DE19748240C2 - Verfahren zur korrosionsfesten Beschichtung von Metallsubstraten mittels Plasmapolymerisation und dessen Anwendung - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur korrosionsfesten Beschichtung von Metallsubstraten mittels Plasmapolymerisation. Das Verfahren ist insbesondere dazu geeignet, Aluminium und Aluminiumlegierungen korrosionsfest zu beschichten.

Seit die Forschung sich mit der Erzeugung plasmapolymerer Schichten durch Polymerisationsprozesse, die durch Zugabe gasförmiger Monomere in einen Gasentladungsprozess, der die notwendige Energie für die Polymerisation liefert, beschäftigt, hat es an Versuchen nicht gefehlt, diese Schichten so abzuscheiden, daß sie die beschichtete Oberfläche vor unterschiedlichen Angriffsar ten zu schützen imstande sind. Diese Funktion ist keineswegs trivial, handelt es sich doch bei den plasmapolymeren Schichten um ausgesprochene Dünnschichten, die im Nanometerbereich bis hin zu wenigen Mikrometern anzusiedeln sind. Neben der Entwicklung von Kratzfestschichten, z. B. für optische Funktionselemente aus Kunststoffen (WO-A-8504601) wurde auch versucht, metallische Werkstoffe durch diese Art von Schichten zu schützen, mit mäßigem Erfolg. Selbst Angriffe, die als korrosiv nicht gravierend angesehen werden müssen, widerstanden diese Schichten nur für sehr kurze Zeiten.

In allen bisher bekannt gewordenen Ver suchen auf Aluminiumwerkstoffen werden Oxidschichten in oxidierend eingestellten Plasmen als Haftvermittler eingesetzt, analog zu den üblichen Lackierverfahren, aber auch analog zur Oberflächenvorbereitung vor der Verklebung, die eine, meist mittels anodischer Oxidation erzeugte Oxidschicht benutzen. Die für eine gute Haftung wünschenswerte Aktivierung der Grenzfläche erfolgt, wenn überhaupt, durch Einlagerung artfremder Substanzen. In vielen Fällen wird die Anbindung ausschließlich über Adhäsionskräfte vorgenommen. Derartige Beschichtungs- oder Verklebungssysteme weisen erfahrungsgemäß nur mäßige Sicherheit gegen Unterwanderung auf, da durch Diffusion oder durch Permeationsvorgänge gebildeter Wasserdampf die Verbindung von Werkstoff und Beschichtung schwächt.

Andererseits ist die Plasmapolymerisation ein Verfahren, mit dem sich durch Einwirkung eines Plasmas auf organischem Molekül der Gasphase Festkörperbeschichtungen mit vorwiegend organischem Charakter und hervorragenden Eigenschaften erzeugen lassen. Die Plasmapolymerisation gehört zur Gruppe der Niederdruck-Plasmaprozesse und wird zunehmend industriell eingesetzt. Das großes Interesse an dieser Technologie ist auf die Vorteile eines schnellen, berührungslosen, trockenchemischen sowie das Werkstück wenig belastenden Beschichtungsverfahrens zurückzuführen.

Mit Niedertemperaturplasmen abgeschiedene, plasmapolymere Schichten, im folgenden Plasmapolymere genannt, zeichnen sich wie folgt aus:

• - Plasmapolymere sind oft dreidimensional hoch vernetzt, unlöslich, kaum oder nicht quellend und potentielle gute Diffusionsbarrieren.
• - Sie sind verglichen mit konventionell hergestellten Polymeren aufgrund des hohen Vernetzungsgrades thermisch, mechanisch und chemisch ungewöhnlich stabil.
• - Die Schichten zeigen auf den meisten Substratmaterialien eine gute Haftung bei hoher Dichte und sind mikroporenfrei.
• - Die Schichten besitzen meistens eine amorphe Struktur und haben eine glatte, dem Substrat nachgebildete Oberfläche.
• - Die Schichten sind sehr dünn, die Schichtdicke beträgt nur bis zu einige 100 nm bis zu 10 nm.
• - Die Prozeßtemperaturen sind niedrig, Raumtemperatur bis ca. 100°C, insbesondere bis ca. 60°C.

Andererseits sind bisher keine Verfahren bekannt geworden, mit denen Metallsubstrate, insbesondere Substrate aus Aluminiumwerkstoffen, korrosionsfest mit einem Plasmapolymeren beschichtet werden können.

Rippenrohre aus dem Werkstoff AlMgSi0,5 werden vielfach in Brennwertkesseln verwandt. Solche Rippenrohre zeigen unter extremen Einsatzverhältnissen und in Grenzbereichen bezüglich der zugelassenen Gaszusammensetzung nicht immer eine ausreichende Korrosionsresistenz.

Die Bildung von Korrosionsprodukten führt auf der Gasseite im Bereich der Rippen zu Störungen, im fortgeschrittenen Stadium tritt zusätzlich zu einer Reduzierung der Wärmeaustauscherfläche auf der Brenngasseite auf.

Herkömmliche Korrosionsschutzmaßnahmen, die Stand der Technik sind, können aus mehreren Gründen nicht ergriffen werden. Verfahren wie Phosphatierung bzw. Chromatierung bedingen eine kontinuierlich Schwermetallionenemision an die Umgebung und scheiden aufgrund der zu erwartenden Verschärfung der Abwassergesetzgebung aus.

Lacksysteme kommen als Alternative ebenfalls nicht in Frage. Lacke als Oberflächenschutz führen zu einer Beeinträchtigung der Wärmeleitung, die im vorliegenden Fall nur in engen Grenze tolerierbar ist. Weiterhin führt bei herkömmlichen Lackbeschichtungen die Wasserdampfdiffusion zu Unterwanderung der Schutzschicht. Bei der anschließenden Kondensation auf der Metalloberfläche verursacht dies ein Abheben der Schicht und eine Beschleunigung des Korrosionsvorgangs, wie dies von lokalisierten Korrosionsarten bekannt ist.

Eine Beschichtung solcher Rippenrohre für Wärmetauscher mit einem Plasmapolymeren wäre an und für sich wünschenswert. Diesbezügliche Versuche führten jedoch nicht zu korrosionsbeständigen Beschichtungen. In der Regel zeigte sich, daß die Plasmapolymere nicht fest genug an der Metalloberfläche hafteten und eine mehr oder weniger schnelle Unterwanderung der Beschichtung stattfand mit dem Ergebnis, daß es rasch zu Ablösungserscheinungen kommt.

Aus der DE-A-42 16 999 ist ein Verfahren zur Oberflächenbeschichtung von Silbergegenständen bekannt, bei dem die Oberfläche zunächst mit einem abtragenden Plasma behandelt und die Oberfläche anschließend mit einem Plasmapolymeren beschichtet wird, wobei zunächst eine Kopplungsschicht, darauf eine permeationsverhindernde Oberflächenschicht und schließlich eine Versiegelungsschicht erzeugt werden. Für die Kopplungsschicht kommen insbesondere Ethylen und Vinyltrimethylsilan zum Einsatz, für die permeationsverhindernde Schicht Ethylen und für die Versiegelung Hexamethyldisiloxan in Verbindung mit Sauerstoff als plasmabildende Monomere, wobei ein kontinuierlicher Übergang zwischen den plasmabildenden Monomeren stattfindet. Die Beschichtungen sind weitgehend kratzfest und bilden einen guten Anlaufschutz, können aber so eingestellt sein, daß sie mit einem Reinigungsmittel entfernt werden können. Eine Beschichtung von Aluminiumsubstraten führt nicht zu korrosionsbeständigen Beschichtungen.

Insgesamt wäre es wünschenswert, über ein Verfahren zu verfügen, mit dem metallische Werkstoffe, insbesondere Aluminiumwerkstoffe dauerhaft und korrosionsfest mit einem Plasmapolymer beschichtet werden können.

Diese Ziel wird mit einem Verfahren der eingangs genannten Art erreicht, bei dem das Substrat in einem Vorbehandlungsschritt einer mechanischen, chemischen und/oder elektrochemischen Glättung unterworfen wird und anschließend bei einer Temperatur von weniger als 200°C und einem Druck von 10^-5 bis 100 mbar einem Plasma ausgesetzt wird, wobei in einem ersten Schritt in einem reduzierenden Plasma die Oberfläche aktiviert und in einem zweiten Schritt das Plasmapolymere aus einem Plasma, das wenigstens ggf. eine Sauerstoff, Stickstoff oder Schwefel enthaltende, unter den Bedingungen des Plasmas verdampfbare Kohlenwasserstoff- oder siliciumorganische Verbindung, die Fluoratome enthalten können, enthält, abgeschieden wird.

Es wurde überraschend gefunden, daß die Kombination einer glättenden Vorbehandlung des zu beschichtenden Metallsubstrats mit einer Plasmahandlung das Problem der mangelnden Haftung der Beschichtung auf der Metalloberfläche löst. Dabei besteht die Plasmabehandlung wiederum aus 2 Schritten, zum einen aus einer Behandlung der Oberfläche mit einem reduzierenden Plasma, das abtragend auf die Oberfläche einwirkt, und einem zweiten Schritt, in dem die eigentliche Beschichtung direkt auf die plasmavorbehandelte Metallschicht aufgebracht wird.

Die Vorbehandlung, insbesondere Glättung der Oberfläche des Metallsubstrat kann mit mechanischen, chemischen oder elektrochemischen Mitteln erfolgen. Besonders bevorzugt sind Kombinationen aus mechanischer und chemischer Glättung. Der mechanischen und/oder chemischen Glättung kann in jedem Fall eine elektrochemische Glättung nachgeschaltet werden, wenn das jeweilige Metallsubstrat dies zuläßt. Das Elektropolierverfahren ist beispielsweise bei Rippenrohren aus physikalisch/technischen Gründen nicht zur Oberflächenbehandlung geeignet. Hier ist man auf chemische Verfahren, wie saures oder alkalisches Beizen, angewiesen. Gemäß DE-C-40 39 479 kann auch ein Kombination aus Beizen in Verbindung mit einer mechanischen Störung der Oberfläche durch Wischen, Bürsten, Strahlen oder dergleichen zum Einsatz kommen, wobei insbesondere das Werkstück mit einem Flüssigkeitsstrahl, daß das Beizmittel sowie abbrasiv wirkende Partikel enthält, beaufschlagt wird.

Bei dem zur Glättung der Oberfläche eingesetzten Beizverfahren handelt es sich um chemische Vorgänge, bei denen mit Hilfe aggressiver Chemikalien vornehmlich Oxid-, Rost- und Zunderschichten von der jeweiligen Metalloberfläche entfernt werden. Bei Beizflüssigkeiten handelt es sich meist um Säuren, die sowohl die Deckschichten als auch das Metall selbst angreifen. Das Beizen ist kein einheitlicher Vorgang. Vielmehr laufen verschieden chemische und physikalische Vorgänge nebeneinander und auch nacheinander ab. Die Vorgänge sind oft elektrochemischer Natur, wobei es zwischen den Metalloxiden und der Metalloberfläche zur Bildung von Lokalelementen kommt.

Das Elektropolieren ist ein Verfahren zum Glänzen von Metalloberflächen, bei dem Erhöhungen und Grate elektrolytisch abgetragen werden.

Insbesondere bei Aluminium ist das chemische Glanzbeizen als Verfahren zur Einebnung von Oberflächenrauhigkeiten weit entwickelt. Grundsätzlich hat es eine größere Bedeutung als das Elektropolieren. Es gibt eine Reihe chemischer Glanzbeizen für Aluminium.

Die meisten chemischen Glanzlösungen sind auf Phosphorsäurebasis aufgebaut. Ein Zusatz von Salpetersäure bewirkt die Bildung spiegelnder Oberflächen und verbessert auch ihre Qualität. Die Zugabe von Schwefelsäure beschleunigt die Metallauflösung und verbessert die Einebnung. Weitere Zusätze können die Metallabtragsgeschwindigkeit weiter erhöhen und die Standzeiten des Bades verlängern.

Die Wirkung von Beizen, auch Glanzbeizen, läßt sich in Verbindung mit mechanischen Oberflächenbehandlungsverfahren weiter vergleichmäßigen und beschleunigen. Erfindungsgemäß kommt insbesondere eine solche Kombination von mechanischen und chemischen Oberflächenbehandlungsverfahren zur Glättung, wie sie in der DE-C-40 39 479 beschrieben sind, zum Einsatz.

Aufgrund der amphoteren Eigenschaften von Aluminium und seiner Legierungen können dort auch alkalische Lösungen zum Reinigen und Beizen eingesetzt werden.

Im allgemeinen wird die Oberfläche durch die Glättungsbehandlung bis hin zu einem gemittelten Mittenrauhigkeit von weniger als 350 nm, vorzugsweise weniger als 250 nm geglättet. Durch Elektropolieren, insbesondere auch nachgeschaltetes Elektropolieren nach einer mechanisch/chemischen Glättung, können gemittelte Mittenrauhigkeit von weniger als 100 nm erreicht werden.

Die auf diese Art und Weise erzielten geglätteten Oberflächen sind allerdings immer noch nicht optimal für die Aufbringung eines Plasmapolymeren geeignet. Wird im Anschluß an die mechanische/chemische und/oder elektrochemische Glättung ein Plasmapolymeres aufgetragen, zeigt dies noch nicht die erwünschten Standzeiten unter korrosiven Bedingungen. Voraussetzung hierfür ist eine weitere Oberflächenbehandlung mittels eines reduktiv eingestellten Plasmas, insbesondere eines Wasserstoffplasmas. Diese Plasmabehandlung erfolgt bei Temperaturen von ≦ 200°C bei Drücken von ≦ 100 mbar, insbesondere bei ≦ 100°C und ≦ 10 mbar. Dem Wasserstoff als Träger des Plasmas können weitere Gase beigemischt werden, beispielsweise Kohlenwasserstoffe und insbesondere Olefine, wie nachstehend beschrieben, sowie Sauerstoff, Stickstoff oder auch Argon, wobei darauf zu achten ist, daß der reduzierende Charakter beibehalten wird.

Das Ergebnis dieser Plasmabehandlung ist die Erzielung einer aktivierten Oberfläche. Unter den reduzierenden Bedingungen wird vermutlich eine Verringerung der Aluminiumoxidschicht und/oder oberflächennaher Aluminiumhydroxide auf der Metalloberfläche herbeigeführt, so daß sich Ansatzpunkte für eine reaktive Anbindung eines später aufgebrachten Plasmapolymeren direkt an das Metall ergeben. Weiterer Nebeneffekt ist, daß die Oberfläche durch die Plasmabehandlung weiter geglättet wird.

Auf die plasmabehandelte Oberfläche wird, vorzugsweise zunächst unter weiter reduzierenden Bedingungen, ein Plasmapolymeres niedergeschlagen. Als Hauptbestandteil dieses Plasmapolymers dient Kohlenwasserstoff und/oder eine siliciumorganische Verbindung, die Sauerstoff-, Stickstoff- oder Schwefelatome enthalten kann, wobei diese Kohlenwasserstoff oder siliciumorganische Verbindung einen Siedepunkt aufweist, das sie unter den in der Plasmabeschichtungskammer herrschenden Temperatur- und Druckbedingungen verdampfbar ist. In erster Linie kommen hierfür Alkane, Alkene, aromatische Kohelwasserstoffe, Silane, Siloxane, Silazane und Silathiane in Frage, vorzugsweise Siloxane. Besonders bevorzugt ist der Einsatz von Hexamethyldisiloxan und Hexamethylcyclotrisiloxan. Andere Verbindungen sind Hexamethyldisilazan und Hexamethylcyclotrisilazan, wie auch Hexamethyldisilathian. Einsetzbar sind auch höhere Homologe dieser Verbindungen und Mischungen solcher Verbindungen, ebenso wie die teilweise oder vollständig fluorierten Derivate.

Als Co-Monomer für die Bildung des Plasmapolymeren aus siliciumorganischen Monomeren kommen Kohlenwasserstoffe, insbesondere Olefine in Frage, beispielsweise Ethylen, Propen und Cyclohexen. Silane, insbesondere vinylhaltige siliciumorganische Verbindungen können ebenfalls als Co- Monomere eingesetzt werden, beispielsweise Vinyltrimethylsilazan. Diese ungesättigten Monomeren können der O-, N- oder S-Atom-haltigen siliciumorganischen Verbindung in festen oder sich ändernden Anteilen zugemischt werden, wobei eine abgestufte Zumischung in Frage kommt. Beispielsweise kann bei stufenweisem Aufbau des Plasmapolymeren zunächst eine Übergangsschicht auf der Metalloberfläche aufgebaut werden, die ausschließlich oder überwiegend aus der siliciumorganischen Verbindung besteht, und anschließend der Kohlenwasserstoff zugemischt werden. Die umgekehrte Verfahrensweise ist ebenfalls möglich. Auf diese Art und Weise lassen sich die Eigenschaften der Plasmapolymerbeschichtung dahingehend verändern, daß eine optimale Anheftung an das Metallsubstrat und/oder eine optimale Beständigkeit gegen korrodierende Substanzen gegeben ist. Ein solch gradierter Aufbau ist beispielsweise aus der DE-A-42 16 999 bekannt.

Bei der Plasmapolymerisation können zusätzlich zu diesen Monomeren weitere Gase eingespeist werden, beispielsweise Sauerstoff, Stickstoff oder Argon, um die Eigenschaften des Plasmas und des Plasmapolymeren zu beeinflussen.

Die Plasmapolymerisation findet im allgemeinen bei einer Temperatur von ≦ 200°C, vorzugsweise ≦ 100°C und insbesondere etwa 60°C statt. Der Druck in der Plasmabeschichtungskammer liegt im allgemeinen bei ≦ 10 mbar.

Die durch die Plasmapolymerbildung gebildete Schicht auf dem Metallsubstrat hat zweckmäßigerweise eine Dicke von 100 nm bis 10 µm. Es ist aber ohne weiteres möglich, für besondere Zwecke Schichtdicken von weniger als 100 nm zu erzeugen.

Im Gegensatz zu anderen Beschichtungen, auch anders aufgebrachten Plasmapolymerbeschichtungen, wird erfindungsgemäß eine Glättung der Oberfläche durch eine einebnende Beizung erzielt, deren Wirkung durch einen überlagerte leichte mechanische Komponente gesteigert und vergleichmäßigt wird. Es kommt daher weniger zu einer mechanischen Verklammerung der Polymerbeschichtung auf dem Metallsubstrat aufgrund einer relativ hohen Rauhigkeit des Substrats, sondern vielmehr zu einer eher chemischen Anbindung an freie Valenzen der freigelegten und freigeätzten Metalloberfläche. Es wird im allgemeinen eine nahezu spiegelblanke, optisch ansprechende Oberfläche auf nicht strukturierten Metalloberflächen erreicht. Insbesondere wird erreicht, daß die Beschichtung von ihrer Dicke her nicht mehr in den Oberflächenstrukturen einer rauhen Metalloberfläche "untergeht", sondern eine gleichmäßige, ebene Schicht entsteht.

Eine im Vergleich zur technischen Oberfläche um ein Mehrfaches gesteigerte Korrosionsschutzwirkung wurde erfindungsgemäß erzielt.

Eine weitere Steigerung der Langzeitkorrosionsbeständigkeit wird durch den Einbau eines im Vakuum verdampfbaren Korrosionsinhibitors in vorzugsweise die unterste Lage der plasmapolymeren Beschichtung erzielt. Im Gegensatz zu bisher vorliegenden Ergebnissen ist es nicht wesentlich, daß ein solcher Korrosionsinhibitor direkt auf die Substratoberfläche aufgebracht wird, also nicht direkt in der Haftungsebene liegt und diese dadurch schwächt. Vielmehr wird eine Fernwirkung erzielt, die insbesondere mit der Verwendung leitfähiger Polymere verbunden ist. Geeignete solche Polymere sind beispielsweise Polyaniline, die im Vakuum einen geringen Dampfdruck haben oder in feinstverteilter Form in das Plasmapolymer eingebracht werden können, in einer Menge von 0,1 bis 1 Gew.-%.

Über den Einsatz auf Aluminiumwerkstoffe hinaus ist die beschriebene Technologie auf weitere metallische Werkstoffe, insbesondere solche, die zur Ausbildung einer Oberflächenoxidschicht neigen, anwendbar.

Das erfindungsgemäße Verfahren kann weiterhin dazu eingesetzt werden, eine plasmapolymere Grundierung auf ein Metallsubstrat aufzubringen, die dann anschließend durch weitere Beschichtungen ergänzt wird. Hierdurch können korrosionsfeste Beschichtungen für verschiedenste Zwecke mit hoher Beschichtungsdicke erzielt werden, die genügend Schichtdicke für eine abrasive Beanspruchung haben. Besonders gut hierfür geeignet sind Ormocere. Beschichtungen von Ormoceren haben von ihrem strukturellen Aufbau her Ähnlichkeit mit hochvernetzten plasmapolymeren Beschichtungen, können jedoch ohne den relativ langsamen Beschichtungsprozess im Vakuum aufgebaut werden. Die typischen Schichtdicken liegen hierbei in der Größenordnung von 1 bis 100 nm. Mit der Kombination sind ähnlich gute Korrosionseigenschaften zu erzeilen wie mit plasmapolymeren Beschichtungen allein.

Insbesondere ist das erfindungsgemäße Verfahren zur Beschichtung von Aluminiumwerkstoffen geeignet, wobei die erzielte Korrosionsbeständigkeit den Aluminiumwerkstoff besonders für den Einsatz als Wärmetauscher und zur Herstellung von Rippenrohren für Wärmetauscher in Brennwertkesseln geeignet macht.

Beispiel

Als Testmaterial wurden Rechteckproben aus dem Werkstoff AlMgSi0,5 verwandt. Die Proben wurden zunächst einem mehrstufigen Reinigungsverfahren unterworfen, um Fremstoffe, wie Öle und Fette zu entfernen. Anschließend wurde die Oberfläche der Bleche mit einem kombinierten Beiz- und Elektropolierverfahren behandelt.

Die Proben wurden zunächst mittels Bürste in einer pH-neutralen Seifenlaugelösung mechanisch gereinigt, danach abgespült, und erneut in der Seifenlaugenlösung 30 min. bei t = 70°C im Ultraschallbad behandelt. Nach weiterem Abspülen mit fließendem Wasser und Trocknen mit Heißluft wird im Ultraschallbad mit Aceton reinst entfettet und mit Heißluft getrocknet.

Anschließend werden die Metallproben in einer Beize aus 46,0 Teilen Wasser, 50,0 Teilen konzentrierte Salpetersäure und 4,0 Teilen Flußsäure bei Raumtemperatur 120 s gebeizt. Nach Abspülen mit Wasser und Ethanol wurde das Werkstück dann elektrochemisch poliert. Als Elektrolyt diente eine Mischung aus 78 ml 70 bis 72%-ige Chlorsäure, 120 ml aqua dest, 700 ml Ethanol und 100 ml Butylglykol. Das Elektropolieren wurde über einen Zeitraum von 180 s bei einer Elektrolyttemperatur von -15 bis +8°C, einem Polierstrom von 5 bis 18 A/dm² und einer Polierspannung von 19 bis 11 V durchgeführt.

Unmittelbar nach dem Elektropolieren wurde die Probe mit Wasser abgespült und im Ultraschallbad 10 min. in kaltem Wasser behandelt. Zum Schluß wurde mit Heißluft getrocknet.

Vor der Oberflächenglättung hatte das Werkstück eine matte Oberfläche mit einer Mittenrauhigkeit von 0,570 µm (gemittelt aus 5 Messungen). Nach der Elektropolitur betrug die Mittenrauhigkeit weniger als 100 nm. Die Oberfläche war hochglänzend.

Die Plasmabehandlung wurde in einer üblichen Plasmapolymerisationsanlage durchgeführt, bei der in den Unterdruckbehälter das monomere Gas eingeführt und durch hoch frequenten Wechselstrom und/oder Mikrowellenenergie zur Plasmabildung angeregt wurde.

In dem ersten Schritt der Plasmabehandlung wurde das Aluminiumwerkstück bei 60°C und 50 mbar 120 s mit einem Wasserstoffplasma beaufschlagt. Der Wasserstoff wurde sukzessive durch Einspeisung von Hexamethyldisiloxan bei einem Druck von 10 mbar ersetzt. Der Volumenstrom betrug zu 500 ml/min., die Leistung lag bei max. 5 KW. Die Auftragung erfolgte in einer Schichtdicke von 500 nm.

Das Beispiel wurde dahingehend variiert, daß bei der Plasmapolymerisation zunächst auf die Metalloberfläche ein Plasmapolymeres aus Ethylen als Monomer aufgebracht wurde, dem in zunehmenden Mengen Hexamethyldisiloxan zugemischt wurde, bis das Ethylen vollständig verdrängt war.

In weiteren Versuchen wurden den Monomeren als Zusatzgase Sauerstoff und Stickstoff beigemischt.

In allen diesen Verfahren wurden hoch korrosionsfeste, dünne, transparente Schichten auf der Oberfläche des Aluminiumbleches abgeschieden, das seinen hochglänzenden Charakter behielt.

Durch Elektronenmikroskopie wurde festgestellt, daß die plasmapolymere Schicht eine gute Anbindung an die Metalloberfläche besitzt. Die plasmapolymere Schicht ist amorph und praktisch fehlerfrei, d. h. sie weist keine Poren oder Einschlüsse auf.

Das Korrosionsverhalten der so beschichteten Aluminiumbleche wurde in 25%- iger Schwefelsäure bei Raumtemperatur und 60 bis 70°C sowie in 20%-iger Salpetersäure bei Raumtemperatur geprüft. Alle Proben erwiesen sich in den über mehrere Stunden durchgeführten Tests als beständig. Es trat keine Einwanderung der Testflüssigkeit in die Beschichtung oder gar Unterwanderung der Beschichtung durch die Flüssigkeit auf. Ablösungserscheinungen wurden nicht beobachtet.

Die erfindungsgemäß beschichteten Aluminiumbleche erwiesen sich bei 350°C unter Bedingungen, wie sie in einem Wärmetauscher für Brennwertkessel herrschen, absolut beständig. Sie weisen zudem eine herabgesetzte Oberflächenspannung auf, weshalb eine geringere Tendenz zu mineralischen Anlagerungen, beispielsweise in Form von Kesselstein, besteht. Die herabgesetzte Oberflächenspannung schützt auch vor biologischem Bewuchs, beispielsweise bei Werkstücken, die Seewasser ausgesetzt sind.

Claims (18)

1. Verfahren zur korrosionsfesten Beschichtung von Metallsubstraten mittels Plasmapolymerisation, dadurch gekennzeichnet, daß das Substrat in einem Vorbehandlungsschritt einer mechanischen, che­ mischen und/oder elektrochemischen Glättung unterworfen wird und an­ schließend bei einer Temperatur von weniger als 200°C und einem Druck von 10^-5 bis 100 mbar einem Plasma ausgesetzt wird, wobei in einem ersten Schritt in einem reduzierendem Plasma die Oberfläche aktiviert und in einem zweiten Schritt das Plasmapolymer aus einem Plasma, das wenigstens eine unter den Bedingungen des Plasmas verdampfbare Kohlenwasserstoff- oder siliciumorga­ nische Verbindung enthält, abgeschieden wird.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Metallsubstrat Aluminium oder eine Aluminiumlegierung ist.

3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Metallsubstrat einer Kombination von mechanischer Oberflächenbe­ handlung und Beizen unterworfen wird.

4. Verfahren nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch ge­ kennzeichnet, daß das Metallsubstrat elektrochemisch poliert wird.

5. Verfahren nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch ge­ kennzeichnet, daß die Plasmabehandlung bei einer Temperatur von ≦ 100°C erfolgt.

6. Verfahren nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch ge­ kennzeichnet, daß im ersten Schritt der Plasmabehandlung die Oberfläche mit einem Wasserstoffplasma bei einem Druck ≦ 100 mbar aktiviert wird.

7. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Kohlenwasserstoff- oder siliciumorganische Verbindung Fluoratome enthält.

8. Verfahren nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch ge­ kennzeichnet, daß die siliciumorganische Verbindung im zweiten Schritt der Plasmabehandlung ein Siloxan, Silazan oder Silathian enthält.

9. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß ein Siloxan, insbesondere Hexamethyldisiloxan oder Hexamethylcyclotrisiloxan ein­ gesetzt wird.

10. Verfahren nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch ge­ kennzeichnet, daß das Plasma im ersten Schritt der Plasmabehandlung einen Kohlenwasserstoff, insbesondere ein Olefin enthält.

11. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß der Kohlenwasserstoff Ethylen, Propylen oder Cyclohexen ist.

12. Verfahren nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch ge­ kennzeichnet, daß die Abscheidung im zweiten Plasmabehandlungsschritt bei einem Druck von ≦ 10 mbar unter zunächst reduzierenden Bedingungen statt­ findet.

13. Verfahren nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch ge­ kennzeichnet, daß Sauerstoff, Stickstoff und/oder ein Edelgas in das Plasma eingespeist wird.

14. Verfahren nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch ge­ kennzeichnet, daß die Plasmapolymerschicht in einer Dicke von 100 nm bis 1 µm aufgetragen wird.

15. Verfahren nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch ge­ kennzeichnet, daß in das Plasmapolymere ein Korrosionsinhibitor eingebracht wird.

16. Verfahren nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, daß der Korrosionsinhibitor ein Polyanilin in einer Menge von 0,1 bis 1 Gew.-% ist.

17. Verfahren nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch ge­ kennzeichnet, daß das plasmabeschichtete Metallsubstrat mit einer weiteren Beschichtung versehen wird.

18. Anwendung des Verfahrens nach einem der vorstehenden An­ sprüche auf einen Aluminium-Wärmetauscher, insbesondere in Form von Rippenrohren.