CN110634406A - 柔性盖板及其制备方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种柔性盖板及其制备方法，解决了现有技术中为了同时增强柔性盖板的抗冲击性和弯折性，在不增加柔性盖板的膜层结构和厚度的前提下，如何提高柔性盖板的抗冲击性和弯折性的问题。该柔性盖板包括：基板；设置在所述基板的表面上的间隔排列的多个立柱；以及覆盖在所述基板的表面上的硬涂层，其中所述多个立柱容纳于所述硬涂层中。通过在柔性盖板的硬涂层中设置多个立柱实现了在不增加柔性盖板的膜层结构的同时，提高柔性盖板的抗冲击性能和弯折性能。

Description

柔性盖板及其制备方法

技术领域

本发明涉及显示技术领域，具体涉及一种柔性盖板及其制备方法。

背景技术

目前，柔性盖板需要具有耐损伤性，并满足抗冲击性、表面硬度等测试需求，以保证在使用时柔性盖板不会被损伤。因此，可以在柔性盖板中设置硬涂层，但是如果设置的硬涂层的厚度过薄，则无法满足柔性盖板的抗冲击性的测试需求。为了增强柔性盖板的抗冲击性，目前采用的方法大多数是增加硬涂层的厚度，但是过厚的硬涂层会降低柔性盖板的弯折性，当柔性盖板弯曲时，硬涂层也会产生裂纹甚至产生层间剥离。

发明内容

有鉴于此，本发明实施例致力于提供一种柔性盖板及其制备方法，解决了现有技术中为了同时增强柔性盖板的抗冲击性和弯折性，在不增加柔性盖板的膜层结构和厚度的前提下，如何提高柔性盖板的抗冲击性和弯折性的问题。

根据本发明实施例的一方面，提供一种柔性盖板，包括：基板；设置在所述基板的表面上的间隔排列的多个立柱；以及覆盖在所述基板的表面上的硬涂层，其中所述多个立柱容纳于所述硬涂层中。

在一个实施例中，所述多个立柱包括以下立柱中的至少一种：金属立柱、无机立柱和有机立柱。

在一个实施例中，所述金属立柱包括金属化合物立柱或金属有机物立柱。

在一个实施例中，所述多个立柱垂直于所述基板方向的纵截面的形状包括以下形状中的至少一种：矩形、平行四边形、梯形。

在一个实施例中，在所述多个立柱的纵截面为梯形时，所述间隔排列包括正梯形立柱和倒梯形立柱的交替间隔排列。

在一个实施例中，所述多个立柱中的相邻两个立柱之间的间距为1μm至10μm，所述多个立柱中的每个立柱的所述纵截面的高度为1μm至3μm，和/或所述多个立柱中的每个立柱的所述纵截面的最大宽度为1μm至10μm。

在一个实施例中，所述金属立柱的材料包括以下材料中的任意一种：氧化铟锡和氟掺杂锡氧化物，所述无机立柱的材料包括以下材料中的任意一种：氧化硅、氮化硅及氮氧化硅，和/或所述有机立柱的材料为硅系有机聚合物。

在一个实施例中，所述硬涂层的材料包括以下材料中的任意一种：丙烯酸酯和树脂。

在一个实施例中，所述硬涂层的材料中填充有透明金属纳米颗粒。

在一个实施例中，所述金属立柱的材料、所述无机立柱的材料、所述有机立柱的材料以及所述硬涂层的材料为透明材料。

根据本发明实施例的另方面，提供一种柔性盖板的制备方法，包括：提供基板；在所述基板的表面上形成多个立柱；以及在所述基板的表面上涂布透明的丙烯酸酯或树脂以形成容纳所述多个立柱的硬涂层。

在一个实施例中，所述制备方法还包括在所述丙烯酸酯或树脂中填充透明金属纳米颗粒。

在一个实施例中，所述在所述基板的表面上形成多个立柱包括：将有机溶液涂布在所述基板的表面上以形成有机胶；以及对所述有机胶进行曝光、显影和固化以形成多个有机立柱；和/或将至少一种无机气体通过化学气相沉积的方式沉积在所述基板的表面上以形成无机薄膜；以及对所述无机薄膜进行光刻、刻蚀和剥离以形成多个无机立柱；和/或将金属材料通过物理气相沉积的方式沉积在所述基板的表面上；以及对所述金属材料进行光刻、刻蚀和剥离以形成多个金属立柱。

本发明的实施例所提供的一种柔性盖板，通过在柔性盖板的硬涂层中设置多个立柱实现了在不增加柔性盖板的膜层结构和厚度的同时，提高柔性盖板的抗冲击性能和弯折性能。

附图说明

图1所示为本发明一个实施例提供的柔性盖板的纵截面的结构示意图。

图2至图4所示为本发明一个实施例提供的柔性盖板的横截面的结构示意图。

图5至图12所示为本发明另一个实施例提供的柔性盖板的纵截面的结构示意图。

图13至图15所示为本发明再一个实施例提供的柔性盖板的纵截面的结构示意图。

图16所示为本发明再一个实施例提供的柔性盖板的纵截面的结构示意图。

图17所示为本发明一个实施例提供的立柱的尺寸的结构示意图。

图18所示为本发明一个实施例提供的柔性盖板的制备方法的流程示意图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

图1所示为本发明一个实施例提供的柔性盖板的纵截面的结构示意图。如图1所示，该柔性盖板包括：基板11；设置在所述基板11的表面上的间隔排列的多个立柱12；以及覆盖在所述基板11的表面上的硬涂层13，其中所述多个立柱12容纳于所述硬涂层13中。

应当理解，基板11为透明基板，其材料可以为聚酰亚胺(Polyimide，PI)，也可以为涤纶树脂(Polyethylene terephthalate，PET)，本发明实施例并不限定基板具体由何种材料构成。

需要说明的是，多个立柱12可以如图2所示相互正对的规则排布在基板11的表面，多个立柱12也可以如图3所示相互错开的规则排布在基板11的表面，本发明实施例并不限定立柱12设置在基板11的表面上的排布方式，多个立柱12还可以如图4所示杂乱排布在基板11的表面。同时，本发明实施例也并不限定多个立柱12的个数，其个数可以依据基板11的尺寸和立柱12之间的间距而定。

应当理解，由于硬涂层13设置在基板11的表面上，所以硬涂层13将多个立柱12覆盖以使多个立柱12容纳于硬涂层13中，但是本发明实施例并不限定多个立柱12与硬涂层13之间的位置关系，多个立柱12可以完全的容纳在硬涂层13中，即多个立柱12完全的贴附在硬涂层13上。

由此可见，通过在柔性盖板的硬涂层13中设置多个立柱12实现了在不增加柔性盖板的膜层结构和厚度的同时，提高了柔性盖板的抗冲击性能和弯折性能。具体而言，多个立柱12的存在可以在不增加硬涂层13的厚度的前提下，提高硬涂层13的抗冲击性，从而提高了柔性盖板整体的抗冲击性；同时，多个立柱12的存在可以在不降低硬涂层13的厚度的前提下，提高硬涂层13的弯折性，当柔性盖板弯曲时，降低了硬涂层13产生裂纹甚至层间剥离的几率。因此，多个立柱12的存在使得柔性盖板在抗冲击性和弯折性两个相对的维度上均得到了提高。

在本发明的实施例中，如图5至图12所示，所述多个立柱12包括以下立柱中的至少一种：金属立柱121、无机立柱122和有机立柱123。

需要说明的是，多个立柱12可以为金属立柱121、无机立柱122和有机立柱123中的任意一个及其任意组合。具体而言，如图5所示，多个立柱12可以只为金属立柱121；如图6所示，多个立柱12可以只为无机立柱122；如图7所示，多个立柱12可以只为有机立柱123；如图8所示，多个立柱12可以为有机立柱123和无机立柱122的交替排布组合；如图9所示，多个立柱12可以为有机立柱123和金属立柱121的交替排布组合；如图10所示，多个立柱12可以为无机立柱122和金属立柱121的交替排布组合；如图11所示，多个立柱12可以为有机立柱123、金属立柱121以及无机立柱122的交替排布组合；以及如图12所示，多个立柱12可以为有机立柱123、金属立柱121以及无机立柱122的杂乱排布组合。但是本发明实施例并不限定多个立柱12具体为金属立柱121、无机立柱122和有机立柱123所形成的何种组合，也并不限定多个立柱12具体为金属立柱121、无机立柱122和有机立柱123所形成的组合的排布方式，除了图5至图12所示的组合及其排布方式外，本发明实施例还包括其他类型的组合和排布方式，在此不再一一指出。

还需要说明的是，本发明实施例也并不限定多个立柱12具体由何种材料构成，可以为金属化合物材料，也可以为金属有机物材料，也可以为无机材料，还可以为有机材料，本发明对此并不作限定。

应当理解，一般而言，由金属化合物材料或金属有机物材料构成的立柱通常具有张应力、由无机材料或有机材料所构成的立柱通常具有压应力。因此，如图9所示的有机立柱123和金属立柱121的交替排布组合、如图10所示的无机立柱122和金属立柱121的交替排布组合以及如图12所示的有机立柱123、金属立柱121以及无机立柱122的杂乱排布组合均是在金属立柱121的两侧设置有机立柱123和/或无机立柱122，使得张应力与压应力相互交替排布，张应力与压应力相互交替排布可以降低在弯折过程中硬涂层所承受的应力，从而降低硬涂层发生裂纹甚至层间剥离的几率。

在本发明的实施例中，所述多个立柱12垂直于所述基板11方向的纵截面的形状包括以下形状中的至少一种：矩形、平行四边形、梯形。

应当理解，多个立柱12垂直于所述基板11方向的纵截面的形状可以如图1所示为矩形，矩形所对应的立柱的立体形状可以为圆柱、五棱柱、长方体或者正方体等；多个立柱12垂直于所述基板11方向的纵截面的形状也可以如图13所示为平行四边形；多个立柱12垂直于所述基板11方向的纵截面的形状还可以如图14和15所示为梯形，梯形所对应的立柱的立体形状可以为圆台或截头棱锥。

需要说明的是，本发明实施例并不限定多个立柱12垂直于所述基板11方向的纵截面的具体形状，除图1、图13至图15所示的形状外，多个立柱12的形状还可以为三角形，三角形所对应的立柱的立体形状可以为圆锥或棱锥等。同时，本发明实施例也并不限定多个立柱12具体由何种形状的立柱进行组合，多个立柱12可以如图1、图13至图15所示的相同的形状的立柱的组合，也可以为不同形状的立柱的任意组合。

在本发明的一个实施例中，如图16所示，在所述多个立柱12的纵截面为梯形时，所述间隔排列包括正梯形立柱124和倒梯形立柱125的交替间隔排列。

应当理解，当所述多个立柱12的纵截面为如图14和15所示的梯形时，多个立柱12可以为正梯形立柱124和倒梯形立柱125的交替间隔排列的组合，正梯形立柱124和倒梯形立柱125的相互交替排布不仅可以降低在弯折过程中硬涂层所承受的应力，从而降低硬涂层发生裂纹甚至层间剥离的几率，正梯形立柱124和倒梯形立柱125的相互交替排布还可以在弯折的过程中使正梯形立柱124和倒梯形立柱125首尾相连，首尾相连的正梯形立柱124和倒梯形立柱125可以进一步提高硬涂层的硬度，从而进一步的提高了柔性盖板的抗冲击性。

还应当理解，正梯形立柱124可以由金属材料、无机材料或者有机材料构成，倒梯形立柱125可以由金属材料、无机材料或者有机材料构成，本发明实施例并不限定正梯形立柱124和倒梯形立柱125具体由何种材料构成。正梯形立柱124和倒梯形立柱125的材料的组合方式可以为如图5至图12所示的金属立柱121、无机立柱122以及有机立柱123之间的交替排布组合或杂乱排布组合，但是本发明实施例对此也并不作限定。

需要说明的是，为了进一步提高硬涂层的硬度和进一步降低硬涂层所承受的应力，本发明实施例并不限定多个立柱12具体由何种形状的立柱进行组合，可以为正梯形立柱124和倒梯形立柱125的相互交替排列组合，也可以为平行四边形立柱的交替间隔排列组合。

在本发明的一个实施例中，如图17所示，所述多个立柱12中的相邻两个立柱之间的间距D₁为1μm至10μm，所述多个立柱12中的每个立柱的所述纵截面的高度D₂为1μm至3μm，和/或所述多个立柱12中的每个立柱的所述纵截面的最大宽度D₃为1μm至10μm。

应当理解，所述多个立柱12中的相邻两个立柱之间的间距D₁设置为1μm至10μm，当所述多个立柱12中的相邻两个立柱之间的间距D₁小于1μm时，由于相邻两个立柱之间的间距D₁太小，这样不利于立柱的加工；当所述多个立柱12中的相邻两个立柱之间的间距D₁大于10μm时，由于相邻两个立柱之间的间距D₁太大，这样会使OLED器件发出的光产生折射和色散的现象，从而降低用户的使用体验；优选地，所述多个立柱12中的相邻两个立柱之间的间距D₁为5μm，这样不仅有利于立柱的加工，而且还不会使OLED器件发出的光产生折射和色散的现象。

还应当理解，每个立柱的所述纵截面的高度D₂是指立体形状的立柱的顶面距离基板11的距离，所述多个立柱12中的每个立柱的所述纵截面的高度D₂可以设置为1μm至3μm，当所述多个立柱12中的每个立柱的所述纵截面的高度D₂小于1μm时，由于立柱的高度D₂太小，这样不利于立柱的加工；当所述多个立柱12中的每个立柱的所述纵截面的高度D₂大于3μm时，由于立柱的高度D₂太大，这样会增加硬涂层的厚度；优选地，所述多个立柱12中的每个立柱的所述纵截面的高度D₂为2μm，这样不仅有利于立柱的加工，而且还不会增加硬涂层的厚度。

还应当理解，由于立柱为立体几何结构，对于不同剖视图下的纵截面的宽度也是不同的，基于考虑立柱的不同维度的宽度尺寸的大小，每个立柱的所述纵截面的最大宽度D₃可以指不同剖视图下的立柱的不同纵截面的形状中的最大宽度，每个立柱的所述纵截面的最大宽度D₃还可以指某一剖视图下的立柱的纵截面的形状中的最大宽度，如图16所示的梯形的最长底边的尺寸为D₃。所述多个立柱12中的每个立柱的所述纵截面的最大宽度D₃可以设置为1μm至10μm，当所述多个立柱12中的每个立柱的所述纵截面的最大宽度D₃小于1μm时，由于立柱的宽度D₃太小，这样不利于立柱的加工；当所述多个立柱12中的每个立柱的所述纵截面的最大宽度D₃大于10μm时，由于立柱的宽度D₃太大，且立柱位于OLED模组中最接近人眼的柔性盖板中，这样会使用户观察到立柱的存在，从而降低用户的使用体验；优选地，所述多个立柱12中的每个立柱的所述纵截面的最大宽度D₃为5μm，这样不仅有利于立柱的加工，而且还不会使用户观察到立柱的存在。

需要说明的是，本发明实施例并不限定相邻两个立柱之间的间距的大小以及每个立柱的尺寸的大小；本发明实施例也并不限定任意相邻两个立柱之间的间距的大小是否相等，可以相等，也可以不相等；本发明实施例也并不限定每个立柱的尺寸的大小是否相等，可以相等，也可以不相等。

在本发明的实施例中，所述金属立柱121的材料包括以下材料中的任意一种：氧化铟锡和氟掺杂锡氧化物，所述无机立柱122的材料包括以下材料中的任意一种：氧化硅、氮化硅及氮氧化硅，和/或所述有机立柱123的材料为硅系有机聚合物。

需要说明的是，本发明实施例并不限定金属立柱121具体由何种金属材料构成，可以为氧化铟锡(ITO)和氟掺杂锡氧化物(FTO)，还可以其他透明的金属氧化物材料；本发明实施例并不限定无机立柱122具体由何种无机材料构成，可以为氧化硅、氮化硅及氮氧化硅，还可以其他透明的无机材料；本发明实施例并不限定有机立柱123具体由何种有机材料构成，可以为硅系有机聚合物，还可以其他透明的有机材料。

应当理解，硅系聚合物的材料的选取的依据主要是硬质的有机物材料，例如，硅系有机聚合物可以为硅橡胶(即高分子量线型结构聚合物)，还可以为硅树脂(即含有活性基团，可进一步固化的线型结构聚合物)等。

在本发明的实施例中，所述硬涂层13的材料包括以下材料中的任意一种：丙烯酸酯和树脂。

需要说明的是，本发明实施例并不限定硬涂层13具体由何种材料构成，可以为含碳元素的高分子有机材料，即丙烯酸酯和树脂，还可以是其他透明的高分子材料。

应当理解，丙烯酸酯可以为丙烯酸甲酯、丙烯酸乙酯、2-甲基丙烯酸甲酯和2-甲基丙烯酸乙酯等，树脂可以为天然树脂、合成树脂、热塑性树脂和热固性树脂等。

在本发明另一个实施例中，所述硬涂层的材料中填充有透明金属纳米颗粒。

应当理解，在硬涂层的材料中添加透明金属纳米颗粒可以增加硬涂层的表面硬度，从而提升柔性盖板的抗冲击性，本发明实施例并不限定透明金属纳米颗粒具体由何种金属纳米颗粒构成，可以为氧化铟锡纳米颗粒和氟掺杂锡氧化物纳米颗粒，还可以其他透明的金属纳米颗粒。

在本发明另一个实施例中，所述金属立柱121的材料、所述无机立柱122的材料、所述有机立柱123的材料以及所述硬涂层13的材料均为透明材料。

应当理解，由于柔性盖板位于OLED器件的上方，为了不影响OLED器件的发光，构成柔性盖板的所有膜层的材料均是透明的，即金属立柱121的材料、无机立柱122的材料、有机立柱123的材料、所述硬涂层13的材料以及基板的材料均是透明材料。

图18所示为本发明一个实施例提供的柔性盖板的制备方法的流程示意图。如图18所示，该制备方法包括：

S101：提供基板。

应当理解，所提供的基板为透明基板，其材料可以为聚酰亚胺(Polyimide，PI)，也可以为涤纶树脂(Polyethylene terephthalate，PET)，本发明实施例并不限定基板具体由何种材料构成。

S102：在所述基板的表面上形成多个立柱。

具体地，在所述基板的表面上形成相互错开或者正对的多个立柱，该相互错开或者正对的多个立柱可以规则或者杂乱的排布在基板上。多个立柱的个数根据所提供的基板的尺寸和所述立柱的尺寸的大小而定，尽可能的将基板的表面全部设置立柱。

S103：在所述基板的表面上涂布透明的丙烯酸酯或树脂以形成容纳所述多个立柱的硬涂层。

具体地，在多个立柱已经形成在基板的表面上后，将丙烯酸酯或树脂涂布在基板的表面上，且涂布的丙烯酸酯或树脂可以覆盖多个立柱，待丙烯酸酯或树脂在基板的表面上流平后，即可形成表面平整的硬涂层，且多个立柱完全的容纳在硬涂层中。

需要说明的是，为了确保制备的效率和涂布的效果，涂布硬涂层的方式可以优选为旋转涂布或者狭缝涂布等等。

由此可见，通过上述的三个步骤所形成的柔性盖板实现了在不增加柔性盖板的膜层结构和厚度的同时，提高柔性盖板的抗冲击性能和弯折性能。具体而言，多个立柱的存在可以在不增加硬涂层的厚度的前提下，提高硬涂层的抗冲击性，从而提高了柔性盖板整体的抗冲击性；同时，多个立柱的存在可以在不降低硬涂层的厚度的前提下，提高硬涂层的弯折性，当柔性盖板弯曲时，降低了硬涂层产生裂纹甚至层间剥离的几率。因此，多个立柱的存在使得柔性盖板在抗冲击性和弯折性两个相对的维度上均得到了提高。

在本发明另一个实施例中，上述制备方法还包括在所述丙烯酸酯或树脂中填充透明金属纳米颗粒。

应当理解，在硬涂层的材料中添加透明金属纳米颗粒可以增加硬涂层的表面硬度。为了使透明金属纳米颗粒与丙烯酸酯或树脂充分的进行混合，透明金属纳米颗粒的直径可以为100nm，但是本发明实施例也并不限定透明金属纳米颗粒的直径的具体尺寸。

在本发明另一个实施例中，所述在所述基板的表面上形成多个立柱包括：将有机溶液涂布在所述基板的表面上以形成有机胶；以及对所述有机胶进行曝光、显影和固化以形成多个有机立柱；和/或将至少一种无机气体通过化学气相沉积的方式沉积在所述基板的表面上以形成无机薄膜；以及对所述无机薄膜进行光刻、刻蚀和剥离以形成多个无机立柱；和/或将金属材料通过物理气相沉积的方式沉积在所述基板的表面上；以及对所述金属材料进行光刻、刻蚀和剥离以形成多个金属立柱。

应当理解，在所述基板的表面上形成的多个立柱可以是金属立柱、无机立柱和有机立柱中的任意一个及其任意组合。

应当理解，所述基板的表面上形成多个有机立柱的制备方法包括：首先将透明的有机溶液涂布在所述基板的表面上以形成有机胶，然后根据设定好的立柱的大小尺寸和立柱与立柱之间的间距，利用掩膜版对立柱与立柱之间的有机胶进行分区域曝光，再对曝光后的有机胶进行显影以剥离掉立柱与立柱之间的有机胶，最后对剩余的有机胶进行加热固化以形成多个有机立柱。

需要说明的是，为了确保有机胶与基板的粘结强度，需要对有机胶进行加热固化，加热固化的温度可以选择为220℃至300℃之间，优选地为230℃；加热固化的时间可以选择为15min至60min，优选地为30min。

应当理解，有机溶液可以为透明的硅系有机聚合物，具体可以为硅橡胶(即高分子量线型结构聚合物)，还可以为硅树脂(即含有活性基团，可进一步固化的线型结构聚合物)等。

应当理解，所述基板的表面上形成多个无机立柱的制备方法包括：首先将至少一种无机气体通过化学气相沉积的方式沉积在所述基板的表面上，至少一种无机气体之间在化学气相沉积的过程中进行化学反应形成无机薄膜，然后根据设定好的立柱的大小尺寸和立柱与立柱之间的间距，利用掩膜版对无机薄膜进行光刻以使立柱与立柱之间的无机薄膜变质，再对变质后的无机薄膜进行刻蚀以将变质后的无机薄膜刻蚀掉，最后再对进行刻蚀后仍未刻蚀掉的无机薄膜进行剥离以形成多个无机立柱。

还应当理解，至少一种无机气体可以为硅烷、氮气或氨气等等，至少一种气体在经过化学气相沉积后即可生成氧化硅、氮化硅及氮氧化硅等透明的无机材料。

应当理解，所述基板的表面上形成多个金属立柱的制备方法包括：首先将透明的金属材料通过物理气相沉积的方式沉积在所述基板的表面上，其中物理气相沉积的过程包括溅射、蒸镀或辉光放电等过程，然后根据设定好的立柱的大小尺寸和立柱与立柱之间的间距，利用掩膜版对金属材料进行光刻以使立柱与立柱之间的金属材料变质，再对变质后的金属材料进行刻蚀以将变质后的金属材料刻蚀掉，最后再对进行刻蚀后仍未刻蚀掉的金属材料进行剥离以形成多个金属立柱。

还应当理解，所述金属材料可以为透明的金属化合物或透明的金属有机物，具体可以为氧化铟锡或氟掺杂锡氧化物等。

具体地，当所述基板的表面上形成的多个立柱包括了金属立柱、无机立柱和有机立柱三者的组合时，则在指定的不同位置分别进行上述提到的金属立柱的制备方法、无机立柱的制备方法和有机立柱的制备方法，且上述提到的金属立柱的制备方法、无机立柱的制备方法和有机立柱的制备方法的执行时间是分先后顺序的，例如先执行金属立柱的制备方法，当金属立柱的制备完成后再执行无机立柱的制备方法，当无机立柱的制备完成后最后执行有机立柱的制备方法。

需要说明的是，如果多个立柱包含了两种类型的立柱(即金属立柱、无机立柱和有机立柱中的任意两种)，则需要进行两次立柱的制备，如果多个立柱包含了三种类型的立柱(即金属立柱、无机立柱和有机立柱)，则需要进行三次立柱的制备。

另外，还需要说明的是，本案中各技术特征的组合方式并不限本案权利要求中所记载的组合方式或是具体实施例所记载的组合方式，本案所记载的所有技术特征可以以任何方式进行自由组合或结合，除非相互之间产生矛盾。

需要注意的是，以上列举的仅为本发明的具体实施例，显然本发明不限于以上实施例，随之有着许多的类似变化。本领域的技术人员如果从本发明公开的内容直接导出或联想到的所有变形，均应属于本发明的保护范围。

以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种柔性盖板，其特征在于，包括：

基板；

设置在所述基板的表面上的间隔排列的多个立柱；以及

覆盖在所述基板的表面上的硬涂层，其中所述多个立柱容纳于所述硬涂层中。

2.根据权利要求1所述的柔性盖板，其特征在于，所述多个立柱包括以下立柱中的至少一种：金属立柱、无机立柱和有机立柱。

3.根据权利要求2所述的柔性盖板，其特征在于，所述多个立柱垂直于所述基板方向的纵截面的形状包括以下形状中的至少一种：矩形、平行四边形、梯形。

4.根据权利要求3所述的柔性盖板，其特征在于，在所述多个立柱的纵截面为梯形时，所述间隔排列包括正梯形立柱和倒梯形立柱的交替间隔排列。

5.根据权利要求2至4中任一项所述的柔性盖板，其特征在于，所述硬涂层的材料包括以下材料中的任意一种：丙烯酸酯和树脂。

6.根据权利要求5所述的柔性盖板，其特征在于，所述硬涂层的材料中填充有透明金属纳米颗粒。

7.根据权利要求5所述的柔性盖板，其特征在于，所述金属立柱的材料、所述无机立柱的材料、所述有机立柱的材料以及所述硬涂层的材料为透明材料。

8.一种柔性盖板的制备方法，其特征在于，包括：

提供基板；

在所述基板的表面上形成多个立柱；以及

在所述基板的表面上涂布透明的丙烯酸酯或树脂以形成容纳所述多个立柱的硬涂层。

9.根据权利要求8所述的制备方法，其特征在于，还包括在所述丙烯酸酯或树脂中填充透明金属纳米颗粒。

10.根据权利要求8或9所述的制备方法，其特征在于，所述在所述基板的表面上形成多个立柱包括：

将有机溶液涂布在所述基板的表面上以形成有机胶；以及

对所述有机胶进行曝光、显影和固化以形成多个有机立柱；和/或

将至少一种无机气体通过化学气相沉积的方式沉积在所述基板的表面上以形成无机薄膜；以及

对所述无机薄膜进行光刻、刻蚀和剥离以形成多个无机立柱；和/或

将金属材料通过物理气相沉积的方式沉积在所述基板的表面上；以及

对所述金属材料进行光刻、刻蚀和剥离以形成多个金属立柱。

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