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DE1621347A1 - Mehrlagige Schichtanordnung,insbesondere aus Aufdampfschichten bestehend - Google Patents

Mehrlagige Schichtanordnung,insbesondere aus Aufdampfschichten bestehend

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Publication number
DE1621347A1
DE1621347A1 DE19671621347 DE1621347A DE1621347A1 DE 1621347 A1 DE1621347 A1 DE 1621347A1 DE 19671621347 DE19671621347 DE 19671621347 DE 1621347 A DE1621347 A DE 1621347A DE 1621347 A1 DE1621347 A1 DE 1621347A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
layers
layer
vapor
layer arrangement
particular consisting
Prior art date
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Pending
Application number
DE19671621347
Other languages
English (en)
Inventor
Alfred Haselbauer
Gerhard Dipl-Phys Ulbricht
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Siemens Corp
Original Assignee
Siemens Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Siemens Corp filed Critical Siemens Corp
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Pending legal-status Critical Current

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    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
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    • C23C14/02—Pretreatment of the material to be coated
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    • H—ELECTRICITY
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Description

  • Mehrlagige Schichtanordnung, insbesondere aus Aufdampfschichten: bestehend.
    Vorliegende Erfindung-, bezieht sich auf eine mehrlagig,e Schicht-
    anordnung, insbesondere aus Aufdampfschichteri bestehend, auf
    einer Unterlage, bei der dLe einzelnen Schichten aus Stoffen
    mit verschiedenen Wirmeausdehn ingskoeffzienten bestehen.
    für 7iel==,ti@@ren drln@s@@.°rc:c>1:, z. .(3s durch IIerstellung eines klei--
    rua@ ft:ir@:;.-Lr@:*@3ei.ders.@=incl@@.=@ °@cm mlrr.;@eZe@it@°oxi.i;@schexi -@ä:@h@lrungen,
    itr# FIeraUe1.Luxisc3-Lner gen K"zp?zL-tät oder Ton
    rntztrri@@,ir@ @r»:n Schichtopetchern :tot es crwünsciit, zdB. schr groß-
    aui' nie La:-L1Lejtdhf:eri Schichten herzuste1-
    len. Es iiat sich gezeigt, daß eine Herstellung großflächiger lsolier:73chicliten auf metallischen Schichten infolge der.stark voneinander abweichenden thermischen Ausdehnungskoeffzzienten der schichten nicht möglich war. Bei dem gebräuchlichen sukzessiven aufbringen, z .B. durch Aufdampfen von Isolier- und Metallschichten, ist es nur möglich, relativ kleine Flüchen, z . E. von der Größe von 1 miä, welche außerdem eine Dicke von höchstens wenigen 1000 X besitzen dürfen, herzustellen. Grö:3e.-re Flüchen zeigen die typische Erscheinung des Abblätterns der aufgebrachten Schiehten.Darizber hinaus hat sich gezeigt, daß auch kleinere flachen, z.B. von der Größenordnung 0,1 mm; Ab-. blCi.-tterurrgaerscheitiungen zeigen können, <<renn die Isoliert3criieht nicht wie bei einem Kondensator zwischen IWe2 Metallschichten eingeschlossen ist. Es ist bekannt, Isolierschichten, z.B. aus Siliciitii#monoxid, auf Unterlagen, z.B. durch Aufdampfen im Hoohviaitutim herzustellen. Auf diese ;`leise werden z.B. Schutzschichten att£itiuele.:. nienten oder mikroelektronischen Schaltungen oder d@ieI:i.e@ehtrika von Kondensatoren hergestellt. Die Erfindung stellt sich die Aufgabe,- die: Herstellung iibere:inande:r:il.egender großflächiger und Sollichter mit unterschiedlichen therriiisaheri t:.iE:riten zu gewii.lirloisten. Es sollen Loollerochlohten von der ' mehrerer 100 mm und stellt werden können, wobei metallische Schichten und. Isoliersich gegebenenfalls abwechseln. . Zur hÖsung dieser.Aufgabe wird gemt_iß der Erfindung vorgeschlagen, daß innerhalb eine>, Grenzbereiches zwischen zwei benaehbarten Schich'en ein kontiruierlicrier @ Ubergang der beiden Schichtstoffe besteht. Zur Herstellung der erfindungsgemtlWen Anordnung wird auf eine Unterlage eine Schicht aufgedampft. Noch während de:; Aufdampfen:N der ersten Schicht wird eine weitere Verdampferquelle fir die darauffolgende Schicht eingeschaltet, an.-schließend nach einer Zeit gemeinsamen. Aufdampfexis die erste %erdaiupfungsquelle abgeschaltet und dann nur noch das Material der zweiten Schicht auf die Anordnung aufgedampft. Nach Erreichen der gew;inschten Dicke der zweiten Schicht wird die zweite Verdampferquelle abgeschaltet. Durch das zeitweilige geaneinsäme Aufdampfen wird erreicht, daß an der Grenze der beiden Schichten kein abrupter ;;bergan g, sondern ein weicher, ko:itnuierlicher Obergang entsteht, welcher eine starke innere Verankerung der beiden Schichten in einem gemeinsamen Grenzbereich be;virkt, so dah fei thermii-,chen Beanspruchungen die Gefahr des ibplatzens der Schichten voneinander praktisch ausgeschaltet ;vird. An einem ausf;:llrungsbeispiel soll die Erfindung anhand der, Figur näher erläutert werden. Auf ein Glassubstrat 1 wird z.H. eine metallische Schicht 2, beispielsweise aus Gold, Kupfer oder Aluminium, sufgsJampft.° -Zur besseren Haftung dieser Schicht auf dem Glas kann vorher noch eine Haftschicht, z.B. durch Aufetäuben von Chrom, aufdas Substrat.aufgebracht werden. Ist die gewünschte Dicke der Schicht 2, z.B. wenige 1000 X, erreicht, so wird noch während des Verdampfens des Schichtmaterials 2 eine weitere Verdampferquelle, z.B. für Siliciummoncxid, eingeschaltet. Während des gemeinsamen Verdampfens der beiden Materialien entsteht die @.bergangsschicht 3 mit einer Dicke von etwa 50 - 100, in der die beiden Materialien mit einem bestimmten P,tischungsverhältnis enthalten sind, welches durch die Temperatur der Vordampferquellen und die 1iolekulargewichte der Partner bestimmt wird. Nach Abschalten der Verdampferquelle für die Schicht 2 wird nur noch aus der anderen Verdampferquelle ,gedampft, so daß die Schicht 4 entsteht, welche beliebig dick gemacht ,erden kann. Die Schichten 2 und 4 können einen stark voneinander abweichenden thevmischen Ausdehnungskoeffizienten besitzen, da sie durch die `bergangsschicht 3 miteinander verankert sind. -Auf die gleiche reise kann eine Vielzahl von Schichten mit unterschiedlichen thermischen Ausdehnungskoeffizienten übereinander angebracht werden.

Claims (1)

  1. P@a@t@e n-t@a n'sip_r@ü_e@h-e 1. -_. liehrlagige Schichtanordnung, insbesondere aus Aufdamgfschichten bestehend, auf einer Unterlage, bei der die einzelnen Schichten aus Stoffen mit verschiedenen ,.liäxmeausdehnungskoeffzienten bestehen, dadurch gekennzeichnet, daß innerhalb eines Grenzbereiches (3) zwischen zwei benachbarten' Schichten 2 und ein kontinuierlicher Itbergang der beiden Schichtstoffe besteht., 2. Verfahren zur Herstellung einer mehrlagigen Schichtanordnung, bei dem Schichten aus verschiedenen Stoffen übereinander auf- gedampft werden, nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß noch wahrend des Aufdampfens der vorhergehenden Schicht' der Stoff der, darauffolgenden Schicht mtaufgedampft wird.
DE19671621347 1967-10-25 1967-10-25 Mehrlagige Schichtanordnung,insbesondere aus Aufdampfschichten bestehend Pending DE1621347A1 (de)

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