CN1808055A - 坐标检测装置及被检测体检查装置 - Google Patents

Abstract

本发明将点光直接照射在被检测体上，稳定地检测出高精度的坐标位置。在被检测体检查装置的摆动保持架(9)上承载玻璃基板(8)，并设置有可在该玻璃基板(8)的表面上沿X轴方向移动的导向杆(40)。在导向杆(40)上设置有用于向玻璃基板(8)的缺陷照射点光的激光头(44)，并使该激光头(44)可通过第二带(42)沿Y轴方向移动。点光的光束以角度α照射。在进行宏观观察时，通过操作部使导向杆(40)与激光头(44)沿X轴和Y轴方向移动，从而使玻璃基板(8)上的点光移动到缺陷上。以此时各电动机的驱动量作为位置信息，通过坐标检测部求出坐标数据。使具有显微镜功能的观察部移动到坐标位置，以进行缺陷的微观观察。

Description

坐标检测装置及被检测体检查装置

技术领域

本发明涉及一种坐标检测装置，其对例如用于平板显示器的玻璃基板等各种被检测体中存在的缺陷等特定部位的坐标进行检测以及根据该坐标数据对特定部位进行观察的被检测体检查装置。

背景技术

以往公知有用来检查液晶显示器等平板显示器所使用的玻璃基板表面的缺陷的基板检查装置。这种基板检查装置进行宏观观察和微观观察，所述宏观观察是将照明光照射到玻璃基板表面，通过目视观察其反射光的光学变化，以检测玻璃基板表面的损伤或膜不均匀、灰尘附着等缺陷；所述微观观察是将通过该宏观观察检测到的缺陷放大进行观察。为了检测出通过宏观观察检测到的缺陷等特定部位的坐标，该基板检测装置使用坐标检测装置。

例如，在下述专利文献1中，设置有可沿着保持架的对置的两侧缘在玻璃基板上移动的杆状投射部件，上述保持架上承载有作为被检测体的玻璃基板，还设置有可沿着与该投射部件平行的保持架一侧缘移动的导向移动部。在该导向移动部上设置有反射镜，该反射镜反射从固定于保持架角部的激光光源射出的激光，并使其照射到投射部件上。并且，通过使投射部件与导向移动部沿X-Y轴方向移动，以使激光在投射部件上的照射位置与玻璃基板的缺陷位置一致，这样，根据该各移动量检测出缺陷的坐标位置。

另外，在专利文献2中，设置有可在承载有作为被检测体的玻璃基板的保持架上移动的杆状发光件，该发光件由沿其长度方向排列的多个发光元件构成。而且，使发光件沿着玻璃基板表面移动以使发光件与缺陷对置，并且在将该发光件定位于玻璃基板上的缺陷位置的状态下，顺次点亮多个发光元件，在处于与缺陷对置的位置上的发光元件点亮的状态下，根据发光件的移动量和点亮的发光元件的位置来检测出缺陷的坐标位置。

专利文献1：特开2002-82067号公报

专利文献2：国际公开WO03/002934号公报

然而，该专利文献1、2中记载的坐标检测装置需要离开玻璃基板的上表面，以使确定缺陷的位置坐标的投射部件或发光件不会与玻璃基板接触。考虑到玻璃基板与投射部件或发光件彼此在上下方向上的振动，玻璃基板与投射部件或发光件之间的间隙需要是数mm左右的间隙，因此导致缺陷指示为间接指示。为此，在作业者通过目视进行缺陷位置与照射部或点亮的发光件的位置确定时，存在因作业者相对基板的观察角度导致产生坐标位置的读取误差的缺点。特别是作为检查对象的液晶显示器用玻璃基板(母玻璃基板)，出现了一边超过2000mm的情况。在将该大型玻璃基板保持在保持架上、并使其倾斜给定角度(例如60°)地进行宏观观察时，由于在大型玻璃基板的上方与下方观察角度会产生大的变化，因此，对于大型玻璃基板上方的缺陷和下方的缺陷来说，在坐标位置上会产生大的误差。

发明内容

本发明就是鉴于这种情况而提出的，其目的是提供一种坐标检测装置及被检测体检查装置，将点光直接照射到被检测体上，并可稳定地检测出精度高的坐标位置。

本发明的坐标检测装置，其特征在于，包括：用于保持被检测体的保持架；可在所述被检测体的表面上移动的导向部件；指示装置，设置在该导向部件上，并可使照射在所述被检测体上的点光沿着与所述导向部件的移动方向交叉的方向移动；操作部，用于移动所述被检测体上的所述点光的照射位置；以及坐标检测部，用于根据与所述被检测体上的所述点光的所述照射位置有关的位置信息求出坐标数据。

根据本发明，对于被检测体的特定位置，使导向部件以与被检测体的表面对置的非接触方式移动，通过指示装置使点光沿着与导向部件的移动方向交叉的方向移动，由此，可从与被检测体对置的导向部件直接向被检测体照射点光。并且，通过坐标检测部求出与被检测体上点光照射位置有关的坐标数据。在这种情况下，从在被检测体的表面上移动的导向部件的指示装置直接向被检测体的特定部位照射点光，从而能够更稳定地得到精度高的坐标数据。

本发明的坐标检测装置，在以给定的倾斜角度保持被检测体的状态下，从上方照射宏观照明光，目视观察所述被检测体上的缺陷，其特征在于，包括：摆动保持架，用于保持所述被检测体，并可立起至所述给定倾斜角度；导向部件，其设置在所述摆动保持架上，并可在所述被检测体的表面上移动；指示装置，其设置在所述导向部件上，并使照射到所述被检测体上的点光沿着与所述导向部件的移动方向交叉的方向移动；操作部，用于使所述导向部件和所述指示装置分别移动，并根据所述点光的照射位置指定所述被检测体上的缺陷；以及坐标检测部，根据所述导向部件和所述点光的各位置的坐标数据求出由所述指示装置指定的缺陷位置的坐标数据。

根据本发明，即使将摆动保持架立起至观察者容易进行宏观观察的角度，由于在该摆动保持架上一体地设置有导向部件与指示装置，所以，无论摆动保持架倾斜至何种角度，都能使指示装置的点光准确地对准检查者通过目视检测出的缺陷。

本发明的被检测体检查装置，可对被检测体的特定部位进行微观观察，其特征在于，包括：用于保持所述被检测体的保持架；可在所述被检测体的表面上移动的导向部件；指示装置，设置在该导向部件上，并使照射到所述被检测体上的点光沿着与所述导向部件的移动方向交叉的方向移动；操作部，用于移动所述被检测体上的所述点光的照射位置；坐标检测部，用于根据与所述被检测体上的所述点光的所述照射位置有关的位置信息求出坐标数据；以及微观观察部；通过向所述被检测体的所述特定部位照射所述点光，来利用所述坐标检测部求出所述特定部位的坐标数据，并使所述微观观察部相对移动到该坐标数据位置，以进行显微镜观察。

根据本发明，对于被检测体的缺陷等特定部位，通过操作操作部来使导向部件以非接触的方式在被检测体的表面上移动，通过指示装置使点光沿着与导向部件的移动方向交叉的方向移动，由此，可从与被检测体对置的导向部件直接向被检测体的特定部位照射点光。并且，通过坐标检测部求出与特定部位的点光照射位置有关的坐标数据，通过使微观观察部相对移动到该坐标数据的位置，可进行缺陷等特定部位的显微镜观察。

根据本发明的坐标检测装置及被检测体检查装置，对于被检测体上的任意部位，可从与被检测体对置的导向部件直接投射点光，并且可以使指示装置与被检测体的距离以及点光光束的投射角度固定，能使在投射点光的被检测体上的坐标的检测精度提高，不管点光照射位置如何，都能得到稳定的检测精度。

附图说明

图1是本发明第一实施方式的被检测体检查装置的概略结构图。

图2是图1中所示被检测体检查装置的侧视图。

图3是图1中所示被检测体检查装置的坐标检测装置的局部立体图。

图4是安装在第二带上的激光头的立体图。

图5是表示将点光照射在玻璃基板上的缺陷处的状态的激光头的侧视图。

图6是表示坐标检查装置的控制驱动系统的方框图。

图7是第二实施方式的被检测体检查装置的坐标检测装置的局部立体图。

标号说明

1：被检测体检查装置；3、70：坐标检测装置；5：微观观察单元；8：玻璃基板(被检测体)；9：摆动保持架；18：微观观察部；21：物镜；33、34：导轨；35、36：第一带；40：导向杆(导向部件)；40a：遮光部件；42：第二带；44、72：激光头(点光源)；M1、M2、M3：电动机；k：缺陷(特定部位)；s：点光。

具体实施方式

下面，根据附图，对具有本发明实施方式的坐标检测装置的被检测体检查装置进行说明。

图1至图6表示第一实施方式，图1是被检测体检查装置的概略立体图，图2是被检测体检查装置的侧视图，图3是坐标检测装置主要部分的立体图，图4是激光头的立体图，图5是激光头的侧视图，图6是控制驱动系统的方框图。

图1及图2中所示的被检测体检查装置1具有装置主体2和通过配线与装置主体2连接的控制单元6，作为装置主体2，具有坐标检测装置3和设置在基座4上的微观观察单元5(观察部)。

在装置主体2中，在基座4上设置有用于保持作为被检测体的玻璃基板8的摆动保持架9。摆动保持架9例如形成为四边形框架形状，其通过四边的框架部来承载玻璃基板8。玻璃基板8用于液晶显示器等平板显示器，通过设置在摆动保持架9的两边上的多个基准销9a和分别设置在另外两边上的按压部件9b，来将玻璃基板8定位在基准位置上。而且，在摆动保持架9的周缘部上，沿全周设置有未图示的多个孔(吸附垫)，通过这些孔来吸附玻璃基板8，从而将玻璃基板8吸附保持在摆动保持架9上。

另外，如图2所示，摆动保持架9可以通过设置在基座4一端边缘上的支轴10(摆动轴)转动，从而从水平状态立起到检查者容易目视观察的角度θ(例如45°～60°)。支轴10通过带轮11和带12与电动机M1的旋转轴13连接，并由电动机M1旋转驱动。这样构成摆动装置。

在本实施方式中，示出了相对检查者向前后方向摆动的单轴摆动保持架的一个示例，但是，也可以使用：向前后左右摆动的双轴摆动保持架、或向前后左右自由地转动摆动的平行连杆(parallel link)、或者使用了多关节机器人的摆动保持架。

在装置主体2中，在基座4上，沿摆动保持架9的两侧，沿着Y轴方向对置排列有微观观察单元5用的第一导轨15、16，微观观察单元5可沿着该第一导轨15、16移动。微观观察单元5具有门型支撑部17和微观观察部18。微观观察部18可沿着微观观察部用的第二导轨(未图示)移动，该第二导轨设置在支撑部17的沿X轴方向延伸的梁部17a上。

微观观察部18是例如显微镜头，该显微镜头由高倍率(例如20～100倍)的物镜21和目镜22以及未图示的落射照明光源构成。作为微观观察部，除了光学式显微镜之外，还有电子显微镜或扫描型探针显微镜等。此外，在微观观察部18上安装有辅助物镜23，该辅助物镜23用于以极低倍率(例如0.5～2倍左右)观察玻璃基板8上的缺陷位置。在微观观察部18的主体侧面安装有局部宏观照明光源24，该局部宏观照明光源24用于直接目视地对玻璃基板8的表面进行宏观观察。

通过使支撑部17沿Y方向移动、并且使微观观察部18沿X方向移动，检查者通过利用目镜22经由物镜21进行观察，可以在玻璃基板8的整个面范围内观察玻璃基板8表面的高倍率图像。另外，通过切换物镜21与辅助物镜23的光路，通过目镜22可以观察由辅助物镜23在广视场内取入的玻璃基板8表面的低倍率图像。

另外，在微观观察部18的目镜筒的上部连接有TV摄像机25。TV摄像机25对通过物镜21、辅助物镜23得到的玻璃基板8表面的观察像(低倍率图像)进行摄像，并传送给控制单元6中设置的控制部26。

此外，在微观观察单元5中，在支撑部17的下部，与物镜21的移动线对置地设置有透射线照明光源28。该透射线照明光源28沿X轴配设在支撑部17的衬板29上，该衬板29可以在保持为水平状态的摆动保持架9的下侧移动(参照图2)。透射线照明光源28用于从玻璃基板8的下方进行线状的透射照明，并可与支撑部17一体地沿Y轴方向移动。

另一方面，在控制单元6中，利用TV摄像机25得到的观察图像通过控制部26显示在TV监视器30上。作为检查者进行动作指示和数据输入用的输入部，键盘31连接在控制部26上。

此外，在装置主体2的上方设置有未图示的宏观照明部，该宏观照明部大范围地照射摆动保持架9上的玻璃基板8。该宏观照明部由例如特开平5-232040号公报中记载的金属卤化物灯、反射镜及菲涅尔透镜构成。该宏观照明部在下述情况时使用：在将摆动保持架9倾斜成给定角度(45°～60°)的状态下，从保持在该摆动保持架9中的玻璃基板8的上方照射宏观照明光，检查者在该宏观照明下直接目视玻璃基板8的表面，从而对玻璃基板8表面的缺陷进行宏观观察。

下面根据图3至图5说明被检测体检查装置1的坐标检测装置3。在摆动保持架9上，沿着玻璃基板8前后方向的两侧端部，对置地配设有坐标检测用的第三导轨33、34。各导轨33、34的外侧排列有一对环状的第一带35、36。各带35、36分别张紧在一对带轮37a、37b及37c、37d上，对置的两个带轮37a、37c通过轴38连接。轴38通过传动带39与步进电动机等电动机M2的输出轴连接，因而该轴38承受驱动力的传递。作为电动机M2也可使用双轴电动机，在轴38的中间分别通过联轴器(coupling)配置该双轴电动机。

在这些第三导轨33、34上可滑动地安装有导向杆40(导向部件)的两端，导向杆40的两端与各第一带35、36连接。导向杆40配置在与摆动保持架9的摆动用支轴10正交的方向(Y轴方向)上，以使其长边方向沿着与从上方照射的宏观照明的照明方向相同的方向。即，为了进行宏观观察，在将摆动保持架9立起至给定角度的状态下，为了避免在检查者检测的缺陷上形成由于从上方照明的宏观照明光而产生的影子，所以理想的是将该导向杆40配置成使其长边方向沿着与宏观照明的照射方向相同的方向。此外，与电动机M2的驱动联动，通过轴38驱动第一带35、36，由此，导向杆40沿着摆动保持架9的摆动用支轴10的方向(X方向)，以非接触的方式在玻璃基板8的表面上往返移动。

而且，在图3中，在导向杆40上沿着其长度方向(Y轴方向)设置有环状的第二带42，第二带42张紧在设置于导向杆40两端的带轮43a、43b上。一个带轮43a与步进电动机等电动机M3的输出轴连接。第二带42上连接有保持部45，该保持部45与作为激光光源的激光头44设置成一体，通过电动机M3的正反旋转，激光头44可在玻璃基板8的Y轴方向全长范围内往返移动。

图4及图5中所示的激光头44(点光源)固定在保持部45上，并至少使照射部44a(在图中为激光头整体)朝向斜下方。因此，从激光头44照射的点光s的光束相对玻璃基板8以所希望的角度α(例如30°～70°)投射。投射角度α最好取40°～60°的范围。在本实施方式中，将投射角度α设定为45°。通过将激光头44的投射角度设定成给定的角度(例如45°)，当检查者在使摆动保持架9立起至容易进行宏观观察的角度(例如45°)的状态下目视玻璃基板8的点光s时，可以防止因观察位置使导向杆40出现影子而不能目视点光s的情况发生。另外，从激光头44射出的点光s被设定成检查者可目视确认程度的直径，例如设定成2mm直径的圆形，并且该点光s照射检查者在宏观照明下检测出的玻璃基板8的缺陷k等。因此，检查者通过间隙47，借助于从上方照射的宏观照明光确认玻璃基板8上的缺陷k，从而能准确地使点光s与该缺陷k重合。

另外，导向杆40大致形成为板状，在其长度方向的一个边上，隔着希望宽度的间隙47形成有例如板状的遮光部件40a。如图5所示，从激光头44照射到玻璃基板8上的激光作为点光s照射到玻璃基板8的缺陷k上之后反射，并由遮光部件40a遮蔽。另外，激光由于是从与检查者视线方向交叉的方向照射的，所以，激光不会直接反射向检查者，在玻璃基板8上反射的激光也能被反射光路上的遮光部件40a可靠地遮蔽。

此外，遮光部件40a只要是激光不能透射的材质即可，其可以是有色的也可以是透明的。另外，理想的是，遮光部件40a具有与反射的激光大致正交的遮光面，以遮蔽激光。另外，遮光部件不一定要与导向杆40设置成一体，例如也可以是在激光头44上设置能够充分遮蔽在玻璃基板8上反射的激光的大小(例如是激光点直径的数倍)的遮光板，并使遮光板随动于该激光头44。

接着，通过图6说明坐标检测装置3的激光头44的控制驱动系统50。在该控制驱动系统50中，在上位个人计算机51上连接有驱动脉冲发生器52。该驱动脉冲发生器52通过操作部控制器53与控制杆(joy-stick)等操作部54连接。操作部54并不限于控制杆，只要是为了将点光s重叠地照射在玻璃基板8的缺陷k上而赋予指定的位置坐标(X、Y)的指示的结构即可，例如，可以是跟踪球、十字键(cross)等二维坐标指定开关。

另外，在操作部54上设置有缺陷位置坐标登记开关55，该缺陷位置坐标登记开关55用于登记以下两个坐标：玻璃基板8表面上的沿着第一带35、36长度方向(X轴方向)的导向杆40的停止位置的X坐标、及沿着导向杆40的长度方向(Y轴方向)的激光头44的停止位置的Y坐标。作为登记开关，在本实施方式中，在控制杆的操纵杆附近设置有按钮开关，但是，也可以在被检测体检查装置1的检查者进行目视观察的位置的底板上设置脚踏开关。

操作部控制器53具有下述功能：输入检查者操作操作部54时产生的二维坐标信息，根据该二维坐标信息分离相对操作部54的X轴方向与Y轴方向两个操作方向，并输出该X轴方向的驱动脉冲输出指示和Y轴方向的驱动脉冲输出指示。

驱动脉冲发生器52具有下述功能：接收从操作部控制器53输出的X轴方向的驱动脉冲输出指示和Y轴方向的驱动脉冲输出指示，根据X轴方向的驱动脉冲输出指示将X轴方向驱动脉冲发送给电动机驱动器57，根据Y轴方向的驱动脉冲输出指示将Y轴方向驱动脉冲发送给电动机驱动器58。

电动机驱动器57具有下述功能：接收来自驱动脉冲发生器52的X轴方向驱动脉冲，从而旋转驱动电动机M2，使导向杆40沿X轴方向仅移动与该脉冲数对应的距离。电动机驱动器58具有下述功能：接收来自驱动脉冲发生器52的Y轴方向驱动脉冲，从而旋转驱动电动机M3，使激光头44沿Y轴方向仅移动与该脉冲数对应的距离。

上位个人计算机51具有坐标检测装置60、原点可变装置61的各种功能。坐标检测装置60根据操作设置于操作部54上的缺陷位置坐标登记开关55时来自驱动脉冲发生器52的X轴方向的驱动脉冲数和Y轴方向的驱动脉冲数，计算出点光s所照射的缺陷k的X、Y坐标数据(二维坐标数据)。

原点可变装置61具有使激光头44的点光照射位置的坐标原点与玻璃基板8的X、Y坐标基准位置一致的功能。例如，如果玻璃基板8的X、Y坐标基准位置是玻璃基板8的左端或右端的角部，则将点光s的坐标原点设定在点光s对该玻璃基板8的左端或右端的角部进行照射的激光头44的位置上。当在玻璃基板8上发现缺陷k、并对该位置照射点光s时，将坐标原点设为X坐标的0点、Y坐标的0点，从该坐标原点(0，0)对各电动机M2、M3的脉冲数进行计数，从而求出坐标(X，Y)。

此外，该坐标原点并不限于玻璃基板8的左端或右端的角部，可以设定成任意位置。

另外，如图3所示，在摆动保持架9上设置有使导向杆40退避的退避区域，以便防止在与导向杆40平行的玻璃基板8的一个侧缘部与微观观察部18的物镜21产生干涉。退避区域只要是至少能离开玻璃基板8就可以，在玻璃基板8的外侧，在微观观察部18的物镜21扫描的扫描区域之外，可以使导向杆40从摆动保持架9的上面向下方退避。

本实施方式的被检测体检查装置1具有上述结构，下面，作为其作用，对缺陷k的坐标检测方法及观察方法进行说明。

首先，为了检查作为被检测体的玻璃基板8的缺陷，通过目视进行宏观观察。

在将玻璃基板8承载于摆动保持架9上、并固定在基准位置上的状态下，为了进行宏观观察而旋转驱动电动机M1。通过电动机M1的驱动，带轮11的支轴10通过旋转轴13和带12而旋转。这样，摆动保持架9从水平状态绕支轴10转动到适于检查者目视观察的角度θ。检查者进行宏观观察时，使摆动保持架9停止在容易看到缺陷k的角度θ(例如45°)，或者使摆动保持架9在缺陷k出现的给定角度范围(例如45°±5°～10°)内摆动。此时，宏观照明光从摆动保持架9的上方投射到玻璃基板8的整个面或一部分上，从而通过检查者眼睛直接目视来进行玻璃基板8的宏观观察。

在该宏观观察中，当使摆动保持架9在给定角度范围内摆动时，对电动机M1的旋转方向周期性地进行正反切换。

通过宏观观察，当由检查者在玻璃基板8的表面上检测出缺陷k时，在使摆动保持架9停止在能够看到缺陷的角度的状态下，操作操作部54，使导向杆40与激光头44进行X-Y轴移动，使点光s的照射位置与缺陷位置一致。该操作按照下述方式进行。

即，为了使激光头44的点光照射位置与缺陷位置一致，检查者操作控制杆等操作部54。这样，来自操作部54的二维坐标信息被输入到操作部控制器53中，并根据该二维坐标信息分别输出X轴方向的驱动脉冲输出指示和Y轴方向的驱动脉冲输出指示。

在驱动脉冲发生器52中，接收从操作部控制器53输出的X轴方向的驱动脉冲输出指示和Y轴方向的驱动脉冲输出指示，将X轴方向驱动脉冲发送到电动机驱动器57，将Y轴方向驱动脉冲发送到电动机驱动器58。在电动机驱动器57中，旋转驱动电动机M2，使导向杆40沿X轴方向仅移动与从驱动脉冲发生器52输出的脉冲数对应的距离。在电动机驱动器58中，旋转驱动电动机M3，使激光头44沿Y轴方向仅移动与上述脉冲数对应的距离。

电动机M2的旋转驱动，从轴38经带轮37a、37c传递给第一带35、36，从而使第一带35、36同步移动，这样，导向杆40沿着第三导轨33、34在X轴方向上仅移动所需要的量。与此同时，电动机M3的旋转驱动从带轮43a传递给第二带42，从而使第二带42移动，这样，激光头44与第二带42一体地沿Y轴方向仅移动所需要的量。

这样，通过由检查者对操作部54进行操作调整，来使导向杆40与激光头44沿X轴和Y轴方向移动，在从激光头44射出的点光s与玻璃基板8上的缺陷k重叠时，停止操作部54的操作。

此时，由于来自激光头44的照射部44a的激光以相对玻璃基板8倾斜一定角度α的状态射出，并使点光s与缺陷k重叠地进行照射，因此，对于检查者来说，点光s及缺陷k不会成为导向杆40的主体的影子，因而能通过间隙47可靠地目视确认点光s。

另外，在操作操作部54从而通过点光s指定缺陷k之后，通过缺陷位置登记坐标开关55登记该缺陷k，此时，利用上位个人计算机51，根据来自驱动脉冲发生器52的X轴方向的驱动脉冲数和Y轴方向的驱动脉冲数，计算出点光s重叠的缺陷k的坐标Q(X，Y)。坐标Q(X，Y)的计算是针对玻璃基板8表面上的每一缺陷k进行的，并分别存储在上位个人计算机51的存储器中。

这样，当宏观观察结束时，电动机M1反转，摆动保持架9返回到原来的水平状态，导向杆40移动到退避区域。

另外，在操作部54中，通过指定微观观察模式，摆动保持架9自动地恢复到水平状态，并使导向杆40自动地退避到退避区域。

在进行微观观察时，由上位个人计算机51读出宏观观察中检测出的各缺陷部分的坐标Q(X，Y)。根据该坐标Q(X，Y)，微观观察单元5的支撑部17在各导轨15、16上沿Y轴方向移动，与此同时，微观观察部18沿梁部17a的未图示的导轨在X轴方向上移动。由此，微观观察部18的物镜21的观察轴被配置在坐标Q(X，Y)上。

此时，由于导向杆40退避到退避区域内，所以，微观观察部18的物镜21不会与导向杆40碰撞。另外，物镜21隔着玻璃基板8和摆动保持架9与透射线照明光源28对置，可观察到该光源28透射照明的缺陷k。

检查者通过窥视目镜22，可以经由物镜21利用显微镜对玻璃基板8上的缺陷k进行微观观察(高倍率观察)。另外，TV摄像机25对通过物镜21得到的玻璃基板8的缺陷k进行拍摄。检查者通过观察TV监视器30上所显示的缺陷k的图像，来进行微观观察。

如上所述，在宏观观察中，本实施方式的坐标检测装置3和被检测体检查装置1，由于利用激光头44的激光点光s直接照射玻璃基板8表面的缺陷k，所以，不会像现有坐标检测装置那样在由发光体等指示的坐标位置与缺陷k的位置之间产生偏差，而是能够高精度地检测出缺陷k的坐标Q(X，Y)。另外，通过将坐标检测装置3与摆动保持架9设置成一体，即使摆动保持架9的倾斜角度发生变化，激光头44的点光s的照射角度α相对玻璃基板8也始终固定，而且，由于从玻璃基板8的上方以很短的给定距离进行照射，所以，不管玻璃基板8上的缺陷k的位置如何，都能够容易且可靠地进行检查者对点光照射位置的目视确认，可提高缺陷k的位置的检测精度。

另外，玻璃基板8表面上的缺陷k的坐标Q(X，Y)的确定是通过下述的简单的操作来得到的：操作控制杆等操作部54，以使导向杆40沿X轴方向移动、使激光头44沿Y轴方向移动，然后按下缺陷位置坐标登记开关55。在微观观察时以及玻璃基板的搬出、搬入时，由于导向杆40退避到退避区域，所以，导向杆40不会与微观观察部18的物镜21或搬出、搬入玻璃基板8的基板搬送机器人发生碰撞。

接下来，通过图7说明本发明第二实施方式的被检测体检查装置1的坐标检测装置70，对于与上述实施方式相同或等同的部分、部件，使用相同的标号，并省略其说明。

在图7所示的坐标检测装置70中，在第二带42上，代替在第一实施方式中使用的激光头44和保持部45，而安装有反射镜71(指示装置)。此外，在导向杆40上的一个端部固定有激光头72(点光源)。反射镜71反射从激光头72射出的激光，并且朝向玻璃基板8倾斜，然后，反射后的激光按照与上述实施方式相同的形式倾斜，以便相对玻璃基板8以倾斜角α且以给定距离到达玻璃基板8的缺陷k。

根据该第二实施方式，为了检测缺陷k，由于只需移动反射镜71即可，因此，与移动激光头44和保持部45的第一实施方式相比较，可以减小第二带42的驱动力，作为电动机M3，可以采用低输出的小型电动机。

此外，在该第二实施方式的情况下，也可以采用下述结构：在导向杆40的端部，与第一反射镜71对置地配置第二反射镜，并将激光头72一体地设置在沿着第三导轨33的摆动保持架9上，来自激光头72的激光通过第二反射镜与第一反射镜71反射，并到达玻璃基板8的缺陷k。

另外，点光s并不限于圆形，也可以是十字形或环形。电动机M1、M2、M3并不限于步进电动机，还可以采用伺服电动机等适当的驱动源。

此外，本发明虽然对例如液晶显示器或有机电致发光(EL)显示器等平板显示器(FPD)中使用的玻璃基板等半导体玻璃基板的表面缺陷检查时采用的被检测体检查装置及包含在该装置中的坐标检测装置进行了说明，但是，也可以用于其他适当的被检测体的任意部位检测用的坐标检测装置或被检测体检查装置。

另外，例如，在上述实施方式中，对设置有进行微观观察的微观观察单元的一个例子进行了说明，但是，也可以省略该微观观察单元，从而在具有摆动保持架与宏观照明部的宏观检查装置中使用本发明的坐标检测装置。

以上虽然参照附图对本发明的实施方式进行了说明，但是，这些实施方式只不过是本发明的例示而已，很显然本发明并不限于这些实施方式。因此，在不脱离本发明精神及范围的范围内，可以进行结构要素的添加、省略、置换及其他变更。即，本发明并不限定于上述说明，仅由权利要求的范围来限定。

Claims (14)

1.一种坐标检测装置，其特征在于，包括：

用于保持被检测体的保持架；

可在所述被检测体的表面上移动的导向部件；

指示装置，其设置在该导向部件上，并可使照射在所述被检测体上的点光沿着与所述导向部件的移动方向交叉的方向移动；

操作部，用于移动所述被检测体上的所述点光的照射位置；

以及坐标检测部，用于根据与所述被检测体上的所述点光的所述照射位置有关的位置信息求出坐标数据。

2.根据权利要求1所述的坐标检测装置，其特征在于，所述指示装置是可沿所述导向部件移动的点光源。

3.根据权利要求1所述的坐标检测装置，其特征在于，所述指示装置是可沿所述导向部件移动的反射部件，在该反射部件上设置有射出所述点光的点光源。

4.根据权利要求1所述的坐标检测装置，其特征在于，照射到所述被检测体上的所述点光的光束相对所述被检测体倾斜给定角度。

5.根据权利要求1所述的坐标检测装置，其特征在于，在由所述被检测体反射的点光的反射光路上设置有遮光部件。

6.根据权利要求5所述的坐标检测装置，其特征在于，所述遮光部件配置成：通过所述导向部件和所述遮光部件形成使检查者能够目视所述被检测体上的缺陷的间隙。

7.根据权利要求5所述的坐标检测装置，其特征在于，所述遮光部件设置成跟踪所述指示装置的点光。

8.根据权利要求1所述的坐标检测装置，其特征在于，还设置有改变所述保持架姿态的摆动装置和从所述保持架上方照射宏观照明光的宏观照明部，所述导向部件安装成：在所述保持架立起至给定角度的状态下，所述导向部件的长边方向沿着与宏观照明光的照射方向相同的方向。

9.根据权利要求1所述的坐标检测装置，其特征在于，所述点光是激光。

10.根据权利要求1所述的坐标检测装置，其特征在于，所述导向部件具有使检查者能够目视照射在所述被检测体上的所述点光的间隙。

11.根据权利要求1所述的坐标检测装置，其特征在于，所述操作部通过使所述导向部件与所述点光分别移动，来指定所述被检测体上的缺陷位置。

12.一种被检测体检查装置，在以给定的倾斜角度保持被检测体的状态下，从上方照射宏观照明光，目视观察所述被检测体上的缺陷，其特征在于，包括：

摆动保持架，用于保持所述被检测体，并可立起至所述给定的倾斜角度；

导向部件，其设置在所述摆动保持架上，并可在所述被检测体的表面上移动；

指示装置，其设置在所述导向部件上，并使照射到所述被检测体上的点光沿着与所述导向部件的移动方向交叉的方向移动；

操作部，其使所述导向部件和所述指示装置分别移动，并根据所述点光的照射位置指定所述被检测体上的缺陷；

以及坐标检测部，根据所述导向部件和所述点光的各位置的坐标数据求出由所述指示装置指定的缺陷位置的坐标数据。

13.一种被检测体检查装置，可对被检测体的特定部位进行微观观察，其特征在于，包括：

用于保持所述被检测体的保持架；

可在所述被检测体的表面上移动的导向部件；

指示装置，其设置在该导向部件上，并使照射到所述被检测体上的点光沿着与所述导向部件的移动方向交叉的方向移动；

操作部，用于移动所述被检测体上的所述点光的照射位置；

坐标检测部，用于根据与所述被检测体上的所述点光的所述照射位置有关的位置信息求出坐标数据；

以及微观观察部，

通过向所述被检测体的所述特定部位照射所述点光，来利用所述坐标检测部求出所述特定部位的坐标数据，并使所述微观观察部相对移动到该坐标数据位置，以进行显微镜观察。

14.根据权利要求13所述的被检测体检查装置，其特征在于，所述保持架具有退避区域，该退避区域用于使所述导向部件退避，以防止其与所述微观观察部干涉。

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