CN111669693A - 一种传感器测试机台及传感器测试方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种传感器测试机台及传感器测试方法。根据本发明实施例的传感器测试机台包括入料口，用于待测试产品的输入；测试治具，用于承载所述待测试产品，并作为所述待测试产品的测试场所；以及产品传输通道，分别与所述入料口和所述测试治具相连接，用于所述待测试产品的传输，所述入料口位于所述测试治具的上方，以使所述待测试产品在重力作用下从所述产品传输通道滑动到所述测试治具上。根据本发明实施例的传感器测试机台及传感器测试方法，能够减少震动对传感器测试的影响。

Description

一种传感器测试机台及传感器测试方法

技术领域

本发明涉及传感器测试技术领域，特别涉及一种传感器测试机台及传感器测试方法。

背景技术

现有的微机电系统(MEMS,Micro-Electro-Mechanical System)麦克风测试装置，是由机械控制器、产品传输通道和测试治具组成的，用于微机电系统等的测试。

图1示出了根据现有技术的测试装置的应用场景示意图。如图1所示，现有的测试装置1在进行测试的过程中，很容易受到产品传输通道等设备的震动干扰和外界的震动干扰。在现有技术中，从入料口输入的产品通过震动的方式进行上料，然后在测试治具中进行测试。来自产品传输通道(用于震动上料)、其他设备共振、人员行走及车辆经过等因素造成的地面震动的干扰会直接作用于测试产品的上面，会对产品的测试产生不利影响。

因此，希望能有一种新的传感器测试机台及传感器测试方法，能够克服上述问题。

发明内容

鉴于上述问题，本发明的目的在于提供一种传感器测试机台及传感器测试方法，从而减少震动对传感器测试的影响。

根据本发明的一方面，提供一种传感器测试机台，包括：入料口，用于待测试产品的输入；测试治具，用于承载所述待测试产品，并作为所述待测试产品的测试场所；以及产品传输通道，分别与所述入料口和所述测试治具相连接，用于所述待测试产品的传输，其中，所述入料口位于所述测试治具的上方，以使所述待测试产品在重力作用下从所述产品传输通道滑动到所述测试治具上。

优选地，所述传感器测试机台还包括：底座，用于承载所述测试治具和所述产品传输通道；以及缓冲层，位于所述底座和地面之间，用于吸收外界的震动。

优选地，所述缓冲层呈蜂窝状。

优选地，所述传感器测试机台还包括：控制器，分别与所述测试治具和传感器测试机台中的震动部件相连接，用于分别控制所述测试治具和所述震动部件，其中，在所述测试治具进行测试时，所述控制器控制所述震动部件停止工作。

优选地，所述传感器测试机台还包括：机械手臂，用于取放测试后的产品，其中，在测试完成后，所述机械手臂吸取所述测试后的产品，并将测试合格的产品放置在良品区，将测试不合格的产品放置在不良品区。

根据本发明的另一方面，提供一种传感器测试方法，包括以下步骤：将待测试产品输送至测试治具；以及对所述待测试产品进行测试，其中，所述待测试产品通过滑动输送至所述测试治具。

优选地，所述对所述待测试产品进行测试包括：关闭传感器测试机台中的震动部件；以及开启测试治具进行测试。

优选地，所述测试治具进行测试时，所述震动部件停止工作。

优选地，所述传感器测试方法还包括：在所述测试完成后，按照是否符合测试要求，将测试后的产品分类。

优选地，所述传感器测试方法包括：在将所述测试后的产品分类后，将所述测试后的产品移出所述测试治具；以及将下一批次待测试产品输送至所述测试治具，并进行测试。

根据本发明实施例的传感器测试机台及传感器测试方法，用滑动的方式传输产品，减少了产品传输过程中的震动，减少了震动对传感器测试的影响。

根据本发明实施例的传感器测试机台及传感器测试方法，在进行测试的过程中，停止其他震动部件的工作，减少了传感器测试机台自身震动对传感器测试的影响。

根据本发明实施例的传感器测试机台，通过在传感器测试机台和地面之间增加缓冲层，以吸收地面传导的震动，减少了地面震动对传感器测试的不利影响。

根据本发明实施例的传感器测试机台及传感器测试方法，无需对设备进行较大的改动就可以在实现测试时起隔震的作用；改造后的传感器测试机台既适用于硅麦克风的测试，也适用于硅麦克风形式封装下振动传感器的测试。

附图说明

通过以下参照附图对本发明实施例的描述，本发明的上述以及其他目的、特征和优点将更为清楚，在附图中：

图1示出了根据现有技术的测试装置的应用场景示意图；

图2示出了根据本发明实施例的传感器测试机台的结构示意图；

图3示出了根据本发明实施例的传感器测试机台的局部示意图；

图4示出了根据本发明实施例的测试治具的结构示意图；

图5示出了根据本发明实施例的传感器测试方法的方法流程图。

具体实施方式

以下将参照附图更详细地描述本发明的各种实施例。在各个附图中，相同的元件采用相同或类似的附图标记来表示。为了清楚起见，附图中的各个部分没有按比例绘制。此外，在图中可能未示出某些公知的部分。

下面结合附图和实施例，对本发明的具体实施方式作进一步详细描述。在下文中描述了本发明的许多特定的细节，例如部件的结构、材料、尺寸、处理工艺和技术，以便更清楚地理解本发明。但正如本领域的技术人员能够理解的那样，可以不按照这些特定的细节来实现本发明。

应当理解，在描述部件的结构时，当将一层、一个区域称为位于另一层、另一个区域“上面”或“上方”时，可以指直接位于另一层、另一个区域上面，或者在其与另一层、另一个区域之间还包含其它的层或区域。并且，如果将部件翻转，该一层、一个区域将位于另一层、另一个区域“下面”或“下方”。

图2示出了根据本发明实施例的传感器测试机台的结构示意图。如图2所示，根据本发明实施例的传感器测试机台包括产品传输通道10、测试治具20和缓冲层30。

具体地讲，传感器测试机台上设置有产品传输通道10。产品传输通道10连接传感器测试机台的入料口和测试治具20，用于产品的传输。可选地，入料口位于所述测试治具的上方。在重力的作用下，待测试产品能够通过产品传输通道10自主的从入料口滑落至测试治具20处。待测试产品相对于产品传输通道10滑动以实现待测试产品的传输。可选地，产品传输通道10固定不动，待测试产品相对于产品传输通道10运动(滑动)，以实现从入料口到测试治具20的传输。

在本发明的可选实施例中，入料口位于所述测试治具的正下方或斜下方。产品传输通道10可以是螺旋形的滑道。在重力的作用下，待测试产品能够通过产品传输通道10螺旋下降(滑落)至测试治具20处。

测试治具20位于传感器测试机台上，用于待测试产品的测试。测试治具20例如用于对MEMS麦克风进行频响测试，或是其它的声学测试。测试治具20例如用于对硅麦封装形式的震动传感器的测试。

在本发明的可选实施例中，产品传输通道10上设置有多个送料槽。所述多个送料槽分别连接传感器测试机台的入料口和测试治具20的不同位置。待测试产品经过入料口后，可以从不同的送料槽滑落至测试治具20的不同地方。

在本发明的可选实施例中，待测试产品从入料口通过产品传输通道10传输至测试机台20后，进行测试。测试完成后，再由机械手臂吸取测试后的产品，并将测试后的产品放置在对应的良品区或不良品区。

在本发明的可选实施例中，待测试产品分批次进行测试。第一批待测试产品通过入料口和产品传输通道10输送至测试治具20，并在测试治具20中进行测试。第一批待测试产品测试完成后，由机械手臂将测试后的产品放置在对应的良品区或不良品区。在放置工作完成后，第二批待测试产品通过入料口和产品传输通道10输送至测试治具20，并进行测试。循环执行上述步骤，分批次的实现对待测试产品的测试。

基于上述实施例的传感器测试机台，舍弃了传统的通过震动传输待测试产品的方式。待测试产品从入料口进入传感器测试机台后，通过产品传输通道10滑落至测试治具20处以进行测试，减少了待测试产品传输过程中的震动以降低对测试的影响，保证了测试的效果。

在本发明的可选实施例中，传感器测试机台还包括底座和缓冲层30。底座用于承载测试治具20、产品传输通道10等部件。缓冲层30位于底座的下方，并与底座相连接。缓冲层位于底座和地面之间，用于吸收外界的震动。可选地，缓冲层30呈蜂窝状。

在本发明的可选实施例中，传感器测试机台还包括缓冲层30。缓冲层30位于传感器测试机台与地面之间，用于传感器测试机台的支撑以及外界震动的吸收。可选地，缓冲层30在具有一定的刚度以支撑传感器测试机台的同时，还具有一定的形变能力以吸收外界(地面)的震动，减少外界的震动传导至测试治具20影响测试。

在本发明的可选实施例中，缓冲层30设置有吸能结构，或是由吸能材料制得。可选地，缓冲层30为固体形态，厚度为20cm，内部为蜂窝状(优选为立体的三维蜂窝结构)。可选地，缓冲层30的吸能结构根据外界的震动形式设计，例如当外界的震动主要是人行走、汽车经过等形成的纵波时，缓冲层30的吸能结构相应地设计为主要吸收纵波的结构。

在本发明的可选实施例中，缓冲层30各部分的材料、结构均一致。

在本发明的可选实施例中，缓冲层30各部分的材料和/或结构不相同。可选地，缓冲层30分为上下两层。缓冲层30的上层(靠近传感器测试机台的部分)为刚度较大的部分，主要起稳定支撑传感器测试机台的作用。缓冲层30的下层(靠近地面的部分)具有较好的形变能力，主要起吸收外界震动的作用。

基于上述实施例的传感器测试机台，在传感器测试机台和地面之间设置有能够吸收震动的缓冲层。缓冲层能够吸收由于人行走、汽车经过等原因产生的震动，减少了外界震动传导至测试治具，减少了测试过程中外界震动的不利影响，保证了测试的效果。

在本发明的可选实施例中，传感器测试机台还包括(机械)控制器，用于控制传感器测试机台中的部件。

在本发明的可选实施例中，控制器分别与测试治具20和传感器测试机台中其他的(工作时震动的)震动部件相连接。控制器在测试治具20进行测试时，控制其他的震动部件停止工作(运动)，以减少传感器测试机台自身的震动传导至测试治具20，减少测试过程中震动对测试的不利影响。

图3示出了根据本发明实施例的传感器测试机台的局部示意图。在本发明的一个可选实施例中，如图3所示，传感器测试机台上设置有入料口41。外界的待测试产品通过入料口41输送至传感器测试机台中。

产品传输通道10为具有一定倾斜角度的滑道，一端连接至入料口41，另一端连接至测试治具20。入料口41位于测试治具20的上方，以使待测试产品在重力作用下能够从产品传输通道10滑动到测试治具20上。待测试产品从入料口41送入传感器测试机台，并在重力的作用下，通过产品传输通道10自主地滑落至测试治具20处。待测试产品在测试治具20中进行测试。

在本发明的一个可选实施例中，产品传输通道10为一个连接传感器测试机台入料口的倾斜平面。待测试产品从入料口送入，并滑落至产品传输通道10的底部。机械臂吸取产品传输通道10底部的待测试产品，并将吸取的产品放置到测试治具20的特定位置。

图4示出了根据本发明实施例的测试治具的结构示意图。如图4所示，根据本发明实施例的测试治具20包括测试平台21和连接座22。

具体地讲，测试平台21用于承载待测试产品，以对产品进行测试。连接座22位于测试平台21与传感器测试机台之间，并分别与测试平台21和传感器测试机台连接，用于测试平台21的支撑以及震动的吸收。可选地，连接座22在具有一定的刚度以支撑测试平台21的同时，还具有一定的形变能力以吸收外界(地面)震动和/或传感器测试机台自身的震动，减少外界震动和/或传感器测试机台自身震动传导至测试平台21影响测试。

在本发明的可选实施例中，连接座22设置有吸能结构，或是由吸能材料制得。可选地，连接座22为固体形态，内部为蜂窝状(优选为立体的三维蜂窝结构)。

图5示出了根据本发明实施例的传感器测试方法的方法流程图。如图5所示，根据本发明实施例的传感器测试方法包括以下步骤：

在步骤S501中，将待测试产品输送至测试治具；

将待测试产品输送至测试治具。例如通过如上所述的产品输送通道，将待测试产品输送至测试治具。

在步骤S502中，关闭传感器测试机台中的震动部件，并开启测试。

对所述待测试产品进行测试。具体地讲，关闭传感器测试机台中的震动部件，并开启测试。例如将传感器测试机台中的震动部件全部关闭(停止传感器测试机台中其他硬件部分的运动)，让设备处于静止状态。在震动部件关闭后，开启测试治具，进行测试。可选地，通过控制软件的设计，实现在进行测试的过程中，停止传感器测试机台中其他硬件部分的运动，让设备处于静止状态。

在本发明的可选实施例中，传感器测试方法还包括步骤S503。

在步骤S503中，在测试完成后，按照是否符合测试要求，将产品分类。

在测试完成之后，按照是否符合测试要求，将产品分类。例如在测试完成之后，由机械手臂吸取测试后的产品，将测试合格的产品放置在良品区，将测试不合格的产品放置在不良品区。

基于上述实施例的传感器测试方法，优化了测试方法，减少了测试时的内部震动，保证了测试效果。如上述实施例所述的传感器测试方法，既适用于MEMS麦克风、硅麦克风等的测试，也适用于硅麦克风形式封装下的振动传感器的测试。

在本发明的可选实施例中，由机械控制器实现关闭传感器测试机台中的震动部件，并开启测试。

在本发明的一个具体实施例中，所述传感器测试机台和传感器测试方法应用于MEMS麦克风的频率响应测试(频响测试)。在现有技术中，本领域技术人员通常会采用与测试常规声音频率相同的方式对麦克风低频(频率例如低于20Hz)频率响应性能进行测试，在这种情况下，测试很容易受到外界或自身的震动影响。外界机械干扰震动的频率通常较低，会严重影响相近频率下的麦克风频响测试。外界常见的机械干扰震动源包括附近的大型自动化设备、机械加工设备，厂区中的车辆通行以及附近人员的行走等。根据本发明实施例的传感器测试机台和传感器测试方法也可应用于MEMS麦克风其他的声学测试，或是应用于硅麦封装形式的震动传感器的测试。

根据本发明实施例的传感器测试机台上设置有产品传输通道，待测试产品通过产品传输通道滑动至测试治具。待测试产品的传输方式不涉及到振动，不会影响测试过程。根据本发明实施例的传感器测试方法改进了控制方法，在进行测试的过程中，停止传感器测试机台中其他硬件部分的运动，让测试机台处于静止状态，减少了设备自身震动对测试过程的影响。上述结构和方法的改进，减少了传感器测试机台自身(内部)震动对测试过程的影响，提高了测试效果。

在传感器测试机台与地面之间设置有缓冲层。缓冲层能够吸收外界由于人的行走、汽车经过等原因产生的震动，减少了外界震动传导至测试治具，减少了测试过程中外界震动对产品测试的不利影响。

在上述实施例中，结合了对装置和方法的改进，从传感器测试机台自身和外界两个方面减小了震动对测试过程的影响，提高了测试效果。

应当说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

依照本发明的实施例如上文所述，这些实施例并没有详尽叙述所有的细节，也不限制该发明仅为所述的具体实施例。显然，根据以上描述，可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例，是为了更好地解释本发明的原理和实际应用，从而使所属技术领域技术人员能很好地利用本发明以及在本发明基础上的修改使用。本发明仅受权利要求书及其全部范围和等效物的限制。

Claims (10)

1.一种传感器测试机台，其特征在于，包括：

入料口，用于待测试产品的输入；

测试治具，用于承载所述待测试产品，并作为所述待测试产品的测试场所；以及

产品传输通道，分别与所述入料口和所述测试治具相连接，用于所述待测试产品的传输，

其中，所述入料口位于所述测试治具的上方，以使所述待测试产品在重力作用下从所述产品传输通道滑动到所述测试治具上。

2.根据权利要求1所述的传感器测试机台，其特征在于，所述传感器测试机台还包括：

底座，用于承载所述测试治具和所述产品传输通道；以及

缓冲层，位于所述底座和地面之间，用于吸收外界的震动。

3.根据权利要求2所述的传感器测试机台，其特征在于，所述缓冲层呈蜂窝状。

4.根据权利要求1所述的传感器测试机台，其特征在于，所述传感器测试机台还包括：

控制器，分别与所述测试治具和传感器测试机台中的震动部件相连接，用于分别控制所述测试治具和所述震动部件，

其中，在所述测试治具进行测试时，所述控制器控制所述震动部件停止工作。

5.根据权利要求1所述的传感器测试机台，其特征在于，所述传感器测试机台还包括：

机械手臂，用于取放测试后的产品，

其中，在测试完成后，所述机械手臂吸取所述测试后的产品，并将测试合格的产品放置在良品区，将测试不合格的产品放置在不良品区。

6.一种传感器测试方法，其特征在于，包括以下步骤：

将待测试产品输送至测试治具；以及

对所述待测试产品进行测试，

其中，所述待测试产品通过滑动输送至所述测试治具。

7.根据权利要求6所述的传感器测试方法，其特征在于，所述对所述待测试产品进行测试包括：

关闭传感器测试机台中的震动部件；以及

开启测试治具进行测试。

8.根据权利要求7所述的传感器测试方法，其特征在于，所述测试治具进行测试时，所述震动部件停止工作。

9.根据权利要求6所述的传感器测试方法，其特征在于，所述传感器测试方法还包括：

在所述测试完成后，按照是否符合测试要求，将测试后的产品分类。

10.根据权利要求9所述的传感器测试方法，其特征在于，所述传感器测试方法包括：

在将所述测试后的产品分类后，将所述测试后的产品移出所述测试治具；以及

将下一批次待测试产品输送至所述测试治具，并进行测试。

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