CN115702332A - 测试泄漏装置 - Google Patents
测试泄漏装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN115702332A CN115702332A CN202180044462.1A CN202180044462A CN115702332A CN 115702332 A CN115702332 A CN 115702332A CN 202180044462 A CN202180044462 A CN 202180044462A CN 115702332 A CN115702332 A CN 115702332A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- test
- base
- membrane
- leak
- leak device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000012360 testing method Methods 0.000 title claims abstract description 119
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims abstract description 42
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 38
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 10
- 230000007423 decrease Effects 0.000 claims description 5
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 claims 2
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 5
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 3
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 3
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 2
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000004868 gas analysis Methods 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 description 1
- 238000009736 wetting Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
- G01M3/007—Leak detector calibration, standard leaks
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
- G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Examining Or Testing Airtightness (AREA)
Abstract
在用于测试气体泄漏检测装置的功能和校准气体泄漏检测装置的测试泄漏装置(10)中，该气体泄漏检测装置具有用于接收测试对象和测试泄漏装置(10)的可疏散的测试室(34)，其中测试泄漏装置(10)具有底座(12)、盖子(16)和至少一个连接底座(12)和盖子(16)的侧壁(14)，环绕形成能够填充测试气体或测试液体的内部空间(20)。底座(12)被限定为具有可渗透测试气体或测试液体的成分的膜(24)，并且侧壁(14)被限定为使其面向内部空间(20)的内侧(18)的相互相对部分在盖子区域中比在底座区域中彼此之间的距离更大。
Description
本发明涉及一种用于测试气体泄漏检测装置的功能和校准气体泄漏检测装置的测试泄漏装置。
气体泄漏检测装置通常包括可疏散的测试室，在该测试室中放置填充有气体或液体的测试对象。测试室有与之相连的气体分析装置，该气体分析装置分析从测试室抽出的气体，以检测可能的通过测试对象的泄漏点逸入测试室的泄漏气体，或检测通过泄漏点逸出并被蒸发的液体。在此，特别重要的是能够从检测到的泄漏气体的数量中推断出泄漏点的大小。为此目的，使用了测试泄漏装置，其中含有预定数量的已知测试气体或测试液体，并提供具有已知尺寸和/或对所含液体的已知渗透性的泄漏点。测试泄漏装置通常用于测试气体泄漏检测装置的功能和校准气体泄漏检测装置。
测试泄漏装置的泄漏点通常被设计成膜，其泄漏率取决于该膜主体对相应测试气体或测试液体的渗透性、膜温度、测试气体/测试液体的温度和蒸汽压力、在该膜的内侧/液体侧的湿润程度以及在该膜的出口侧(即测试泄漏装置的外侧)的通风情况。
例如，EP 2 447 694 B1描述了一种液体填充测试泄露，气体或蒸汽或通过气体输送的液体成分从其中逸出。从测试泄漏处逸出的气体或蒸汽或通过气体输送的液体成分，是由液体由于其特殊的蒸汽压力或通过膜的固体层渗透而形成的。
膜测试泄露的泄漏率取决于该膜的内侧是否以及在多大程度上被液体浸润。在这方面，膜是否与液体直接接触或只与液体蒸汽接触，可对泄漏率有很大影响。为了获得稳定的泄漏率，应当防止液体接触膜上，或者应当确保只有液体蒸汽与膜接触。
DE 10 2014 200 907 B4描述了一种具有包含液体或液体混合物的储气罐的参考排气系统。运输真空室围绕着储气罐。在运输真空室中的室压低于10千帕。
本发明的目的是提供一种改进的测试泄漏装置，该装置包括具有稳定泄漏率的膜。
该测试泄漏装置是由权利要求1的特征或权利要求2的特征所定义。
根据本发明，测试泄漏装置包括底座、盖子和至少一个连接底座和盖子的侧壁，底座、盖子和侧壁围绕形成内部空间，该内部空间能够充满测试气体或测试液体。测试泄漏装置具有可渗透测试气体或测试液体成分的膜，从而测试气体或测试液体成分能够通过该膜从测试泄漏装置中逸出。
本发明的特点是，膜设置在测试泄漏装置的底座中，侧壁的内侧(面向内部)彼此相对的部分在盖子的区域中比在底座的区域中彼此间隔得更远。因此，侧壁的相对部分之间的距离从盖子向底座递减，因此包含在内部空间中的测试液体在重力作用下沿着侧壁的部分流向膜。
作为替代方案，可以在测试泄漏装置的底座上形成凹槽，其中该凹槽具有面向内部的内侧，该内侧的彼此相对的部分在盖子的区域中比在底座的区域中彼此间隔得更远。换句话说，该内侧的彼此相对的部分彼此之间的距离从顶部(从盖子)到底部(向底座)递减。
侧壁或凹槽的内侧(面向内部)的彼此相对的部分之间的距离，优选地，从盖子向底座逐渐减少。内侧可圆柱形地围绕内部空间，特别是，朝向膜方向圆锥形地变细。在此，如果在底座区域，内侧与膜或在底座上形成的包含膜的通孔相连接，则特别有利。
在这种情况下，通孔和/或膜可以形成圆柱形，并具有面向内部空间的圆形表面、侧壁或凹槽的内侧与该圆形表面的外缘相连接。
底座远离内部的下侧，即当测试泄漏装置放置在气体泄漏检测装置的测试室底部时，底座面向测试室底部的外侧有利地设有至少一个垫片，当测试泄漏装置包含在测试室中时，可防止底座的下侧与测试室底部接触。垫片有利于测试液体或测试液体的蒸汽从测试泄漏装置中通过膜进入测试室，在测试泄漏装置和测试室底部之间的区域，使测试液体或蒸汽在测试室中均匀分布。
测试泄漏装置优选地包括由阀门关闭的填充口。
本发明的优点是，由于内侧相对部分之间的距离向膜或底座上的通孔递减，膜体被测试液均匀浸润，因为重力作用使测试液在测试泄漏装置内向底座移动，从而向膜移动。因此由测试泄漏装置的底座、盖子和侧壁围成用于测试液体的储存容量从上往下向膜逐渐变小。
下面将参考附图对本发明的实施例进行更详细的说明书。在附图中：
图1是测试泄漏装置的第一实施例的截面图；和
图2是测试泄漏装置的第二实施例的横截面。
在这两个实施例中，测试泄漏装置具有底座12，该底座被从底座外缘横向突出的圆周形侧壁14整体包围。盖子16以流体密封的方式与侧壁连接，从而底座12、侧壁14和盖子16以流体密封的方式围合形成内部空间20。因此，内部空间20能够被填充测试流体，即测试气体或测试液体。
在底座12上形成了通孔22，该通孔使内部空间20与测试泄漏装置的外部环境连通，通孔中插入有膜24，该膜被配置为对测试或测试液体的成分具有渗透性。因此，包含在内部空间20中的测试液体只能通过膜24从测试泄漏装置中逸出。
侧壁14被配置为沿的底座12的外圆周从底座12呈圆柱形突出的环状物，其内侧26形成向膜24和通孔22逐渐变细的圆锥体。在其面向底座12的下端，该圆锥体具有中心开口，该中心开口通向通孔22并与膜24相连接。
由于底座12和侧壁14彼此是整体连接的，内侧26的圆锥体也可以被看作是底座12的凹槽。
由于重力的作用，且内部空间20的直径向通孔22和膜24的方向逐渐缩小，包含在内部空间20中的测试液体沿着内侧18流入通孔22并向膜24流动。因此，只要测试泄漏装置10直立在基板上，例如气体泄漏检测装置(图中未完全示出)的测试室34的底部32，膜就会被测试液体均匀地浸湿。
在图1的实施例中，底座12的下侧28设有多个以突出物30形式存在的垫片30，这些垫片30向下突出于下侧28。当测试泄漏装置10放置在测试室的底部时，这些垫片30在下侧28和测试室的底部之间形成了一定距离。在该图中，测试室的底部由参考数字32标识，而测试室则由参考数字34标识。
在其中一个垫片30的区域，底座12上有填充口36，该填充口使内部空间20与测试泄漏装置10的外部环境相通，并采用阀门38关闭。阀门38被配置为使得测试液体能够从外部灌入内部空间20，但不能使其从内部空间20通过填充口36逸出到外部。
在图2的实施例中，底座12的下侧28具有以板的方式形成并同心地围绕着通孔22的形状，没有单独的垫片30与底座一体形成。膜24被插入到通孔22的下端。通孔22通向内部空间20且与膜24相比具有较小的直径。通孔22被孔洞40同心地包围着，用于固定膜24的紧固元件以螺丝的形式被插入孔洞中，在第二实施例中，紧固元件通过带有螺纹啮合的传统螺丝连接被固定在孔洞中。从下面向上插入孔洞40的螺丝头向下突出(图2中未示出)超出底座12的下侧28，从而形成可与第一实施例的垫片30相当的垫片。
Claims (9)
1.一种用于测试气体泄漏检测装置的功能和校准所述气体泄漏检测装置的测试泄漏装置(10)，所述体泄漏检测装置具有用于接收测试对象和/或所述测试泄漏装置(10)的可疏散的测试室(34)，其中，所述测试泄漏装置(10)具有底座(12)、盖子(16)和至少一个连接所述底座(12)和所述盖子(16)的侧壁(14)，围合形成能够填充测试气体或测试液体的内部空间(20)，
其特征在于，
所述底座(12)具有膜(24)，所述膜(24)对所述测试气体或所述测试液体的成分具有渗透性，并且
所述侧壁(14)面向所述内部空间(20)的内侧(18)的彼此相对部分在所述盖子的区域中比在所述底座的区域中彼此之间的距离更大。
2.一种用于测试气体泄漏检测装置的功能和校准所述气体泄漏检测装置的测试泄漏装置(10)，所述气体泄漏检测装置具有用于接收测试对象和/或所述测试泄漏装置(10)的可疏散的测试室(34)，其中，所述测试泄漏装置(10)具有底座(12)、盖子(16)和至少一个连接所述底座(12)和是盖子(16)的侧壁(14)，围合形成能够填充测试气体或测试液体的内部空间(20)，
其特征在于，
所述底座(12)具有膜(24)，所述膜(24)对所述测试气体或所述测试液体的成分具有渗透性，并且
所述底座具有凹槽，所述凹槽具有面向所述内部空间(20)的内侧(18)，其中所述内侧(18)的彼此相对部分在所述盖子的区域中比在所述底座的区域中彼此之间的距离更大。
3.根据权利要求1或2所述的测试泄漏装置(10)，其特征在于，所述侧壁(14)面向所述内部空间(20)的所述内侧(18)的彼此相对部分的距离从所述盖子(16)到所述底座(12)逐渐减少。
4.根据前述权利要求之一所述的测试泄漏装置(10)，其特征在于，所述侧壁(14)的所述内侧(18)圆柱形地环绕着所述内部空间(20)，并朝向所述膜圆锥形地变细。
5.根据前述权利要求之一所述的测试泄漏装置(10)，其特征在于，在所述底座的所述区域中，所述侧壁(14)的内侧与包括所述膜(24)的通孔(22)相连接。
6.根据权利要求5所述的测试泄漏装置(10)，其特征在于，所述通孔(22)形成为圆柱形，并且具有面向所述内部的圆形表面，所述圆形表面的外缘与所述侧壁(14)的所述内侧相连接。
7.根据前述权利要求之一所述的测试泄漏装置(10)，其特征在于，底座(12)面向远离内部空间(20)的下侧(28)设有至少一个垫片(30)，当所述测试泄漏装置包含在所述测试室中时，可防止所述底座的所述下侧(28)与所述测试室的底部(32)接触。
8.根据前述权利要求之一所述的测试泄漏装置(10)，其特征在于，所述测试泄漏装置具有通过阀门(38)关闭的填充口(36)。
9.根据前述权利要求之一所述的测试泄漏装置(10)，其特征在于，所述底座(12)和所述侧壁(16)形成为一体件，所述内侧(18)形成为所述一体件的凹槽。
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE102020116939.6A DE102020116939A1 (de) | 2020-06-26 | 2020-06-26 | Prüfleckvorrichtung |
| DE102020116939.6 | 2020-06-26 | ||
| PCT/EP2021/063920 WO2021259579A1 (de) | 2020-06-26 | 2021-05-25 | Pruefleckvorrichtung |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN115702332A true CN115702332A (zh) | 2023-02-14 |
Family
ID=76250313
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202180044462.1A Pending CN115702332A (zh) | 2020-06-26 | 2021-05-25 | 测试泄漏装置 |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US20230251159A1 (zh) |
| EP (1) | EP4172585B1 (zh) |
| JP (1) | JP7634577B2 (zh) |
| KR (1) | KR20230027065A (zh) |
| CN (1) | CN115702332A (zh) |
| DE (1) | DE102020116939A1 (zh) |
| WO (1) | WO2021259579A1 (zh) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102022109454A1 (de) | 2022-04-19 | 2023-10-19 | Inficon Gmbh | Testleckvorrichtung |
| DE102023102685A1 (de) * | 2023-02-03 | 2024-03-07 | Asml Netherlands B.V. | Referenzausgasungsprobe und Referenzausgasungssystem |
| DE102023112051A1 (de) | 2023-05-09 | 2024-11-14 | Inficon Gmbh | Anschlussvorrichtung für eine Prüfleckvorrichtung |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3062012A (en) * | 1957-09-12 | 1962-11-06 | Phillips Petroleum Co | Detection of leaks from underground storage caverns |
| DE10122733A1 (de) | 2001-05-10 | 2002-11-14 | Inficon Gmbh | Testleckvorrichtung |
| DE10162126A1 (de) * | 2001-12-18 | 2003-07-03 | Inficon Gmbh | Gasdurchlass mit selektiv wirkenden Gasdurchtrittsflächen |
| US8361196B2 (en) * | 2010-04-09 | 2013-01-29 | Inficon Gmbh | Gas-selective membrane and method of its production |
| EP2447694B1 (de) | 2010-10-28 | 2014-05-21 | Boehringer Ingelheim Pharma GmbH & Co. KG | Prüfleck zur Überprüfung von Leckagemesssystemen |
| DE102014200907B4 (de) | 2014-01-20 | 2020-03-05 | Bundesrepublik Deutschland, vertreten durch das Bundesministerium für Wirtschaft und Technologie, dieses wiederum vertreten durch den Präsidenten der Physikalisch-Technischen Bundesanstalt Braunschweig | Referenzausgasungssystem und zugeordnetes Verfahren |
-
2020
- 2020-06-26 DE DE102020116939.6A patent/DE102020116939A1/de active Pending
-
2021
- 2021-05-25 CN CN202180044462.1A patent/CN115702332A/zh active Pending
- 2021-05-25 EP EP21729458.6A patent/EP4172585B1/de active Active
- 2021-05-25 US US18/011,695 patent/US20230251159A1/en active Pending
- 2021-05-25 JP JP2022580244A patent/JP7634577B2/ja active Active
- 2021-05-25 WO PCT/EP2021/063920 patent/WO2021259579A1/de unknown
- 2021-05-25 KR KR1020227044835A patent/KR20230027065A/ko active Pending
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE102020116939A1 (de) | 2021-12-30 |
| DE102020116939A8 (de) | 2023-01-26 |
| WO2021259579A1 (de) | 2021-12-30 |
| US20230251159A1 (en) | 2023-08-10 |
| KR20230027065A (ko) | 2023-02-27 |
| EP4172585A1 (de) | 2023-05-03 |
| JP7634577B2 (ja) | 2025-02-21 |
| EP4172585B1 (de) | 2024-10-09 |
| JP2023531085A (ja) | 2023-07-20 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN115702332A (zh) | 测试泄漏装置 | |
| RU2700830C2 (ru) | Способ калибрования пленочной камеры для обнаружения утечек | |
| KR101126964B1 (ko) | 누설 검사 장치 | |
| CN107076636A (zh) | 具有用于粗泄漏测试的测量体积的薄膜腔 | |
| JP2013160747A (ja) | 圧力検出器 | |
| JP7165727B2 (ja) | 密封性評価方法等 | |
| CN108645575A (zh) | 一种液体渗漏检测设备和方法 | |
| CN217466575U (zh) | 真密度检测装置和真密度仪 | |
| EP0983493A2 (en) | Testing fluid-containing systems | |
| JP2886689B2 (ja) | 蓄電池用の液補充用およびガス排気用装置 | |
| CN218444353U (zh) | 一种微泄漏密封性测试仪 | |
| US5702576A (en) | Electrochemical measuring cell | |
| CN218470120U (zh) | 一种样品保存管的管盖密封性能检测装置 | |
| JP4278569B2 (ja) | 圧力測定器 | |
| JP2025513232A (ja) | テストリーク装置 | |
| CN212133978U (zh) | 仪器性能的检验装置及容器 | |
| CN212158979U (zh) | 一种包装容器完整性真空衰减法测试仪 | |
| CN114599951A (zh) | 用于检测泄漏的系统和相关联方法 | |
| CN215338771U (zh) | 密封性检测装置 | |
| KR101707553B1 (ko) | 탱크 수위 측정용 센서를 위한 센서 브라켓 | |
| US12117369B2 (en) | System and method for leak testing a sealed package | |
| CN222146137U (zh) | 质谱校准装置和质谱检测系统 | |
| CN222800282U (zh) | 一种标准漏孔装置 | |
| CN115078173B (zh) | 一种基于孔道集成模块的最大理论密度测定仪及测试方法 | |
| JPWO2021259579A5 (zh) |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination |