CN206527100U - 板边清洗系统 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种板边清洗系统,用以清洗一板材的侧边。该板边清洗系统包括一输送装置及三个清洗装置。该输送装置用以将该板材从一起始站沿一输送路径移送到一中继站,并先于该中继站将该板材转向九十度后再沿着该输送路径移送到一终点站。该第一清洗装置系设于该输送路径的一旁,用以在该板材被从该起始站移送至该中继站的过程中,清洗该板材的一长边。该第二及第三清洗装置系分别设于该输送路径的两旁且彼此相正对,用以在该板材被转向九十度后从该中继站移送至该终点站的过程中,同时清洗该板材的两短边。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种清洗系统,尤其是一种用于清洗液晶面板、OLED面板、电路板、玻璃板等板材之侧边的板边清洗系统。
背景技术
早期对于液晶面板的板边清洗方式,系以人工方式将一液晶面板依序运送至三台独立之丙酮清洗机、超音波清洗机及电浆清洗机中进行,而前述各清洗机于清洗时,每清洗完一板边便需以人工之方式将该液晶面板换边,例如于该液晶面板的四个板边分别依序经过该丙酮清洗机清洗完成后,再将该液晶面板送至该超音波清洗机以再次依序对该四个板边分别清洗,最后再将该液晶面板送至该电浆清洗机并再次依序对该四个板边分别清洗,相当浪费人力及时间。
已被核准之台湾公告I286952专利揭露一种自动清洗机,已可有效解决前述浪费人力及时间之问题。
发明内容
本实用新型的目的是提供一种改良的板边清洗系统,其可同时清洗多个板材的多个侧边,充分利用每一清洗或移载机具,有效提升清洗效率。
具体而言,该板边清洗系统,用以清洗一板材的侧边,其中该板材具有一第一侧边以及垂直于该第一侧边且相对的一第二侧边及一第三侧边。该板边清洗系统包括一输送装置以及三个清洗装置。其中,该输送装置用以将该板材从一起始站沿一输送路径移送到一中继站,并先于该中继站将该板材转向九十度后再沿着该输送路径移送到一终点站。该第一清洗装置设于该输送路径的一旁,用以在该板材被从该起始站移送至该中继站的过程中,清洗该板材的第一侧边。该第二及第三清洗装置系分别设于该输送路径的两旁且彼此相正对,用以在该板材被转向九十度后从该中继站移送至该终点站的过程中,同时清洗该板材的第二及第三侧边。
较佳地,该第一清洗装置具有一清洗通道及设于该清洗通道旁的一清洗机构,其中该清洗通道系平行于该输送路径,且在该板材经过该清洗装置时,该板材的第一侧边会通过该清洗通道,而被该清洗机构清洗。
较佳地,该第二与第三清洗装置各具有一清洗通道及设于该清洗通道旁的一清洗机构,其中该两清洗通道皆平行于该输送路径,且在该板材经过该第二与第三清洗装置时,该板材的第二与第三侧边会分别通过该第二与第三清洗装置的对应清洗通道,而被其对应的清洗机构清洗。
较佳地,该第二与第三清洗装置之间的相对距离系可调整。
较佳地,该输送装置包括一主轨道、一第一载台、一第二载台及一吸取装置,该主轨道形成该输送路径,该第一与第二载台系可滑移地设于该主轨道上,供承载该板材,而该吸取装置系被安排在该板材位于该中继站时,将该板材从该第一载台转移至该第二载台。
较佳地,该第二载台及该吸取装置的任一者更用以将位于该中继站的板材转向九十度。
较佳地,该板边清洗系统更包括一间距调整装置,其包括一横向轨道、设于该横向轨道上的一载台及用以驱动该载台于该横向轨道上滑移的一驱动装置,该第三清洗装置设于该载台上而可相对该第二清洗装置位移,借以调整该第二与第三清洗装置的间距。
此外,本实用新型亦提供一种板边清洗系统,用以清洗一板材的两相对侧边,该板边清洗系统包括一输送装置及两清洗装置。该输送装置系用以将该板材从一起始站沿一输送路径移送到一终点站。该两清洗装置系分别设于该输送路径的两旁且彼此相正对,用以在该板材被移送至该终点站的过程中,同时清洗该板材的两相对侧边。其中,该两清洗装置之间的距离是可调整的。
较佳地,该两清洗装置各具有一清洗通道及设于该清洗通道旁的一清洗机构,该些清洗通道皆平行于该输送路径,且在该板材经过该两清洗装置时,该板材的两相对侧边会分别通过该两清洗装置的对应清洗通道,而被其对应的清洗机构清洗。
此外,本实用新型亦提供一种板边清洗系统,用以清洗一板材的侧边,其中该板材具有一第一侧边以及垂直于该第一侧边且相对的一第二侧边及一第三侧边,该板边清洗系统包括一输送装置、一第一清洗装置及相正对的一第二清洗装置与一第三清洗装置,其中:该输送装置,用以将该板材从一起始站沿一输送路径移送到一中继站,并先于该中继站将该板材转向九十度后再沿着该输送路径移送到一终点站;该第二及第三清洗装置,分别设于该输送路径的两旁且彼此相正对,用以在该板材被从该起始站移送至该中继站的过程中,同时清洗该板材的第二及第三侧边;及该第一清洗装置,设于该输送路径的一旁,用以在该板材被转向九十度后从该中继站移送至该终点站的过程中,清洗该板材的第一侧边。
附图说明
附图1为本实用新型的板边清洗系统的立体结构示意图;
附图2为附图1的板边清洗系统的平面示意图;
附图3为附图1的板边清洗系统的一局部侧视图;
附图4为附图1的板边清洗系统的另一局部侧视图;
附图5至附图8分别示意该板边清洗系统清洗板材的过程。
其中:
100、板边清洗系统;
1、第一清洗装置;10、清洗通道;11、清洗机构;111、超音波清洗装置;112、丙酮清洗装置;113、电浆清洗装置;
2、第二清洗装置;20、清洗通道;
3、第三清洗装置;30、清洗通道;
4、输送装置;40、主轨道;41、第一载台;410、滑座;411、平台;
42、第二载台;420、滑座;421、平台;43、吸取装置;
5、6、板材;
7、间距调整装置;71、横向轨道;72、载台;73、驱动装置。
具体实施方式
下面结合附图和具体的实施例来对本实用新型的技术方案作进一步的阐述。
附图1至附图4显示为本实用新型的板边清洗系统100的一个较佳实施例,其大致包括一第一清洗装置1、一第二清洗装置2、一第三清洗装置3及一输送装置4,借以有效率地同时清洗多个板材5、6之多个侧边。该些板材5、6系指各种液晶面板、OLED面板、电路板、玻璃板等板材或基板,且可为硬板或软板。
如附图1及附图2所示,该输送装置4包括一主轨道40、一第一载台41、一第二载台42及一吸取装置43。该输送装置4系用于将一板材5从一起始站(附图5)沿一输送路径,途经一中继站(附图6),再输送到一终点站(附图8)。该主轨道40系从该起始站延伸一预定长度至该终点站,形成该输送路径。该第一载台41及该第二载台42系可滑移地设于该主轨道40上。该吸取装置43系位于该第一与第二载台41、42之间的一中继站的正上方。
在此实施例中,该板材5起先是被放置在该第一载台41上,当该第一载台41沿该主轨道40从该起始站移动到该中继站时,该吸取装置43会下移到该第一载台41上,并在吸取到该第一载台41上的该板材5后随即上升返回原位。与此同时,该第一载台41会沿该主轨道40返回该起始站,以供另一片板材6放置,如附图7所示。另一方面,该第二载台42在该第一载台41往该起始站移动之后,随即从终点站沿该主轨道40移动到该中继站。待该第二载台42到达该中继站后,该吸取装置43立即下移以将该板材5下放至该第二载台42,并在释放该板材5后随即上升返回原位。此外,该吸取装置43可先转动该板材5九十度之后再执行前述的下移及释放之运作。另一个作法是使该吸取装置43直接下移并释放该板材5于该第二载台42上,在藉由该第二载台42将该板材5转动九十度。无论如何,在该板材5从该中继站沿该主轨道40被移送往该终点站之前,该板材5需先被转动九十度,而这个转动动作可藉由该吸取装置43或该第二载台42来完成。
复参阅附图1,该第一载台41包括一滑座410及一平台411。该滑座410系滑设于该主轨道40上,而该平台411可在该滑座410上移动,该平台411的移动方向垂直于该主轨道40的延伸方向,亦即若该主轨道40是沿一X轴延伸,则该平台411是在一XY平面上沿着Y轴移动。该平台411是用来放置该板材5。该第二载台42系相同于第一载台41,容不赘述。
参阅附图3,该第一清洗装置1位于该主轨道40的一旁,且位在该起始站与该中继站之间。该第一清洗装置1具有平行于该主轨道40的一清洗通道10及一清洗机构11。该清洗机构11邻近该清洗通道10,且依序包括一超音波清洗装置111、一丙酮清洗装置112及一电浆清洗装置113。另一方面,该第二与第三清洗装置2、3分别位于该主轨道40的两旁且彼此相正对。其中,该第二清洗装置2具有平行于该主轨道40的一清洗通道20,该第三清洗装置3亦具有平行于该主轨道40的一清洗通道30。该第二清洗装置2具有一清洗机构(图未显示),位于该清洗通道20的旁边。该第三清洗装置3亦具有一清洗机构(图未显示),位于该清洗通道30的旁边。
该第一、第二与第三清洗装置1、2、3的清洗机构可为相同配置,亦可为不同配置。在此实施例中,该第一、第二与第三清洗装置1、2、3的清洗机构为相同配置,且各清洗机构皆至少具有一丙酮清洗模组。较佳地,任一清洗机构皆如该第一清洗装置1般包括沿该板材5移动方向而依序排列之一超音波清洗装置111、一丙酮清洗装置112及一电浆清洗装置113,此三者分别可选用台湾公告I286952专利中所揭露的超音波清洗装置、丙酮清洗装置与电浆清洗装置,容不赘述。
参阅附图1并配合附图5,位于该起始站的该第一载台41,其平台411于承载该板材5之后,会先在其滑座410上沿Y轴移动到一侦测位置,由一第一侦测装置(图中未示)来侦测该板材5是否位于正确的清洗位置,也就是该板材5之一侧边(例如长边)是否与该第一清洗装置1之清洗通道10对齐,该第一侦测装置的功能与运作,请参见台湾公告I286952专利中所揭露的侦测装置,容不赘述,该平台411不但可如前述移动,也具有转动能力,因此,该平台411可根据该第一侦测装置侦测结果,将其上的板材5调整到正确的清洗位置。一旦该板材5被调整到正确的清洗位置,该第一载台41续将该板材5从该起始站带往该中继站(如附图6所示)。
此外,由于该板材5已位在正确的清洗位置,故当该第一载台41从将该板材5从该起始站移往该中继站之期间,该第一载台41上的该板材5的该侧边(长边)就刚好经过该清洗通道10,并由该清洗机构11对该侧边进行清洗。当该第一载台41到达该中继站时,该板材5的该侧边(长边)就完全脱离该清洗通道10,且从头到尾被该清洗机构11清洗过;且与此同时,该吸取装置43执行上述下移、吸取、上升、再下移、及释放之交接运作,用以将该第一载台41上的该板材5交给位于该中继站的该第二载台42,且如同上述地,该板材5此时已被转动九十度。
接着,该第二载台42的一平台421会在其滑座420上沿Y轴移动到一侦测位置,由一第二侦测装置(图中未示)来侦测该板材5是否位于正确的清洗位置,也就是该板材5之另一侧边(例如短边)是否与该第二清洗装置2之清洗通道20对齐,该第二侦测装置的功能与运作,请参见台湾公告I286952专利中所揭露的侦测装置,容不赘述。该平台421不但可如前述移动,也具有转动能力,因此,该平台421可根据该第二侦测装置侦测结果,将其上的板材5调整到正确的清洗位置。一旦该板材5调整到正确的清洗位置,该第二载台42就会将该板材5从该中继站(如附图7所示)移送往该终点站(如附图8所示)。
此外,由于该板材5已位在正确的清洗位置,故当该第二载台42将该板材5从该中继站移往该终点站之期间,该第二载台42上的该板材5的两相对侧边(在此实施例中是两短边)恰分别对应经过该两清洗通道20、30,并由该第二清洗装置2的清洗机构与该第三清洗装置3的清洗机构分别对该板材5的两相对侧边进行清洗。当该第二载台42抵达该终点站时,该板材5的该两相对侧边已完全脱离该两清洗通道20、30,且从头到尾被对应的清洗机构清洗过,至此即完成该板材5上述各边(共3个边)之清洗的作业。随后,一取出装置(图中未示)会将位于该终点站之第二载台42上的该板材5取出运往下一制程。另一方面,该第二载台42会在该第一载台41往该起始站移动之后开始往该中继站移动,以便接取另一片板材6,如附图8所示。
又,该第二与第三清洗装置2、3之间的间距是可调整的。在本实施例中,该板边清洗系统100更包括一间距调整装置7,其包括一横向轨道71、设于该横向轨道上的一载台72及用以驱动该载台72于该横向轨道71上滑移的一驱动装置73。该第三清洗装置3系设于该载台72上而可相对该第二清洗装置2位移,借以调整该第二与第三清洗装置2、3的间距,以因应不同宽度的板材。
在上述较佳实施例中,该板材5是从该起始站往该终点站移动,然而也可以稍微更改设计,让该起始站与该终点站互调,此时,该板材5即往反方向移动,也就是说,该板材5会先经过第二与第三清洗装置2、3而被清洗其两相对侧边(即:两短边),然后再经过该第二清洗装置2而再被清洗其另一侧边(即:其中一长边) 。
另外,上述第一清洗装置1并非必要在只需要洗两相对侧边或洗四侧边的场合时亦可省略之。其中,若是要洗四侧边,可让该板材5的两相对侧边(例如两长边)先经过第二与第三清洗装置2、3的该清洗通道20、30,以完成该两相对侧边的清洗,然后,让该板材5转动九十度后,并调整该第二与第三清洗装置2、3之间的间距,使其适应转动九十度后的该板材5,之后再让该板材5再次经过第二与第三清洗装置2、3的该两清洗通道20、30,如此即可清洗完成该板材5的另两相对侧边(例如两短边)。
藉由上述设置,本实用新型之板边清洗系统可同时清洗多个板材之多个侧边,充分利用每一清洗或移载的机具,有效提升清洗效率。
上述实施例只为说明本实用新型的技术构思及特点,其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本实用新型的内容并加以实施,并不能以此限制本实用新型的保护范围,凡根据本实用新型精神实质所作的等效变化或修饰,都应涵盖在本实用新型的保护范围内。
Claims (10)
1.一种板边清洗系统,用以清洗一板材的侧边,其中该板材具有一第一侧边以及垂直于该第一侧边且相对的一第二侧边及一第三侧边,其特征在于:该板边清洗系统包括:
一输送装置,用以将该板材从一起始站沿一输送路径移送到一中继站,并先于该中继站将该板材转向九十度后再沿着该输送路径移送到一终点站;
一第一清洗装置,设于该输送路径的一旁,用以在该板材被从该起始站移送至该中继站的过程中,清洗该板材的第一侧边;及
第二及第三清洗装置,分别设于该输送路径的两旁且彼此相正对,用以在该板材被转向九十度后从该中继站移送至该终点站的过程中,同时清洗该板材的第二及第三侧边。
2.如权利要求1所述的板边清洗系统,其特征在于:其中该第一清洗装置具有一清洗通道及设于该清洗通道旁的一清洗机构,该清洗通道平行于该输送路径,且在该板材经过该清洗装置时,该板材的第一侧边会通过该清洗通道,而被该清洗机构清洗。
3.如权利要求1所述的板边清洗系统,其特征在于:其中该第二与第三清洗装置各具有一清洗通道及设于该清洗通道旁的一清洗机构,该两清洗通道皆平行于该输送路径,且在该板材经过该第二与第三清洗装置时,该板材的第二与第三侧边会分别通过该第二与第三清洗装置的对应清洗通道,而被其对应的清洗机构清洗。
4.如权利要求1所述的板边清洗系统,其特征在于:其中该第二与第三清洗装置之间的相对距离系可调整。
5.如权利要求1所述的板边清洗系统,其特征在于:其中该输送装置包括一主轨道、一第一载台、一第二载台及一吸取装置,该主轨道形成该输送路径,该第一与第二载台系可滑移地设于该主轨道上,供承载该板材,而该吸取装置系被安排在该板材位于该中继站时,将该板材从该第一载台转移至该第二载台。
6.如权利要求5所述的板边清洗系统,其特征在于:其中该第二载台及该吸取装置的任一者更用以将位于该中继站的板材转向九十度。
7.如权利要求5所述的板边清洗系统,其特征在于:该板边清洗系统还包括一间距调整装置,其包括一横向轨道、设于该横向轨道上的一载台及用以驱动该载台于该横向轨道上滑移的一驱动装置,该第三清洗装置设于该载台上而可相对该第二清洗装置位移,借以调整该第二与第三清洗装置的间距。
8.一种板边清洗系统,用以清洗一板材的四侧边,其特征在于:该板边清洗系统包括:
一输送装置,包括一主轨道及一载台,用以将该板材从一起始站沿一输送路径移送到一终点站,其中该主轨道形成该输送路径,该载台系可滑移地设于该主轨道上,供承载该板材,该载台更能将所承载之板材转向九十度;及
两清洗装置,分别设于该输送路径的两旁且彼此相正对,用以在该板材从该起始站被移送至该终点站的过程中,同时清洗该板材的其中一对侧边,并在该板材被转九十度后从该终点站送回至该起始站的过程中,同时清洗该板材的另一对侧边;
其中,该两清洗装置之间的距离是可调整的。
9.如权利要求8所述的板边清洗系统,其特征在于:其中该两清洗装置各具有一清洗通道及设于该清洗通道旁的一清洗机构,该些清洗通道皆平行于该输送路径,且在该板材经过该两清洗装置时,该板材的两相对侧边会分别通过该两清洗装置的对应清洗通道,而被其对应的清洗机构清洗。
10.一种板边清洗系统,用以清洗一板材的侧边,其中该板材具有一第一侧边以及垂直于该第一侧边且相对的一第二侧边及一第三侧边,其特征在于:该板边清洗系统包括一输送装置、一第一清洗装置及相正对的一第二清洗装置与一第三清洗装置,其中:
该输送装置,用以将该板材从一起始站沿一输送路径移送到一中继站,并先于该中继站将该板材转向九十度后再沿着该输送路径移送到一终点站;
该第二及第三清洗装置,分别设于该输送路径的两旁且彼此相正对,用以在该板材被从该起始站移送至该中继站的过程中,同时清洗该板材的第二及第三侧边;及
该第一清洗装置,设于该输送路径的一旁,用以在该板材被转向九十度后从该中继站移送至该终点站的过程中,清洗该板材的第一侧边。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
TW105135174A TWI626091B (zh) | 2016-10-28 | 2016-10-28 | 板邊清洗系統 |
TW105135174 | 2016-10-28 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN206527100U true CN206527100U (zh) | 2017-09-29 |
Family
ID=59870798
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201720135565.XU Expired - Fee Related CN206527100U (zh) | 2016-10-28 | 2017-02-15 | 板边清洗系统 |
CN201710081182.3A Active CN107185896B (zh) | 2016-10-28 | 2017-02-15 | 板边清洗系统 |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201710081182.3A Active CN107185896B (zh) | 2016-10-28 | 2017-02-15 | 板边清洗系统 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
CN (2) | CN206527100U (zh) |
TW (1) | TWI626091B (zh) |
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-
2016
- 2016-10-28 TW TW105135174A patent/TWI626091B/zh active
-
2017
- 2017-02-15 CN CN201720135565.XU patent/CN206527100U/zh not_active Expired - Fee Related
- 2017-02-15 CN CN201710081182.3A patent/CN107185896B/zh active Active
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107185896A (zh) * | 2016-10-28 | 2017-09-22 | 旭东机械(昆山)有限公司 | 板边清洗系统 |
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW201815488A (zh) | 2018-05-01 |
CN107185896B (zh) | 2023-06-16 |
TWI626091B (zh) | 2018-06-11 |
CN107185896A (zh) | 2017-09-22 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
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|
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |