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실리콘 질화물 층을 선택적으로 증착하는 방법, 및 선택적으로 증착된 실리콘 질화물 층을 포함하는 구조체
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KR20200130652A
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ウェハボートハンドリング装置、縦型バッチ炉および方法
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USD922229S1
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KR20200141002A
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2020-12-17 |
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KR20200141931A
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2019-06-10 |
2020-12-21 |
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석영 에피택셜 챔버를 세정하는 방법
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KR20200143254A
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개질 가스를 사용하여 전자 구조를 형성하는 방법, 상기 방법을 수행하기 위한 시스템, 및 상기 방법을 사용하여 형성되는 구조
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USD944946S1
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KR20210005515A
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실리콘 게르마늄 구조를 형성하는 방법
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토폴로지-제어된 비정질 탄소 중합체 막을 형성하는 방법
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KR20210018759A
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KR20210018761A
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USD930782S1
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USD949319S1
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KR20210024423A
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활성 종을 이용하기 위한 가스 분배 어셈블리를 포함한 반응기 시스템 및 이를 사용하는 방법
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기판 표면 상의 갭 피처를 충진하는 방법 및 이와 관련된 반도체 소자 구조
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