordnet ist, die nicht
in ihrer Struktur^ kugel- oder knotenförmig ist,jedoch der
kugel- oder knotenförmigen Konfiguration der pulverförmigen,
elektrolytisch abgeschiedenen Kupferschicht entspricht, wobei die matte Oberfläche mit einem Metall bedeckt ist, das praktisch
zu keiner Verringerung der Bindungsfestigkeit der matten Oberfläche führt, sowie gegenüber dem die matte Oberfläche
bildenden Metall chemisch inert ist, unter Verhindern einer Verschmutzung des Schichtkörpers, sobald die Folie mit einem
harzartigen Substrat unter Ausbilden eines gedruckten Schaltkreises mit dem Metall in Berührung mit dem Substrat gebunden
wird.
27. Kupferfolie nach Anspruch 26, dadurch gekennzeichnet , daß als Metall Nickel, Kobalt, Chrom,
Cadmium, Zinn oder Bronze angewandt wird.
- 22 -
30 9 8 08/1162
28. Kupferfolie nach Anspruch 26, dadurch gekennzeichnet,
daß als Metall Zink, Messing, Nickel, Kobalt, Chrom, Cadmium, Zinn oder Bronze angewandt wird.
29. Schichtkörper, dadurch gekennzeichnet , daß derselbe eine Kupferfolie gemäß Anspruch 26 und ein tragendes
Substrat aufweist, wobei die mit Metall überzogene matte Oberfläche der Folie an das Substrat gebunden ist.
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