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DE10217870B4 - Nichtflüchtiger Speicher und Verfahren zum Auslesen desselben - Google Patents

Nichtflüchtiger Speicher und Verfahren zum Auslesen desselben Download PDF

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DE10217870B4 DE2002117870 DE10217870A DE10217870B4 DE 10217870 B4 DE10217870 B4 DE 10217870B4 DE 2002117870 DE2002117870 DE 2002117870 DE 10217870 A DE10217870 A DE 10217870A DE 10217870 B4 DE10217870 B4 DE 10217870B4
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Abstract

Nichtflüchtiger Speicher mit zumindest einer Speicherzelle (SZ), die mittels Wort-, Bit- und Sourceleitungen zum Beschreiben, Auslesen und Löschen ansprechbar ist, und mit zumindest einer Auswerteeinrichtung (AW), die mit der Speicherzelle (SZ) gekoppelt ist und beim Anlegen einer Lesespannung an die Bitleitung durch Detektion des durch die Speicherzelle (SZ) fließenden Stromes den Inhalt der Speicherzelle (SZ) auswertet, dadurch gekennzeichnet, daß die Auswerteeinrichtung (AW) eine Vorrichtung (SE) aufweist, durch die das Auslesen der Speicherzelle (SZ) in zwei Schritten erfolgt, so daß die Lesespannung nur während des Lesevorganges anliegt.

Description

  • Nichtflüchtiger Speicher und Verfahren zum Auslesen desselben Die vorliegende Erfindung betrifft einen nichtflüchtigen Speicher mit zumindest einer Speicherzelle, die mittels Wort-, Bit- und Source-Leitungen zum Beschreiben, Auslesen und Löschen ansprechbar ist und mit zumindest einer Auswerteeinrichtung, die mit der Speicherzelle gekoppelt ist und beim Anlegen einer Lesespannung an die Bitleitung durch Detektion des durch die Speicherzelle fließenden Stromes den Inhalt der Speicherzelle auswertet. Die Erfindung betrifft ferner ein Verfahren zum Auslesen dieses nichtflüchtigen Speichers.
  • Nichtflüchtige Speicher und Verfahren zum Betreiben derselben zum Einschreiben, Auslesen und Löschen von Daten sind seit langem bekannt und werden in steigendem Maß verwendet.
  • Ein herkömmlicher nichtflüchtiger Speicher weist eine Vielzahl von in einem Speicherzellenfeld angeordneten Speicherzellen auf, die mittels jeweiliger Wort-, Bit- und Source-Leitungen ansprechbar sind. Jede Speicherzelle weist einen Auswahltransistor und einen Speichertransistor auf. Der Auswahltransistor ist ein "normaler" Feldeffekttransistor, dessen Wirkungsweise und Funktion bekannt sind und keiner weiteren Erläuterung bedürfen. Der Speichertransistor ist ein ein floatendes (verbindungsloses) Gate mit einem Tunnelfenster aufweisender Feldeffekttransistor, dessen Wirkungsweise und Funktion auf Grund des weitverbreitenden Einsatzes in Speicherzellen ebenfalls bekannt sind und folglich auch keiner weiteren Erläuterung bedürfen. Vom Auswahltransistor ist der Source-Anschluß mit einer Bitleitung, der Gate-Anschluß mit einer Auswahlleitung und der Drain-Anschluß mit dem Drain-Anschluß des Speichertransistors verbunden. Vom Speichertransistor ist der Source-Anschluß mit einer Source-Leitung, der Steueranschluß mit einer Steuerleitung und der Drain-Anschluß mit dem Drain-Anschluß des Auswahltransistors verbunden. Die Auswahlleitung und die Steuerleitung bilden dabei gemeinsam eine sogenannte Wortleitung.
  • Der Zustand einer Speicherzelle wird durch die Schwellenspannung des Speichertransistors dargestellt. Die Speicherzelle kann dabei zwei unterschiedliche Zustände, nämlich „programmiert" oder „gelöscht", annehmen. Zum Auslesen des Zustandes der Speicherzelle bringt man den Gate-Anschluß des Auswahltransistors auf eine definierte Spannung. Im Falle einer programmierten Speicherzelle fließt ein Drain-Strom im Speichertransistor, im Falle einer gelöschten Speicherzelle ist kein Drain-Strom in der Speicherzelle meßbar. Jeder Lesezugriff auf eine Speicherzelle ist demnach mit einem Stromfluß verbunden.
  • Dieser als Zellstrom bezeichnete Strom bestimmt im Wesentlichen die Lesegeschwindigkeit und gibt somit die notwendige Zugriffszeit vor. Typische Werte liegen derzeit bei ca. 20-30 μA.
  • Abhängig von der Bitbreite des Speicherzellenfeldes erhöht sich somit die Stromaufnahme des nichtflüchtigen Speichers im Falle eines Lesezugriffes. Bei einer hohen Bitbreite, z. B. 64 Bit, dominiert der Lesestrom sogar die Gesamtstromaufnahme des nichtflüchtigen Speichers.
  • Beim sequentiellen Lesen eines Speicherbereiches werden die Lesespannungen an der Speicherzelle so lange gehalten, bis der Wechsel zur nächsten Adresse stattfindet. Dies gilt auch dann, wenn der Lesevorgang bereits vor dem Wechsel zur nächsten Adresse abgeschlossen ist. Die durch den Lesevorgang verursachte Stromaufnahme bleibt in diesem Fall konstant, unabhängig davon, mit welcher Geschwindigkeit jede einzelne Speicherzelle ausgelesen wird. Die Lesespannung ist diejenige Spannung, die an den Steueranschluß des Auswahltransistors angelegt wird. Der Begriff "sequentielles Lesen eines Spei cherbereiches" bedeutet, daß mehrere in einer Wortleitung gelegene Speicherzellen nacheinander folgend ausgelesen werden.
  • Insbesondere im Bereich der Chipkarten, bei denen die Energie- und Datenübertragung häufig kontaktlos erfolgt, gibt es Anwendungsfälle, in denen die Stromaufnahme strikt begrenzt ist. Um die Stromaufnahme auf einen maximalen Wert zu begrenzen, wird gezielt die Taktfrequenz verringert. Da die bei einem Lesevorgang hervorgerufene Stromaufnahme bei den bisherigen Ausleseverfahren gegenüber der Taktfrequenz jedoch nicht variiert, der durch den Lesevorgang hervorgerufene Strom jedoch einen erheblichen Anteil der gesamten Stromaufnahme darstellt, ist dieses Verfahren für den Bereich der Kontaktlos-Chipkarten nicht tauglich.
  • Aus der DE 196 00 288 A1 ist ein Halbleiterspeicher bekannt, bei dem der Lesestrom einer nichtflüchtigen Speicherzelle unterbrochen wird, sobald das Leseergebnis am Datenausgang verfügbar ist.
  • Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht deshalb darin, einen nichtflüchtigen Speicher sowie ein Verfahren zum Auslesen desselben anzugeben, welcher bei einem Lesevorgang eine verringerte Stromaufnahme aufweist.
  • Diese Aufgabe wird durch einen nichtflüchtigen Speicher mit den Merkmalen des Anspruches 1 gelöst. Das Verfahren zum Auslesen des nichtflüchtigen Speichers ist im Patentanspruch 10 wiedergegeben. Vorteilhafte Ausgestaltungen ergeben sich jeweils aus den abhängigen Ansprüchen.
  • Bei dem erfindungsgemäßen nichtflüchtigen Speicher erfolgt das Auslesen einer Speicherzelle in zwei Phasen. In einer ersten Phase, der sogenannten Vorladephase, ist die Speicherzelle noch nicht selektiert, während der die Bitleitung durch eine Auswertevorrichtung bis auf die Lesespannung aufgeladen wird. In einer zweiten Phase, der sogenannten Lesephase, wird dann die auszulesende Speicherzelle selektiert, so daß die Auswerteeinrichtung den in der Speicherzelle gespeicherten Inhalt durch Erfassen des Lesestromes auslesen kann. Unmittelbar nach dem Auslesen des Inhaltes wird die Auswerteeinrichtung deaktiviert.
  • Der Vorteil diese Vorgehens besteht darin, daß die Lesespannung nur genau solange angelegt ist, solange der eigentliche Lesevorgang stattfindet. Damit fließt der Zellstrom nur solange, wie dies zum Auslesen unbedingt notwendig ist. Der Ladungsverbrauch pro Lesezugriff ist somit konstant und minimal. Der erfindungsgemäße nichtflüchtige Speicher eignet sich deshalb insbesondere für den Einsatz in Chipkarten, bei denen die Daten- und Energieübertragung auf kontaktlose Art und Weise erfolgt.
  • Zur Vermeidung eines falsch ausgelesenen Datums wird während der Vorladephase die Auswerteeinrichtung deaktiviert. Dieses Vorgehen vermeidet, daß ein während der Vorladephase fließender Ladestrom zur Aufladung einer Bitleitungskapazität als Datum der Speicherzelle interpretiert wird. Solange die Speicherzelle während der Vorladephase nicht selektiert ist, fließt auch im Falle einer programmierten Speicherzelle kein statischer Strom, da der Ladestrom nach dem Aufladen der Bitleitungskapazität bis auf "0" abklingt.
  • Weiterhin ist es vorteilhaft, wenn das Deaktivieren der Auswerteeinrichtung unmittelbar nach dem Auslesen, d. h. nach dem Erkennen des programmierten Zustandes, des Inhaltes der Speicherzelle erfolgt. Unter dem Deaktivieren der Auswerteeinrichtung ist hierbei das Auftrennen der elektrischen Verbindung zu der zumindest einen Speicherzelle zu verstehen. Durch das Auftrennen der elektrischen Verbindung wird nämlich weiterhin nach dem Erkennen des programmierten Zustandes das Fließen des Zellstromes verhindert.
  • Vorzugsweise erfolgt das Deaktivieren der Auswerteeinrichtung unabhängig von der Zeitdauer des Auslesevorganges. Das Deaktivieren erfolgt vorzugsweise nur dann, wenn die Speicherzelle einen ersten logischen Zustand, z.B. "1" aufweist. Um das Deaktivieren der Auswerteeinrichtung unabhängig von der Zeitdauer des Auslesevorganges machen zu können, wird vorzugswei se das an dem Ausgang der Auswerteeinrichtung anliegende Signal als Steuersignal für die Deaktivierung verwendet. Sobald die Auswerteeinrichtung ermittelt hat, daß die Speicherzelle einen programmierten Zustand aufweist, ist an ihrem Ausgangsanschluß ein entsprechendes Signal abgreifbar. Dieses kann ihrerseits wieder dazu verwendet werden, um die Auswerteeinrichtung zu deaktivieren. Das Deaktivieren erfolgt somit unabhängig davon, wie lange die Zeitdauer von Beginn des Auslesevorganges bis zum Abgreifen des Signals am Ausgangsanschluß ist.
  • Vorzugsweise weist die Auswerteeinrichtung einen Sense-Amplifier auf. Die Vorrichtung, durch die das Auslesen der Speicherzelle in zwei Schritten bzw. Phasen erfolgt, ist vorzugsweise zwischen dem Sense-Amplifier und der Speicherzelle verschalten und durch das an dem Ausgangsanschluß anliegende Signal ansteuerbar. Die Vorrichtung kann in einem Schaltelement bestehen, welches als Feldeffekttransistor oder beliebiger anderer Halbleiterschalter ausgebildet sein kann.
  • In einer bevorzugten Ausgestaltung der Erfindung ist vorgesehen, daß jeder Bitleitung des nichtflüchtigen Speichers genau eine Auswerteeinrichtung zugeordnet ist.
  • Die Speicherzelle enthält einen Auswahltransistor und einen Speichertransistor, deren Drain-Abschnitte miteinander verbunden sind. Eine Speicherzelle ist dabei zur Speicherung genau eines Datenbits ausgelegt.
  • Anhand der nachfolgenden Figuren wird die Erfindung näher erläutert. Es zeigen:
  • 1 ein Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen nichtflüchtigen Speichers,
  • 2 ein zu 1 gehöriges Signallaufdiagramm,
  • 3 einen aus dem Stand der Technik bekannter nichtflüchtigen Speicher und
  • 4 ein zu 3 gehöriges Signallaufdiagramm.
  • Ein aus dem Stand der Technik bekanntes Verfahren zum Auslesen eines nichtflüchtigen Speichers soll anhand der 3 und 4 nachfolgend näher erläutert werden.
  • 3 zeigt einen nichtflüchtigen Speicher mit einer Speicherzelle und einer Auswertevorrichtung. Die Speicherzelle besteht aus einem Auswahltransistor T1, der in Serie mit einem Speichertransistor T2 verschalten ist. Die Drain-Anschlüsse des Auswahl- und Speichertransistors sind miteinander verbunden. Der Source-Anschluß des Auswahltransistors T1 ist im dargestellten Ausführungsbeispiel mit einem Bezugspotentialanschluß BP verbunden. An einen Steueranschluß ST1 des Auswahltransistors T1 ist ein Steuersignal SGL anlegbar. Der Steueranschluß ST1 ist mit einer (nicht dargestellten) Steuerleitung verbunden und bildet zusammen mit einer mit einem Steueranschluß ST2 des Speichertransistors T2 verbundenen Auswahlleitung die eingangs genannte Wortleitung. Der Source-Anschluß des Speichertransistors T2 ist mit der Auswerteeinrichtung AW, die beispielsweise als sogenannter "Sense Amplifier SA" ausgebildet ist, verbunden. Die Auswerteeinrichtung AW weist einen Ausgangsanschluß AA auf. An diesem ist das aus der Speicherzelle ausgelesene Datensignal später abgreifbar. Ein in 3 dargestellter Ladungsspeicher C, der zwischen der Speicherzelle und der Auswerteeinrichtung AW und einem Bezugspotential angeschlossen ist, stellt ein parasitäres Bauelement dar.
  • Für die folgenden Erläuterungen wird davon ausgegangen, daß der gelöschte Zustand der Speicherzelle durch einen Zellstrom von 0μA dargestellt wird, während der programmierte Zustand durch einen Zellstrom von größer 0μA repräsentiert wird. Ein in der Praxis gebräuchlicher Zellstrom beträgt dabei 30μA.
  • Bei dem im Stand der Technik üblichen Auslesevorgang ist die jeweils zu lesende Speicherzelle bis zum nächsten Adreßwechsel ausgewählt. Dies bedeutet, am Steueranschluß ST1 liegt ein erster logischer Zustand, VSGL = high, an. Beim sequentiellen Lesen über eine Wortleitung bleibt demnach die mit dem Steueranschluß ST1 verbundene Steuerleitung permanent selektiert.
  • Der Sense-Amplifier SA beaufschlagt während der gesamten Dauer einer Ausleseperiode die Bitleitung mit einer Lesespannung VBL. Zu Beginn der Ausleseperiode (ZI2 in 4) fließt ein relativ hoher Ladestrom IBL bis der als Bitleitungskapazität bezeichnete Ladungsspeicher C auf den Wert der Lesespannung VBL geladen ist .
  • Im Fall einer programmierten Zelle geht der Ladestrom IBL in den Zellstrom über und bleibt bis zum Ende der Ausleseperiode (Ende des Intervalls ZI3) konstant. Da bereits der Ladestrom von dem Sense-Amplifier SA als Zellstrom interpretiert wird, interpretiert der Sense-Amplifier SA das ermittelte Datum während der gesamten Ausleseperiode ZI2, ZI3 als einen ersten logischen Wert, hier "1" oder „high".
  • Im Falle einer gelöschten Speicherzelle (ZI4, ZI5) klingt der Ladestrom, der zu Beginn der Ausleseperiode (ZI4) zunächst wieder relativ hoch ist bis die Bitleitungskapazität C auf den Wert der Lesespannung geladen ist, schließlich bis auf 0μA ab. Erst wenn der Ladestrom einen Referenzwert, der in 4 mit der gestrichelten Linie Iref bezeichnet ist, unterschreitet, wird von dem Sense-Amplifier SA das korrekte Datum "0" oder „low" erkannt.
  • Die Zugriffszeit, also die Zeit vom Beginn der Ausleseperiode bis zum sicheren Erkennen des in der Speicherzelle gespeicherten Datums, wird folglich durch das Auslesen einer gelöschten Speicherzelle bestimmt.
  • 1 zeigt einen erfindungsgemäßen nichtflüchtigen Speicher. In 1 ist lediglich beispielhaft eine einzelne Speicherzelle mit einem Auswahltransistor T1 und einem Speichertransistor T2 dargestellt. Der konstruktive Aufbau entspricht dem aus 3, so daß an dieser Stelle auf eine weitere Beschreibung verzichtet wird. Der durch die Laststrecken des Auswahltransistors T1 und Speichertransistors T2 gebildete Pfad wird als Bitleitung bezeichnet. Der Source-Anschluß des Speichertransistors T2 ist mit einer Auswerteeinrichtung AW verbunden.
  • Die Auswerteeinrichtung AW weist einen Sense-Amplifier auf, der prinzipiell identisch mit der in 1 gezeigten Anordnung sein kann. Weiterhin ist ein Schaltelement SE vorgesehen, das zwischen dem Sense-Amplifier SA und dem Source-Anschluß des Speichertransistors T2 gelegen ist. Das Schaltelement SE kann als Halbleiter-Schalter, z. B. als Feldeffekttransistor, ausgebildet sein.
  • Die Auswerteeinrichtung AW weist einen Ausgangsanschluß AA auf, der mit dem Ausgang des Sense-Amplifiers identisch ist: An dem Ausgangsanschluß AA kann ein Signal DATA abgegriffen werden. Dieses Signal DATA gibt nach dem Auslesen einer Speicherzelle den in ihr gespeicherten Wert wieder.
  • Mit dem Ausgangsanschluß AA ist ein Steueranschluß des Schaltelementes SE verbunden. Das an dem Ausgangsanschluß AA anliegende Signal DATA bestimmt somit, ob sich das Schaltelement SE in geschlossenem oder offenem Zustand befindet.
  • Zwischen einem Bezugspotentialanschluß BP und einem Knoten zwischen dem Source-Anschluß des Speichertransistors T2 und dem Schaltelement SE ist ein Ladungsspeicher C verschalten, der lediglich ein parasitäres Bauelement darstellt und als Bitleitungs-Kapazität bezeichnet wird.
  • Das Auslesen des erfindungsgemäßen nichtflüchtigen Speichers erfolgt in zwei Phasen: Die erste Phase wird als Vorladephase oder Precharge-Phase bezeichnet, die zweite Phase als Lese- oder Sense-Phase.
  • In der Vorlade-Phase ist die Speicherzelle noch nicht selektiert. Das an dem Steueranschluß ST1 des Auswahltransistors T1 anliegende Signal SGL weist somit einen ersten Zustand "0" auf. Während der Vorladephase (in 2 mit ZI2 bezeichnet) lädt der Sense-Amplifier SA die Bitleitung bis auf die Lesespannung VBL auf. Der Ausgang des Sense-Amplifiers SA ist dabei deaktiviert, so daß an dem Ausgangsanschluß AA kein Signal abgreifbar ist. Durch die Deaktivierung des Sense-Amplifiers wird eine Fehlinterpretation des Ladestroms als Datum der Speicherzelle vermieden. Da die Speicherzelle während der Vorladephase nicht selektiert ist, fließt auch im Falle einer programmierten Speicherzelle kein statischer Strom durch den Sense-Amplifiers. Dies bedeutet, nachdem der Ladungsspeicher C auf die Lesespannung VBL aufgeladen ist, klingt der Ladestrom IBL auf den Wert „0" ab. Während der gesamten Zeitdauer der Vorlade-Phase ist das Schaltelement geschlossen, d. h. es besteht eine elektrische Verbindung zischen dem Sense-Amplifier SA und der Speicherzelle.
  • In der Lese-Phase wird die Speicherzelle durch Anlegen eines Steuersignals SGL an den Steueranschluß ST1 des Auswahltransistors T1 selektiert. Die Lese-Phase ist in 2 mit den Zeitintervallen ZI3, ZI5, ZI7 bezeichnet. Im Falle einer gelöschten Zelle (ZI5) bleibt der Zellstrom „0". Im Falle einer programmierten Zelle (ZI3) fließt ein Zellstrom IBL und der Sense-Amplifier SA liefert das korrekte Datum "1". Dieses Datum ist an dem Ausgangsanschluß AA abgreifbar.
  • Unmittelbar nach dem Anliegen dieses Datums an dem Ausgangsanschluß AA, also nach dem Erkennen des Zellzustandes, wird der Sense-Amplifier SA durch Öffnen des Schaltelementes SE deaktiviert, d.h. von der Bitleitung getrennt. Das gelesene Datum "1" an dem Ausgangsanschluß AA ist somit direkt der Indikator für den abgeschlossenen Lesevorgang und bewirkt das Abschalten des jeweiligen Sense-Amplifiers SA individuell für jede Bitleitung. Dieser Vorgang ist somit vollständig selbststeuernd und unabhängig von physikalischen Parametern, wie der Bitleitungskapazität, der Temperatur usw.
  • Da das Abschalten unmittelbar nach dem Erkennen des programmierten Zustandes der Speicherzelle erfolgt, wird der Stromfluß durch die Speicherzelle auf die minimal notwendige Zeit begrenzt. Dies ist, wie aus den obigen Ausführungen hervorgeht, unabhängig von der Dauer des Auslesens. Das erfindungsgemäße Vorgehen weist den Vorteil auf, daß der mittlere Stromverbrauch durch die Wahl der Taktfrequenz nunmehr skalierbar ist und auf beliebig kleine Werte reduziert werden kann.
  • AW
    Auswerteeinrichtung
    SA
    Sense-Amplifier
    T1
    Auwahltransistor
    T2
    Speichertransistor
    ST1
    Steueranschluß
    ST2
    Steueranschluß
    SE
    Schaltelement
    C
    (parasitärer) Ladungsspeicher
    AA
    Ausgangsanschluß
    IBL
    Strom
    VBL
    Spannung
    DATA
    Ausgangssignal
    SGL
    Steuersignal
    SZ
    Speicherzelle
    BP
    Bezugspotentialanschluß

Claims (14)

  1. Nichtflüchtiger Speicher mit zumindest einer Speicherzelle (SZ), die mittels Wort-, Bit- und Sourceleitungen zum Beschreiben, Auslesen und Löschen ansprechbar ist, und mit zumindest einer Auswerteeinrichtung (AW), die mit der Speicherzelle (SZ) gekoppelt ist und beim Anlegen einer Lesespannung an die Bitleitung durch Detektion des durch die Speicherzelle (SZ) fließenden Stromes den Inhalt der Speicherzelle (SZ) auswertet, dadurch gekennzeichnet, daß die Auswerteeinrichtung (AW) eine Vorrichtung (SE) aufweist, durch die das Auslesen der Speicherzelle (SZ) in zwei Schritten erfolgt, so daß die Lesespannung nur während des Lesevorganges anliegt.
  2. Speicher nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Auswerteeinrichtung (AW) die Zeitdauer, während der die Lesespannung anliegt, selbst steuert.
  3. Speicher nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Auswerteeinrichtung (AW) einen Ausgangsanschluß (AA) aufweist, an dem ein dem Inhalt der ausgelesenen Speicherzelle (SZ) entsprechendes Signal abgreifbar ist, und die Vorrichtung (SE) mit dem Ausgangsanschluß (AA) gekoppelt ist.
  4. Speicher nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Auswerteeinrichtung (AW) einen Sense-Amplifier (SA) aufweist.
  5. Speicher nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Vorrichtung (SE) zwischen dem Sense-Amplifier (SA) und der Speicherzelle (SZ) verschalten ist und durch das an dem Ausgangsanschluß (AA) anliegende Signal ansteuerbar ist.
  6. Speicher nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß Vorrichtung (SE) ein Schaltelement ist.
  7. Speicher nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß jeder Bitleitung eine Auswerteeinrichtung (SA) zugeordnet ist.
  8. Speicher nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Speicherzelle (SZ) einen Auswahltransistor (T1) und einen Speichertransistor (T2) enthält, deren Drainabschnitte miteinander verbunden sind.
  9. Speicher nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß eine Speicherzelle zur Speicherung eines Datenbits ausgelegt ist.
  10. Verfahren zum Auslesen eines nichtflüchtigen Speichers nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei dem – in einer Vorladephase (ZI2, ZI4, ZI6) die Bitleitung durch die Auswertevorrichtung (AW) bis auf die Lesespannung aufgeladen wird, wobei die auszulesende Speicherzelle (SZ) unselektiert bleibt, – in einer Lesephase (ZI1, ZI3, ZI5, ZI7) die auszulesende Speicherzelle (SZ) selektiert wird, so daß die Auswerteeinrichtung den in der Speicherzelle (SZ) gespeicherten Inhalt auslesen kann, – die Auswerteeinrichtung (AW) nach dem Auslesen des Inhaltes deaktiviert wird.
  11. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß das Deaktivieren der Auswerteeinrichtung (AW) während der Vorladephase (ZI2, ZI4, ZI6) erfolgt.
  12. Verfahren nach Anspruch 10 oder 11, dadurch gekennzeichnet, daß das Deaktivieren der Auswerteeinrichtung (AW) unmittelbar nach dem Auslesen des Inhaltes der Speicherzelle (SZ) erfolgt.
  13. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Deaktivieren der Auswerteeinrichtung (AW) unabhängig von der Zeitdauer des Auslesevorganges erfolgt.
  14. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche 10, dadurch gekennzeichnet, daß das Deaktivieren der Auswerteeinrichtung (AW) nur erfolgt, wenn die Speicherzelle einen ersten logischen Zustand aufweist.
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