CN1263598C

CN1263598C - 制膜装置及其驱动方法

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Publication number: CN1263598C
Application number: CNB031570127A
Authority: CN
Inventors: 臼井隆宽
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2002-09-12
Filing date: 2003-09-09
Publication date: 2006-07-12
Anticipated expiration: 2023-09-09
Also published as: CN1495019A; KR100603801B1; TW200408539A; TWI222935B; US7066583B2; US20040113960A1; US20060197788A1; JP2004154763A; KR20040024478A

Abstract

本发明提供一种制膜装置及其驱动方法、器件的制造方法和制造装置及器件。该制膜装置及其驱动方法，是由使喷出液滴的喷出波形(第一信号)(W1)，与使不喷出液滴、且付与液状体移位速度以保持该液状体低粘度的微振动波形(第二信号)(W2)，控制付与液状体的振动。

Description

制膜装置及其驱动方法

技术领域

本发明是涉及制膜装置及其驱动方法、器件制造方法与器件制造装置及器件。

背景技术

伴随着计算机及移动型信息终端机为代表的电子器械的发展，电子器件、液晶显示装置等电气光学装置的使用在不断增加。例如，这种液晶显示装置，为了使显示的图像彩色化而使用彩色滤色片。该彩色滤色片具有基板，在该基板上以规定的模式(图案)供给R(红)、G(绿)、B(蓝)的墨水而形成。作为对这样的基板供给墨水的方式，例如可以采用喷墨方式的制膜装置。

在采用喷墨方式的情况下，在制膜装置中有喷墨头对基板喷出供给规定量的墨水，作为喷出墨水的装置，大多使用利用压电元件的装置。作为这种压电元件，在特开昭63-295269号公报中提出了电极与压电材料交互叠层的三明治型，喷墨头的空腔(压力发生室)内充满的墨水由压电元件的变形所产生的压力波而喷出的结构。

在这种喷墨头中，由于可喷出的墨水的浓度存在有界限，所以难以对高粘度墨水的喷出。因此，在历来的技术中，例如在特开平5-281562号公报中所示，提出了在通过供给口与压力室相连通的墨水罐上设置加热器的技术，在特开平9-164702号公报中所示，提出了在喷墨头与墨水罐的双方都埋入加热器的技术等。使用这些技术，可以通过将高粘度的墨水进行低粘度化，使其达到能够喷出的粘度，从而可以使用在历来的制膜中难于使用的工业药品。

然而，在上述历来的技术中，对于含有低沸点溶剂及树脂成分等的干燥性高的墨水，以及加热时其特性发生变化的墨水等，就不能够采用所述通过加热使粘度降低的方法，存在有喷出困难的状况不能得到改善的问题。

发明内容

鉴于上述问题，本发明的目的在于，提供一种能够经常保持高粘度液状物的低粘度，能够喷出稳定液滴的制膜装置及其驱动方法、器件制造方法与器件制造装置及器件。

本发明之1是一种制膜装置的驱动方法，用于通过对液状体付与振动而喷出液滴，其特征在于：由使喷出所述液滴的第一信号与使不喷出所述液滴，且向所述液状体付与使该液状体呈低粘度的移位速度的第二信号控制所述振动，所述液状体是非牛顿性的假塑性流体。

根据本发明的制膜装置的驱动方法，由于向液状体付与使不喷出液滴的由第2信号控制的振动，所以即使液状体为高粘度、且不能加热，也可以被稳定地喷出。

另外，所谓的所述移位速度(也可以表示为“应变速度”)，是表示应变随时间变化的比率，当粘度用η表示，移位速度用U表示，剪切应力用τ表示时，有以下关系，η＝τ/U。

所述第二信号最好在所述第一信号发送之前或在所述第一信号发送之后发送。

由此，由于能够对液状体经常付与振动，所以能够使液状体经常稳定地喷出。

进而，希望在从所述第一信号发送之后到再一次发送之间，所述第二信号至少发送一次。

还有，希望在从所述第一信号发送之后到再一次发送之间的间隔时间比规定时间短的情况下，所述第二信号不发送。在这种情况下，由于液状体尚处于接受由第一信号的振动的影响之下，所以没有必要再由第二信号付与振动，这样能够避免多余能量的消费。

而且，希望所述液状体是非牛顿性的假塑性流体。在这种情况下，由于付与振动而使非牛顿性的假塑性流体的移位速度增大，其结果是粘度变小，所以即使是高粘度的液状体，也能够不加热就使其粘度变小，能够使液状体的流动性提高。

本发明之2是一种器件制造方法，具有使液滴喷出装置喷出液滴在基板上制膜的制膜工序，使用所述制膜装置的驱动方法而进行所述制膜工序。

根据本形式的器件的制造方法，由于即使是液状体的粘度高，且不进行加热，也能够稳定地喷出，所以能够以所希望的特性在基板上制膜。

本发明之3是一种制膜装置，由具有对液状体付与振动的压力发生室的液滴喷出装置进行喷出液滴，在所述压力发生室内设置有压力发生装置，具有：控制所述压力发生装置的控制装置，由使喷出所述液滴的第一信号与使不喷出所述液滴，且对所述液状体付与使该液状体呈低粘度的移位速度的第二信号对所述液状体付与振动，所述液状体是非牛顿性的假塑性流体。

根据本形式的制膜装置，由于能够控制压力发生装置，由不作为液滴喷出的第二信号对液状体付与振动，所以即使是液状体的粘度高，且不进行加热，也能够稳定地喷出。

在这种情况下，希望所述液状体是非牛顿性的假塑性流体。在这种情况下，由于付与振动而使非牛顿性的假塑性流体的移位速度增大，其结果是粘度变小，所以即使是高粘度的液状体，也能够不加热就使其粘度变小，能够使液状体的流动性提高。

而且，希望所述压力发生装置是付与所述压力发生室振动，喷出所述液滴的压电元件。

由此，没有必要另外设置付与液状体振动的机构，就可以实现装置的小型化和低价格化。

进而，所述压力发生装置还可以具有通过使所述液状体内发生气泡，喷出所述液滴的气泡发生装置，与控制所述气泡发生装置的驱动、使所述发生的气泡伸缩的控制装置。

在这种情况下，也没有必要另外设置付与液状体振动的机构，就可以实现装置的小型化和低价格化。

本发明之4是一种器件制造装置，具有由液滴喷出装置喷出的液滴在基板上制膜的制膜装置，其特征在于：使用上述任一项所述的制膜装置作为所述制膜装置。根据本发明之4，由于即使是粘度高、且不能进行加热的液状体，也能够稳定地喷出，所以能够以所希望的特性在基板上制膜。

本发明之5是，由所述的器件制造装置所制造的器件。

附图说明

图1是第一实施例中构成滤色片制造装置的制膜装置的概略外观立体图。

图2A及图2B是表示喷墨头结构的图，图2A是喷墨头本体的外观立体图，图2B是部分放大图。

图3是表示关于喷墨头的驱动控制系统及墨水供给系统的图。

图4是喷出波形图与对应于该喷出波形的各信号要素的墨水室的工作图。

图5是微振动波形图与对应于该微振动波形的各信号要素的墨水室的工作图。

图6是表示向压力发生装置施加驱动电压而引起的一系列波形的变化。

图7是表示流体的移位速度与粘度的关系的图。

图8A～图8F是表示使用基板制造彩色滤色片的顺序的一例的图。

图9是表示基板与基板上彩色滤色片区域的一部分的图。

图10是第二实施例中显示装置主要部分的截面图。

图11是说明第二实施例中显示装置的制造工序的流程图。

图12是说明无机物堤岸层形成的工序图。

图13是说明有机物堤岸层形成的工序图。

图14是说明形成空穴注入/输送层的过程的工序图。

图15是说明形成的空穴注入/输送层的状态的工序图。

图16是说明形成蓝色发光层的过程的工序图。

图17是说明形成的蓝色发光层的状态的工序图。

图18是说明形成的各色发光层的状态的工序图。

图19是说明阴极形成的工序图。

图20是第三实施例中显示装置主要部分的分解立体图。

图21是表示第四实施例中单纯矩阵配置电子源的一例的模式图。

图22是表示第四实施例中图像形成装置的表示面板的一例的模式图。

图中：10-制膜装置(喷墨装置)，20-喷墨头(液滴喷出装置)，28-控制装置，92-压电元件(压力发生装置)，93-墨水室(压力发生室)，99-液滴。

具体实施方式

(第一实施例)

下面参照图1～图9，对本发明的制膜装置及其驱动方法、器件制造方法与器件制造装置及器件的实施例进行说明。

这里，对本发明的制膜装置，作为适用于例如使用作为液状体的墨水，制造用于液晶器件等彩色滤色片的滤色片制造装置加以说明。还有，本发明中所使用的液体包括液状体。即所谓液状体，除了上述液体之外，例如还可以是包含有微细金属颗粒的液状体。

图1是构成滤色片制造装置(器件制造装置)的制膜装置(喷墨装置)10的概略外观立体图。该滤色片制造装置设置有具有大体同样结构的3个基本制膜装置10。各制膜装置10具有分别向滤色片基板喷出R(红)、G(绿)、B(蓝)各色墨水的结构。

制膜装置10具有基底12、第一移动装置14、第二移动装置16、未图示的电子天平(重量测定装置)、构成液滴喷出装置的喷墨头(喷头)20、加盖单元22、清洗单元24。第一移动装置14、电子天平、加盖单元22、清洗单元24、以及第二移动装置16分别设置在基底12上。

最好把第一移动装置14直接设置在基底12上，而且该第一移动装置14沿Y方向决定其位置。与此相对应，第二移动装置16是通过支柱16A、16A而直立安装在基底12上，进而，第二移动装置16是安装在基底12的后部12A上。第二移动装置16的X轴方向，是与第一移动装置14的Y方向相垂直的方向。Y轴是沿基底12的前部12B与后部12A方向的轴。而X轴则是沿基底12左右方向的轴，各轴都是水平。

第一移动装置14具有导向轨40、40，第一移动装置14例如可以采用直线马达。该直线马达的第一移动装置14的滑块42，可以沿着导向轨40在Y轴方向移动并决定位置。

滑块42设置有θ轴用马达44。该马达44例如可以是直线马达，马达44的转子固定在台面46上。由此，通过对马达44的通电，使滑块与台面44绕θ轴转动，可以对台面46定位(给出旋转的比率)。

台面46决定基板48的位置并保持。而且，台面46具有吸附保持装置50，由粘附保持装置50的动作，通过台面46上的孔46A，将基板48粘附保持在台面46上。在台面46上设置有为了喷墨头(液滴喷出装置)喷出扔掉墨水或试喷出(预备喷出)的预备喷出区域52。

第二移动装置16具有固定在支柱16A、16A上的柱状物16B，该柱状物16B具有直线马达形式的第二移动装置16。滑块60能够沿导向轨62A在X轴方向移动并决定位置，滑块60设置有作为墨水喷出装置的喷墨头20。

喷墨头20具有作为摇动位置决定装置的马达62、64、66、68。马达62动作时，喷墨头20可沿Z轴上下移动并决定位置。Z轴是与X轴、Y轴都垂直的方向(上下方向)。马达64动作时，喷墨头20可沿绕Y轴的β方向摇动并决定位置。马达66动作时，喷墨头20可沿绕X轴的γ方向摇动并决定位置。马达68动作时，喷墨头20可沿绕Z轴的α方向摇动并决定位置。

这样，图1中的喷墨头20就可以在滑块60上沿Z轴方向移动并决定位置，沿α、β、γ摇动并决定位置，喷墨头20墨水喷出面20P就能够对于台面46一侧的基板48控制正确的位置或姿势。还有，在喷墨头20的墨水喷出面20P上设置有分别喷出墨水的多个(例如120个)作为开口部的喷嘴。

这里，参照图2A及图2B，对喷墨头20的结构例加以说明。喷墨头20，例如可以是使用压电元件(压力发生装置)的喷头，如图2A所示，在喷头本体90的墨水喷出面20P上，形成有多个喷嘴91。对于这些喷嘴91，分别设置有压电元件92。

如图2B所示，压电元件92是对应于喷嘴91与墨水室(压力发生室)而配置，例如位于一对电极(图中未表示)之间，具有通电时向外侧突出翘曲的结构。通过对该压电元件92施加规定的电压，使其在图2B中的水平方向伸缩，就能够对墨水加压，从喷住喷出所定量的液滴(墨滴)。还有，作为喷墨头20的墨头方式，除了所述使用压电元件的压电喷墨的类型之外，还可以采用其它的方式，例如利用热膨胀的热喷墨的类型等。

图3是表示关于喷墨头的驱动控制系统及墨水供给系统的简易图。墨水罐25中所存储的墨水通过通路26供给到喷墨头20。而且，对于喷墨头20上设置的压电元件92，为了能够喷出规定量的墨水，在控制装置28的控制下，将与墨水的种类、温度相适应的驱动电压，以图4所示的喷出波形(第一信号)W1，从喷墨头驱动装置27施加到每一个喷嘴91。而且，控制装置28通过对驱动装置27的控制，将图4所示的微振动波形(第二信号W2，)也作为驱动波形，施加于压电元件92。

图4是喷出波形W1与对应于该喷出波W1的各波形部(信号要素)的喷墨头20的驱动动作的概略图。

设定喷出波形W1，在正梯度波形部a1墨水室93扩大，容积增大，相当于增大容积部分的墨水流入墨水室93，而且，在负梯度波形部a2由于施加的电压Vh而使墨水室缩小，通过对墨水的加压，从喷嘴91喷出规定量的墨水。

图5是微振动波形W2与对应于该微振动波形W2的各波形部的喷墨头20的驱动动作的概略图。

微振动波形W2，在正梯度波形部b1墨水室93扩大，在负梯度波形部b2由于施加的电压V1而使墨水室缩小·加压，通过对墨水的加压，从喷嘴91喷出规定量的墨水。设定施加电压V1的大小，使墨水不能够从喷嘴91喷出。也就是说，通过将微振动波形W2施加于压电元件92，使弯月面重复对于喷嘴面的离开·接近的微振动。

一般说来，流体可以分为粘度与移位速度无关的牛顿性流体和粘度随移位速度变化的非牛顿性流体，进而，非牛顿性流体又可以根据粘度变化的倾向而分为胀流型流体和假塑性流体(模拟塑性流体)。图7是表示各流体的移位速度(应变速度)与粘度的关系。如该图所示，对于牛顿性流体，即使移位速度变大，粘度也大体保持一定，非牛顿性流体中的胀流型流体具有粘度随移位速度的增大而增大的性质，另一方面，非牛顿性流体中的假塑性流体，则具有粘度随移位速度的增大而减小的性质。

因此，在使用非牛顿性流体的假塑性流体的情况下，通过对喷墨头20付与微振动，能够使墨水的移位速度的增大，粘度减小。所以，如上所述，由于能够使高粘度墨水的粘度下降，故能够提高墨水的流动性，使其容易喷出。

接着，使用图6对喷墨头20的驱动加以说明。

例如，将温度控制为40℃的墨水从墨水罐25经由送液管道26填充到喷墨头20内时，如上所述，从驱动装置27施加图4及图5所示的驱动波形的驱动电压，按规定的间隔，周期地驱动与各喷嘴91相对应的压电元件92。

图6是表示在喷墨头20的驱动中，向任意的压电元件92施加驱动电压而引起的一系列驱动波形的变化的图。

在区间B，是表示实行第一次墨水喷出的喷出波形W1，区间A是表示喷出第一次墨水之前待机区间(待机时间t_A)。在区间A，施加驱动电压，形成多次(图中为2次)微振动波形W2。而且，在区间D，是表示实行第二次墨水喷出的喷出波形W1，区间C则是表示在区间B与区间D的2次墨水喷出之间的待机区间(待机时间t_C)。在区间C中，与区间A相同，施加驱动电压，形成多次(图中为2次)微振动波形W2。而且，待机时间t_A及待机时间t_C，与相互微振动的波形W2的发送时间t₂相比，具有充分长的规定时间T。这样，在区间A及区间C，由于是在从喷嘴91不喷出墨水的范围内对喷墨头20内的墨水施以振动，所以，在使用非牛顿性流体的假塑性流体的情况下，如上所述，能够使墨水的移位速度的增大，粘度减小。还有，微振动波形W2也不限于在同一区间内多次形成，当然也可以仅形成一次。

而且，在区间F，表示与喷出第二次的墨水相连续的，进行第三次墨水喷出的喷出波形W1，区间E则是表示在区间D与区间F的2次墨水喷出之间的待机区间(待机时间t_E)。由于待机时间t_E比上述规定的时间T要短，所以在区间E不施加形成微振动波形W2的驱动电压。在这种情况下，由于形成喷出波形W1的区间D与区间F相互接近，所以在区间E中，喷墨头20内的墨水，受到区间D与区间F的喷出振动影响。也就是说，例如，在区间D中由喷出波形W1的振动尚未完全减衰期间，接着就开始了区间F的由下一个喷出波形W1而引起的液滴喷出，所以墨水在此区间能够经常地付与振动，给予墨水所希望的移位速度，使其粘度减小。

另一方面，由清洗单元24对喷墨头20的喷嘴等所做的清洗能够在制造工序中或待机时定期或随时进行。加盖单元22是为了不使喷墨头20的喷嘴内的墨水干燥，在不制造滤色片的待机时不使墨水的喷出面20P与外界气体接触而设置的。该清洗单元24具有在吸附垫，及在控制装置28的控制下将吸附垫在对于喷墨头20的接触位置与离开位置之间移动的移动装置(参照图3)。吸附垫上连接有由吸引泵等构成的吸引装置29，通过吸附垫将吸引的墨水排出到废液罐30。

回到图1，电子天平是为了对喷墨头20的喷嘴所喷出的墨滴一滴的重量进行测定与管理而设置的，例如，接受从喷墨头20的喷嘴所喷出的5000滴墨滴。电子天平用5000去除这5000滴液滴的重量，能够大体正确地测定一滴的重量。基于这样的液滴测定法，能够最佳地控制从喷墨头20所喷出的液滴的量。

接着，对制膜处理工序加以说明。

操作者从台面46的前端将基板48放到第一移动装置14的台面46上时，该基板48就被吸附于台面46并决定位置。而且，由于马达44的动作，使基板48的端面与Y轴方向并行而设置。

接着，喷墨头20沿X轴方向移动，在电子天平的上部决定位置，例如，电子天平测定如上所述的5000滴墨水的重量，计算出一滴墨水的重量。而且，判断一滴墨水的重量是否属于预先决定的适当范围，如果在适当范围之外，则调整对压电元件92施加的电压，使一滴墨水的重量达到适当范围。

在一滴墨水的重量在适当范围内的情况下，基板48由第一移动装置14在Y轴方向适当地移动而决定位置。而且，在由全部的喷嘴对预备喷出区域52预备喷出墨水之后，喷墨头20对于基板48沿Y轴方向相对移动(实际上是基板48相对于喷墨头20沿Y轴方向相对移动)，由规定的喷嘴以规定的宽度对基板48上规定的区域喷出墨水。喷墨头20与基板48之间的一次相对移动终了时，喷墨头20对于基板48沿X轴方向按规定量步幅的移动，其后，基板48相对于喷墨头20移动期间喷出墨水。这样，通过多次重复该动作，可对制膜区域全体喷出墨水而制膜。

接着，参照图8及图9，对由制膜处理而制造彩色滤关器的例加以说明。

基板48是透明基板，同时具有适度的强度与高的光透过性。作为基板48，例如可以使用透明玻璃基板、丙烯玻璃、塑料基板、塑料薄膜以及它们的表面处理品。

例如，如图9所示，从提高生产性的观点，在长方形的基板48上，形成多个矩阵状的彩色滤色片区域105。这些彩色滤色片区域105，通过后面对玻璃48的切断，可以作为适合于液晶显示装置的彩色滤色片来使用。

在彩色滤色片区域105中，例如，如图9所示，红色、绿色及蓝色的墨水形成规定的图案而配置。作为其形成的图案，除了如图中所示的历来众所周知的带型之外，还可以有马赛克型、三角型、或者正方型等。特别是，在倾斜喷头20在像素部的配列间距与喷嘴间隔相对应的情况下，由于带型能够使一次喷出的喷嘴的数目增多，所以更为有效。

图8A～图8F是表示对于基板形成彩色滤色片区域的工序的一例。

在图8A中，对于透明基板48的一侧的面，形成黑色基底110。在作为彩色滤色片基础的基板48上，以旋转涂层等方式，将非透光性的树脂(希望是黑色)涂敷以规定的厚度(例如2μm)，以光刻等方法设置矩阵状的黑色基底110。黑色基底110的格子所围成的最小表示要素成为滤色片的元素，例如，是X轴方向的宽度为30μm，Y轴方向的宽度为10μm左右大小的窗口。

在黑色基底110形成之后，例如可由加热器给予加热，将基板48上的树脂烧成。

如图8B所示，将墨滴99供给到滤色片元素112。墨滴99的量，是考虑加热工序中墨水的减少情况下充分的量。

在图8C的加热工序中，在对彩色滤色片上所有的滤色片元素112都填充了墨滴99后，进行使用加热器的加热处理。将基板48加热到规定的温度(例如70℃)。墨水的溶剂蒸发时其体积减小。在体积减小剧烈的情况下，为了得到作为彩色滤色片的充分的墨水膜的厚度，需要重复进行墨水喷出工序与加热工序。经过这样的处理，墨水的溶剂蒸发，最终仅留下墨水的固体部分而成膜。

在图8D的保护膜形成工序中，为了使墨滴99完全干燥，在规定的温度加热规定的时间。为了使干燥终了后对形成了墨水膜的彩色滤色片的基板48进行保护以及滤色片表面的平坦化，形成保护膜120。该保护膜120的形成，例如可以采用旋转涂层法、滚动涂层法、刮板法等方法。

在图8E的透明电极形成工序中，使用溅射法或真空沉积发等在保护膜120的全面上形成透明电极130。

在图8F的图案形成工序中，透明电极130进而在与滤色片元素112的开口部相对应的像素电极上形成图案。还有，在使用TFT(薄膜晶体管)的情况下，则不用形成图案。

而且，希望在所述制膜处理之间，能够定期或随时使用清洗单元24对喷墨头20的墨水喷出面20P进行擦拭。

以上，在本实施例中，特别是使用假塑性流体的墨水的情况下，不对墨水加热也能够使其粘度减小，所以即使是高粘度的墨水及不能加热的墨水，进而即使是干燥性高的墨水，也能够从喷头稳定地喷出，能够以所希望的特性在基板上制膜。结果是，由喷墨头20所喷出的墨水制造的器件，能够以所希望的大小、形状制膜，并能够保证品质。

而且，在本实施例中，由于对墨水付与的振动，是在不喷出墨水的待机时间内进行，所以可使喷墨头20内的墨水经常维持低粘度的状态。进而，由于在从喷墨头20喷出墨水时，驱动的压电元件92能够兼用于形成不喷出墨水的微振动波形的压力发生装置，所以没有必要另外设置付与振动的装置，能够使装置小型化与低价格化。而且，由于不设置墨水的加热装置，所以不需要到达规定温度的待机时间，批量生产性优异，而且由于没有必要使用压力发生装置施加高电压，所以能够使压力发生装置达到长寿命。

(第二实施例)

以下，作为本发明的第二实施，针对将第一实施例的制膜装置用于EL(电致发光)的显示器件的制造装置的情况，使用图10～图19加以说明。EL显示器件，是将含有荧光性的无机物及有机物的薄膜，夹持在阴极与阳极之间而构成，在所述薄膜中通过电子及空穴的注入再结合而产生激子，利用该激子的在去激时所放出的光(荧光、磷光)而发光的元件。用于这样的EL显示元件的荧光性材料中，以呈现红、绿及蓝色的各发光色的材料，即发光层形成材料及以及形成空穴注入/电子输送层的材料作为墨水，使用本发明的器件制造装置，将它们各自在TFT及TFD等基板上形成图案，就可以制造自发光彩色EL器件。

在这种情况下，例如，与所述彩色滤色片的黑色基底同样，使用树脂保护膜形成区分每一个图像单元的隔离壁，同时，为了使下层的表面容易粘附喷出的液滴，且隔离壁能够防止喷出的液滴与邻接区间的液滴的混合，作为液滴喷出的前工序，对基板进行等离子体、UV(紫外线)处理、耦合处理等表面处理。完成后，经过作为液滴供给形成空穴注入/电子输送层的材料的空穴注入/输送层形成工序，与同样形成发光层的发光层形成工序而制造。

图10是有机物EL显示装置的表示区域(以下简称显示装置206)的主要部分的截面图。

该显示装置206，是由线路元件部207、发光元件部208、及阴极209在基板210上叠层的状态而构成。

在该显示装置206中，由发光元件部208向基板201的一侧发送的光，透过线路元件部207及基板210而射到观测者一侧，同时，由发光元件部208向基板201的反对侧发送的光，经阴极209反射后，透过线路元件部207及基板210而射到观测者一侧。

在线路元件部207与基板210之间，形成由硅氧化膜所构成的基底保护膜211，在该基底保护膜211上(发光元件部208一侧)，形成由多晶体硅构成的岛状半导体膜212。在该导体膜212的左右区域，通过高浓度阳离子的注入而分别形成源极区域212a与漏极(喷出)区域212b。而且，阳离子未注入的中央部则是沟道区域212c。

而且，在线路元件部207内，形成覆盖基底保护膜211与半导体膜212的透明栅绝缘膜213，在该栅绝缘膜213上对应于半导体膜212的沟道区域212c的位置，形成例如由铝、钼、钽、钛、钨等所构成的栅电极214。在该栅电极214与栅绝缘膜213上形成透明的第一层间绝缘膜215a与第二层间绝缘膜215b。而且，还形成有贯通第一、第二层间绝缘膜215a、215b，分别与半导体膜212的源极区域212a与漏极区域212b相连通的连通孔216a、216b。

而且，在第二层间绝缘膜215b上，以规定的形状图案形成由1OT等构成透明的像素电极217，该像素电极217通过连通孔216a与源极区域212a相连接。

而且，在第一层间绝缘膜215a上配设有电源线218，该电源线218通过连通孔216b与漏极区域212b相连接。

这样，在线路元件部207中，就分别形成与各像素电极217相连接的驱动用薄膜晶体管219。

所述发光元件部208，由多个像素电极217上分别叠层的功能层220，与设置在各像素电极217与功能层220之间、将各功能层220进行划分的堤岸部221所概略构成。

由在这些像素电极217、功能层220、以及在功能层220上所配设的阴极209构成发光元件。还有，像素电极217形成平面视图上略呈矩形的图案，在各像素电极217之间形成堤岸部221。

堤岸部221，例如可以由SiO、SiO₂、TiO₂等无机材料所形成的无机物堤岸层221a(第一堤岸层)，与在该无机物堤岸层221a上叠层、由丙烯树脂、聚酰亚胺树脂等耐热性、耐溶剂性优异的保护膜所形成的梯形截面的有机物堤岸层221b(第二堤岸层)所构成。该堤岸部221的一部分，是搭载在像素电极217的周缘部上而形成。

这样，在各堤岸部221之间，就形成对于像素电极217向上方逐渐开阔的开口部222。

所述功能层220，是由在开口部222内像素电极217上以叠层状态形成的空穴注入/输送层220a，与在该空穴注入/输送层220a上形成的发光层220b所构成。还有，还可以进而形成与该发光层220b相邻接的具有其它功能的功能层。例如可以形成电子输送层。

空穴注入/输送层220a具有从像素电极217一侧输送空穴并注入发光层220b的功能。该空穴注入/输送层220a，是通过喷出含有空穴注入/输送层形成材料的第一组成物(相当于本发明液体材料的一种)而形成。作为空穴注入/输送层形成材料，例如可以使用聚乙烯二氧化噻吩等聚噻吩衍生物与聚苯乙烯磺酸等的混合物。

发光层220b，是能够发送红色(R)、绿色(G)、蓝色(B)中的一种光，由喷出含有发光层形成材料(发光材料)的第二组成物(相当于本发明液体材料的一种)而形成。作为发光层形成材料，例如可以使用(聚)对亚苯基亚乙烯基衍生物、聚亚苯基衍生物、聚芴衍生物、聚乙烯基咔唑、聚噻吩衍生物、二萘嵌苯系色素、阔马酸系色素、若丹明系色素，或者是在这些高分子材料中添加红荧烯、二萘嵌苯、9，10二苯基蒽、四苯基丁二烯、尼罗红、阔马酸6、喹吖(二)酮等的物质。

而且，作为第二组成物的溶剂(非极性溶剂)，希望是对于空穴注入/输送层220a不溶的溶剂。例如，可以使用环己基苯、二氢苯并呋喃、三甲基苯、四甲基苯等。通过将这样的非极性溶剂用于发光层220b的组成物，能够不使空穴注入/输送层220a再溶解而形成发光层220b。

这样，在发光层220b中，就具有由从空穴注入/输送层220a注入的空穴与从阴极209注入的电子在发光层再结合而发光的结构。

阴极209是以全面覆盖发光部元件208的状态而形成，起到与像素电极217成对流过功能层220电流的作用。还有，在该阴极209的上部配置有图中未表示的固定密封部件。

接着，参照图11～19对本实施例中显示装置206的制造工序进行说明。

如图11所示，该显示装置206是经过堤岸部形成工序(S1)、表面处理工序(S2)、空穴注入/输送层形成工序(S3)、发光层形成工序(S4)、以及对向电极形成工序(S5)所制造。还有，制造工序并不限于上述的示例，根据需要，有去除其它工序的情况，也有追加的情况。

首先，如图12所示，在堤岸部形成工序(S1)，在第二层间绝缘膜215b上形成无机物堤岸层221a。该无机物堤岸层221a，在形成位置形成无机物膜之后，由光刻技术等使该无机物膜形成图案。此时，无机物堤岸层221a的一部分与像素电极217的周缘重合而形成。

如图13所示，在形成无机物堤岸层221a后，在无机物堤岸层221a上形成有机物堤岸层221b。该有机物堤岸层221b也与无机物堤岸层221a同样，由光刻技术等使该无机物膜形成图案。

这样，就形成堤岸部221。而且，与此相伴随，在各堤岸部221之间，形成对于像素电极217上方开口的开口部222。该开口部222规定像素区域(相当于本发明的液体材料的一种)。

在表面处理工序(S2)，进行亲液化处理与斥液化处理。实施亲液化处理的区域是无机物堤岸层221a的第一叠层部221a′及像素电极217的电极面227a，这些区域，例如通过以氧气作为处理气体的等离子体处理而进行亲液化表面处理。该等离子体处理，还兼有对像素电极217的清洗作用。

而且，斥液化处理，是在有机物堤岸层221b的壁面221s及有机物堤岸层221b的上面221t上实施，例如通过以四氟化甲烷作为处理气体的等离子体处理而进行氟化处理(斥液性处理)。

通过进行该表面处理工序，在使用喷墨头20形成功能层220时，能够使液体材料更确实地落在像素区域内，而且，还能够防止落在像素区域内的液体材料从开口部222的溢出。

这样，经过以上的工序，就可以得到显示装置基体206′(相当于本发明的显示器基体)。该显示装置基体206′装载在图1所示的制膜装置10的工作台46上，进行以下的空穴注入/输送层形成工序(S3)及发光层形成工序(S4)。

在空穴注入/输送层形成工序(S3)，从喷墨头20将含有空穴注入/输送层材料的第一组成物在像素区域的开口部222内喷出。其后实行干燥处理及热处理，在像素电极217上形成空穴注入/输送层220a。

该空穴注入/输送层形成工序，是经过与所述第一实施例中彩色滤色片的形成工序同样的工序而形成。

如图14所示，在液滴的喷出工序，在显示装置基体206′上的像素区域(即开口部222内)作为液滴注入规定量的含有空穴注入/输送层形成材料的第一组成物。在这种情况下，由于也与上述同样设定了驱动脉冲的波形形状，所以液滴能够经常稳定地喷出。

其后，通过干燥等工序，对喷出后的第一组成物进行干燥处理，使第一组成物内所含的极性溶剂蒸发，如图15所示，在像素电极217的电极面227a上形成空穴注入/输送层220a。

由以上的工序，在每一个像素区域都形成空穴注入/输送层220a，空穴注入/输送层工序终了。

接着，对发光层形成工序(S4)进行说明。在该发光层形成工序中，如上所述，为了能够防止空穴注入/输送层220a的再溶解，作为在发光层形成时所使用的第二组成物的溶剂，使用对于空穴注入/输送层220a不溶解的非极性溶剂。

但是，另一方面，由于空穴注入/输送层220a对非极性溶剂的亲和力较低，所以即使是将含有非极性溶剂的第二组成物在空穴注入/输送层220a上喷出，也有空穴注入/输送层220a与发光层220b不能密切连接，或发光层220b不能均匀涂敷的危险性。

因此，为了提高空穴注入/输送层220a对非极性溶剂及发光层形成材料的亲和性，希望在发光层形成之前实行表面处理(表面改质处理)。该表面处理是使用与发光层形成时所使用的第二组成物的非极性溶剂相同的或类似溶剂的表面改质材料，涂敷在空穴注入/输送层220a上，并将其干燥而形成。

通过实施这样的处理，空穴注入/输送层220a就容易与非极性溶剂亲和，在随后的工序中，能够将含有发光层材料的组成物均匀地涂敷于空穴注入/输送层220a。

这样，该发光层形成工序，也是经过与所述第一实施例中彩色滤色片的形成工序同样的工序而形成。

也就是说，如图16所示，在液滴的喷出工序中，含有与各种颜色中的某一种(图16的例中是蓝色(B))相对应的发光层形成材料的第二组成物作为液滴以一定的量注入像素区域(开口部222)。在这种情况下，由于也与上述同样设定了驱动脉冲的波形形状，所以液滴能够经常稳定地喷出。

注入像素区域的第二组成物，在空穴注入/输送层220a上扩散，充满开口部222内。还有，即使是在万一第二组成物溢出像素区域，到达堤岸部221的上面221t上的情况下，由于其上面221t上实施了斥液处理，所以第二组成物容易回到开口部222内。

其后，通过实行干燥工序等，对喷出后的第二组成物进行干燥处理，使第二组成物内所含的非极性溶剂蒸发，如图17所示，在空穴注入/输送层220a上形成发光层220b。在该图的情况下，是形成与蓝色(B)相对应的发光层220b。

而且，如图18所示，顺次使用与所述对应于蓝色(B)的发光层220b的情况相同的工序，形成与其它色(红色(R)及绿色(G))相对应的发光层220b。还有，发光层的形成顺序，并不限于上述例子，可以以任何顺序形成。例如可以根据反光层形成材料而决定形成顺序。

在每一个像素区域形成了发光层220b，发光层形成工序就终了。

通过以上的工序，在像素电极217上形成功能层220，即在空穴注入/输送层220a上形成发光层220b。接着，移向对向电极形成工序(S5)。

在对向电极形成工序(S5)中，如图19所示，在发光层220b及有机物堤岸层221b的全面上，例如以沉积法、溅射法、CVD(化学气相沉积)法等形成阴极209(对向电极)。该阴极209，在本实施例中，例如可以由钙层与铝层的叠层而构成。

在该阴极209的上部，适宜地设置有铝膜、银膜、防止氧化的SiO₂、SiN等保护层。

在这样形成阴极209之后，通过实施用密封部件将该阴极209的上部密封的密封处理、布线处理等其它处理，得到显示装置206。

这样制造的EL器件，可以用于区段显示或全面同时发光的静止图像显示，例如图、文字、标签等低信息领域的应用，或者是作为具有点、线、面形状的光源而应用。进而，通过在驱动中使用无源驱动的显示元件到TFT等的有源元件，可以得到高亮度、响应性优异的彩色显示器件。

以上，在本实施例中，特别是作为构成空穴注入/输送层220a及发光层220b的液状体，在使用假塑性流体的液状体的情况下，由于不对液状体加热也能够降低液状体的粘度，所以即使是高粘度的墨水及不能加热的墨水，进而即使是干燥性高的墨水，也能够从喷头稳定地喷出，能够以所希望的特性在基板上制膜。结果是，由喷墨头所喷出的墨水制造的EL器件，能够以所希望的大小、形状制膜，并能够保证品质。

而且，在本实施例中，由于对液状体付与的振动，是在不进行喷出液状体的待机时间内进行，所以能够经常维持喷墨头20内的墨水的低粘度。进而，由于在从喷墨头20喷出液状体时驱动的压电元件92，可以兼用于形成不喷出液状体的微振动波形W2的压力发生装置，所以没有必要另外设置振动付与装置，能够实现装置的小型化与低价格化。而且，由于不设置对液状体的加热装置，所以就不需要到达规定温度的待机时间，批量生产性优异，而且，由于不必要对压力发生装置施加高的电压，所以能够达到压力发生装置的长寿命。

(第三实施例)

以下，作为本发明的第三实施例，对本发明的第一实施例的制膜装置，适用于等离子体型显示装置(以下简单地记作显示装置325)的制造装置的情况加以说明。

图20是等离子体型显示装置主要部分的分解立体图。

还有，在同图中表示的是切取显示装置325的一部分的状态。

该显示装置325是包含相互对向设置的第一基板326、第二基板327、以及在它们之间形成的放电显示部328的概略构成。放电显示部328是由多个放电室329所构成。在这些多个放电室329中，由红色放电室329(R)、绿色放电室329(G)、蓝色放电室329(B)的三个放电室为一组，构成一个像素而配置。

在第一基板326上按规定的间隔形成条纹状的地址电极330，覆盖该地址电极330与第一基板326的上面形成电介体层331。在该电介体层331上，站立设置有位于各个地址电极330之间、且沿着各个地址电极330的隔离壁332。该隔离壁332包含如图所示沿着地址电极330的宽度方向延伸，以及图中未表示的沿着与地址电极330垂直方向的延伸。

这样，由该隔离壁332所划分的区域就成为放电室329。

在放电室329内配置有荧光体333。荧光体333是发射红(R)、绿(G)、蓝(B)中一种荧光的物质，在红色放电室329(R)的底部配置红色荧光体333(R)、在绿色放电室329(G)的底部配置红色荧光体333(G)、在蓝色放电室329(B)的底部配置红色荧光体333(B)。

在第二基板的图中下侧面上，在与所述地址电极330垂直的方向上按规定的间隔形成多个条纹状的显示电极335。而且，还形成覆盖这些电极的电介体层336，以及由MgO等所构成的保护膜337。

第一基板326与第二基板327，在地址电极330与显示电极335相互垂直的状态下对向贴合。还有，所述地址电极330与显示电极335，与图中未表示的交流电源相连接。

这样，通过对各电极330、335的通电，能够使放电显示部328的荧光体333激励发光，使彩色显示成为可能。

在本实施例中，所述地址电极330、显示电极335、以及荧光体333，都可以用图1所示的制膜装置10所形成。

以下，表示在第一基板326中地址电极330的形成工序的例子。

在这种情况下，在该第一基板326装载于工作台46的状态下进行以下的工序。

首先，在液滴喷出工序中，将含有导电膜布线形成用材料的液状体作为液滴注入地址电极形成区域。该液状体作为导电膜布线形成用材料，是将金属等导电性微粒用分散溶剂分散的假塑性流体。作为导电性微粒，可以使用含有金、银、铜、铂、或镍等的金属微粒，或导电性的聚合物等。

在这种情况下，由于也与上述同样设定了驱动脉冲的波形形状，所以液滴能够经常稳定地喷出。

其后，对喷出后的材料进行干燥处理，使液状体内所含的分散溶剂蒸发，形成地址电极330。

然而，所述中虽然仅是地址电极330的形成例，但所述显示电极335及荧光体333也可以经过所述各工序而形成。

在显示电极335形成的情况下，与地址电极330形成的情况同样，将含有导电膜布线形成用材料的液状体作为液滴注入地址电极形成区域。

而且，在荧光体333形成的情况下，由喷墨头20将含有与各色(R、G、B)相对应的荧光材料的液状体作为液滴喷出，注入对应色的放电室329内。

以上，在本实施例中，特别是作为构成地址电极330、显示电极335及荧光体333的液状体，在使用假塑性流体的液状体的情况下，由于不对液状体加热也能够降低液状体的粘度，所以即使是高粘度的墨水及不能加热的墨水，进而即使是干燥性高的墨水，也能够从喷头稳定地喷出，能够以所希望的特性在基板上制膜。结果是，由喷墨头20所喷出的墨水制造的等离子体型显示装置325，能够以所希望的大小、形状制膜，并能够保证品质。

(第四实施例)

以下，作为本发明的第四实施例，对本发明的第一实施例的制膜装置，例如适用于使用FED(场发射显示器)等电子放射元件的图像形成装置的制造装置的情况加以说明。

关于电子放射元件的配列，可以采用种种形式。作为一例，有并列配置的多数电子放射元件的各个的两端相接，电子放射元件的行多数配列(称为行方向)，在与该布线垂直的方向(称为列方向)上，由在该电子放射元件的上方配置的控制电极(也称为栅格)，成为控制驱动从电子放射元件的电子的梯子状配置。与此不同的还可以列举出，电子放射元件在X方向及Y方向呈行列状多数配置，同一行中配置的多个电子放射元件的电极的一方共同与X方向布线相连接，同一列中配置的多个电子放射元件的电极的一方共同与Y方向布线相连接的例子。这就是单纯的矩阵配置。以下首先对单纯的矩阵配置进行详细说明。

一般地，关于电子放射元件，有三个特性。即，从表面传导型电子放射元件所放出的电子，在其阈值电压以上，可以由在对向的元件电极间施加的脉冲状电压的波高值与宽度所控制。另一方面，在阈值电压以下，则几乎不放出电子。根据这一特性，即使是在多个电子放射元件配置的情况下，如果对各个元件适宜地施加脉冲状电压，则能够对应于输入信号，选择表面传导型电子放射元件，并控制电子放射量。

以下，基于所述原理，使用图21对配置多个电子放射元件所得到的电子源基板进行说明。

在图21中，471是电子源基板，472是X方向布线，473是Y方向布线。474是电子放射元件，475是接线。

m条X方向布线472是由D_x1、D_x2、……D_xm所构成，可以由使用真空沉积法、印刷法、溅射法、液滴喷出法等导电性金属等所构成。可以对布线的材料、膜厚、宽度等进行适宜的设计。n条Y方向布线473是由D_y1、D_y2、……D_yn n条布线所构成，与X方向布线472同样地形成。在这些m条X方向布线472与n条Y方向布线473之间设置有未图示的层间绝缘膜，将二者电分离(m、n同为正整数)。未图示的层间绝缘膜，可以由使用真空沉积法、印刷法、溅射法等形成的SiO₂等所构成。例如，在形成X方向布线472的基板471的全面或一部分形成所希望的形状，特别是，为了能够在X方向布线472与Y方向布线473的交叉部得到耐电位差，对布线的膜厚、材料、制备方法等进行适宜的设计。X方向布线472与Y方向布线473作为外部接头而分别引出。

构成电子放射元件474的一对元件电极(未图示)，通过由导电性金属等构成的接线475，分别与m条X方向布线472及n条Y方向布线473相电连接。构成布线472及布线473的材料、构成接线475的材料、以及构成一对像素电极的材料，其构成元素的一部分或全部可以是同样的材料，也可以有所不同。这些材料，例如可以由元件电极402、403(参照图2)的材料进行适宜的选择。在构成像素电极的材料与布线材料为同一的情况下，连接元件电极的布线可以就是元件电极。

在X方向布线472上，连接有为了选择在X方向上配列的电子放射元件474的行而施加扫描信号的扫描信号施加装置(未图示)。另一方面，在Y方向布线473上，连接有为了对应于在Y方向上配列的电子放射元件474的各列的输入信号并调制的调制信号发生装置(未图示)。向各电子放射元件施加的驱动电压，是作为对相应的元件所施加的扫描信号与调制信号的差电压而供给的。

在所述结构中，使用单纯的矩阵布线，能够选择个别的元件，进行独立的驱动。

对于这样的使用单纯矩阵配置的电子源而构成的图像形成装置，使用图22进行说明。

图22是表示图像形成装置的表示面板的一例的模式图。

在图22中，471是配置有多个电子放射元件的电子源基板，481是固定电子源基板471的背板，486是在玻璃基板483的内面形成荧光膜484及金属背485等的面板。482是支撑框，在该支撑框482上，使用玻璃等连接有背板481及面板486。488是外围器，例如可通过在大气或氮气中400～500℃的温度范围烧结10分钟以上，密封而构成。

474是电子放射元件。472、473是与表面传导型电子放射元件的一对元件电极相连接的X方向及Y方向上的布线。如上所述，外围器488由面板486、支撑框482、以及背板481所构成。背板481是为了增大基板471的强度而设置，所以在基板471具有足够强度的情况下，可以不另设背板481。即，可以在基板471上直接密封支撑框482，由面板486、支撑框482、及基板471构成外围器488。另一方面，通过在面板486与背板481之间设置被称为隔板的支撑体(未图示)，能够构成对于大气压具有足够强度的外围器488。

在单色的情况下，荧光膜484可仅由荧光体所构成。在彩色荧光膜的情况下，可以由荧光体的配列，或由被称为黑色条纹或黑色矩阵的黑色导电材料与荧光体(均未图示)所构成。设置黑色条纹或黑色矩阵的目的在于，在彩色表示的情况下，使在必要的三原色荧光体的荧光体之间分开的部分变黑而减轻混色，以及抑制由于外光反射而引起的荧光膜484中对比度的下降。作为黑色的导电材料，通常使用的是以石墨为主要成分的材料，此外还可以使用具有导电性，光的透过及反射少的材料。

在这种情况下，在玻璃基板483上涂敷荧光体的方法，与单色或彩色无关，都可以采用沉淀法或印刷法等涂敷方法，此外还可以使用在第一实施例中所表示的使用制膜装置10的喷墨法。在荧光膜484的内侧面，通常设置有金属背485。设置金属背的目的在于，通过对荧光体发光中内侧面的光向面板486一侧的镜面反射而提高亮度、起到为施加电子束加速电压的电极的作用、保护荧光体不受由于外围器内发生的负离子的冲突而引起的损害等。金属背通常是在荧光膜制作之后，对荧光膜内侧的表面实行平滑化处理(通常称为镀膜处理)，随后使用真空沉积铝等堆积制作。

在面板486中，为了进一步提高荧光膜484的导电性，还可以在荧光膜484的外侧设置透明电极(未图示)。在进行上述密封时，彩色的情况下必须使各色荧光体与电子放射元件相对应，充分的位置吻合是不可缺少的。

图22所示的图像形成装置，例如可以由以下的工序制造。

在外围器488内，在适宜加热的同时，由离子泵、吸气泵等不使用油的排气装置通过未图示的排气管而排气，达到约1.3×10^-5Pa的真空度，有机物质充分少的气氛之后，进行密封。为了维持外围器488密封后的真空度，也可以进行“收集”处理。这是在对外围器488将要进行密封之前或之后，利用电阻加热或高频加热，对在外围器488内规定的位置配置的“收集器”(未图示)进行加热，形成沉积膜的处理。“收集器”通常是以钙为主要成分，由该沉积膜的吸附作用，例如可以维持1.3×10^-5Pa以上的真空度。这里，电子放射元件的镀膜处理以后的工序能够适宜地设定。

表示面板401通过接头D_()x1到、D_()xm，D_()y1到D_()yn，及高压接头487，与外部的电气线路相连接。在接头D_()x1到、D_()xm中，施加为了对表示面板401内设置的电源部，即m行n列的行列状矩阵布线的电子放射元件群顺次逐行(n元件)驱动的扫描信号。在接头D_()y1到D_{() yn}中，则施加为了控制由所述扫描信号所选择的一行的电子放射元件中各元件的输出电子束的调制信号。在高压接头487中，由直流电源供给例如100V的直流电压，这是为了能够对从电子放射元件所放出的电子束付与激励荧光体充分能量的加速电压。

在适用由这样的结构所得到的本发明的图像形成装置中，通过由容器外接头D_()x1到、D_()xm，D_()y1到D_()yn对各电子放射元件施加电压，产生电子放射。通过高压接头487对金属背485或透明电极(未图示)施加高压，对电子束加速。加速的电子冲击荧光膜484，产生发光形成图像。

以上，在本实施例中，特别是作为含有构成荧光膜484的荧光体的液状体，在使用假塑性流体的液状体的情况下，由于不对液状体加热也能够降低液状体的粘度，所以即使是高粘度的墨水及不能加热的墨水，进而即使是干燥性高的墨水，也能够从喷头稳定地喷出，能够以所希望的特性在基板上制膜。结果是，由喷墨头20所喷出的墨水制造的图像形成装置401，能够以所希望的大小、形状制膜，并能够保证品质。

还有，本发明并不限于所述实施例，在不超出权利要求范围的界限内，可以进行种种的变更。

例如，在所述实施例中，作为压力发生装置是由压电元件的驱动而从喷头喷出墨水的结构，但也可以在喷头内设置加热器(气泡发生装置)，由控制器的控制下加热器的加热所产生的气泡而喷出墨水的结构。在这种情况下，在不喷出墨水的待机时间，连续实施对加热器的驱动与停止，使墨水处于不喷出的范围，可以由气泡的伸缩而付与墨水振动，能够得到与所述使用压电元件同样的作用与效果。

而且，除所述实施例之外，制膜装置还可以用于例如在用纸上印字、制膜的打印机(绘图机)等。

进而，对本发明的制膜装置供给金属材料及绝缘材料等，除所述实施例之外，还可以使金属布线及绝缘膜等成为直的微细图案，应用于新的高功能器件的制作。

还有，在所述实施例中，为了方便起见称为“喷墨装置”及“喷墨头”，将喷出的喷出物称为“墨水”而进行的说明，但由该喷墨头所喷出的喷出物并不限于墨水，只要是能够调整使其作为液滴从喷头喷出的物质即可，例如，当然可以是包含所述EL器件的材料、金属材料、绝缘材料、或半导体材料等各种材料的物质。

而且，图示的制膜装置的喷墨头20，是能够喷出R(红)、G(绿)、B(蓝)中一种墨水，当然也可以是能够同时喷出其中两种或三种墨水的结构。而且，制膜装置10的第一移动装置14与第二移动装置16是使用的直线马达，但也不限于此，可以使用其它种类的马达或加载器等。

Claims

1.一种制膜装置的驱动方法，用于通过对液状体付与振动而喷出液滴，其特征在于：通过使所述液滴喷出的第一信号和使所述液滴不喷出且向所述液状体施于使该液状体呈低粘度的移位速度的第二信号来控制所述振动，

所述液状体是非牛顿性的假塑性流体。

2.根据权利要求1所述的制膜装置的驱动方法，其特征在于：所述第二信号在所述第一信号发送之前发送。

3.根据权利要求1所述的制膜装置的驱动方法，其特征在于：所述第二信号在所述第一信号发送之后发送。

4.根据权利要求1所述的制膜装置的驱动方法，其特征在于：在从所述第一信号发送之后到再一次发送之间，所述第二信号至少被发送一次。

5.根据权利要求1所述的制膜装置的驱动方法，其特征在于：在从所述第一信号发送之后到再一次发送之间的间隔时间比规定时间短的情况下，不发送所述第二信号。

6.一种器件制造方法，具有使液滴喷出装置喷出液滴在基板上制膜的制膜工序，其特征在于：使用权利要求1～权利要求5中任一项所述制膜装置的驱动方法进行所述制膜工序。

7.一种制膜装置，由具有对液状体付与振动的压力发生室的液滴喷出装置进行喷出液滴，其特征在于：在所述压力发生室内设置有压力发生装置，具有：控制所述压力发生装置的控制装置，使得通过使所述液滴喷出的第一信号和使所述液滴不喷出且对所述液状体施于使该液状体呈低粘度的移位速度的第二信号来对所述液状体付与振动，

所述液状体是非牛顿性的假塑性流体。

8.根据权利要求7所述的制膜装置，其特征在于：所述压力发生装置是付与所述压力发生室振动，喷出所述液滴的压电元件。

9.根据权利要求7所述的制膜装置，其特征在于：所述压力发生装置具有：通过使所述液状体内发生气泡而喷出所述液滴的气泡发生装置和控制所述气泡发生装置的驱动、使所述发生的气泡伸缩的控制装置。

10.一种器件制造装置，具有由液滴喷出装置喷出的液滴在基板上制膜的制膜装置，其特征在于：使用权利要求7～9中任一项所述的制膜装置作为所述制膜装置。

11.一种器件，其特征在于：由权利要求10所述的器件制造装置所制造。