DE1944518U

DE1944518U - Messzelle fuer niedrige absolutdruecke mit einer metallmembran.

Info

Publication number: DE1944518U
Application number: DE1966S0055500
Authority: DE
Original assignee: Siemens Corp
Current assignee: Siemens Corp
Priority date: 1966-01-14
Filing date: 1966-01-14
Publication date: 1966-08-18

Description

Meßzelle für niedrige Absolütdrücke mit einer "';..

Metallmembran - ~^: ·■ _: ' . /'-\\ ■'."■ '■■■_■

Bei den bekannten Heßzellen für niedrige AbsOlutdrücke", ist eine Metallmembran mit dem Rand ei-ner die Membran- ·. kontur nachbildenden Fläche verschweißt« Die Membran, ist auf der einen Seite .mit dem Meßumformer verbunden■_;. und schließt auf der anderen Seite einen¹ evakuierten' Raum ab. Der Druck in diesem Raum/dient als Bezugs- "'■■■'.'■' druck,.während die andere Membranfläche; dem zu messenden Druck ausgesetzt v/ird. Bei_ tjberlast, d."h. wenn der zu mess-ende Druck'den Meßbereich, "überschreitet","', legt \ sich die Membran in die Konturen der Fläche auf ·.'■

PA 9/510/2073^r 4.1.66/Gra/Rid,

■ PA 9/510/2073 -. 2 -"'...; _ - _- '\ '■■':. .

ihrer Rückseite (Membranbett) und wird auf diese .; Weise abgestützt,., so daß sie nicht beschädigt werden kann» Der Raum hinter.der Membran'ist bei . . den bekannten Meßz.ellen mit einem Anschlußstutzen -^; zum Anschluß einer Verbindung für eine Vakuumpumpe ' versehen« Mit Hilfe der Pumpe wird.der Raum eva- . - ; kuiert und der 'Stutzen luftdicht verschlossen« : '. .

Hach der vorliegenden Feuerung soll das Evakuieren.

'über einen besonderen Anschluß stutzen eingespart ■ /: werden» Gemäß der Heuerung wird dies dadurch-erreicht, daß ein den evakuierten Raum abschließender Deckel im Vakuum mit dem Elektronenstrahl aufgeschweißt, ist/ Die Meßzelle wird hierbei fertig montiert und zum ." . Schluß der Deckel-aufgeschweißt." Der Raum hinter der

. Membran ist infolgedessen, nach Abschluß des Schweißvorganges evakuiert»: :. ."■"■' ■ ■ ■ : - .

Eine gemäß der ,!Teuerung aufgebaute Meß zelle soll an Hand der Zeichnung naher erläutert werden. Ein : . " flanschförmiger Körper 1 ist auf der einen Stirn- ■' fläche entsprechend der Membrankontur ausgearbeitet. ;.-Die Membran 2 ist" am Rand auf eine ringförmige ; Fläche 9 aufgeschweißt und-in der Mitte mit 'der. ·;" _; Scheibe 3 verschweißt..Auf dieser iot eine Kupp- ^:

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ΡΛ 9/510/2073 ^ . — 3 .- _{: : :};_;\ y ;;-_:;_:.■■■. y_;: "

lungsvorrichtung 8 befestigt, wplche.die Membran ■'; mit dem nicht ^dargestellten Waagebalken/eines Meß- ......

Umformers-verbindet. Der zu messende niedrige Ab-_: ----.

■ solutdruck- wirkt auf die Außenflache der Metall-; ; membran 2. Die Scheibe_v-3 ist über Verbindung^- . ; teile 6 mit einer ringförmigen Feder 5 verbunden, ;■ die auf der Rückseite, des Flansches '.1'. befestigt _ist_o ■ Diese Feder dient zur Geradführung der Membran./ Der Raum hinter der Membran ist' von dem Deckel 7'abgeschlossen. Dieser Deckel ist am Hand 10 im Vakuum \ mit dem Elektronenstrahl aufgesehweißt„ Der-Schweiß-Vorgang "wird zum Schluß durchgeführt, so daß-der Eaum hinter .der Membran Ohne besondere zusätzliche M3ß~ nahmen evakuiert ist. - °.^; " ; ^λ ί

1 Schutzanspruch ^v . .'.V₁. ' ■ :_: :- 1 BI. Zeichnungen . - . ;.;" >' ■:■-..-■■"■.: .

Claims

■'■■■■■· P.A.023 01HU66

PA 9/510/2073 . ■ - A- .: ';.'■■, :

S Q h u t ζ a n Spruche ' ,""'■".'■

Meßzelle für niedrige "Absolutdrücke, mit einer Metallmembran, die sich bei Überdruck gegen-eine die.Membrankontur nachbildende-Flache (Membranbett) .abstüzt und " das eine Ende eines evakuierten Raumes abschließt₉ . dadurch gekennzeichnet, daß der den evakuierten Eaum ." am anderen Ende abschließende Beckel im Vakuum mit dem Elektronenstrahl aufgeschweißt ist. .: ." : ' ;