DE10154168A1 - Elektronikbauteil - Google Patents
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Abstract
Bei einem piezoelektrischen Resonator sind erste und zweite Resonanzelektroden an der oberen Fläche und der unteren Fläche eines piezoelektrischen Elements vorgesehen, es sind Innenelektrodenlagen zum Führen der ersten und zweiten Resonanzelektroden zu den oberen und unteren Flächen vorgesehen und erstrecken sich zu den oberen und unteren Flächen des piezoelektrischen Elements, und es sind Verbindungselektroden an den oberen und unteren Flächen des piezoelektrischen Elements vorgesehen und sind mit den entsprechenden Resonanzelektroden über die Innenelektrodenlagen elektrisch verbunden.
Description
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Elektronikbauteil, beispielsweise einen
piezoelektrischen Resonator, und insbesondere ein Elektronikbauteil, bei welchem
eine Innenelektrode zur Verbindung mit an einem Paar Oberflächen des
Elektronikbauteils vorgesehenen Elektroden in einem Element des
Elektronikbauteils, beispielsweise einem piezoelektrischen Element, vorgesehen ist.
Herkömmlicherweise werden bei der Fertigung von Oszillatoren und anderen
ähnlichen Vorrichtungen piezoelektrische Resonatoren, welche einen
Dickenscher-Schwingungsmodus verwenden, oft eingesetzt. Bei piezoelektrischen
Energiefallen-Resonatoren, welche einen Dickenscher-Schwingungsmodus verwenden,
werden Resonanzelektroden an beiden Hauptflächen einer länglichen rechteckigen
piezoelektrischen Platte vorgesehen. Bei solchen piezoelektrischen Resonatoren
wird eine an einer Hauptfläche derselben vorgesehene Resonanzelektrode mit einer
Verbindungselektrode elektrisch verbunden, welche sich über eine Endfläche der
piezoelektrischen Platte erstreckt, wobei sie die Unterfläche erreicht, so dass die
Oberflächenbestückung über eine der Hauptflächen mühelos durchgeführt wird. In
manchen Fällen werden die Ecken der Verbindungselektrode verkratzt, wenn der
piezoelektrische Resonator bearbeitet wird. Die nicht geprüfte japanische
Patentanmeldungsschrift Nr. 8-237066 offenbart einen piezoelektrischen Resonator,
welcher in der perspektivischen Ansicht von Fig. 15 gezeigt wird, der die
Zuverlässigkeit der an den Vorder- und Rückflächen vorgesehenen
Verbindungselektroden verbessert.
Bei einem piezoelektrischen Resonator 101 sind die Resonanzelektroden 103 und
104 so angeordnet, dass sie einander in der Mitte einer dazwischen angeordneten
länglichen piezoelektrischen Platte 102 gegenüberliegen.
Zudem werden Endflächenelektroden 105 und 106 an den Endflächen 102a und
102b der piezoelektrischen Platte 102 jeweils vorgesehen. Die Endflächenelektroden
105 und 106 sind jeweils mit den Resonanzelektroden 103 und 104 elektrisch
verbunden. Zudem sind Schutzschichten 107 und 108 angebracht, um die
Endflächenelektroden 105 und 106 jeweils zu bedecken und zu schützen. Die
Resonanzelektroden 103 und 104 sind an den Hauptflächen der piezoelektrischen
Platte 102 angeordnet, so dass sie sich über die Schutzschichten 107 bzw. 108
erstrecken.
Verbindungselektroden 109 und 110 sind an den oberen und unteren Flächen der
piezoelektrischen Platte 102 vorgesehen und sind mit den Endflächen-Elektroden
106 bzw. 105 elektrisch verbunden. Zudem sind, wie in Fig. 15 gezeigt, die
Verbindungselektroden 109 und 110 an den oberen und unteren Flächen der
piezoelektrischen Platte 102 und auch an den oberen und unteren Flächen der
Schutzschichten 107 bzw. 108 vorgesehen.
Bei dem piezoelektrischen Resonator 101 bedecken die Schutzschichten 107 und
108 die Endflächenelektroden 105 bzw. 106. Dies verbessert die Zuverlässigkeit der
elektrischen Verbindung zwischen der Resonanzelektrode 103 und der
Verbindungselektroden 110 sowie zwischen der Resonanzelektrode 104 und der
Verbindungselektrode 109.
Unter Bezug auf die Herstellung des piezoelektrischen Resonators 101 sind
Elektroden (als vollständig umhüllte Elektroden bezeichnet), welche zur Ausbildung
der Endflächenelektroden gebildet werden, auf den gesamten Flächen der
Hauptflächen eines in Fig. 16 gezeigten piezoelektrischen Blocks 111 angeordnet,
und der piezoelektrische Block 111 wird in der Dickenrichtung polarisiert. Nach der
Polarisation werden Schutzschichten 112 und 113 jeweils auf den (nicht
abgebildeten) vollständig umhüllten Elektroden vorgesehen. Der wie oben
beschrieben hergestellte erste piezoelektrische Mutterblock 111 wird entlang der
Strichlinien A von Fig. 16 geschnitten. Somit wird der in Fig. 17 gezeigte zweite
piezoelektrische Mutterblock 114 erhalten. Anschließend werden eine
Mutterresonanzelektrode 115 und eine Mutterverbindungselektrode 116 an dem
piezoelektrischen Block 114 vorgesehen. Dann wird der piezoelektrische Block 114
entlang der Strichlinien B geschnitten, um den piezoelektrischen Resonator 101 zu
erhalten.
Bei einem piezoelektrischen Energiefallenresonator unter Verwendung eines
Dickenscherschwingungsmodus wird abhängig von der Größe der piezoelektrischen
Platte 102 in Längsrichtung ein unerwünschtes Ansprechen erzeugt. Dieses
unerwünschte Ansprechen nimmt zu, wenn die Größe des piezoelektrischen
Resonators verringert wird. Die Länge der piezoelektrischen Platte 102 muss so
angepasst werden, dass unerwünschtes Ansprechen, welches auf die Länge der
piezoelektrischen Platte 102 zurückzuführen ist, unterdrückt wird.
Die Größe in Längsrichtung des piezoelektrischen Resonators 101 wird vorrangig
durch die Dicke des piezoelektrischen Blocks 111 ermittelt, wie bei dem oben
beschriebenen Verfahren zur Herstellung des piezoelektrischen Resonators 101
ersichtlich. Wenn die Längsgröße der piezoelektrischen Platte 102 geändert wird, um
ein unerwünschtes Ansprechen zu unterdrücken, muss demgemäß die Dicke des
piezoelektrischen Blocks 111 ebenfalls geändert werden. Somit ist die Anpassung
der Länge der piezoelektrischen Platte 102 sehr schwer vorzunehmen.
Um die oben beschriebenen Probleme zu überwinden, sehen bevorzugte
erfindungsgemäße Ausführungen ein Elektronikbauteil vor, bei welchem die
Zuverlässigkeit der elektrischen Verbindung einer Elektrode, welche an der oberen
Fläche eines Elements des Elektronikbauteils, beispielsweise eines
piezoelektrischen Elements, vorgesehen ist, mit einer an der unteren Fläche des
Elements vorgesehenen Elektrode stark verbessert ist. Zudem wird die Größe des
Elements des Elektronikbauteils leicht angepasst, während die bei den oben
beschriebenen Verfahren auftretenden Probleme beseitigt werden.
Bevorzugte Ausführungen der vorliegenden Erfindung sehen einen piezoelektrischen
Energiefallenresonator vor, bei welchem die Oberflächenbestückung mühelos auf
eine Mutterplatine zumindest von einer Hauptoberfläche des Resonators
vorgenommen wird, die Zuverlässigkeit der elektrischen Verbindung zwischen den
an den Hauptoberflächen vorgesehenen Elektroden sehr hoch ist, die Längsgröße
des piezoelektrischen Elements leicht angepasst wird und daher unerwünschtes
Ansprechen mühelos eliminiert wird, wenn die Größe des Resonators verringert wird.
Gemäß einer bevorzugten erfindungsgemäßen Ausführung umfasst ein
Elektronikbauteil ein Element mit einander gegenüberliegenden oberen und unteren
Flächen, einem Paar einander gegenüberliegender Seitenflächen und einem Paar
einander gegenüberliegender Endflächen, wobei sich das Paar Seitenflächen in
Längsrichtung des Elements erstreckt und einander in der Breitenrichtung des
Elements gegenüberliegt, eine an der oberen Fläche des Elements des
Elektronikbauteils vorgesehene erste Elektrode, eine flache, plattenförmige erste
Innenelektrodenlagenschicht, welche an der oberen Fläche des Elements des
Elektronikbauteils in einem gewünschten Bereich in Breitenrichtung freiliegt, so dass
sie mit der ersten Elektrode elektrisch verbunden ist, wobei sich die erste
Innenelektrodenlage von der oberen Fläche zur unteren Fläche erstreckt und die
erste Innenelektrodenlage an der unteren Fläche in einem gewünschten Bereich in
Breitenrichtung freiliegt, sowie eine an der unteren Fläche des Elements des
Elektronikbauteils vorgesehene und mit der ersten Innenelektrodenschicht elektrisch
verbundene Verbindungselektrode.
Vorzugsweise umfasst das Elektronikbauteil weiterhin eine zweite
Innenelektrodenlage, welche über eine Lage des Elements des Elektronikbauteils der
ersten Innenelektroniklage gegenüber angeordnet ist.
Vorzugsweise erstreckt sich auch die erste Innenelektrodenschicht in einer Richtung,
die im Wesentlichen senkrecht zur oberen Fläche des Elements des
Elektronikbauteils ist.
Zumindest eine der ersten Innenelektrodenlage und der zweiten Innenelektrodenlage
ist vorzugsweise so angeordnet, dass sie die obere Fläche bei einem Winkel von
weniger als etwa 90° schneidet.
Nach einer anderen bevorzugten erfindungsgemäßen Ausführung umfasst ein
piezoelektrischer Energiefallenresonator einen piezoelektrischen Körper mit einer
oberen Fläche, einer unteren Fläche, einem Paar einander gegenüberliegender
Seitenflächen und einem Paar einander gegenüberliegender erster und zweiter
Endflächen, wobei sich das Paar Seitenflächen in Längsrichtung des
piezoelektrischen Elements erstreckt und einander in der Breitenrichtung des
piezoelektrischen Elements gegenüberliegt, erste und zweite an den oberen und
unteren Flächen des piezoelektrischen Elements jeweils vorgesehene
Resonanzelektroden, wobei die erste Resonanzelektrode sich von einer durch die
erste Endfläche und die obere Fläche ausgebildete Kante hin zur zweiten Endfläche
erstreckt, die zweite Resonanzelektrode sich von einer durch die zweite Endfläche
und die untere Fläche ausgebildeten Kante hin zu der ersten Endfläche erstreckt, die
ersten und zweiten Resonanzelektroden so angeordnet sind, dass sie in der
ungefähren Mitte des piezoelektrischen Elements in Längsrichtung überlappen, eine
flache, plattenförmige Innenelektrodenlage, welche an der oberen Fläche in einem
gewünschten Bereich in Breitenrichtung des piezoelektrischen Elements freiliegt,
wobei sich die Innenelektrodenlage von der oberen Fläche zur unteren Fläche
erstreckt, die Innenelektrodenlage an der unteren Fläche an einem gewünschten
Bereich in Breitenrichtung des piezoelektrischen Elements freiliegt und mit der ersten
oder zweiten Resonanzelektrode elektrisch verbunden ist, sowie eine an der oberen
oder unteren Fläche des piezoelektrischen Elements vorgesehene und mit der
Innenelektrodenlage elektrisch verbundene Verbindungselektrode.
Vorzugsweise umfasst die Innenelektrodenlage eine mit der ersten
Resonanzelektrode verbundene erste Innenelektrodenlage und eine mit der zweiten
Resonanzelektrode elektrisch verbundene zweite Innenelektrodenlage.
Vorzugsweise ist die Innenelektrodenlage auch an jeder der oberen und unteren
Flächen des piezoelektrischen Elements über die gesamte Breite desselben
freigelegt.
Die Innenelektrodenlage ist vorzugsweise an der unteren Fläche des
piezoelektrischen Elements über eine Teil der Breite desselben freigelegt.
Vorzugsweise erstreckt sich die Innenelektroniklage in einer Richtung, die im
Wesentlichen senkrecht zu den oberen und unteren Flächen ist.
Die Innenelektrodenlage ist vorzugsweise so angeordnet, dass sie die obere Fläche
des piezoelektrischen Elements bei einem Winkel von weniger als etwa 90°
schneidet.
Vorzugsweise umfasst der piezoelektrische Resonator gemäß einer weiteren
bevorzugten erfindungsgemäßen Ausführung eine Ladungsabführ-Innenelektrodenlage,
welche einen Kondensator ausbildet und zur Ermöglichung
eines Ausgangs oder zum Herausführen der elektrischen Ladung von dem
Kondensator so angeordnet ist, dass sie der Innenelektrodenlage mit einer Lage des
piezoelektrischen Elements dazwischen angeordnet ist.
Weitere Merkmale, Elemente, Eigenschaften und Vorteile der vorliegenden Erfindung
gehen aus der nachstehenden eingehenden Beschreibung der bevorzugten
Ausführungen unter Bezug auf die beigefügten Zeichnungen hervor.
Fig. 1A ist eine Längsquerschnittansicht eines Elektronikbauteils nach einer ersten
bevorzugten Ausführung der vorliegenden Erfindung und Fig. 1B ist eine
perspektivische Ansicht, die das Aussehen des Elektronikbauteils zeigt.
Fig. 2 ist eine perspektivische Ansicht des ersten piezoelektrischen Mutterblocks, der
zur Fertigung des Elektronikbauteils der ersten bevorzugten erfindungsgemäßen
Ausführung hergestellt wurde.
Fig. 3 ist eine perspektivische Ansicht des zweiten piezoelektrischen Mutterblocks,
der durch Schneiden des in Fig. 2 gezeigten erhaltenen ersten piezoelektrischen
Mutterblocks erhalten wurde.
Fig. 4 ist eine teilweise freigeschnittene Vorderansicht, welche den Zustand zeigt, in
dem eine Mutterresonanzelektrode an dem zweiten piezoelektrischen Mutterblock
vorgesehen ist.
Fig. 5 ist eine teilweise freigeschnittene Querschnittansicht, welche den Teil des
zweiten piezoelektrischen Mutterblocks entlang einer Strichlinie D von Fig. 4 zeigt.
Fig. 6A bis 6C sind Längsquerschnittansichten, welche Abwandlungen des
piezoelektrischen Resonators nach der ersten bevorzugten erfindungsgemäßen
Ausführung zeigen.
Fig. 7 ist eine auseinander gezogen dargestellte perspektivische Ansicht eines
piezoelektrischen Blocks zur Verwendung bei Erhalt einer Abwandlung des
piezoelektrischen Resonators der ersten bevorzugten erfindungsgemäßen
Ausführung.
Fig. 8 ist eine perspektivische Ansicht, welche einen piezoelektrischen Mutterblock
zeigt, der durch Schneiden des in Fig. 7 gezeigten piezoelektrischen Blocks erhalten
wird.
Fig. 9A ist eine perspektivische Ansicht, welche eine Abwandlung des
piezoelektrischen Resonators der ersten bevorzugten erfindungsgemäßen
Ausführung zeigt.
Fig. 9B ist eine perspektivische Ansicht einer anderen Abwandlung des
piezoelektrischen Resonators der ersten bevorzugten erfindungsgemäßen
Ausführung.
Fig. 10A ist eine perspektivische Ansicht einer noch anderen Abwandlung des
piezoelektrischen Resonators der ersten bevorzugten erfindungsgemäßen
Ausführung.
Fig. 10B ist eine perspektivische Ansicht einer noch weiteren Abwandlung des
piezoelektrischen Resonators der ersten bevorzugten erfindungsgemäßen
Ausführung.
Fig. 11 ist eine perspektivische Ansicht, welche das piezoelektrische Element eines
piezoelektrischen Resonators nach einer zweiten bevorzugten erfindungsgemäßen
Ausführung zeigt.
Fig. 12 ist eine transverse Querschnittansicht eines piezoelektrischen Elements,
welche eine Abwandlung der Innenelektrodenlage zeigt.
Fig. 13A ist eine perspektivische Ansicht eines piezoelektrischen Filters nach einer
dritten bevorzugten erfindungsgemäßen Ausführung.
Fig. 13B ist ein Ersatzschaltplan des piezoelektrischen Filters von Fig. 13A.
Fig. 14A ist eine perspektivische Ansicht eines piezoelektrischen Filters nach der
vierten bevorzugten erfindungsgemäßen Ausführung.
Fig. 14B ist ein Ersatzschaltplan des piezoelektrischen Filters von Fig. 14A.
Fig. 15 ist eine perspektivische Ansicht eines Beispiels eines herkömmlichen
piezoelektrischen Resonators.
Fig. 16 ist eine perspektivische Ansicht des ersten piezoelektrischen Mutterblocks,
der zum Erhalt des herkömmlichen piezoelektrischen Resonators verwendet wird.
Fig. 17 ist eine perspektivische Ansicht des zweiten piezoelektrischen Mutterblocks
der durch Schneiden des in Fig. 16 gezeigten piezoelektrischen Blocks erhalten wird.
Fig. 18 ist eine perspektivische Ansicht, welche den Zustand zeigt, in welchem eine
Mutterresonanzelektrode an dem in Fig. 17 gezeigten zweiten piezoelektrischen
Mutterblock ausgebildet ist.
Im Nachstehenden wird die vorliegende Erfindung anhand der folgenden
Beschreibung der bevorzugten erfindungsgemäßen Ausführungen unter Bezug auf
die Zeichnungen offensichtlicher.
Fig. 1A ist eine Längsquerschnittansicht eines piezoelektrischen
Energiefallenresonators nach einer ersten bevorzugten erfindungsgemäßen
Ausführung.
Fig. 1B ist eine perspektivische Ansicht des piezoelektrischen
Energiefallenresonators.
Ein piezoelektrischer Resonator 1 umfasst ein piezoelektrisches Element 2 mit einer
länglichen, im Wesentlichen rechteckigen Plattenform. Eine erste Resonanzelektrode 3
ist an der oberen Fläche 2a des piezoelektrischen Elements 2 vorgesehen. Eine
zweite Resonanzelektrode 4 ist an der unteren Fläche 2b vorgesehen. Die
Resonanzelektrode 3 erstreckt sich von der durch eine Endfläche 2c und die obere
Fläche 2a des piezoelektrischen Elements 2 ausgebildete Kante hin zur Mitte des
piezoelektrischen Elements 2. Andererseits erstreckt sich die Resonanzelektrode 4
von der durch eine Endfläche 2d und die untere Fläche 2b ausgebildeten Kante hin
zur Mitte des piezoelektrischen Elements 2. Die Resonanzelektroden 3 und 4 sind an
den vorder- und rückseitigen Flächen des piezoelektrischen Elements 2 angeordnet
und liegen einander über das piezoelektrische Element 2 etwa in der mittleren Fläche
desselben gegenüber.
Das piezoelektrische Element 2 ist in der sich von der Endfläche 2c hin zu der
Endfläche 2d verlaufenden Richtung polarisiert. Somit bildet der Teil, in welchem die
Resonanzelektroden 3 und 4 mit dem piezoelektrischen Element 2 dazwischen
einander gegenüberliegen, einen Resonanzteil unter Verwendung eines
energiefallenartigen Dickenscherschwingungsmodus aus.
Eine Verbindungselektrode 5 ist so angebracht, dass sie sich von der Endfläche 2c
an der unteren Fläche 2b des piezoelektrischen Elements 2 erstreckt. Analog ist eine
Verbindungselektrode 6 so angebracht, dass sie sich von der Endfläche 2d an der
oberen Fläche 2a des piezoelektrischen Elements 2 erstreckt. In dieser bevorzugten
Ausführung sind die Verbindungselektroden 5 und 6 so angebracht, dass sie sich
entlang der durch die Endfläche 2c und die untere Fläche 2b ausgebildeten Kante
bzw. der durch die Endfläche 2d und die obere Fläche 2a ausgebildeten Kante
erstrecken. Die Verbindungselektroden 5 und 6 können auch so angebracht sein,
dass sie von den Endflächen 2c und 2d getrennt sind.
Eine Innenelektrodenlage 7 für das elektrische Verbinden der Resonanzelektrode 3
mit der Verbindungselektrode 5 und eine Innenelektrodenlage 8 für das elektrische
Verbinden der Resonanzelektrode 4 mit der Verbindungselektrode 6 sind innerhalb
des piezoelektrischen Elements 2 vorgesehen. Demgemäß kann der
piezoelektrische Resonator 1 auf eine Mutterleiterplatte über die obere Fläche 2a
oder die untere Fläche 2b auf der Oberfläche montiert werden.
Zudem die liegen die Flächen der Innenelektrodenlagen 7 und 8, die sich in der Nähe
der Endflächen 2c und 2d befinden, nicht frei. Somit wird die Zuverlässigkeit der
elektrischen Verbindung der oberen und unteren Elektroden, d. h. die Zuverlässigkeit
der elektrischen Verbindung zwischen der Resonanzelektrode 3 und der
Verbindungselektrode 5 und zwischen der Resonanzelektrode 4 und der
Verbindungselektrode 6, stark verbessert, ähnlich wie bei dem in Fig. 15 gezeigten
piezoelektrischen Resonator 101.
Bei dem piezoelektrischen Resonator 1 dieser bevorzugten Ausführung lässt sich die
Größe in Längsrichtung des piezoelektrischen Elements 2, d. h. die Größe in der
Richtung zwischen den Endflächen 2c und 2d, mühelos anpassen. Demgemäß lässt
sich die Anpassung der Länge des piezoelektrischen Elements 2 mühelos
vornehmen, um unerwünschtes Ansprechen zu minimieren, welches aufgrund der
Länge des piezoelektrischen Elements 2 verursacht wird. Somit wird ein kompakter
piezoelektrischer Resonator mit ausgezeichneten Eigenschaften mühelos zur Hand
gegeben.
Nachstehend wird ein Verfahren zum Herstellen des piezoelektrischen Resonators 1
unter Bezug auf Fig. 2 bis 5 beschrieben.
Zuerst wird ein piezoelektrischer Mutterblock 11 wie in der perspektivischen Ansicht
von Fig. 2 gezeigt gefertigt. Der piezoelektrische Block 11 ist in einer durch Pfeil P
von Fig. 2 gezeigten Richtung polarisiert. Piezoelektrische Keramik, zum Beispiel
Bleititanatkeramik, Bleititanatzirkonatkeramik oder andere geeignete piezoelektrische
Keramiken, werden bevorzugt als piezoelektrisches Material zum Bilden des
piezoelektrischen Blocks 11 verwendet.
Eine Vielzahl von Mutter-Innenelektrodenlagen 12, welche durch die Strichlinien
angezeigt sind, sind so angeordnet dass sie sich mit den piezoelektrischen Lagen
dazwischen überlappen. Die Innenelektrodenlagen 12 zusammen mit dem
piezoelektrischen Block 11 werden durch ein bekanntes kombiniertes
Keramikmetall-Brennverfahren erhalten. Das heißt: die piezoelektrischen ungesinterten
Keramikschichten und die Vielzahl von Innenelektrodenlagen 12 werden laminiert
und zusammen gebrannt, um den piezoelektrischen Block 11 zu erhalten.
In Fig. 2 ist die Anzahl der Vielzahl von Innenelektrodenlagen 12 gegenüber der von
Fig. 3 und Fig. 4 zwecks einfacher Darstellung verringert.
Als Nächstes wird der piezoelektrische Block 11 entlang der Strichlinien C
geschnitten. Auf diese Weise wird ein in Fig. 3 gezeigter piezoelektrischer Block 15
als zweiter piezoelektrischer Mutterblock erhalten. Die Vielzahl von
Innenelektrodenlagen 12A bis 12F des zweiten piezoelektrischen Mutterblocks 15
liegen an den Seitenflächen 15a und 15b frei, welche wie oben beschrieben durch
Schneiden gebildet werden.
Als Nächstes werden, wie in Fig. 4 gezeigt, im Wesentlichen rechteckige
streifenförmige Mutterelektroden 16 bis 19 an der Seitenfläche 15a des
piezoelektrischen Elements 15 vorgesehen. Die Elektroden 16 bis 18 sind so
angeordnet, dass sie entsprechend den vorbestimmten Innenelektrodenlagen
elektrisch verbunden sind. Die Elektrode 17 ist zum Beispiel so angeordnet, dass
eine Seitenkante 17a derselben außerhalb der Innenelektrodenlager 12B und 12C
positioniert ist und außerdem die andere Seitenkante 17b derselben nicht die
Innenelektrodenlage 12D erreicht.
Analog sind eine Vielzahl von Mutterelektroden 19 bis 21 an der Seitenfläche 15b
des piezoelektrischen Blocks 15 angeordnet, wie in der Querschnittansicht von Fig. 5
gezeigt.
Als Nächstes wird der piezoelektrische Block 15 entlang der in Fig. 4 gezeigten
Strichlinien D geschnitten. Ferner wird der piezoelektrische Block 15 entlang der in
Fig. 5 gezeigten Strichlinien E geschnitten, um den in Fig. 1 gezeigten
piezoelektrischen Resonator 1 zu erzeugen.
Wie bei dem oben beschriebenen Verfahren zum Erzeugen des piezoelektrischen
Resonators 1 ersichtlich, lässt sich das Anpassen der Länge des piezoelektrischen
Elements 2, wenn dies bei der Herstellung des piezoelektrischen Resonators 1
erwünscht ist, durch Ändern der durch die in Fig. 5 gezeigten Strichlinien E
angezeigten Schnittposition mühelos vornehmen. Demgemäß wird eine Erzeugung
unerwünschten Ansprechens aufgrund der Länge des piezoelektrischen Resonators
durch Verschieben der Frequenzen, bei denen das unerwünschte Ansprechen
eintritt, verhindert.
Für den in Fig. 1 gezeigten piezoelektrischen Resonator 1 wird vorzugsweise das
piezoelektrische Element 2 mit einer länglichen Rechteckplattenform verwendet. Das
Element des Elektronikbauteils und das piezoelektrische Element gemäß
verschiedenen bevorzugten erfindungsgemäßen Ausführungen sind jedoch nicht auf
die oben beschriebene längliche Rechteckplattenform beschränkt. Zum Beispiel kann
ein piezoelektrisches Element 2A, das abgeschrägt ist, so dass es geneigte Flächen
2f und 2g an beiden Endteilen der oberen Fläche aufweist, wie in Fig. 6a gezeigt
wird, verwendet werden. In diesem Fall ist die an der oberen Fläche 2a vorgesehene
Resonanzelektrode 3 mit der Verbindungselektrode 5 über die Innenelektrodenlage 7
elektrisch verbunden, ähnlich wie bei der ersten bevorzugten Ausführung. Der
piezoelektrische Resonator 31 kann über die untere Fläche 2b auf der Oberfläche
montiert werden, da die obere Fläche 2a abgeschrägt ist. Somit wird auf der oberen
Fläche 2a keine Verbindungselektrode vorgesehen und ferner wird keine
Innenelektrode vorgesehen, welche mit der Resonanzelektrode elektrisch verbunden
ist.
Um die Zuverlässigkeit der elektrischen Verbindung in einem piezoelektrischen
Resonator 32 unter Verwendung eines abgeschrägten piezoelektrischen Elements
2A weiter zu verbessern, werden eine Vielzahl von Innenelektrodenlagen 7a und 7b
wie in Fig. 6B gezeigt vorgesehen. In diesem Fall wird die elektrische Verbindung der
Verbindungselektrode 5 mit der Resonanzelektrode 3 durch die Vielzahl von
Innenelektrodenlagen 7a und 7b verwirklicht.
In der ersten bevorzugten Ausführung sind die Innenelektrodenlagen 7 und 8 so
angeordnet, dass sie mit den Resonanzelektroden 3 und 4 dermaßen verbunden
werden, dass die Oberflächenbestückung von der Seite der oberen Fläche 2a oder
der unteren Fläche 2b mühelos vorgenommen werden kann. Es ist möglich, dass nur
die Innenelektrodenschicht 7 vorgesehen wird, wie in Fig. 6C gezeigt wird. In diesem
Fall wird die Verbindungselektrode 5 an der unteren Fläche 2b des piezoelektrischen
Elements 2 vorgesehen. Der piezoelektrische Resonator 33 kann über die untere
Fläche 2b auf der Oberfläche montiert werden.
Ferner sind in der ersten bevorzugten Ausführung die Vielzahl von
Innenelektrodenschichten 12 vorzugsweise so angeordnet, dass sie im
piezoelektrischen Mutterblock 11 im Wesentlichen parallel zu einander sind, wie dies
in Fig. 2 gezeigt wird. Alternativ können eine Vielzahl von Innenelektrodenlagen 34
bis 36 so angeordnet werden, dass sie in einem piezoelektrischen Mutterblock 37 mit
einer Blockform, wie sie in der auseinander gezogen dargestellten perspektivischen
Ansicht von Fig. 7 gezeigt wird, geneigt sind. Der piezoelektrische Mutterblock 37 mit
der Vielzahl von Innenelektrodenlagen 34 bis 36, die wie oben beschrieben geneigt
sind, wird im Wesentlichen parallel zu einer Seitenfläche 37a in vertikaler Richtung
geschnitten, wodurch ein zweiter piezoelektrischer Mutterblock 38, wie in Fig. 8
gezeigt, erhalten wird.
Ein in Fig. 9A gezeigter piezoelektrischer Energiefallenresonator 39 wird durch
Verwenden des zweiten piezoelektrischen Mutterblocks 38 an Stelle des in Fig. 3
gezeigten zweiten piezoelektrischen Blocks 15 und Unterziehen des
piezoelektrischen Blocks 38 einer Bearbeitung, ähnlich wie sie in der ersten
bevorzugten Ausführung beschrieben wird, erhalten. Das heißt, da die Vielzahl von
Innenelektrodenlagen 35 bis 37 in dem piezoelektrischen Mutterblock 37 geneigt
sind, wird in dem endgültigen piezoelektrischen Resonator 39 ein Aufbau erzeugt,
bei welchem die Innenelektrodenlagen 40 und 41 bezüglich der oberen Fläche 2a
und der unteren Fläche 2b geneigt sind.
Somit müssen die Innenelektrodenlagen erfindungsgemäß nicht im Wesentlichen
senkrecht zur oberen Fläche 2a und der unteren Fläche 2b sein, vorgesetzt, dass die
Innenelektrodenlagen sich von der oberen Fläche 2a als der ersten Hauptoberfläche
zu der unteren Fläche 2b als der zweiten Hauptoberfläche, ähnlich wie die
Innenelektrodenlagen 40 und 41, erstrecken.
Zudem sind, wie in Fig. 9B gezeigt, eine Vielzahl von Innenelektrodenlagen 40a und
40b als geneigte Innenelektrodenlagen angeordnet, so dass die Zuverlässigkeit der
elektrischen Verbindung zwischen der Resonanzelektrode 3 an der oberen Fläche
und der Verbindungselektrode 5 an der unteren Fläche weiter verbessert wird.
Zudem sind in Fig. 9A die Innenelektrodenlagen 40 und 41 so geneigt, dass der
Abstand zwischen den Innenelektrodenlagen 40 und 41 abnimmt, wenn sie sich von
der unteren Fläche 2b der oberen Fläche 2a nähern. Die Innenelektrodenlagen 40
und 41a, welche geneigt sind und im Wesentlichen parallel zu einander verlaufen,
wie dies in Fig. 10A gezeigt wird, können an Stelle der in Fig. 9A gezeigten
Innenelektrodenlagen 40 und 41 vorgesehen werden.
Ferner können die Vielzahl von Innenelektrodenlagen 40, 40a, 41 und 41a wie in Fig.
10B gezeigt angeordnet werden, so dass die Zuverlässigkeit der elektrischen
Verbindung zwischen einer Resonanzelektrode und der gegenüber der
Resonanzelektrode auf der Hauptoberfläche vorgesehenen Verbindungselektrode
weiter verbessert wird.
Fig. 11 ist eine schematische perspektivische Ansicht, welche einen
piezoelektrischen Resonator nach einer zweiten bevorzugten erfindungsgemäßen
Ausführung zeigt. Fig. 11 zeigt ein in der zweiten bevorzugten Ausführung
enthaltenes piezoelektrisches Element 52 ausschließlich der Verbindungselektroden
und Resonanzelektroden. Die Verbindungselektroden und Resonanzelektroden sind
in gleicher Weise wie in der ersten Ausführung angeordnet.
Die Innenelektrodenlagen 53 und 54 sind so angeordnet, dass sie die oberen und
unteren Flächen 52a und 52b in dem in der zweiten bevorzugten Ausführung
enthaltenen piezoelektrischen Element 52 miteinander verbinden. Die
Innenelektrodenlagen 53 und 54 sind getrennt und liegen einander in der ungefähren
Mitte in Breitenrichtung des piezoelektrischen Elements 52 gegenüber. Die
Innenelektrodenlagen 53 und 54 entsprechen mit anderen Worten dem Aufbau der
Innenelektrodenlage 7, die in der ersten bevorzugten Ausführung vorgesehen ist und
die in der ungefähren Mitte in Breitenrichtung des piezoelektrischen Elements
unterteilt ist. Somit ist die Innenelektrodenlage 7 unterteilt, das heißt die
Innenelektrode 7 erstreckt sich nicht über den gesamten Querschnitt in
Breitenrichtung des piezoelektrischen Elements 52, wie vorstehend beschrieben, und
dadurch wird die Lagenbindung der piezoelektrischen Keramik an beiden Seiten der
Innenelektrodenlagen 53 und 54 verbessert. In Fig. 11 liegen sich die
Innenelektrodenlagen 53 und 54 in der ungefähren Mitte in Breitenrichtung des
piezoelektrischen Elements 52 gegenüber, wodurch ein Spalt zwischen ihnen
ausgebildet wird. Erfindungsgemäß können die Innenelektrodenlagen
unterschiedliche Formen aufweisen, zum Beispiel Spalte, Öffnungen oder andere
geeignete Formen. Zum Beispiel kann die Innenelektrodenlage 55 mit zwei mit
einander kombinierten Kreuzformen kombiniert vorgesehen werden, wie dies im
Querschnitt des piezoelektrischen Elements 52 von Fig. 12 gezeigt wird. Die
Verwendung der Innenelektrodenlage 55 von Fig. 12 verbessert die Lagenbindung
der piezoelektrischen Keramikteile an beiden Seiten der Innenelektrodenlage 55
weiter.
Fig. 13 ist eine perspektivische Ansicht eines piezoelektrischen Filters nach einer
dritten bevorzugten Ausführung der vorliegenden Erfindung. Fig. 13B zeigt eine
Ersatzschaltung des piezoelektrischen Filters.
Der piezoelektrische Filter 61 umfasst zwei piezoelektrische Resonanzeinheiten 62
und 63, die miteinander integriert sind. Jede der piezoelektrischen
Resonanzeinheiten 62 und 63 ist vorzugsweise in gleicher Weise wie der
piezoelektrische Resonator 1 der ersten bevorzugten Ausführung angeordnet,
lediglich die Verbindungselektrode an einer Seite des piezoelektrischen Resonators
1 ist nicht vorgesehen.
Der piezoelektrische Filter 61 beinhaltet insbesondere ein längliches
rechteckplattenförmiges piezoelektrisches Element 65, welches in Längsrichtung
polarisiert ist.
Die Resonanzelektroden 3 und 4, die Verbindungselektrode 5 und die
Innenelektrodenschichten 7 und 8 sind an einer Seite des piezoelektrischen Körpers
65 vorgesehen, ähnlich der ersten bevorzugten Ausführung. Ferner ist an der
anderen Seite des piezoelektrischen Elements 65 eine piezoelektrische
Resonanzeinheit 63 vorgesehen, ähnlich der piezoelektrischen Resonanzeinheit 62.
Somit bilden die piezoelektrischen Resonanzeinheiten 62 und 63 die in Fig. 13B
gezeigten Resonatoren aus. Die Innenelektrodenlage 8 der piezoelektrischen
Resonanzeinheit 62 und die Innenelektrodenlage 8 der piezoelektrischen
Resonanzeinheit 63 liegen einander zur Ausbildung eines Kondensators gegenüber.
Die in Fig. 13B gezeigte Filterschaltung ist zwischen den Verbindungselektroden 5
vorgesehen. In diesem Fall werden Kondensatoren mit unterschiedlichen
elektrostatischen Kapazitäten durch Anpassen des Abstands zwischen den
Innenelektrodenlagen 8 erzeugt.
Wie vorstehend beschrieben wird nach den verschiedenen bevorzugten
erfindungsgemäßen Ausführungen ein Kondensator durch Anordnen eines Paars
Innenelektrodenlagen, so dass sie sich gegenüberliegen, ausgebildet.
Fig. 14A ist eine perspektivische Ansicht eines piezoelektrischen Filters nach einer
vierten bevorzugten erfindungsgemäßen Ausführung. Fig. 14B ist ein
Ersatzschaltplan des piezoelektrischen Filters. Bei einem piezoelektrischen Filter 71
sind Resonanzelektroden 73 und 74 in der ungefähren Mitte eines piezoelektrischen
Elements 72 in Längsrichtung desselben vorgesehen. Die Resonanzelektroden 73
und 74 sind an den Vorder- und Rückflächen des piezoelektrischen Elements 72
vorgesehen, so dass sie einander gegenüberliegen, und bilden eine piezoelektrische
Resonanzeinheit unter Verwendung eines energiefallenartigen Schermodus ähnlich
dem piezoelektrischen Resonator 1 der ersten bevorzugten Ausführung aus.
In dem piezoelektrischen Element 72 sind Innenelektrodenlagen 75 bis 78
vorgesehen. Die Innenelektrodenlage 76 ist mit der Resonanzelektrode 73 an der
oberen Fläche des piezoelektrischen Elements 72 elektrisch verbunden. Die
Innenelektrodenlage 77 ist mit der Resonanzelektrode 74 elektrisch verbunden. Die
Innenelektrodenlage 75 ist an der Außenseite der Innenelektrodenlage 76 über eine
piezoelektrische Lage vorgesehen. Die Innenelektrodenlage 78 ist an der Außenseite
der Innenelektrodenlage 77 über eine piezoelektrische Lage vorgesehen.
Demgemäß werden Kondensatoren zwischen den Innenelektrodenlagen 75 und 76
und zwischen den Innenelektrodenlagen 77 und 78 ausgebildet.
Zudem sind Verbindungselektroden 79 und 80 an der unteren Fläche des
piezoelektrischen Elements 72 vorgesehen und sind mit den Innenelektrodenlagen
75 bzw. 78 elektrisch verbunden. Somit wird die in Fig. 14B gezeigte Schaltung
zwischen den Verbindungselektroden 79 und 80 vorgesehen. Somit kann der
piezoelektrische Filter 71 auf einer Leiterplatte über die untere Fläche 72b des
piezoelektrischen Elements 72 mühelos auf der Oberfläche montiert werden.
Die Innenelektrodenlagen 75 und 78 liegen beide an der unteren Fläche 72b des
piezoelektrischen Elements 72 in einem Bereich der unteren Fläche nahe der
Seitenfläche 72c frei. Andererseits liegen die Innenelektrodenlagen 76 und 77 an der
unteren Fläche 72b des piezoelektrischen Elements 72 in einem Bereich der unteren
Fläche 72b nahe der Seitenfläche 72d frei. Die Innenelektrodenlage 78 ist mit der
Resonanzelektrode 74 über deren freigelegten Teil elektrisch verbunden.
Demgemäß sind die Verbindungselektroden 79 und 80 an der unteren Fläche 72b in
einem Bereich der unteren Fläche 72b nahe der Seitenfläche 72c vorgesehen. Wie
aus der obigen Beschreibung hervorgeht, ist die Innenelektrodenlage an der unteren
Fläche 72b des piezoelektrischen Elements 72 in einem Bereich nahe einer
Seitenfläche derselben freigelegt, wenn eine Innenelektrodenlage mit einer
Verbindungselektrode elektrisch verbunden ist, so dass ein Kurzschluss der
Innenelektrodenlage mit der anderen Innenelektrodenlage oder einer anderen
Elektrode, ähnlich zu den Innenelektrodenlagen 75 und 78, verhindert wird.
Das Elektronikbauteil gemäß verschiedenen bevorzugten erfindungsgemäßen
Ausführungen umfasst die flache plattenförmige Innenelektrodenlage, welche an der
oberen Fläche des Elements des Elektronikbauteils in einem vorbestimmten Bereich
in Breitenrichtung freiliegt, so dass es mit der an der oberen Fläche des Elements
des Elektronikbauteils vorgesehenen ersten Elektrode elektrisch verbunden ist, sich
von der oberen Fläche des Elements des Elektronikbauteils hin zur unteren Fläche
desselben erstreckt und an der unteren Fläche in einem gewünschten Bereich in
Breitenrichtung freiliegt. Somit ist die Innenelektrodenlage mit der an der unteren
Fläche des Elements des Elektronikbauteils vorgesehenen Verbindungselektrode
elektrisch verbunden. Demgemäß kann das Element des Elektronikbauteils mühelos
auf eine Leiterplatte über die untere Fläche des Elements des Elektronikbauteils auf
der Oberfläche montiert werden. Da die erste Elektrode an der oberen Fläche und
die Verbindungselektrode an der unteren Fläche über die Innenelektrodenlage
miteinander elektrisch verbunden sind, wird zudem die Zuverlässigkeit der
elektrischen Verbindung stark verbessert. Es wird eine Beschädigung der
elektrischen Verbindung beim Umgang mit und beim Bearbeiten des Bauteils
verhindert.
Ferner wird die Position, an der die Innenelektrodenschicht vorgesehen wird, und die
Größe in Längsrichtung des Elements des Elektronikbauteils mühelos angepasst.
Somit wird ein Elektronikbauteil mit der erforderlichen Größe und den gewünschten
ausgezeichneten Eigenschaften mühelos zur Hand gegeben.
In dem Fall, da die zweite Innenelektrodenlage gegenüber der Innenelektrodenlage
vorgesehen wird, mit einer Lage des Elektronikbauteils dazwischen, bilden die
Innenelektrodenlage und die zweite Innenelektrodenlage einen Kondensator aus.
Die Innenelektrodenlage kann in der Richtung, die im Wesentlichen senkrecht zur
oberen Fläche des Elements des Elektronikbauteils ist, verlaufen oder kann so
angeordnet sein, dass sie die obere Fläche bei einem Winkel von weniger als etwa
90° schneidet.
Der piezoelektrische Resonator verschiedener bevorzugter erfindungsgemäßer
Ausführungen, welcher den Aufbau eines piezoelektrischen Energiefallenresonators
hat, umfasst die flache, plattenförmige Innenelektrodenlage, welche sich von der
oberen Fläche hin zur unteren Fläche erstreckt, wobei die Innenelektrodenlage an
der oberen Fläche in einem vorbestimmten Bereich in Breitenrichtung des
piezoelektrischen Elements freigelegt ist, die Innenelektrodenlage an der unteren
Fläche in einem gewünschten Bereich in der Breitenrichtung des piezoelektrischen
Elements freigelegt ist und die Innenelektrodenlage mit der ersten oder zweiten
Resonanzelektrode elektrisch verbunden ist, und die an der oberen oder unteren
Fläche des piezoelektrischen Elements vorgesehene und mit der
Innenelektrodenlage elektrisch verbundene Verbindungselektrode. Demgemäß kann
der piezoelektrische Resonator über die Oberfläche mit der darauf vorgesehenen
Verbindungselektrode mühelos auf der Oberfläche montiert werden. Ferner wird die
elektrische Verbindung zwischen der Verbindungselektrode und der
Resonanzelektrode durch die Innenelektrodenlage zuverlässig verwirklicht. Somit
wird die Zuverlässigkeit der elektrischen Verbindung zwischen der
Resonanzelektrode und der Verbindungselektrode stark verbessert.
Ferner wird die Position der Innenelektrodenlage und die Größe in Längsrichtung des
piezoelektrischen Elements mühelos angepasst. Daher wird ein unerwünschtes
Ansprechen, welches auf die Länge des piezoelektrischen Elements zurückzuführen
ist, mühelos minimiert und eliminiert. Dies erzeugt einen piezoelektrischen Resonator
mit einer stark verringerten Größe.
In dem Fall, in dem die Innenelektrodenlage die mit der ersten Resonanzelektrode
verbundene erste Innenelektrodenlage und die mit der zweiten Resonanzelektrode
elektrisch verbundene zweite Innenelektrodenlage umfasst, werden die
Verbindungselektroden sowohl an der oberen als auch der unteren Fläche des
piezoelektrischen Elements vorgesehen. Somit kann der piezoelektrische Resonator
über die obere Fläche oder die untere Fläche des piezoelektrischen Elements auf der
Oberfläche montiert werden.
Die Innenelektrodenschicht kann über der gesamten Breite jeder der oberen und
unteren Flächen des piezoelektrischen Elements freigelegt sein oder kann nur über
einem Teil der Breite desselben freigelegt sein.
Die Innenelektrodenschicht kann in der Richtung, die im Wesentlichen senkrecht zu
den oberen und unteren Flächen ist, verlaufen oder kann so angeordnet sein, dass
sie die obere Fläche des piezoelektrischen Elements bei einem Winkel von weniger
als etwa 90° schneidet. Die Form und Größe der Innenelektrodenlage und die
Richtung, in welcher die Innenelektrodenlage die obere Fläche schneidet, werden
entsprechend der Größe des piezoelektrischen Elements und der Position der
Verbindungselektrode geeignet gewählt.
In dem Fall, da die Ladungsabführ-Innenelektrodenlage vorgesehen ist, welche der
Innenelektrodenlage über eine piezoelektrische Schicht gegenüberliegt, um einen
Kondensator auszubilden, und welche die elektrische Ladung aus dem Kondensator
abführt, wird in dem piezoelektrischen Resonator auf einfache Weise ein
Kondensator vorgesehen.
In dem Fall, da die Innenelektrodenlage mindestens einen Spalt oder eine Öffnung
umfasst, sind die piezoelektrischen Lagen an beiden Seiten der Innenelektrodenlage
über den Spalt oder die Öffnung fest miteinander verbunden. Somit wird die
mechanische Festigkeit stark erhöht.
Zwar wurden vorstehend bevorzugte Ausführungen der Erfindung beschrieben, doch
versteht sich, dass für den Fachmann Abänderungen und Abwandlungen nahe
liegen, ohne vom Schutzumfang und Wesen der Erfindung abzuweichen. Der
Schutzumfang der Erfindung wird daher allein durch die folgenden Patentansprüche
festgelegt.
Claims (20)
1. Elektronikbauteil, welches Folgendes umfasst:
ein Element mit einander gegenüberliegenden oberen und unteren Flächen, einem Paar einander gegenüberliegender Seitenflächen und einem Paar einander gegenüberliegender Endflächen, wobei sich das Paar Seitenflächen in Längsrichtung des Elements erstreckt und einander in Breitenrichtung des Elements gegenüberliegt;
eine an der oberen Fläche des Elements des Elektronikbauteils vorgesehene erste Elektrode;
eine an der oberen Fläche des Elements des Elektronikbauteils in einem gewünschten Bereich in der Breitenrichtung so freiliegende flache, plattenförmige erste Innenelektrodenlage, dass sie mit der ersten Elektrode elektrisch verbunden ist, wobei sich die erste Innenelektrodenlage von der oberen Fläche zu der unteren Fläche erstreckt und die erste Innenelektrodenlage an der unteren Fläche in einem gewünschten Bereich in Breitenrichtung freiliegt; und
eine an der unteren Fläche des Elements des Elektronikbauteils vorgesehene und mit der ersten Innenelektrodenlage elektrisch verbundene Verbindungselektrode.
ein Element mit einander gegenüberliegenden oberen und unteren Flächen, einem Paar einander gegenüberliegender Seitenflächen und einem Paar einander gegenüberliegender Endflächen, wobei sich das Paar Seitenflächen in Längsrichtung des Elements erstreckt und einander in Breitenrichtung des Elements gegenüberliegt;
eine an der oberen Fläche des Elements des Elektronikbauteils vorgesehene erste Elektrode;
eine an der oberen Fläche des Elements des Elektronikbauteils in einem gewünschten Bereich in der Breitenrichtung so freiliegende flache, plattenförmige erste Innenelektrodenlage, dass sie mit der ersten Elektrode elektrisch verbunden ist, wobei sich die erste Innenelektrodenlage von der oberen Fläche zu der unteren Fläche erstreckt und die erste Innenelektrodenlage an der unteren Fläche in einem gewünschten Bereich in Breitenrichtung freiliegt; und
eine an der unteren Fläche des Elements des Elektronikbauteils vorgesehene und mit der ersten Innenelektrodenlage elektrisch verbundene Verbindungselektrode.
2. Elektronikbauteil nach Anspruch 1, welches weiterhin eine so angeordnete
zweite Innenelektrodenlage umfasst, dass sie der ersten Innenelektrodenlage
über eine Lage des Elements des Elektronikbauteils gegenüberliegt.
3. Elektronikbauteil nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass sich die erste
Innenelektrodenlage in einer Richtung erstreckt, die im Wesentlichen senkrecht
zur oberen Fläche des Elements des Elektronikbauteils ist.
4. Elektronikbauteil nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens
eine der ersten Innenelektrodenlage und der zweiten Innenelektrodenlage sich
in einer Richtung erstreckt, die im Wesentlichen senkrecht zur oberen Fläche
des Elements des Elektronikbauteils ist.
5. Elektronikbauteil nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die erste
Innenelektrodenlage so angeordnet ist, dass sie die obere Fläche des Elements
bei einem Winkel von weniger als etwa 90° schneidet.
6. Elektronikbauteil nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens
eine der ersten Innenelektrodenlage und der zweiten Innenelektrodenlage so
angeordnet ist, dass sie die obere Fläche des Elements bei einem Winkel von
weniger als etwa 90° schneidet.
7. Elektronikbauteil nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Element
eine längliche, rechteckige Plattenform aufweist.
8. Elektronikbauteil nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass mindestes
eine der oberen Fläche und der unteren Fläche des Elements einen
abgeschrägten Teil beinhaltet.
9. Elektronikbauteil nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass sich die
Verbindungselektrode von einer des Paars Endflächen hin zur anderen des
Paars Endflächen erstreckt.
10. Elektronikbauteil nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Element
ein piezoelektrisches Element ist, welches in der sich von einer des Paars
Endflächen zur anderen des Paars Endflächen erstreckenden Richtung
polarisiert ist.
11. Piezoelektrischer Energiefallen-Resonator, welcher Folgendes umfasst:
ein piezoelektrisches Element mit einer oberen Fläche, einer unteren Fläche, einem Paar einander gegenüberliegender Seitenflächen und einem Paar einander gegenüberliegender erster und zweiter Endflächen, wobei sich das Paar Seitenflächen in Längsrichtung des piezoelektrischen Elements erstreckt und einander in Breitenrichtung des piezoelektrischen Elements gegenüberliegt;
an den oberen bzw. unteren Flächen des piezoelektrischen Elements vorgesehene erste und zweite Resonanzelektroden, wobei sich die erste Resonanzelektrode von einer durch die erste Endfläche und die obere Fläche ausgebildeten Kante hin zur zweiten Endfläche erstreckt, die zweite Resonanzelektrode sich von einer durch die zweite Endfläche und die untere Fläche ausgebildeten Kante hin zur ersten Endfläche erstreckt, die ersten und zweiten Resonanzelektroden so angeordnet sind, dass sie einander etwa in der Mitte des piezoelektrischen Elements in Längsrichtung überlappen;
eine flache, plattenförmige Innenelektrodenlage, welche an der oberen Fläche in einem gewünschten Bereich in Breitenrichtung des piezoelektrischen Elements freiliegt, wobei sich die Innenelektrodenlage von der oberen Fläche hin zur unteren Fläche erstreckt, die Innenelektrodenlage an der unteren Fläche in einem gewünschten Bereich in Breitenrichtung des piezoelektrischen Elements freiliegt und die Innenelektrodenlage mit der ersten oder zweiten Resonanzelektrode elektrisch verbunden ist; und
eine an der oberen oder unteren Fläche des piezoelektrischen Elements vorgesehene und mit der Innenelektrodenlage elektrisch verbundene Verbindungselektrode.
ein piezoelektrisches Element mit einer oberen Fläche, einer unteren Fläche, einem Paar einander gegenüberliegender Seitenflächen und einem Paar einander gegenüberliegender erster und zweiter Endflächen, wobei sich das Paar Seitenflächen in Längsrichtung des piezoelektrischen Elements erstreckt und einander in Breitenrichtung des piezoelektrischen Elements gegenüberliegt;
an den oberen bzw. unteren Flächen des piezoelektrischen Elements vorgesehene erste und zweite Resonanzelektroden, wobei sich die erste Resonanzelektrode von einer durch die erste Endfläche und die obere Fläche ausgebildeten Kante hin zur zweiten Endfläche erstreckt, die zweite Resonanzelektrode sich von einer durch die zweite Endfläche und die untere Fläche ausgebildeten Kante hin zur ersten Endfläche erstreckt, die ersten und zweiten Resonanzelektroden so angeordnet sind, dass sie einander etwa in der Mitte des piezoelektrischen Elements in Längsrichtung überlappen;
eine flache, plattenförmige Innenelektrodenlage, welche an der oberen Fläche in einem gewünschten Bereich in Breitenrichtung des piezoelektrischen Elements freiliegt, wobei sich die Innenelektrodenlage von der oberen Fläche hin zur unteren Fläche erstreckt, die Innenelektrodenlage an der unteren Fläche in einem gewünschten Bereich in Breitenrichtung des piezoelektrischen Elements freiliegt und die Innenelektrodenlage mit der ersten oder zweiten Resonanzelektrode elektrisch verbunden ist; und
eine an der oberen oder unteren Fläche des piezoelektrischen Elements vorgesehene und mit der Innenelektrodenlage elektrisch verbundene Verbindungselektrode.
12. Piezoelektrischer Resonator nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass
die Innenelektrodenlage eine mit der ersten Resonanzelektrode verbundene
erste Innenelektrodenlage und eine mit der zweiten Resonanzelektrode
elektrisch verbundene zweite Innenelektrodenlage beinhaltet.
13. Piezoelektrischer Resonator nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass
die Innenelektrodenlage an jeder der oberen und unteren Fläche des
piezoelektrischen Elements über die gesamte Breite desselben freiliegt.
14. Piezoelektrischer Resonator nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass
die Innenelektrodenlage an der unteren Fläche des piezoelektrischen Elements
über einen Teil der Breite desselben freiliegt.
15. Piezoelektrischer Resonator nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass
sich die Innenelektrodenlage in einer Richtung erstreckt, die im Wesentlichen
senkrecht zu den oberen und unteren Flächen des piezoelektrischen Elements
ist.
16. Elektronikbauteil nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens
eine der ersten Innenelektrodenlage und der zweiten Innenelektrodenlage sich
in einer Richtung erstreckt, die im Wesentlichen senkrecht zu den oberen und
unteren Flächen des piezoelektrischen Elements ist.
17. Piezoelektrischer Resonator nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass
die Innenelektrodenlage so angeordnet ist, dass sie die obere Fläche des
piezoelektrischen Elements bei einem Winkel von weniger als etwa 90°
schneidet.
18. Piezoelektrischer Resonator nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass
mindestens eine der ersten Innenelektrodenlage und der zweiten
Innenelektrodenlage so angeordnet ist, dass sie die obere Fläche des
piezoelektrischen Elements bei einem Winkel von weniger als etwa 90°
schneidet.
19. Piezoelektrischer Resonator nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass
eine Ladungsabführ-Innenelektrodenschicht, welche einen Kondensator bildet
und die Ladung von dem Kondensator abführt, so angeordnet ist, dass sie der
Innenelektrodenschicht über eine Lage des piezoelektrischen Elements
gegenüberliegt.
20. Piezoelektrischer Resonator nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass
das piezoelektrische Element in einer Richtung polarisiert ist, die sich von einer
der ersten und zweiten Endflächen zur anderen der ersten und zweiten
Endflächen erstreckt.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000-339232 | 2000-11-07 | ||
JP2000339232A JP3506113B2 (ja) | 2000-11-07 | 2000-11-07 | 電子部品 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE10154168A1 true DE10154168A1 (de) | 2002-05-16 |
DE10154168B4 DE10154168B4 (de) | 2011-01-13 |
Family
ID=18814331
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE10154168A Expired - Fee Related DE10154168B4 (de) | 2000-11-07 | 2001-11-05 | Elektronikbauteil |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6806626B2 (de) |
JP (1) | JP3506113B2 (de) |
CN (1) | CN1200511C (de) |
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---|---|
US6806626B2 (en) | 2004-10-19 |
CN1200511C (zh) | 2005-05-04 |
CN1353502A (zh) | 2002-06-12 |
JP2002152005A (ja) | 2002-05-24 |
JP3506113B2 (ja) | 2004-03-15 |
DE10154168B4 (de) | 2011-01-13 |
US20020084724A1 (en) | 2002-07-04 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
R020 | Patent grant now final |
Effective date: 20110413 |
|
R119 | Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee |
Effective date: 20130601 |