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DE1257349B - Vakuumdrehschieberpumpe - Google Patents

Vakuumdrehschieberpumpe

Info

Publication number
DE1257349B
DE1257349B DEB65171A DEB0065171A DE1257349B DE 1257349 B DE1257349 B DE 1257349B DE B65171 A DEB65171 A DE B65171A DE B0065171 A DEB0065171 A DE B0065171A DE 1257349 B DE1257349 B DE 1257349B
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
pump
rotor
slide
mass
slides
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
DEB65171A
Other languages
English (en)
Inventor
Dipl-Ing Herman Woessner
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
OC Oerlikon Balzers AG
Original Assignee
Balzers AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Balzers AG filed Critical Balzers AG
Publication of DE1257349B publication Critical patent/DE1257349B/de
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04CROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C18/00Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
    • F04C18/30Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids having the characteristics covered by two or more of groups F04C18/02, F04C18/08, F04C18/22, F04C18/24, F04C18/48, or having the characteristics covered by one of these groups together with some other type of movement between co-operating members
    • F04C18/34Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids having the characteristics covered by two or more of groups F04C18/02, F04C18/08, F04C18/22, F04C18/24, F04C18/48, or having the characteristics covered by one of these groups together with some other type of movement between co-operating members having the movement defined in group F04C18/08 or F04C18/22 and relative reciprocation between the co-operating members
    • F04C18/344Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids having the characteristics covered by two or more of groups F04C18/02, F04C18/08, F04C18/22, F04C18/24, F04C18/48, or having the characteristics covered by one of these groups together with some other type of movement between co-operating members having the movement defined in group F04C18/08 or F04C18/22 and relative reciprocation between the co-operating members with vanes reciprocating with respect to the inner member
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F03MACHINES OR ENGINES FOR LIQUIDS; WIND, SPRING, OR WEIGHT MOTORS; PRODUCING MECHANICAL POWER OR A REACTIVE PROPULSIVE THRUST, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F03CPOSITIVE-DISPLACEMENT ENGINES DRIVEN BY LIQUIDS
    • F03C2/00Rotary-piston engines
    • F03C2/30Rotary-piston engines having the characteristics covered by two or more of groups F03C2/02, F03C2/08, F03C2/22, F03C2/24 or having the characteristics covered by one of these groups together with some other type of movement between co-operating members
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04CROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C25/00Adaptations of pumps for special use of pumps for elastic fluids

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Rotary Pumps (AREA)

Description

  • Vakuumdrehschieberpumpe Die Erfindung betrifft eine Vakuumdrehpumpe mit in einem zylindrischen Hohlraum eines Pumpengehäuses exzentrisch angeordnetem Rotor, welcher zwei den Förderraum in zwei Verdrängerzellen unterteilende Arbeitsschieber in radialen Schlitzen gleitbar führt. Derartige als rotierende Verdrängermaschinen arbeitende Drehschieberpumpen weisen bekanntlich eine sogenannte Unwucht auf, weil der gemeinsame Schwerpunkt der Massen der beiden Schieber nicht in der Drehachse liegt. Das Laufen mit Unwucht hat zur Folge, daß solche Pumpen entweder, wenn sie fest mit dem Fundament verbunden verbunden sind, entsprechend große Massenkräfte über die Lager auf das Fundament übertragen oder, wenn sie elastisch gelagert sind, Schwingbewegungen relativ zum Fundament ausführen. In jedem Fall ergeben sich unerwünschte Erschütterungen der Pumpe (und gegebenenfalls auch des Fundamentes), und der fehlende Massenausgleich ist bekanntlich einer der Gründe, weshalb die Drehzahl für diese Pumpen verhältnismäßig niedrig gewählt werden muß, was wiederum ein relativ geringes volumetrisches Saugvermögen zur Folge hat.
  • Neuere Beobachtungen weisen außerdem darauf hin, daß die nicht ausgewuchtete Schieberbewegung eine der Ursachen für die starke Geräuschbildung bei Drehschieberpumpen ist.
  • Während die Unwucht bei einer anderen Type von Vakuumrotationspumpen, nämlich bei den Drehkolbenpumpen, mit derselben Frequenz wieder Rotor rotiert und daher durch an der Achse angebrachte Gegengewichte auf einfache Weise ausgeglichen werden kann, sind die Massenkräfte bei Drehschieberpumpen von verwickelterer Art. Infolge der Relativbewegung der Schieber zum Rotor ändert sich nämlich ihr Achsenabstand und damit auch die Geschwindigkeit ihrer Bewegung periodisch. Die Massenkräfte der einander gegenüberliegenden Schieber heben sich deshalb nicht gegenseitig auf, sondern es bleibt eine resultierende Kraft (Unwucht) übrig, die durch äußere Kräfte, z. B. eben durch das Fundament, ausgeglichen werden muß.
  • Diese resultierende Massenkraft (Unwucht) zweier Schieber kann man durch folgende Überlegungen bestimmen: ein System von Massen übt nach außen keine Kraft aus, wenn ihr gemeinsamer Massenmittelpunkt (Schwerpunkt) in Ruhe ist. Wie man nachweisen kann, bewegt sich dagegen der gemeinsame Schwerpunkt der beiden Schieber einer Drehschieberpumpe auf einer Kreisbahn, deren Durchmesser gleich ist der halben Differenz zwischen dem Durchmesser des zylindrischen Innenraums des Pumpengehäuses einerseits und dem Durchmesser des die Schieber tragenden Rotors andererseits. Die Bewegung des gemeinsamen Schwerpunktes auf dieser Kreisbahn erfolgt jedoch mit der doppelten Winkelgeschwindigkeit der Bewegung des Rotors und kann also nicht wie bei Drehkolbenpumpen durch Massen ausgeglichen werden, die mit der Rotorwelle fest verbunden sind. Aus den dargelegten Gründen schien es bisher nur möglich, einen teilweisen Massenausgleich zu erreichen. So wurde z. B. vorgeschlagen, bei einer Drehschieberpumpe mit sternförmig angeordneten, zum Zweck teilweisen Massenausgleichs rahmenartig ausgebildeten und mit Gegengewichten versehenen Schiebern eine ungerade Anzahl von nicht durchgehenden Schiebern vorzusehen, deren einzelne Rahmen durch Verbindung der Schieberplatten mit ihrem Gegengewicht durch je zwei hochkant zur Sch.ieberfläche gestellte Streben gebildet werden, die symmetrisch zur Längsmittelachse des Rahmens angeordnet sind. Nach einem anderen bekanntgewordenen Vorschlag sollen die sich diametral gegenüberliegenden Schieber mit Gegengewichten versehen werden, welche auf der anderen Seite der Drehachse in Aussparungen der gegenüberliegenden Schieber hineinragen. Mit dieser letzteren Maßnahme wollte man in .erster Linie eine Verringerung,des Anpreßdruckes der Schieber an die Innenwandung .der Pumpe erzielen. Mit bloßen Gegengewichten zu den einzelnen Schiebern kann man jedoch so lange keine vollkommene Auswuchtung erzielen, als nicht durch einen besonderen Mechanismus dafür Sorge getragen wird, daß trotz der fortwährenden Hin- und Herbewegung der Schieber in den Führungsschlitzen des rotierenden Kolbens der Schwerpunkt ,des aus Schiebern und Gegengewichten gebildeten Systems ständig in der Rotorachse liegt. Eine Lösung dieser Aufgabe ist bisher nicht bekanntgeworden und wäre mechanisch offenbar recht schwierig, denn es müßte, wenn sich ein Schieber von der Achse entfernt oder dieser nähert, gleichzeitig auch das zugehörige Gegengewicht sieh entfernen oder nähern. Bei einer starren Verbindung zwischen beiden findet aber gerade das Gegenteil statt.
  • Durch die Erfindung soll die Aufgabe des vollkommenen Unwuchtausgleichs auf einfachste Weise gelöst werden. Dazu wird bei einer Vakuumdrehschieberpumpe der eingangs erwähnten Art erfindungsgemäß vorgeschlagen, daß der Rotor wenigstens eine weitere, gegenüber den genannten Führungsschlitzen um 90° versetzte Ausnehmung bzw. Bohrung aufweist, in welcher ein Paar von die zylindrische Hohlraumwand des. Pumpengehäuses gleitend berührenden Bolzen radial beweglich angeordnet ist, deren Gesamtmasse gleich der Masse der Arbeitsschieber ist.
  • Bei Vakuumpumpen besteht das Problem der Verschleppung von Gasen von der Kompressionsseite auf .die Vakuumseite. Ein Schieber einer Drehschieberpumpe, der gerade die Ausstoßöffnung an der Innenwand .der Pumpe passiert hat, trennt (wegen des unvermeidlichen sogenannten Totraumes) ein bestimmtes, auf Ausstoßdruck komprimiertes Luftvolumen ab, komprimiert es im Verlauf der Weiterdrehung noch mehr, und die Folge ist, daß ein Teil dieser Luft durch den Dichtungsspalt zwischen Rotor und Gehäusewand hindurch auf die Ansaugseite gedrückt wird. Das gilt analog auch für den Fall, daß der Totraum bei ölüberdeckten Pumpen vollständig mit Öl ausgefüllt wird, da dieses Öl mit Luft von Atmosphärendruck gesättigt .ist und :diese Luft beim übertritt auf,die Vakuumseite wieder in den Vakuumraum abgegeben wird. Bei Zweischieberpumpen ist dieser störende Effekt geringer als bei Vierschieber-Pumpen-Die erfindungsgemäße Lösung verbindet nun, wie ersichtlich den Vorteil geringerer Gasverschleppung bei einer Zweischieberpumpe mit dem Vorteil des idealen Unwuchtausgleiches bei Vierschieberpumpen.
  • Ein weiterer Vorteil der erfindungsgemäßen Lösung gegenüber einer Vierschieberpumpe liegt in der geringeren Reibung von Bolzen im Vergleich zu Schiebern. Weiter ist nicht zu übersehen, daß die erfindungsgemäße Lösung konstruktiv einfacher ist und sich ein stabilerer Aufbau ergibt, wenn der Rotor ,nur zweidurchgehende Durchbrechungen entlang einer ganzen Mantellinie anstatt deren vier aufzuweisen braucht.
  • An sich ist schon eine Flüssigkeitspumpe bekannt, bei welcher der in einem zylindrischen Statorhohlraum :exzentrisch angeordnete Rotor fünf radial bewegliche Arbeitsschieber, mit welchen in Umfangsrichtung gefördert wird, und zwischen den Arbeitsschiebern in entsprechenden radialen Bohrungen fünf zylindrische Pumpenkolben aufweist. Bezüglich dieser Kolben wirkt die Pumpe als Radialkolbenpumpe, wobei den als Zylinder dienenden radialen Bohrungen des Rotors die Förderflüssigkeit von der Rotormitte her über entsprechende Kanäle zu- und abgeleitet wird. Es ist hier also eine rotierende Verdrängerpumpe mit einer Kolbenpumpe vereinigt. Zum Zweck eines Massen- oder Unwuchtausgleiches hat der Erfinder dieser bekannten Pumpe die Kolben nicht angeordnet.
  • Ein Beispiel für eine Vakuumpumpe nach der Erfindung wird an Hand der Zeichnung näher beschrieben, und zugleich wird deren Wirkungsweise erläutert.
  • F i g. 1 zeigt einen Schnitt senkrecht zur Rotationsachse; F i. g. 2 zeigt einen Schnitt nach der Linie A-A der Fig. 1.
  • In den Figuren bedeutet 1 das Pumpengehäuse mit der zylindrischen Innenwand bzw. Hohlraumwand 2. Die Stirnseiten sind durch die Gehäusedeckel 3 und 4 abgeschlossen. In den Gehäusedeckeln 3 und 4 ist der Rotor 5 mittels der Kugellager 6 und 7 in bekannter Weise exzentrisch gelagert. Mit 8 ist die mit dem Rotor 5 starr verbundene Antriebswelle bezeichnet. Das Pumpengehäuse weist Öffnungen 9 und und 10 zur Zu- und Ableitung des zu pumpenden Gases auf. Über der Ausstoßöffnung 10 befindet sich das durch ein Ölbad 11 überdeckte Ausstoßventil 12, welches sich beim Betrieb unter dem Druck der in der Kompressionskammer der Pumpe komprimierten Gase periodisch öffnet und schließt. Der Rotor 5 weist radiale Schlitze 13 und 14 auf, in denen die Arbeitsschieber 15 und 16 gleiten, so daß sie infolge der Zentrifugalkraft ständig die Innenwand 2 berühren und so den Pumpeninnenraum in zwei rotierende Verdrängerzellen oder Kammern unterteilen.
  • Das Fördergas tritt durch die Öffnung 9 in die erste Kammer 17 ein, die gerade als Ansaugkammer wirkt, und wird bei der weiteren Rotation, wenn die erwähnte Kammer oder Verdrängerzelle die Stellung der Kammer 18 in F i g. 1 erreicht hat, komprimiert und dann, wenn die Verdrängerzelle mit der Öffnung bzw. dem Kanal 10 in Verbindung kommt, durch diesen und das Ausstoßventil 12 ausgestoßen, wie dies allgemein ;bekannt ist.
  • In den radialen Bohrungen 23 und 23' des Rotors 5 gleiten die Bolzenpaare 19/20 bzw. 21/22, wobei sie wie die Arbeitsschieber 15 und 16 die Innenwand 2 des Pumpengehäuses berühren. Diese Bolzenpaare bzw. deren Führungsbohrungen sind, wie :die Zeichnung zeigt, gegenüber den Arbeitsschiebern um 90° versetzt und erzeugen bei ihrer durch den Rotor erzwungenen Drehung eine der durch die Rotation der Arbeitsschieber erzeugten Massenkraft in jedem Augenblick entgegengesetzte Massenkraft, so daß die Unwucht genau ausgeglichen wird. Zur Erreichung dieses. Ziels genügte auch ein einziges um 90° gegenüber den Schiebern versetztes, in der Mitte des Rotors -angebrachtes Bolzenpaar entsprechender Masse. Bei Verwendung nur eines Bolzenpaares. muß die Masse jedes einzelnen Bolzens gleich sein der Masse eines Schiebers, während bei der Anordnung von zwei Bolzenpaaren die Masse jedes Bolzens nur halb so groß zu sein braucht, die Bolzen also handlicher werden. Jedenfalls muß die Gesamtmasse aller Bolzen zusammengenommen gleich der Masse der Schieber sein.
  • In jederBohrung für ein Bolzenpaar kann noch eine Feder 24, 25 .angeordnet sein, welche das Gleiten der Bolzen an der Innenwand des Pumpengehäuses auch beim Anfahren sicherstellt. Es ist notwendig, daß die Bolzen ständig an der Innenwand gleiten und dadurch in periodisch wechselndem Abstand von der Rotorachse geführt werden, damit sich eine Gegenunwucht richtiger Größe zur Unwucht der Schieber in jedem Augenblick ergibt.
  • Wie die praktische Erfahrung gezeigt hat, besitzen Pumpen nach :der vorbeschriebenen Konstruktion eine außerordentliche Laufruhe, wie sie bisher bei Vakuumdrehschieberpumpen mit zwei Schiebern völlig ausgeschlossen war. Diese Laufruhe wirkt sich nicht nur in einer Verminderung des störenden Betriebsgeräusches und in einer Erhöhung der Lebensdauer der Pumpe aus, sondern ermöglicht ohne weiteres den Einsatz der Pumpe auch in Fällen, in denen mit Rücksicht auf andere Geräte ein völlig erschütterungsfreier Betrieb gefordert wird, welcher mit Pumpen gewöhnlicher Bauart nur durch kostspielige Maßnahmen (z. B. isolierte Aufstellung, flexible Verbindungen mit den zu evakuierenden Rezipienten) erreicht werden konnte.

Claims (1)

  1. Patentanspruch: Vakuumdrehschieberpumpe mit in einem zylindrischen Hohlraum eines Pumpengehäuses exzentrisch angeordnetem Rotor, welcher zwei den Förderraum in zwei Verdrängerzellen unterteilende Arbeitsschieber in radialen Schlitzen gleitbar führt, dadurch gekennzeichnet, daß der Rotor wenigstens eine weitere, gegenüber den genannten Führungsschlitzen (13, 14) um 90° versetzte Ausnehmung bzw. Bohrung (23, 23') aufweist, in welcher ein Paar von die zylindrische Hohlraumwand des Pumpengehäuses (1) gleitend berührenden Bolzen (19, 20, 21 22) radial beweglich angeordnet ist, deren Gesamtmasse gleich der Masse der Arbeitsschieber (15, 16) ist. In Betracht gezogene Druckschriften: Deutsche Patentschriften Nr. 561693, 620 729, 688 689, 716 593; französische Patentschrift Nr. 836 423.
DEB65171A 1961-11-28 1961-12-14 Vakuumdrehschieberpumpe Pending DE1257349B (de)

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DE1257349B true DE1257349B (de) 1967-12-28

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ID=3687859

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DE620729C (de) * 1935-10-25 Otto Sorge Drehkolbenmaschine mit im Laeufer angeordneten beweglichen Kolben
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