CN108352301B - 薄膜模具以及压印方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供薄膜模具以及压印方法。本实施方式所涉及的薄膜模具具备：第一树脂层，其具有包括凹凸图案的图案区域，且由树脂组成物构成；以及第一玻璃基板层，其层叠于第一树脂层中的与形成图案区域的面相反侧的面，且由膜状玻璃构成。

Description

薄膜模具以及压印方法

技术领域

本公开的实施方式涉及薄膜模具以及压印方法。

背景技术

近年来，作为替代光刻技术的图案形成技术，使用了压印的图案形成技术备受瞩目。压印例如是使用具有包括微细的凹凸图案的图案区域的模具，将模具的凹凸图案等倍转印到被成形材料的图案形成技术。

例如，作为被成形材料而使用了光固化性树脂组成物的压印如以下那样进行。首先，向转印基板的表面供给光固化性树脂组成物的液滴。其次，将具有包括所希望的凹凸图案的图案区域的模具与转印基板在规定的状态下定位。之后，通过使模具与光固化性树脂组成物接触来向模具的凹凸图案内填充光固化性树脂组成物。在该状态下从模具侧照射光而使光固化性树脂组成物固化，由此形成树脂层。之后，将模具与树脂层剥离(脱模)。由此，形成具有将模具的图案区域的凹凸图案反转后的凹凸图案的图案结构体。

在这样的压印中使用的模具大体上分为由玻璃、石英等形成的硬质的模具、以及具有挠性的模具(以下，称作薄膜模具。)。其中，作为使用薄膜模具时的优点，可举出脱模容易从而图案区域以及将其反转的被成形材料的转印区域的大面积化容易的优点；能够容易地抑制气泡的卷入从而再现性优异的优点；以及能够廉价地制作的优点等。以往，在这样的薄膜模具的领域中，提出了各种技术(例如JP5002422B、JP5215833B等)。

发明内容

发明要解决的课题

但是，以往的薄膜模具一般由树脂组成物构成，由于其挠性、材质、温度以及湿度等的环境原因，其整体以及图案容易变形。因此，在转印前，在将薄膜模具与保持被成形材料的转印基板在规定的状态下定位时薄膜模具产生变形的情况下，薄膜模具相对于转印基板不期望地偏移，其结果是，存在产生转印到被成形材料的图案的位置精度降低这样的不良情况。尤其是在光学以及半导体领域的产品的制造中利用压印的情况下，所转印的被成形材料的图案的位置精度对完成后的产品的性能造成较大影响，因此，强烈期望确保所转印的图案的良好的位置精度。

本公开的实施方式是考虑到上述情况而完成的，其目的在于提供一种能够相对于被成形材料转印良好的位置精度的图案的薄膜模具以及压印方法。

用于解决课题的方案

本公开的一实施方式提供一种薄膜模具，其特征在于，具备：第一树脂层，其具有包括凹凸图案的图案区域，且由树脂组成物构成；以及第一玻璃基板层，其层叠于所述第一树脂层中的与形成所述图案区域的面相反侧的面，且由膜状玻璃构成。

本公开的一实施方式所涉及的薄膜模具也可以构成为，所述薄膜模具还具备第二树脂层，该第二树脂层层叠于所述第一玻璃基板层中的与所述第一树脂层侧的面相反侧的面，且由树脂组成物构成。

在该情况下，也可以构成为，构成所述第一树脂层的树脂组成物的收缩率与构成所述第二树脂层的树脂组成物的收缩率相同。

此外，在本公开的一实施方式所涉及的薄膜模具中，也可以构成为，构成所述第一树脂层的树脂组成物与构成所述第二树脂层的树脂组成物中的一方为自由基聚合性的固化性树脂组成物，另一方为阳离子聚合性的固化性树脂组成物。

此外，在以上的情况下，在本公开的一实施方式所涉及的薄膜模具中，也可以构成为，所述第一玻璃基板层由弯曲成曲率半径为150mm以下的状态时的拉伸应力成为50MPa以下的材料形成。尤其优选为，所述第一玻璃基板层由弯曲成曲率半径为75mm以下的状态时的拉伸应力成为50MPa以下的材料形成。

此外，本公开的一实施方式所涉及的薄膜模具也可以构成为，所述薄膜模具还具备第二玻璃基板层，该第二玻璃基板层经由中间层而层叠于所述第一玻璃基板层中的与所述第一树脂层侧的面相反侧的面，所述第二玻璃基板层由膜状玻璃构成。

在该情况下，在本公开的一实施方式所涉及的薄膜模具中，也可以构成为，所述第一玻璃基板层以及所述第二玻璃基板层由弯曲成曲率半径为150mm以下的状态时的拉伸应力成为50MPa以下的材料形成。尤其更优选为，所述第一玻璃基板层以及所述第二玻璃基板层由弯曲成曲率半径为75mm以下的状态时的拉伸应力成为50MPa以下的材料形成。

此外，在本公开的一实施方式所涉及的薄膜模具中，也可以构成为，所述第一树脂层在与所述图案区域不同的区域具有非图案区域，在所述非图案区域设置有对准标记。

此外，优选本公开的一实施方式所涉及的薄膜模具所包括的由玻璃形成的层的杨氏模量为75GPa以下。

此外，本公开的一实施方式提供一种压印方法，其特征在于，具备：准备工序，准备所述的薄膜模具以及将被成形材料保持于一个面的转印基板；定位工序，将所述薄膜模具与所述转印基板在规定的状态下定位；接触工序，使所述薄膜模具的所述图案区域与保持于所述转印基板的所述被成形材料接触；固化工序，通过使与所述薄膜模具接触后的所述被成形材料固化而形成转印有与所述图案区域对应的图案的转印层；以及脱模工序，通过将所述转印层与所述薄膜模具剥离，成为使所述转印层即图案结构体位于所述转印基板上的状态。

发明效果

根据本公开的实施方式，能够相对于被成形材料转印良好的位置精度的图案。

附图说明

图1是第一实施方式所涉及的薄膜模具的剖视图。

图2是第一实施方式所涉及的压印方法的工序图。

图3是第一实施方式所涉及的压印方法的工序图。

图4A是示出通过第一实施方式所涉及的压印方法转印的被成形材料的实际的图案与设计上的图案的偏移的图。

图4B是示出通过使用了以往的薄膜模具的压印方法转印的被成形材料的实际的图案与设计上的图案的偏移的图。

图5是第二实施方式所涉及的薄膜模具的剖视图。

图6是第三实施方式所涉及的薄膜模具的剖视图。

具体实施方式

以下，参照附图对本公开的各实施方式进行说明。附图是例示，为了便于说明而对特征部分进行夸张示出，与实物不同。需要说明的是，在以下的各图中，对相同的部分标注相同的附图标记。此外，关于本说明书中使用的用于确定形状、几何学的条件以及它们的程度的例如“平行”、“正交”、“相同”等的用语、长度、角度的值等，不受严格意义束缚，包含可期待相同的功能的程度的范围进行解释。

(第一实施方式)

图1是第一实施方式所涉及的薄膜模具1的剖视图。该薄膜模具1能够用于各种领域的产品的制造，例如能够适当用于半导体、光学元件、生物等的领域中的各种产品的制造。以下，首先，参照图1对第一实施方式所涉及的薄膜模具1进行详细叙述。

[薄膜模具]

如图1所示，本实施方式所涉及的薄膜模具1具备：第一树脂层11，其在一个面具有包括凹凸图案的图案区域11P以及非图案区域11N，且由树脂组成物构成；以及第一玻璃基板层12，且层叠于第一树脂层11中的与形成图案区域11P的上述的一个面相反侧的另一个面，且由膜状玻璃构成。该薄膜模具1具有能够在辊转印方式的压印中使用这一程度的挠性，但也可以在与辊转印方式不同的方式的压印中使用。

作为构成第一树脂层11的树脂组成物，与图案区域11P的形成方法相应地使用光固化性树脂组成物、热固化性树脂组成物或者室温固化性树脂组成物。即，在第一树脂层11中，图案区域11P通过与原版(主模具)的凹凸图案的接触而形成，通过之后的固化将第一树脂层11固定在第一玻璃基板层12上。此处，在与原版的凹凸图案的接触后，在进行光固化的情况下使用光固化性树脂组成物，在进行热固化的情况下使用热固化性树脂组成物，在以室温固化的情况下使用室温固化性树脂组成物。

在作为构成第一树脂层11的树脂组成物而使用光固化性树脂组成物的情况下，也可以使用自由基聚合性的紫外线固化性树脂组成物、阳离子聚合性的紫外线固化性树脂组成物等。此外，作为构成第一树脂层11的树脂组成物，优选使用具有可进行烘烤处理这一程度的耐热性的材料。在能够对薄膜模具1进行烘烤处理的情况下，能够期待工艺的扩展，能够实现质量的提高等，因此是有益的。

从确保能够在辊转印方式的压印中使用这一程度的挠性的观点出发，第一树脂层11的厚度优选为20μm以下。此外，如图1所示，在本实施方式中，在非图案区域11N设置有对准标记11A。对准标记11A例如优选形成为凹形状且形成多个。

在本实施方式中，当进行转印时，使第一树脂层11的图案区域11P的凹凸图案以及非图案区域11N与定位于换言之保持于后述的转印基板101的一个面101a的被成形材料103(参照图2以及图3)接触。在该接触之前，将薄膜模具1与转印基板101在规定的状态下定位。在进行该定位时，通过使用对准标记11A，能够确认薄膜模具1与转印基板101是否在规定的状态下定位。

需要说明的是，在本实施方式中，图案区域11P是指，以在被成形材料103制作具有特定的功能的图案为目的或者在被成形材料103制作用于在转印基板101制作具有特定的功能的图案的基底部分(抗蚀剂图案层等)为目的，向被成形材料103转印图案的部分。另一方面，形成于与图案区域11P不同的区域的非图案区域11N是指，不具有上述那样的目的而与被成形材料103接触的部分。

此外，在作为上述的被成形材料103而使用光固化性树脂组成物的情况下，第一树脂层11优选具有波长200～400nm的光透射率为70％以上的光透射性。能够使用日本分光(株)制V-650进行光透射率的测定。

另一方面，在本实施方式中，如果第一玻璃基板层12为膜状玻璃，则其材质便无特别限定。从确保能够在辊转印方式的压印中使用这一程度的挠性的观点出发，第一玻璃基板层12的厚度优选为200μm以下，更优选为100μm左右。更详细来说，第一玻璃基板层12优选由弯曲成曲率半径为150mm以下的状态时的拉伸应力为50MPa以下的玻璃材料形成，尤其地，更优选为由弯曲成曲率半径为75mm以下的状态时的拉伸应力为50MPa以下的材料形成。玻璃的破坏应力一般为50MPa，在辊转印方式的压印中，薄膜模具多弯曲成150mm以下的曲率半径。因而，在第一玻璃基板层12由弯曲成150mm以下更优选为75mm以下的曲率半径时的拉伸应力为50MPa以下的材料构成的情况下，能够在辊转印方式的压印中有效地使用薄膜模具1。

需要说明的是，上述的拉伸应力σ能够通过σ＝(E·T/2)/R计算。E为杨氏模量(GPa)，T为第一玻璃基板层12的厚度(mm)，R为曲率半径(mm)。此处，弯曲成曲率半径为150mm的状态时的拉伸应力为50MPa且厚度为200μm的玻璃材料的杨氏模量为75GPa。杨氏模量越高，则弯曲时的拉伸应力越高，因此，优选第一玻璃基板层12由杨氏模量为75GPa以下的材料形成。

此外，在作为上述的被成形材料103而使用光固化性树脂组成物的情况下，为了能够穿过第一玻璃基板层12以及第一树脂层11对被成形材料103进行固化，优选第一玻璃基板层12具有波长200～400nm的光透射率为70％以上的光透射性。

[压印方法]

以下，使用图2以及图3对使用了上述的薄膜模具1的第一实施方式所涉及的压印方法、具体为作为被成形材料103而使用光固化性树脂组成物的辊转印方式的压印进行说明。

<准备工序>

在本实施方式中，首先，准备图1所示的薄膜模具1。此外，准备图2(A)所示的转印基板101。在转印基板101中，在其一个面101a设置有被蚀刻层102，在被蚀刻层102上定位换言之保持被成形材料103。

此处使用的转印基板101能够适当选择，例如，能够使用石英、钠钙玻璃、硼硅酸玻璃等玻璃、硅、砷化镓、氮化镓等的半导体、聚碳酸酯、聚丙烯、聚乙烯等的树脂基板、金属基板、或者由这些材料的任意的组合构成的复合材料基板。此外，例如也可以形成有在半导体、显示器等中使用的微细配线、光子晶体构造、光导波路、全息照相那样的光学构造等的所希望的图案构造物。此外，被蚀刻层102可以是由作为形成在转印基板101上的图案的材质所要求的材质构成的薄膜，例如能够适当选择无机物薄膜、有机物薄膜、有机无机复合薄膜等。

被成形材料103例如能够使用光固化性树脂组成物、热固化性树脂组成物等，通过旋涂法、分涂法、浸涂法、喷涂法、喷墨法等的公知的涂布方法而形成。如上所述，在本实施方式中，作为一例，作为被成形材料103而使用光固化性树脂组成物。被成形材料103的厚度能够考虑到所使用的薄膜模具1的图案区域11P的凸部的高度、凸部之间的凹部的深度以及在所形成的图案结构体产生的残膜(位于凸图案间的部位)的厚度的允许范围等进行设定。

<定位工序>

接着，将薄膜模具1与转印基板101在规定的状态下定位。具体而言，在本实施方式中，利用图2(B)以及图3(A)所示的辊151，以成为从薄膜模具1的第一玻璃基板层12的与第一树脂层11侧相反侧的面将薄膜模具1的非图案区域11N的规定的部分按压于转印基板101的规定的部分的状态的方式将薄膜模具1与转印基板101定位。在该状态下，薄膜模具1从被按压的部分朝外侧倾斜地延伸。在本实施方式中，在该定位中，通过使用对准标记11A，能够确认薄膜模具1的非图案区域11N的规定的部分是否被准确地按压于转印基板101的规定的部分。

<接触工序>

在进行定位之后，在本实施方式中，将转印基板101朝图2(B)所示的箭头a方向输送，并且使辊151朝图2(B)所示的箭头b方向旋转，由此使薄膜模具1的图案区域11P与被成形材料103连续地接触(图2(B)、图3(A))。

<固化工序>

接着，通过使与薄膜模具1接触的被成形材料103固化，从而形成转印有与薄膜模具1的图案区域11P的凹凸图案对应的图案的转印层104。在图2(B)、图3(A)所示的例子中，被成形材料103在刚刚与薄膜模具1接触之后，经由薄膜模具1从光照射装置161照射光，由此使被成形材料103固化而形成转印层104。因而，在本例中，第一树脂层11以及第一玻璃基板层12具有光透射性。但是，也可以取而代之，在完成薄膜模具1与被成形材料103的接触之后，使被成形材料103固化，由此形成转印层104。

此外，在转印基板101具有光透射性的情况下，也可以在转印基板101的背面侧配设光照射装置161，经由转印基板101从光照射装置161向完成与薄膜模具1的接触后的被成形材料103照射光，由此使被成形材料103固化。进而，也可以同时使用经由薄膜模具1的来自光照射装置161的光照射、以及经由转印基板101的来自光照射装置161的光照射，进行完成与薄膜模具1的接触后的被成形材料103的固化。

<脱模工序>

接着，将转印层104与薄膜模具1剥离，由此成为使作为转印层104的图案结构体位于转印基板101上的状态(图2(C)、图3(B))。

能够在完成薄膜模具1相对于被成形材料103的接触、以及基于被成形材料103的固化而形成了转印层104之后，进行该转印层104与薄膜模具1的剥离。此外，也可以在薄膜模具1相对于被成形材料103的接触完成之前，从通过使已经进行了薄膜模具1的接触的被成形材料103固化而形成的转印层104适当剥离薄膜模具1。此外，也可以在转印层104与薄膜模具1剥离之后，为了使转印层104完全固化而进行追加曝光。

并且，之后，从如上述那样形成的转印层104即图案结构体104的图案根据需要除去残膜，之后，将图案结构体104作为掩模对被蚀刻层102进行蚀刻，由此能够在转印基板101上形成所希望的图案。此外，通过将如此形成的图案作为掩模对转印基板101进行蚀刻，能够在转印基板101形成凹凸图案。

在以上说明的本实施方式所涉及的薄膜模具1中，能够利用第一玻璃基板层12确保良好的机械强度、耐热性以及耐湿性，由此，能够防止薄膜模具1的制作时以及制作后由于温度以及湿度等的环境原因而引起的变形。其结果是，当进行与转印基板101的定位时，能够防止由于该变形而导致薄膜模具1相对于转印基板101不期望地偏移。因此，能够相对于被成形材料103转印良好的位置精度的图案。

图4A是夸张示出通过第一实施方式所涉及的压印方法转印的被成形材料103上的实际的图案与设计上的图案的偏移的图。另一方面，图4B是夸张示出通过使用了以往的薄膜模具(仅由树脂组成物构成。)的压印方法转印的被成形材料上的实际的图案与设计上的图案的偏移的图。

在图4A、图4B中，粗线所示的格子的各交点表示实际的图案的观测点，细线所示的格子的各交点表示相对于观测点的设计上的图案的比较点。观测点与比较点越一致，则图案的位置精度越高。将图4A、图4B进行对比可明确得知，在使用了本实施方式所涉及的薄膜模具1的情况下，与以往的薄膜模具的情况相比，能够转印良好的位置精度的图案。具体而言，在使用了本实施方式所涉及的薄膜模具1的情况下，确认为实际的图案的观测点与设计上的图案的比较点的偏移最大为2μm左右。另一方面，以往的薄膜模具的情况下的偏移最大为9μm左右。

(第二实施方式)

其次，对第二实施方式进行说明。对本实施方式中的与第一实施方式相同的构成部分标注相同的附图标记并省略说明。

如图5所示，本实施方式所涉及的薄膜模具2具备与第一实施方式相同的第一树脂层11及第一玻璃基板层12、以及层叠于第一玻璃基板层12中的与第一树脂层11侧的面相反侧的面且由树脂组成物构成的第二树脂层13。第一玻璃基板层12的厚度越薄则越容易破损。第二树脂层13作为用于保护这样的第一玻璃基板层12的保护层发挥功能。

作为构成第二树脂层13的树脂组成物，能够使用各种材料。例如，在将薄膜模具2用于辊转印方式的压印的情况下，由于第二树脂层13被辊加压而期望形成为平坦。在重视这样的要求的情况下，第二树脂层13也可以由作为树脂组成物的聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)所构成的PET薄膜构成。需要说明的是，在第二树脂层13由薄膜材料形成的情况下，第二树脂层13也可以经由粘接层粘接于第一玻璃基板层12。

此外，第一树脂层11在与原版的凹凸图案的接触后在第一玻璃基板层12上固化时收缩，有时由于该收缩而导致薄膜模具2变形。为了有效地防止这样的变形，也可以将构成第二树脂层13的树脂组成物设为具有与构成第一树脂层11的树脂组成物相同的收缩率的固化性树脂组成物，在此基础上，使该固化性树脂组成物固化而将第二树脂层13形成在第一玻璃基板层12上。在该情况下，使第一树脂层11的收缩时的变形方向与第二树脂层13的收缩时的变形方向彼此相反，由此能够抑制薄膜模具2的变形。在该情况下，优选将第一树脂层11的体积(厚度以及配置范围)与第二树脂层13的体积(厚度以及配置范围)设为相同。

需要说明的是，在第一树脂层11由光固化性树脂组成物构成的情况下，优选第二树脂层13由与第一树脂层11相同的光固化性树脂组成物构成。在第一树脂层11由热固化性树脂组成物构成的情况下，优选第二树脂层13由与第一树脂层11相同的热固化性树脂组成物构成。在第一树脂层11由室温固化性树脂组成物构成的情况下，优选第二树脂层13由与第一树脂层11相同的室温固化性树脂组成物构成。

此外，也可以为，构成第一树脂层11的树脂组成物以及构成第二树脂层13的树脂组成物中的一方为自由基聚合性的紫外线固化性树脂组成物，另一方为阳离子聚合性的紫外线固化性树脂组成物。一般情况下，阳离子聚合性的紫外线固化性树脂组成物的收缩率小于自由基聚合性的紫外线固化性树脂组成物的收缩率，但即便是这样的组合也能够抑制薄膜模具2的变形。而且，通过使薄膜模具2的一个面与另一个面的材质不同，也获得能够实现功能的扩展这样的优点。

此外，在作为被成形材料103而使用光固化性树脂组成物的情况下，为了能够通过第一树脂层11、第一玻璃基板层12以及第二树脂层13将被成形材料103固化，优选第二树脂层13具有波长200～400nm的光透射率为70％以上的光透射性。在确保光透射性的情况下，能够适当使用光学特性优异的上述的PET薄膜等。

此外，从确保能够在辊转印方式的压印中使用这一程度的挠性的观点出发，第二树脂层11的厚度优选为20μm以下。

在以上说明的本实施方式所涉及的薄膜模具2中，也能够利用第一玻璃基板层12确保良好的机械强度、耐热性以及耐湿性，由此，能够防止在薄膜模具2的制作时以及制作后由于温度以及湿度等的环境原因而引起的变形。其结果是，在与转印基板101的定位时，能够防止由于该变形而引起薄膜模具2相对于转印基板101不期望地偏移。因此，能够相对于被成形材料103转印良好的位置精度的图案。而且，能够利用第二树脂层13保护第一玻璃基板层12，因此，能够适当确保薄膜模具2的寿命的长期化。

(第三实施方式)

其次，对第三实施方式进行说明。对本实施方式中的与第一以及第二实施方式相同的构成部分标注相同的附图标记并省略说明。

如图6所示，本实施方式所涉及的薄膜模具3具备与第一实施方式相同的第一树脂层11及第一玻璃基板层12、以及经由中间层15层叠于第一玻璃基板层12中的与第一树脂层11侧的面相反侧的面的第二玻璃基板层14。第二玻璃基板层14由膜状玻璃构成。

第二玻璃基板层14只要是膜状玻璃，其材质便无特别限定。从确保能够在辊转印方式的压印中使用这一程度的挠性的观点出发，第二玻璃基板层14的厚度优选为200μm以下，更优选为100μm左右。更详细来说，第二玻璃基板层14优选由弯曲成曲率半径为150mm以下的状态时的拉伸应力为50MPa以下的材料形成，尤其优选由弯曲成曲率半径为75mm以下的状态时的拉伸应力为50MPa以下的材料形成。在该情况下，能够在辊转印方式的压印中有效地使用薄膜模具3。此外，与第一实施方式相同，第二玻璃基板层14优选由杨氏模量为75GPa以下的材料形成。需要说明的是，本实施方式的第一玻璃基板层12与在第一实施方式中说明的第一玻璃基板层相同。

此处，当弯曲本实施方式所涉及的薄膜模具3时，第二玻璃基板层14位于相比第一玻璃基板层12靠内侧的位置而曲率半径变小，因此，优选将第二玻璃基板层14设定为与第一玻璃基板层12相比弯曲时的拉伸应力小。因此，例如，也可以利用相同的材料构成第一玻璃基板层12以及第二玻璃基板层14，将第二玻璃基板层14的厚度形成得小于第一玻璃基板层12的厚度。

此外，在作为被成形材料103而使用光固化性树脂组成物的情况下，为了能够通过第一树脂层11、第一玻璃基板层12、中间层15以及第二玻璃基板层14将被成形材料103固化，优选中间层15以及第二玻璃基板层14分别具有波长200～400nm的光透射率为70％以上的光透射性。

作为构成中间层15的材料，能够使用各种材料，但中间层15优选构成为由具有热射线吸收性、波长选择特性、光扩散性等特定的功能的材料形成的树脂组成物等所构成的层。

此外，在作为被成形材料103使用光固化性树脂组成物并通过第一树脂层11、第一玻璃基板层12、中间层15以及第二玻璃基板层14固化被成形材料103的情况下，优选在中间层15确保上述的光透射性，并且，在第二玻璃基板层14的与中间层15的界面以及第一玻璃基板层12的与中间层15的界面形成微细凹凸(所谓的蛾眼构造)。在形成这样的蛾眼构造的情况下，能够防止在中间层15的各界面产生反射，因此能够防止光学特性受损。

在以上说明的本实施方式所涉及的薄膜模具3中，能够利用第一玻璃基板层12以及第二玻璃基板层14充分地确保良好的机械强度、耐热性以及耐湿性，由此能够有效地防止在薄膜模具3的制作时以及制作后由于温度以及湿度等的环境原因而引起的变形。其结果是，在与转印基板101的定位时，能够防止由于该变形而引起薄膜模具3相对于转印基板101不期望地偏移。因此，能够相对于被成形材料103转印良好的位置精度的图案。而且，通过在第一玻璃基板层12与第二玻璃基板层14之间设置中间层15，能够使该中间层15具有特定的功能，由此能够提高薄膜模具3的商品性。

以上，对各实施方式进行了说明，但本公开并不限定于上述的实施方式，能够施加各种变更。

Claims (8)

1.一种薄膜模具，其特征在于，具备：

第一树脂层，其具有包括凹凸图案的图案区域，且由树脂组成物构成；

第一玻璃基板层，其层叠于所述第一树脂层中的与形成所述图案区域的面相反侧的面，且由膜状玻璃构成；以及

第二树脂层，其层叠于所述第一玻璃基板层中的与所述第一树脂层侧的面相反侧的面，且由树脂组成物构成，

所述第一玻璃基板层由弯曲成曲率半径为150mm以下的状态时的拉伸应力成为50MPa以下的材料形成。

2.根据权利要求1所述的薄膜模具，其特征在于，

构成所述第一树脂层的树脂组成物的收缩率与构成所述第二树脂层的树脂组成物的收缩率相同。

3.根据权利要求1所述的薄膜模具，其特征在于，

构成所述第一树脂层的树脂组成物与构成所述第二树脂层的树脂组成物中的一方为自由基聚合性的固化性树脂组成物，另一方为阳离子聚合性的固化性树脂组成物。

4.一种薄膜模具，其特征在于，具备：

第一树脂层，其具有包括凹凸图案的图案区域，且由树脂组成物构成；

第一玻璃基板层，其层叠于所述第一树脂层中的与形成所述图案区域的面相反侧的面，且由膜状玻璃构成；以及

第二玻璃基板层，其经由中间层而层叠于所述第一玻璃基板层中的与所述第一树脂层侧的面相反侧的面，

所述第二玻璃基板层由膜状玻璃构成，

所述第一玻璃基板层由弯曲成曲率半径为150mm以下的状态时的拉伸应力成为50MPa以下的材料形成。

5.根据权利要求4所述的薄膜模具，其特征在于，

所述第二玻璃基板层由弯曲成曲率半径为150mm以下的状态时的拉伸应力成为50MPa以下的材料形成。

6.根据权利要求1或4所述的薄膜模具，其特征在于，

所述第一树脂层在与所述图案区域不同的区域具有非图案区域，

在所述非图案区域设置有对准标记。

7.根据权利要求1或4所述的薄膜模具，其特征在于，

该薄膜模具所包括的由玻璃形成的层的杨氏模量为75GPa以下。

8.一种压印方法，其特征在于，具备：

准备工序，准备权利要求1或4所述的薄膜模具以及将被成形材料保持于一个面的转印基板；

定位工序，将所述薄膜模具与所述转印基板在规定的状态下定位；

接触工序，使所述薄膜模具的所述图案区域与保持于所述转印基板的所述被成形材料接触；

固化工序，通过使与所述薄膜模具接触后的所述被成形材料固化而形成转印有与所述图案区域对应的图案的转印层；以及

脱模工序，通过将所述转印层与所述薄膜模具剥离，成为使所述转印层即图案结构体位于所述转印基板上的状态。

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