DE19909450A1 - Piezoelektrischer Aktor - Google Patents
Piezoelektrischer AktorInfo
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Abstract
Die Erfindung betrifft einen piezoelektrischen Aktor, insbesondere zur Betätigung von Steuerventilen oder Einspritzventilen in Kraftfahrzeugen, mit einem in Form eines vielschichtigen Laminats aus aufeinandergeschichteten Lagen piezoelektrischen Materials und dazwischenliegenden metallischen bzw. elektrisch leitenden, als Elektroden dienenden Schichten gebildeten Aktorkörper (10), an dessen Endflächen je eine ventilseitige Bodenplatte (11) und eine gegenüberliegende Kopfplatte (12) angebracht sind. Der piezoelektrische Aktor ist dadurch gekennzeichnet, dass der Aktorkörper (10) an seinen Endflächen jeweils eine piezoinaktive Deckschicht (13, 14) aufweist und dass die an den Endflächen des Aktorkörpers (10) anschließenden Anschlussflächen der Bodenplatte (11) und der Kopfplatte (12) die Deckschichten umgreifende Fixierelemente (16, 17; 18) wenigstens zur kraftschlüssigen Fixierung der Deckschichten (13, 14) des Aktorkörpers (10) aufweisen.
Description
Die Erfindung betrifft einen piezoelektrischen Aktor,
insbesondere zur Betätigung von Steuerventilen oder
Einspritzventilen in Kraftfahrzeugen, mit einem in Form
eines vielschichtigen Laminats aus aufeinandergeschichteten
Lagen piezoelektrischen Materials und dazwischenliegenden
metallischen bzw. elektrisch leitenden, als Elektroden
dienenden Schichten gebildeten Aktorkörper, an dessen
Endflächen je eine ventilseitige Bodenplatte und eine
gegenüberliegende Kopfplatte angebracht sind.
Ein derartiger piezoelektrischer Aktor ist bekannt z. B.
aus der DE 196 50 900 A1 der Robert Bosch GmbH. Ein
derartiger, in Form eines laminierten Stapels aus
piezoelektrischen Schichten mit dazwischenliegenden
Elektrodenschichten gebildeter piezoelektrischer
Mehrlagenaktor muss unter einer mechanischen Vorspannung
eingebaut werden, da er sonst bei einer Betätigung
auseinanderreißen würde.
In der oben genannten DE 196 50 900 A1 wird vorgeschlagen,
einen piezoelektrischen Mehrlagenaktorkörper stirnseitig
jeweils mit einer Bodenplatte und einer Kopfplatte zu
verkleben. Die benötigte Vorspannung wird durch Federbänder
aufgebracht, die zu beiden Seiten in Längsrichtung des
Aktorkörpers liegen und die Bodenplatte und die Kopfplatte
zusammenspannen. Da eine Klebeschicht immer eine gewisse
Elastizität aufweist, wird durch die stirnseitigen
Verklebungen des Aktorkörpers die Steifigkeit des
Gesamtsystems negativ beeinflusst. Da der Aktorkörper aber
an der Bodenplatte und der Kopfplatte fixiert werden muss,
sind Fixiertechniken nötig, die den Nachteil der mangelnden
Steifigkeit des Gesamtsystems vermeiden.
Es ist Aufgabe der Erfindung, einen piezoelektrischen Aktor
so zu ermöglichen, dass dessen Aktorkörper ohne
Verklebungen an der Bodenplatte und der gegenüberliegenden
Kopfplatte fixiert werden kann.
Diese Aufgabe wird anspruchsgemäß gelöst.
Gemäß einem wesentlichen Aspekt zeichnet sich ein
piezoelektrischer Aktor gemäß der Erfindung dadurch aus,
dass der Aktorkörper an seinen Endflächen jeweils eine
piezo-inaktive Deckschicht aufweist und dass die an den
Endflächen des Aktorkörpers anschließenden Anschlussflächen
der Bodenplatte und der Kopfplatte die Deckschichten
umgreifende Fixierelemente wenigstens zur kraftschlüssigen
Fixierung der Deckschichten des Aktorkörpers aufweisen. Die
die piezo-inaktiven Deckschichten des Aktorkörpers
kraftschlüssig und wahlweise auch formschlüssig
umgreifenden Fixierelemente können gemäß einem
Ausführungsbeispiel Vertiefungen sein, die jeweils in der
Bodenplatte und der Kopfplatte so angebracht sind, dass
sie, um den Kraftschluss herzustellen, an die
Außenabmessung der angrenzenden Endfläche des Aktorkörpers
bzw. dessen piezo-inaktiver Deckschicht angepasst sind.
Solche Vertiefungen können vorteilhafterweise durch eine
Prägung der Bodenplatte und der Kopfplatte gebildet werden.
Eine solche kostengünstige Prägung lässt auch eine
quadratische oder rechteckige Kontur der Vertiefung zu, so
dass vorteilhaft piezoelektrische Aktorkörper mit
rechteckiger oder quadratischer Außenkontur form- und
kraftschlüssig in die Vertiefungen eingreifen können.
Auch kreisrunde Vertiefungen können zur Fixierung eines
Aktorkörpers mit kreisrunder Außenkontur oder, wenn nur
Kraftschluss nötig ist, mit quadratischer Außenkontur in
die Bodenplatte und die Kopfplatte eingeprägt sein. Eine
kreisrunde Vertiefung greift formschlüssig an den Kanten
eines Aktorkörpers mit quadratischem Querschnitt an.
Bei einem alternativen Ausführungsbeispiel können die
Fixierelemente jeweils einen in seinem Innenmaß an die
Außenabmessung der angrenzenden Endfläche bzw. der
Deckschicht des Aktorkörpers angepassten Fixierring
aufweisen, der an oder auf der Anschlussfläche der
Bodenplatte sowie der Kopfplatte fixiert ist. Bei
Verwendung solcher Fixierringe ist es vorteilhaft, wenn die
Deckschichten des Aktorkörpers etwas dicker sind.
Auch die Fixierringe können verschiedene Innenkonturen
haben, z. B. quadratische oder rechteckige oder auch eine
kreisrunde, ovale oder elliptische Innenkontur. Fixierringe
mit einer kreisrunden Innenkontur können auch zur Fixierung
eines Aktorkörpers mit quadratischer Außenkontur verwendet
werden, wenn auf eine Drehfixierung verzichtet werden kann,
und Fixierringe mit ovaler oder elliptischer Innenkontur
können zur Fixierung von Aktorkörpern mit rechteckiger
Außenkontur verwendet werden, wenn auf eine Drehfixierung
verzichtet werden kann. In diesem Fall greifen die
Fixierringe kraftschlüssig mit ihrer Innenkontur an den
Kanten von Aktorkörpern mit quadratischer oder rechteckiger
Außenkontur an.
Da die eigentlichen elastischen Spannmittel zum Vorspannen
des Mehrlagenaktors nicht Gegenstand dieser Anmeldung sind,
werden sie an dieser Stelle auch nicht näher beschrieben.
Dazu sei nur soviel gesagt, dass ein solcher Mehrlagenaktor
statt mit den in der oben zitierten DE 196 50 900 A1
verwendeten, seitlich des Aktorkörpers zwischen der
Kopfplatte und der Bodenplatte eingespannten Federbändern
auch mit zentrisch an der Kopf- oder Bodenplatte
angreifenden Tellerfedern oder zylindrischen
Schraubenfedern vorgespannt werden kann.
Die obigen und weitere vorteilhafte Merkmale der Erfindung
werden in der nachstehenden zwei prinzipielle
Ausführungsbeispiele der Erfindung anhand der Zeichnung
erläuternden Beschreibung noch deutlicher.
Fig. 1 zeigt schematisch im Längsschnitt ein erstes
Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen
piezoelektrischen Aktors, und
die Fig. 2A und 2B zeigen schematisch jeweils in Form
eines Teillängsschnitts und eines Querschnitts ein zweites
Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen
piezoelektrischen Aktors.
Der schematische Längsschnitt der Fig. 1 zeigt einen
piezoelektrischen Aktorkörper 10, der aus einem
vielschichtigen Laminat mit aufeinandergeschichteten Lagen
piezoelektrischen Materials und dazwischenliegenden
metallischen bzw. elektrisch leitenden als Elektroden
dienenden Schichten besteht und der mit seinen Endflächen
zwischen einer Bodenplatte 11 und einer gegenüberliegenden
Kopfplatte 12 sitzt. Die an die Bodenplatte 11 angrenzende
Stirnseite und die an die Kopfplatte 12 angrenzende
Stirnseite des Aktorkörpers 10 sind mit je einer piezo
inaktiven Deckschicht 13 und 14 versehen. Zur Fixierung des
so gebildeten Aktorkörpers 10 weisen die Bodenplatte 11 und
die Kopfplatte 12 jeweils eine Vertiefung 16 und 17 auf,
deren Maße jeweils an die Außenabmessung der angrenzenden
Endfläche, d. h. der jeweiligen piezo-inaktiven Deckschicht
13 und 14 angepasst sind.
Die Vertiefungen 16, 17 können in vorteilhafter Weise z. B.
durch Prägen oder Erodieren in die Bodenplatte 11 und die
Kopfplatte 12 eingearbeitet werden. Der piezoelektrische
Aktorkörper 10 greift mit seinen Endflächen, d. h. mit der
jeweiligen piezo-inaktiven Deckschicht 13 und 14 wenigstens
kraftschlüssig in die genannten eingeprägten Vertiefungen
16 und 17 ein. Der Vorteil der eingeprägten Vertiefungen 16
und 17 besteht darin, dass durch den Prägevorgang außer
einer kreisrunden oder ovalen auch eine quadratische oder
rechteckige Kontur in einfacher und kostengünstiger Weise
eingeprägt werden kann. Auf diese Weise kann z. B. ein im
Querschnitt rechteckiger oder quadratischer Aktorkörper 10
formschlüssig in den Vertiefungen 16 und 17 fixiert werden.
Somit ist durch die im ersten Ausführungsbeispiel als
Fixiermittel dienenden Vertiefungen 16 und 17, in denen der
Aktorkörper 10 formschlüssig fixiert werden kann, die im
Stand der Technik übliche Klebeschicht vermieden, die
aufgrund ihrer Elastizität die Steifigkeit des
Gesamtsystems negativ beeinflusste.
Selbstverständlich lässt sich auch ein Aktorkörper 10 mit
quadratischer Querschnittsform in kreisrunden Vertiefungen
16 und 17 kraftschlüssig gegen Verdrehen fixieren, wenn
dafür Sorge getragen ist, dass der Innenrand der
Vertiefungen 16 und 17 formschlüssig an den Kanten der
quadratischen piezo-inaktiven Deckschichten 13 und 14
angreift.
Die Fig. 2A und 2B zeigen ein zweites
Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen
piezoelektrischen Aktors, wobei lediglich der an der
Bodenplatte 11 anschließende (in den Fig. 2A untere)
Abschnitt des Aktorkörpers 10 dargestellt ist. Die an die
Bodenplatte 11 angrenzende piezo-inaktive Deckschicht 13
ist bei dem in Fig. 2A und 2B dargestellten
Ausführungsbeispiel vorzugsweise dicker als die piezo
inaktive Deckschicht 13 des in Fig. 1 dargestellten ersten
Ausführungsbeispiels. Gemäß Fig. 2A und 2B dient zur
Fixierung des Aktorkörpers 10 ein mit der Bodenplatte 11
fest verbundener Fixierring 18, dessen Innenmaß an die
Außenabmessung der angrenzenden Endfläche des Aktorkörpers
10 angepasst ist.
Selbstverständlich kann das Fixierelement, das fixierend an
der entgegengesetzten Endfläche des Aktorkörpers an einer
dort gleichfalls vorgesehenen piezo-inaktiven Deckschicht
angreift, aus einem gleichartigen Fixierring bestehen. Wie
insbesondere die Fig. 2B deutlich macht, greift der
Fixierring 18 mit seiner inneren Ringfläche an den Kanten
eines Aktorkörpers 10 beispielsweise mit quadratischem
Querschnitt an (Fixierpunkte 19-22). In ähnlicher Weise
lassen sich mit anderen Fixierringen, die eine ovale oder
elliptische Innenkontur haben, Aktorkörper 10 mit
rechteckiger Außenkontur fixieren.
Die gemäß den Fig. 2A und 2B zur Fixierung des
Aktorkörpers 10 verwendeten Fixierringe 18 erfüllen
dieselbe Funktion, wie die beim ersten Ausführungsbeispiel
verwendeten Vertiefungen 16 und 17, indem sie ohne
Klebstoffschicht den Aktorkörper 10 mit einer angrenzenden
Bodenplatte und Kopfplatte verbinden. Das Entfallen der
Klebstoffschicht an den Stirnseiten sorgt für eine Erhöhung
der Steifigkeit des Gesamtsystems.
Claims (9)
1. Piezoelektrischer Aktor, insbesondere zur Betätigung
von Steuerventilen oder Einspritzventilen in
Kraftfahrzeugen, mit einem in Form eines vielschichtigen
Laminats aus aufeinandergeschichteten Lagen
piezoelektrischen Materials und dazwischenliegenden
metallischen bzw. elektrisch leitenden, als Elektroden
dienenden Schichten gebildeten Aktorkörper (10), an dessen
Endflächen je eine ventilseitige Bodenplatte (11) und eine
gegenüberliegende Kopfplatte (12) angebracht sind,
dadurch gekennzeichnet, dass der Aktorkörper (10) an seinen
Endflächen jeweils eine piezo-inaktive Deckschicht (13, 14)
aufweist und dass die an den Endflächen des Aktorkörpers
(10) anschließenden Anschlussflächen der Bodenplatte (11)
und der Kopfplatte (12) die Deckschichten umgreifende
Fixierelemente (16, 17; 18) wenigstens zur kraftschlüssigen
Fixierung der Deckschichten (13, 14) des Aktorkörpers (10)
aufweisen.
2. Piezoelektrischer Aktor nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, dass die Fixierelemente jeweils eine an die
Außenabmessung der angrenzenden Deckschicht (13, 14) des
Aktorkörpers (10) angepasste Vertiefung (16, 17) in der
Anschlussfläche der Bodenplatte (11) und der Kopfplatte
(12) aufweisen.
3. Piezoelektrischer Aktor nach Anspruch 2, dadurch
gekennzeichnet, dass die Vertiefungen (16, 17) jeweils
durch eine Prägung und/oder durch Erodieren in der
Anschlussfläche der Bodenplatte (11) und Kopfplatte (12)
gebildet sind.
4. Piezoelektrischer Aktor nach Anspruch 2 oder 3,
dadurch gekennzeichnet, dass die Vertiefungen eine
kreisrunde Kontur haben.
5. Piezoelektrischer Aktor nach Anspruch 2 oder 3,
dadurch gekennzeichnet, dass die Vertiefungen eine
rechteckige oder quadratische Kontur haben.
6. Piezoelektrischer Aktor nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, dass die Fixierelemente jeweils einen in
seinem Innenmaß an die Außenabmessung der angrenzenden
Deckschicht (13, 14) des Aktorkörpers (10) angepassten
Fixierring (18) auf der Anschlussfläche der Bodenplatte
(11) und der Kopfplatte (12) aufweisen.
7. Piezoelektrischer Aktor nach Anspruch 6, dadurch
gekennzeichnet, dass die Fixierringe (18) eine quadratische
oder rechteckige Innenkontur haben.
8. Piezoelektrischer Aktor nach Anspruch 6, dadurch
gekennzeichnet, dass die Fixierringe (18) eine kreisrunde
Innenkontur haben.
9. Piezoelektrischer Aktor nach Anspruch 6, dadurch
gekennzeichnet, dass die Fixierringe (18) eine ovale oder
eliptische Innenkontur haben.
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---|---|---|---|
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GB0004902A GB2347556B (en) | 1999-03-04 | 2000-03-02 | Piezoelectric actor |
JP2000059245A JP2000299992A (ja) | 1999-03-04 | 2000-03-03 | ピエゾ電気アクチュエータ |
US09/520,017 US6448692B1 (en) | 1999-03-04 | 2000-03-06 | Piezoelectric actuator |
Applications Claiming Priority (1)
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---|---|---|---|
DE19909450A DE19909450A1 (de) | 1999-03-04 | 1999-03-04 | Piezoelektrischer Aktor |
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---|---|---|---|
DE19909450A Ceased DE19909450A1 (de) | 1999-03-04 | 1999-03-04 | Piezoelektrischer Aktor |
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FR (1) | FR2790617B1 (de) |
GB (1) | GB2347556B (de) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107809185A (zh) * | 2016-09-09 | 2018-03-16 | Tdk株式会社 | 压电驱动装置 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3502025A1 (de) * | 1985-01-23 | 1986-07-24 | Diehl GmbH & Co, 8500 Nürnberg | Verformbarer spiegel |
US4845399A (en) * | 1986-08-28 | 1989-07-04 | Nippon Soken, Inc. | Laminated piezoelectric transducer |
DE4201937A1 (de) * | 1991-01-25 | 1992-07-30 | Murata Manufacturing Co | Piezoelektrisches laminiertes stellglied |
US5452858A (en) * | 1993-03-24 | 1995-09-26 | Nippon Soken Inc. | Fuel injector for internal combustion engine having throttle portion |
GB2306571A (en) * | 1995-10-18 | 1997-05-07 | Daimler Benz Ag | Piezoelectric fuel injection valve for i.c. engines |
DE19653555A1 (de) * | 1996-12-20 | 1998-06-25 | Siemens Ag | Piezoelektrischer Aktor |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62157274A (ja) * | 1985-12-28 | 1987-07-13 | Aisan Ind Co Ltd | 燃料噴射弁 |
JP2508321B2 (ja) * | 1989-12-04 | 1996-06-19 | 日本電気株式会社 | 圧電アクチュエ―タおよびその製造方法 |
JP2699619B2 (ja) * | 1990-06-27 | 1998-01-19 | 日本電気株式会社 | 電歪効果素子 |
JPH04179286A (ja) * | 1990-11-14 | 1992-06-25 | Nec Corp | 積層圧電アクチュエータ |
JP2692396B2 (ja) * | 1991-02-22 | 1997-12-17 | 日本電気株式会社 | 圧電アクチュエータおよびその製造方法 |
JPH05315666A (ja) * | 1992-05-08 | 1993-11-26 | Nec Corp | 電歪効果素子 |
JPH0722665A (ja) * | 1993-07-06 | 1995-01-24 | Murata Mfg Co Ltd | 積層型圧電体素子の製造方法 |
JP2940376B2 (ja) * | 1993-12-24 | 1999-08-25 | 日立プラント建設株式会社 | 積層形圧電アクチュエータ |
JP3516182B2 (ja) * | 1995-03-30 | 2004-04-05 | 太平洋セメント株式会社 | 密封式微動装置及びその製造方法 |
JP3944931B2 (ja) * | 1996-12-06 | 2007-07-18 | 日産自動車株式会社 | ピエゾアクチュエータ |
DE19650900A1 (de) * | 1996-12-07 | 1998-06-10 | Bosch Gmbh Robert | Piezoelektrischer Aktuator |
DE19715487C2 (de) * | 1997-04-14 | 2002-06-13 | Siemens Ag | Piezoelektrischer Aktor mit einem Hohlprofil |
JPH1126829A (ja) * | 1997-06-30 | 1999-01-29 | Kyocera Corp | 圧電アクチュエータ装置 |
JP3506596B2 (ja) * | 1998-01-29 | 2004-03-15 | 京セラ株式会社 | 積層型圧電アクチュエータ |
-
1999
- 1999-03-04 DE DE19909450A patent/DE19909450A1/de not_active Ceased
-
2000
- 2000-03-02 GB GB0004902A patent/GB2347556B/en not_active Expired - Fee Related
- 2000-03-02 FR FR0002676A patent/FR2790617B1/fr not_active Expired - Fee Related
- 2000-03-03 JP JP2000059245A patent/JP2000299992A/ja not_active Ceased
- 2000-03-06 US US09/520,017 patent/US6448692B1/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3502025A1 (de) * | 1985-01-23 | 1986-07-24 | Diehl GmbH & Co, 8500 Nürnberg | Verformbarer spiegel |
US4845399A (en) * | 1986-08-28 | 1989-07-04 | Nippon Soken, Inc. | Laminated piezoelectric transducer |
DE4201937A1 (de) * | 1991-01-25 | 1992-07-30 | Murata Manufacturing Co | Piezoelektrisches laminiertes stellglied |
US5452858A (en) * | 1993-03-24 | 1995-09-26 | Nippon Soken Inc. | Fuel injector for internal combustion engine having throttle portion |
GB2306571A (en) * | 1995-10-18 | 1997-05-07 | Daimler Benz Ag | Piezoelectric fuel injection valve for i.c. engines |
DE19653555A1 (de) * | 1996-12-20 | 1998-06-25 | Siemens Ag | Piezoelektrischer Aktor |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107809185A (zh) * | 2016-09-09 | 2018-03-16 | Tdk株式会社 | 压电驱动装置 |
CN107809185B (zh) * | 2016-09-09 | 2019-12-10 | Tdk株式会社 | 压电驱动装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US6448692B1 (en) | 2002-09-10 |
FR2790617A1 (fr) | 2000-09-08 |
GB0004902D0 (en) | 2000-04-19 |
FR2790617B1 (fr) | 2006-12-29 |
GB2347556A (en) | 2000-09-06 |
GB2347556B (en) | 2001-02-21 |
JP2000299992A (ja) | 2000-10-24 |
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